CN113463021A - 冷却装置及其冷却方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种冷却装置及其冷却方法；该冷却装置应用于蒸镀设备，该冷却装置包括：主体部件，包括支撑构件和与该支撑构件连接的热交换构件；弹性部件，与该主体部件连接且设置于该主体部件远离该热交换构件的一侧，该弹性部件用于与待冷却构件接触；其中，该弹性部件与该主体部件构成闭合结构；本发明实施例通过将冷却装置的贴合一侧设置为弹性部件，在对基板进行蒸镀时，减少了冷却装置对基板的划伤，加强冷却装置与基板的贴合，提高了对基板的工艺精度。

Description

冷却装置及其冷却方法

技术领域

本发明涉及显示领域，具体涉及一种冷却装置及其冷却方法。

背景技术

近些年，显示领域的器件的工艺要求越来越高，在需要对基板进行蒸镀时，将基板与掩膜版进行贴合，同时也需要冷却装置进行贴合降温，冷却装置一般为金属材质，在与基板进行贴合时，冷却装置容易划伤基板，导致基板的结构性能损坏。

因此，亟需一种冷却装置及其冷却方法以解决上述技术问题。

发明内容

本发明实施例提供一种冷却装置及其冷却方法，可以缓解目前在与基板进行贴合时，冷却装置容易划伤基板的技术问题。

本发明实施例提供一种冷却装置，应用于蒸镀设备，所述冷却装置包括：

主体部件，包括支撑构件和与所述支撑构件连接的热交换构件；

弹性部件，与所述主体部件连接且设置于所述主体部件远离所述热交换构件的一侧，所述弹性部件用于与待冷却构件接触；

其中，所述弹性部件与所述主体部件构成闭合结构。

在一实施例中，所述冷却装置包括中心区及位于所述中心区外围的边缘区，在所述边缘区至所述中心区的方向上，所述弹性部件的厚度逐渐减小。

在一实施例中，在所述中心区内，所述弹性部件包括向远离所述冷却装置方向突出的曲面。

在一实施例中，所述冷却装置还包括连接于所述主体部件与所述弹性部件之间的可拆卸连接部件，所述可拆卸连接部件搭接在所述主体部件及所述弹性部件上。

在一实施例中，所述冷却装置还包括所述弹性部件与所述主体部件围成的腔体，所述热交换构件包括多个进气管路和多个出气管路，任一所述进气管路及任一所述出气管路与所述腔体连通。

在一实施例中，在俯视视角，所述主体部件的形状为矩形，所述进气管路在所述主体部件上的正投影靠近所述矩形的任一角，所述出气管路在所述主体部件上的正投影靠近所述矩形的几何中心。

在一实施例中，任一所述进气管路位于所述腔体内的长度大于任一所述出气管路位于所述腔体内的长度。

在一实施例中，所述冷却装置还包括位于所述腔体内的距离传感单元，所述距离传感单元靠近所述弹性部件一侧，所述弹性部件包括透明材料。

在一实施例中，所述冷却装置还包括位于所述主体部件远离所述弹性部件一侧的磁体部件，在所述磁体部件的边缘至所述磁体部件的中心的方向上，所述磁体部件的磁感应强度逐渐增大。

本发明实施例还提供了一种利用冷却装置的冷却方法，所述冷却装置应用于蒸镀设备，所述冷却装置包括：主体部件，包括支撑构件和与所述支撑构件连接的热交换构件；弹性部件，与所述主体部件连接且设置于所述主体部件远离所述热交换构件的一侧；其中，所述弹性部件与所述主体部件构成闭合结构；所述冷却方法包括：

提供一掩膜版；

将基板与所述掩膜版对位贴合；

将所述冷却装置的所述弹性部件一侧与所述基板对位贴合；

利用所述热交换构件，将冷却气体充入所述冷却装置内，以使所述弹性部件向远离所述冷却装置的方向突出。

本发明实施例通过将冷却装置的贴合一侧设置为弹性部件，在对基板进行蒸镀时，减少了冷却装置对基板的划伤，加强冷却装置与基板的贴合，提高了对基板的工艺精度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本发明的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的冷却装置的第一种结构的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的冷却装置的第二种结构的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的冷却装置的第三种结构的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的冷却装置的第四种结构的结构示意图；

