CN113390710A - 锁紧机构及力学检测设备推拉力机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种锁紧机构及力学检测设备推拉力机,锁紧机构包括:手旋螺丝、旋转压紧块、旋转固定块,旋转固定块与模块挂架固定连接,旋转压紧块和旋转固定块旋转活动连接;手旋螺丝与模块挂架螺纹连接,手旋螺丝向下锁紧穿过模块挂架的螺纹时直接与所述旋转压紧块接触,并驱动旋转压紧块在旋转固定块内向下转动,使得旋转压紧块底部与所述模块测试头接触,将所述模块测试头固定在所述模块挂架上。该大推力模块锁紧机构采用了杠杆加力的原理,通过力臂和支点的作用将螺丝锁紧力放大,从而达到在原有的操作方式上将锁紧力呈几何递增产生更大的作用力,有效的避开了模块测试头受到F方向的大推力时而不会导致模块测试头产生松动。
Description
技术领域
本发明涉及力学检测设备技术领域,特别涉及一种应用于半导体力学检测设备推拉力机上可快速更换测试头并且有效可靠锁紧测试头的锁紧机构及力学检测设备推拉力机。
背景技术
半导体器件存在许多种类型的测试键合强度的结点测试。例如,剪切力测试、拉力测试等测试方法之间来回切换,且要求测试工具要被有效可靠的锁紧。
而大推力机型设备面临着推力测试强度高达500kg范围的键合强度结点测试,现有的方式一般直接采用手旋螺丝进行锁紧,而直接采用一个手旋螺丝产生的作用力不能将测试头有效的保持住其固定姿态。
发明内容
本发明的主要目的是提出一种可以实现力学检测设备推拉力机上快速更换测试头并且有效可靠锁紧测试头的锁紧机构及力学检测设备推拉力机。
为实现上述目的,本发明提供了一种锁紧机构,用于锁紧模块测试头,所述模块测试头安装在模块挂架上,所述锁紧机构包括:手旋螺丝、旋转压紧块、旋转固定块,其中:
所述旋转固定块与所述模块挂架固定连接,所述旋转压紧块和所述旋转固定块旋转活动连接;
所述手旋螺丝与所述模块挂架螺纹连接,其中,所述手旋螺丝向下锁紧穿过所述模块挂架的螺纹时直接与所述旋转压紧块接触,并驱动所述旋转压紧块在所述旋转固定块内向下转动,使得所述旋转压紧块底部与所述模块测试头接触,将所述模块测试头固定在所述模块挂架上。
其中,所述旋转压紧块的底部设置有一个锁紧接触点,所述锁紧接触点将旋转压紧块受到的力作用到所述模块测试头上,从而将所述模块测试头固定在模块挂架上。
其中,所述锁紧机构还包括:弹簧,所述弹簧设置在所述模块挂架上,所述弹簧的顶端与所述旋转压紧块接触。
其中,所述锁紧机构还包括:电气连接块,所述电气连接块和所述模块挂架固定连接。
其中,所述模块测试头和所述电气连接块通过销钉定位连接。
其中,所述模块测试头通过弹簧与所述模块挂架滑动连接。
其中,当所述手旋螺丝的拧紧力卸载后,固定在所述模块挂架上的弹簧在受到所述旋转压紧块的挤压恢复时,将所述旋转压紧块向上弹开,所述旋转压紧块脱离与所述模块测试头的接触。
其中,所述旋转压紧块和旋转固定块均设有相互配合的圆弧面,所述旋转压紧块的圆弧面和旋转固定块的圆弧面配合形成一个转动支点,所述转动支点与所述手旋螺丝的轴心形成一个力臂,使得所述旋转压紧块与旋转固定块形成一个杠杠机构。
此外,本发明还提出一种力学检测设备推拉力机,包括:模块挂架、模块测试头,以及如上所述的锁紧机构。