图5是本发明实施例提供的冷却装置的第五种结构的俯视示意图；

图6是本发明实施例提供的冷却装置的第六种结构的俯视示意图；

图7是本发明实施例提供的冷却装置的第七种结构的结构示意图；

图8是本发明实施例提供的冷却装置的第八种结构的结构示意图；

图9是本发明实施例提供的冷却装置的第九种结构的结构示意图；

图10是本发明实施例提供的冷却装置的冷却方法的步骤流程图；

图11是本发明实施例提供的冷却装置的冷却方法的第一种流程示意图；

图12是本发明实施例提供的冷却装置的冷却方法的第二种流程示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。此外，应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。在本发明中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上”和“下”通常是指装置实际使用或工作状态下的上和下，具体为附图中的图面方向；而“内”和“外”则是针对装置的轮廓而言的。

近些年，显示领域的器件的工艺要求越来越高，在需要对基板进行蒸镀时，将基板与掩膜版进行贴合，同时也需要冷却装置进行贴合降温，冷却装置一般为金属材质，在与基板进行贴合时，冷却装置容易划伤基板，导致基板的结构性能损坏。

请参阅图1至图9，本发明实施例提供了一种冷却装置100，应用于蒸镀设备，所述冷却装置100包括：

主体部件200，包括支撑构件300和与所述支撑构件300连接的热交换构件400；

弹性部件500，与所述主体部件200连接且设置于所述主体部件200远离所述热交换构件400的一侧，所述弹性部件500用于与待冷却构件600接触；

其中，所述弹性部件500与所述主体部件200构成闭合结构。

本发明实施例通过将冷却装置的贴合一侧设置为弹性部件，在对基板进行蒸镀时，减少了冷却装置对基板的划伤，加强冷却装置与基板的贴合，提高了对基板的工艺精度。

现结合具体实施例对本发明的技术方案进行描述。

所述冷却装置100，应用于蒸镀设备，所述冷却装置100包括：主体部件200，包括支撑构件300和与所述支撑构件300连接的热交换构件400；弹性部件500，与所述主体部件200连接且设置于所述主体部件200远离所述热交换构件400的一侧，所述弹性部件500用于与待冷却构件600接触；其中，所述弹性部件500与所述主体部件200构成闭合结构，具体请参阅图1。通过所述弹性部件500，与所述待冷却构件600的接触贴合，可以减少所述冷却装置100对待冷却构件600的划伤，同时，所述弹性部件500具有一定弹性，可以更充分地与所述待冷却构件600充分贴合，更好地对所述待冷却构件600降温及蒸镀。

本实施例中，所述冷却装置100还包括所述弹性部件500与所述主体部件200围成的腔体210，所述热交换构件400包括多个进气管路410和多个出气管路420，任一所述进气管路410及任一所述出气管路420与所述腔体210连通，具体请参阅图1、图5。其中，在图5、图6中，所述进气管路410和所述出气管路420的形状只是为了区分，不做形状限定，在此说明。所述腔体210可以更好地存储冷却气体，使所述冷却气体与待冷却构件600充分热交换。

本实施例中，所述冷却装置100包括中心区A及位于所述中心区A外围的边缘区B，在所述边缘区B至所述中心区A的方向上，所述弹性部件500的厚度逐渐减小，具体请参阅图2。所述待冷却构件600可以包括基板及掩膜版610，所述基板620包括玻璃基板或其他基板，在此不做限定，由于所述基板620及所述掩膜版610在中间区域会具有一定的下垂量，所述冷却装置100可能与所述基板620之间有一定间隙，将对应所述中心区A的所述弹性部件500的厚度作成逐渐减小的结构，在对所述腔体210进行充气时，可以使所述靠近所述中心区A的所述弹性部件500更容易突出，从而可以与所述基板620及所述掩膜版610更好地贴合，有利于蒸镀。

本实施例中，所述弹性部件500包括向远离所述冷却装置100方向突出的曲面。所述弹性部件500远离所述主体部件200一侧的表面为凸面，所述凸面向远离所述冷却装置100方向突出，具体请参阅图3。在不向所述腔体210充入所述冷却气体时，所述弹性部件500就有向所述待冷却构件600突出的曲面，可以进一步加强所述冷却装置100与所述待冷却构件600的贴合，在对所述腔体210进行充气时，可以使所述靠近所述中心区A的所述弹性部件500更容易突出，从而可以与所述基板620及所述掩膜版610更好地贴合，有利于蒸镀。

本实施例中，所述冷却装置100还包括连接于所述主体部件200与所述弹性部件500之间的可拆卸连接部件700，所述可拆卸连接部件700搭接在所述主体部件200及所述弹性部件500上，具体请参阅图4。所述可拆卸连接部件700为可拆卸结构，例如卡扣结构或旋钮结构，所述可拆卸连接部件700包括垫片，所述垫片与所述主体部件200或/和所述弹性部件500接触，可以更好加强对所述腔体210的密封性，所述可拆卸部件搭接在所述主体部件200及所述弹性部件500上，可以进一步加强对所述腔体210的密封性。

本实施例中，在俯视视角，所述主体部件200的形状为矩形，所述进气管路410在所述主体部件200上的正投影靠近所述矩形的任一角，所述出气管路420在所述主体部件200上的正投影靠近所述矩形的几何中心，具体请参阅图6。在充气时，所述弹性部件500的中心区A域微微突出，将进气管路410设置在角落，可以提高冷却气体的填充所述腔体210的能力，更好地均匀覆盖整个所述腔体210，所述出气管路420设置在靠近所述弹性部件500微微突出的区域，所述弹性部件500的恢复力有助于排气，使进气出气循环通畅。

本实施例中，一所述进气管路410和一所述出气管路420构成一交换组，所述热交换构件400包括四组交换组，所述交换组环绕所述主体部件200。

本实施例中，所述进气管路410或/和所述出气管路420包括快拧接头，可以保证气密性。

本实施例中，任一所述进气管路410位于所述腔体210内的长度大于任一所述出气管路420位于所述腔体210内的长度，具体请参阅图7。冷却气体更容易在靠近所述待冷却构件600一侧平铺覆盖，有利于加强对所述待冷却构件600的冷却，提高热交换效率，同时，有利于较冷的气体在下，较热的气体在上，加强对所述待冷却构件600热交换。

本实施例中，所述热交换构件400还包括多条连接管路，一所述连接管路连接一所述进气管路410及一所述出气管路420。所述连接管路在对应所述进气管路410与对应所述出气管路420之间蛇形盘绕，所述连接管路包括弹性材料，所述连接管路对应所述待冷却构件600的高温区，通过所述连接管路，可以对所述待冷却构件600的高温区进行重点冷却，任意两所述连接管路中的介质条件相异，所述介质条件可以为流速、温度、气体种类中任意一种或多种。

本实施例中，所述冷却装置100还包括位于所述腔体210内的距离传感单元800，所述距离传感单元800靠近所述弹性部件500一侧，所述弹性部件500包括透明材料，具体请参阅图8。所述距离传感单元800设置在所述腔体210内，所述冷却装置100的整合性高，不占据外部空间，所述距离传感单元800可以检测所述弹性部件500与所述待冷却构件600的贴合状态，从而调整贴合压力等参数，有利于加强控制。

本实施例中，所述冷却装置100还包括位于所述主体部件200远离所述弹性部件500一侧的磁体部件900，在所述磁体部件900的边缘至所述磁体部件900的中心的方向上，所述磁体部件900的磁感应强度逐渐增大，具体请参阅图9，其中，磁感应强度分布可以想象，在图中没有表示处。所述待冷却构件600中的所述掩膜版610包括钢材，可以和所述磁体部件900进行吸附，由于所述基板620及所述掩膜版610在中间区域会具有一定的下垂量，在所述磁体部件900的边缘至所述磁体部件900的中心的方向上，所述磁体部件900的磁感应强度逐渐增大，可以加强对所述掩膜版610对应中间区域的吸附，从而有利于所述冷却装置100与所述基板620及所述掩膜版610更好地贴合，有利于蒸镀。