本发明的有益效果是:提供一种本发明应用于半导体力学检测设备推拉力机上可快速更换测试头并且有效可靠锁紧测试头的锁紧机构及力学检测设备推拉力机,所述锁紧机构包括:手旋螺丝、旋转压紧块、旋转固定块,其中:所述旋转固定块与所述模块挂架固定连接,所述旋转压紧块和所述旋转固定块旋转活动连接;所述手旋螺丝与所述模块挂架螺纹连接,其中,所述手旋螺丝向下锁紧穿过所述模块挂架的螺纹时直接与所述旋转压紧块接触,并驱动所述旋转压紧块在所述旋转固定块内向下转动,使得所述旋转压紧块底部与所述模块测试头接触,将所述模块测试头固定在所述模块挂架上。该大推力模块锁紧机构采用了杠杆加力的原理,通过力臂和支点的作用将螺丝锁紧力放大,从而达到在原有的操作方式上将锁紧力呈几何递增产生更大的作用力,有效的避开了模块测试头受到F方向的大推力时而不会导致模块测试头产生松动。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
图1为本发明锁紧机构的结构分解示意图;
图2为本发明锁紧机构的主视图;
图3为本发明锁紧机构的另一角度分解示意图;
图4为本发明锁紧机构的杠杆原理示意图。
附图标号:
手旋螺丝1,旋转固定块2,旋转压紧块3,锁紧接触点4,弹簧5,模块挂架6,电气连接块7,模块测试头8。
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
请参照图1至图3,本发明提出一种大推力模块锁紧机构,用于半导体力学检测设备推拉力机的测试头锁紧,所述模块测试头8安装在模块挂架6上,所述锁紧机构包括:手旋螺丝1、旋转压紧块3、旋转固定块2,其中:
所述旋转固定块2与所述模块挂架6固定连接,所述旋转压紧块3和所述旋转固定块2旋转活动连接;
所述手旋螺丝1与所述模块挂架6螺纹连接,其中,所述手旋螺丝1向下锁紧穿过所述模块挂架6的螺纹时直接与所述旋转压紧块3接触,并驱动所述旋转压紧块3在所述旋转固定块2内向下转动,使得所述旋转压紧块3底部与所述模块测试头8接触,将所述模块测试头8固定在所述模块挂架6上。
相比现有技术,本发明大推力模块锁紧机构采用的是终端使用一颗手旋螺丝1顶紧一个旋转压紧块3,旋转压紧块3的底部将旋转压紧块3受到的力作用到模块测试头8上从而将模块测试头8固定在模块挂架6里面,而不是通过手旋螺丝1锁紧的力直接作用在模块测试头8上面,其中,旋转压紧块3与旋转固定块2形成一个杠杠机构,旋转压紧块3可在旋转固定块2里面做向下的旋转摆幅动作,从而实现杠杆结构,采用杠杆加力的原理,通过力臂和支点的作用将螺丝锁紧力放大,从而达到在原有的操作方式上将锁紧力呈几何递增产生更大的作用力,有效的避开了模块测试头8受到F方向的大推力时而不会导致模块测试头8产生松动。
其中,作为一种实施方式,所述旋转压紧块3的底部设置有一个锁紧接触点4,所述锁紧接触点4将旋转压紧块3受到的力作用到所述模块测试头8上,从而将所述模块测试头8固定在模块挂架6上。
其中,作为一种实施方式,所述锁紧机构还包括:弹簧5,所述弹簧5设置在所述模块挂架6上,所述弹簧5的顶端与所述旋转压紧块3接触。
其中,作为一种实施方式,所述锁紧机构还包括:电气连接块7,所述电气连接块7和所述模块挂架6固定连接。
其中,作为一种实施方式,所述模块测试头8和所述电气连接块7通过销钉定位连接。
其中,作为一种实施方式,所述模块测试头8通过弹簧5与所述模块挂架6滑动连接。
当所述手旋螺丝1的拧紧力卸载后,固定在所述模块挂架6上的弹簧5在受到所述旋转压紧块3的挤压恢复时,将所述旋转压紧块3向上弹开,所述旋转压紧块3脱离与所述模块测试头8的接触。