本实施例中，所述弹性部件500的材料可以为橡胶等有弹性的材料，可以根据不同的温度，不同的压力，选择耐高温且邵氏硬度合适的橡胶。

本发明实施例通过将冷却装置的贴合一侧设置为弹性部件，在对基板进行蒸镀时，减少了冷却装置对基板的划伤，加强冷却装置与基板的贴合，提高了对基板的工艺精度。

请参阅图10，本发明实施例还提供了一种利用冷却装置100的冷却方法，所述冷却装置100应用于蒸镀设备，所述冷却装置100包括：主体部件200，包括支撑构件300和与所述支撑构件300连接的热交换构件400；弹性部件500，与所述主体部件200连接且设置于所述主体部件200远离所述热交换构件400的一侧；其中，所述弹性部件500与所述主体部件200构成闭合结构；所述冷却方法包括：

S100、提供一掩膜版610；

S200、将基板620与所述掩膜版610对位贴合；

S300、将所述冷却装置100的所述弹性部件500一侧与所述基板620对位贴合；

S400、利用所述热交换构件400，将冷却气体充入所述冷却装置100内，以使所述弹性部件500向远离所述冷却装置100的方向突出。

本发明实施例通过将冷却装置的贴合一侧设置为弹性部件，在对基板进行蒸镀时，减少了冷却装置对基板的划伤，加强冷却装置与基板的贴合，提高了对基板的工艺精度。

现结合具体实施例对本发明的技术方案进行描述。

所述冷却方法包括：

S100、提供一掩膜版610，具体请参阅图11。

本实施例中，所述掩膜版610包括钢材。

S200、将基板620与所述掩膜版610对位贴合，具体请参阅图11。

本实施例中，所述基板620包括玻璃基板或其他基板，在此不做限定。

S300、将所述冷却装置100的所述弹性部件500一侧与所述基板620对位贴合，具体请参阅图11。

本实施例中，所述弹性部件500包括向远离所述冷却装置100方向突出的曲面。所述弹性部件500远离所述主体部件200一侧的表面为凸面，所述凸面向远离所述冷却装置100方向突出，具体请参阅图3。在不向所述腔体210充入所述冷却气体时，所述弹性部件500就有向所述待冷却构件600突出的曲面，可以进一步加强所述冷却装置100与所述待冷却构件600的贴合，在对所述腔体210进行充气时，可以使所述靠近所述中心区A的所述弹性部件500更容易突出，从而可以与所述基板620及所述掩膜版610更好地贴合，有利于蒸镀。

S400、利用所述热交换构件400，将冷却气体充入所述冷却装置100内，以使所述弹性部件500向远离所述冷却装置100的方向突出，具体请参阅图12。

所述冷却装置100，应用于蒸镀设备，所述冷却装置100包括：主体部件200，包括支撑构件300和与所述支撑构件300连接的热交换构件400；弹性部件500，与所述主体部件200连接且设置于所述主体部件200远离所述热交换构件400的一侧，所述弹性部件500用于与待冷却构件600接触；其中，所述弹性部件500与所述主体部件200构成闭合结构，具体请参阅图1。通过所述弹性部件500，与所述待冷却构件600的接触贴合，可以减少所述冷却装置100对待冷却构件600的划伤，同时，所述弹性部件500具有一定弹性，可以更充分地与所述待冷却构件600充分贴合，更好地对所述待冷却构件600降温及蒸镀。

本实施例中，所述冷却装置100还包括所述弹性部件500与所述主体部件200围成的腔体210，所述热交换构件400包括多个进气管路410和多个出气管路420，任一所述进气管路410及任一所述出气管路420与所述腔体210连通，具体请参阅图1、图5。所述腔体210可以更好地存储冷却气体，使所述冷却气体与待冷却构件600充分热交换。

本实施例中，所述冷却装置100包括中心区A及位于所述中心区A外围的边缘区B，在所述边缘区B至所述中心区A的方向上，所述弹性部件500的厚度逐渐减小，具体请参阅图2。所述待冷却构件600可以包括基板及掩膜版610，所述基板620包括玻璃基板或其他基板，在此不做限定，由于所述基板620及所述掩膜版610在中间区域会具有一定的下垂量，所述冷却装置100可能与所述基板620之间有一定间隙，将对应所述中心区A的所述弹性部件500的厚度作成逐渐减小的结构，在对所述腔体210进行充气时，可以使所述靠近所述中心区A的所述弹性部件500更容易突出，从而可以与所述基板620及所述掩膜版610更好地贴合，有利于蒸镀。

本实施例中，所述冷却装置100还包括连接于所述主体部件200与所述弹性部件500之间的可拆卸连接部件700，所述可拆卸连接部件700搭接在所述主体部件200及所述弹性部件500上，具体请参阅图4。所述可拆卸连接部件700为可拆卸结构，例如卡扣结构，旋钮结构，所述可拆卸连接部件700包括垫片，所述垫片与所述主体部件200或/和所述弹性部件500接触，可以更好加强对所述腔体210的密封性，所述可拆卸部件搭接在所述主体部件200及所述弹性部件500上，可以进一步加强对所述腔体210的密封性。

本实施例中，在俯视视角，所述主体部件200的形状为矩形，所述进气管路410在所述主体部件200上的正投影靠近所述矩形的任一角，所述出气管路420在所述主体部件200上的正投影靠近所述矩形的几何中心，具体请参阅图6。在充气时，所述弹性部件500的中心区A域微微突出，将进气管路410设置在角落，可以提高冷却气体的填充所述腔体210的能力，更好地均匀覆盖整个所述腔体210，所述出气管路420设置在靠近所述弹性部件500微微突出的区域，所述弹性部件500的恢复力有助于排气，使进气出气循环通畅。

本实施例中，一所述进气管路410和一所述出气管路420构成一交换组，所述热交换构件400包括四组交换组，所述交换组环绕所述主体部件200。

本实施例中，所述进气管路410或/和所述出气管路420包括快拧接头，可以保证气密性。

本实施例中，任一所述进气管路410位于所述腔体210内的长度大于任一所述出气管路420位于所述腔体210内的长度，具体请参阅图7。冷却气体更容易在靠近所述待冷却构件600一侧平铺覆盖，有利于加强对所述待冷却构件600的冷却，提高热交换效率，同时，有利于较冷的气体在下，较热的气体在上，加强对所述待冷却构件600热交换。

本实施例中，所述热交换构件400还包括多条连接管路，一所述连接管路连接一所述进气管路410及一所述出气管路420。所述连接管路在对应所述进气管路410与对应所述出气管路420之间蛇形盘绕，所述连接管路包括弹性材料，所述连接管路对应所述待冷却构件600的高温区，通过所述连接管路，可以对所述待冷却构件600的高温区进行重点冷却，任意两所述连接管路中的介质条件相异，所述介质条件可以为流速、温度、气体种类中任意一种或多种。

本实施例中，所述冷却装置100还包括位于所述腔体210内的距离传感单元800，所述距离传感单元800靠近所述弹性部件500一侧，所述弹性部件500包括透明材料，具体请参阅图8。所述距离传感单元800设置在所述腔体210内，所述冷却装置100的整合性高，不占据外部空间，所述距离传感单元800可以检测所述弹性部件500与所述待冷却构件600的贴合状态，从而调整贴合压力等参数，有利于加强控制。

本实施例中，所述冷却装置100还包括位于所述主体部件200远离所述弹性部件500一侧的磁体部件900，在所述磁体部件900的边缘至所述磁体部件900的中心的方向上，所述磁体部件900的磁感应强度逐渐增大，具体请参阅图9。所述待冷却构件600中的所述掩膜版610包括钢材，可以和所述磁体部件900进行吸附，由于所述基板620及所述掩膜版610在中间区域会具有一定的下垂量，在所述磁体部件900的边缘至所述磁体部件900的中心的方向上，所述磁体部件900的磁感应强度逐渐增大，可以加强对所述掩膜版610对应中间区域的吸附，从而有利于所述冷却装置100与所述基板620及所述掩膜版610更好地贴合，有利于蒸镀。

本实施例中，所述弹性部件500的材料可以为橡胶等有弹性的材料，可以根据不同的温度，不同的压力，选择耐高温且邵氏硬度合适的橡胶。

本发明实施例通过将冷却装置的贴合一侧设置为弹性部件，在对基板进行蒸镀时，减少了冷却装置对基板的划伤，加强冷却装置与基板的贴合，提高了对基板的工艺精度。

本发明实施例公开了一种冷却装置及其冷却方法；该冷却装置应用于蒸镀设备，该冷却装置包括：主体部件，包括支撑构件和与该支撑构件连接的热交换构件；弹性部件，与该主体部件连接且设置于该主体部件远离该热交换构件的一侧，该弹性部件用于与待冷却构件接触；其中，该弹性部件与该主体部件构成闭合结构；本发明实施例通过将冷却装置的贴合一侧设置为弹性部件，在对基板进行蒸镀时，减少了冷却装置对基板的划伤，加强冷却装置与基板的贴合，提高了对基板的工艺精度。

以上对本发明实施例所提供的一种冷却装置及其冷却方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (10)

1.一种冷却装置，应用于蒸镀设备，其特征在于，所述冷却装置包括：

主体部件，包括支撑构件和与所述支撑构件连接的热交换构件；

弹性部件，与所述主体部件连接且设置于所述主体部件远离所述热交换构件的一侧，所述弹性部件用于与待冷却构件接触；

其中，所述弹性部件与所述主体部件构成闭合结构。

2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置包括中心区及位于所述中心区外围的边缘区，在所述边缘区至所述中心区的方向上，所述弹性部件的厚度逐渐减小。

3.根据权利要求2所述的冷却装置，其特征在于，在所述中心区内，所述弹性部件包括向远离所述冷却装置方向突出的曲面。

4.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置还包括连接于所述主体部件与所述弹性部件之间的可拆卸连接部件，所述可拆卸连接部件搭接在所述主体部件及所述弹性部件上。

5.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置还包括所述弹性部件与所述主体部件围成的腔体，所述热交换构件包括多个进气管路和多个出气管路，任一所述进气管路及任一所述出气管路与所述腔体连通。

6.根据权利要求5所述的冷却装置，其特征在于，在俯视视角，所述主体部件的形状为矩形，所述进气管路在所述主体部件上的正投影靠近所述矩形的任一角，所述出气管路在所述主体部件上的正投影靠近所述矩形的几何中心。

7.根据权利要求5所述的冷却装置，其特征在于，任一所述进气管路位于所述腔体内的长度大于任一所述出气管路位于所述腔体内的长度。

8.根据权利要求5所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置还包括位于所述腔体内的距离传感单元，所述距离传感单元靠近所述弹性部件一侧，所述弹性部件包括透明材料。

9.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置还包括位于所述主体部件远离所述弹性部件一侧的磁体部件，在所述磁体部件的边缘至所述磁体部件的中心的方向上，所述磁体部件的磁感应强度逐渐增大。

10.一种利用冷却装置的冷却方法，其特征在于，所述冷却装置应用于蒸镀设备，所述冷却装置包括：主体部件，包括支撑构件和与所述支撑构件连接的热交换构件；弹性部件，与所述主体部件连接且设置于所述主体部件远离所述热交换构件的一侧；其中，所述弹性部件与所述主体部件构成闭合结构；所述冷却方法包括：

提供一掩膜版；

将基板与所述掩膜版对位贴合；

将所述冷却装置的所述弹性部件一侧与所述基板对位贴合；

利用所述热交换构件，将冷却气体充入所述冷却装置内，以使所述弹性部件向远离所述冷却装置的方向突出。

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