其中,作为一种实施方式,所述旋转压紧块3和旋转固定块2均设有相互配合的圆弧面,所述旋转压紧块3的圆弧面和旋转固定块2的圆弧面配合形成一个转动支点,所述转动支点与所述手旋螺丝1的轴心形成一个力臂,使得所述旋转压紧块3与旋转固定块2形成一个杠杠机构。
当手旋螺丝1向下拧紧和旋转压紧块3接触上致使旋转压紧块3向下摆动,而固定在旋转压紧块3底部的锁紧接触点4将和模块测试头8接触,并将手旋螺丝1保持作用在旋转压紧块3上的力放大之后保持作用到模块测试头8上。
当手旋螺丝1的拧紧力卸载之后,固定在模块挂架6上的弹簧5在受到旋转压紧块3的挤压恢复时,可把旋转压紧块3向上弹开,旋转压紧块3在被弹簧5向上弹开后不再与模块测试头8接触,这时模块测试头8可从模块挂架6里面装载或取出。
其中,如图4所示,旋转压紧块3本身带有一个圆弧面(轴心A2),和旋转固定块22(轴心A1)的圆弧面配合形成一个转动支点,而转动支点与手旋螺丝11的轴心A3形成一个力臂L1,当手旋螺丝11的拧紧力F1经过旋转压紧块3后得到一个放大的F2锁紧力,相较于手旋螺丝1直接作用在模块测试头8上面的力F1,F2作用在模块测试头8上面的锁紧力更强。
此外,本发明还提出一种力学检测设备推拉力机,包括:模块挂架6、模块测试头8,以及如上所述的大推力模块锁紧机构。其中,手旋螺丝1、旋转固定块2、旋转压紧块3、锁紧接触点4、弹簧5、模块挂架6、电气连接块7、模块测试头8形成一套完整机构,这套机构可被固定到推拉力机的Z轴上。
本发明的有益效果是:提供一种本发明应用于半导体力学检测设备推拉力机上可快速更换测试头并且有效可靠锁紧测试头的锁紧机构及力学检测设备推拉力机,所述锁紧机构包括:手旋螺丝1、旋转压紧块3、旋转固定块2,其中:所述旋转固定块2与所述模块挂架6固定连接,所述旋转压紧块3和所述旋转固定块2旋转活动连接;所述手旋螺丝1与所述模块挂架6螺纹连接,其中,所述手旋螺丝1向下锁紧穿过所述模块挂架6的螺纹时直接与所述旋转压紧块3接触,并驱动所述旋转压紧块3在所述旋转固定块2内向下转动,使得所述旋转压紧块3底部与所述模块测试头8接触,将所述模块测试头8固定在所述模块挂架6上。该大推力模块锁紧机构采用了杠杆加力的原理,通过力臂和支点的作用将螺丝锁紧力放大,从而达到在原有的操作方式上将锁紧力呈几何递增产生更大的作用力,有效的避开了模块测试头8受到F方向的大推力时而不会导致模块测试头8产生松动。
以上所述仅为本发明的优选实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是在本发明的构思下,利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换,或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (9)
1.一种锁紧机构,其特征在于,用于锁紧模块测试头,所述模块测试头安装在模块挂架上,所述锁紧机构包括:手旋螺丝、旋转压紧块、旋转固定块,其中:
所述旋转固定块与所述模块挂架固定连接,所述旋转压紧块和所述旋转固定块旋转活动连接;
所述手旋螺丝与所述模块挂架螺纹连接,其中,所述手旋螺丝向下锁紧穿过所述模块挂架的螺纹时直接与所述旋转压紧块接触,并驱动所述旋转压紧块在所述旋转固定块内向下转动,使得所述旋转压紧块底部与所述模块测试头接触,将所述模块测试头固定在所述模块挂架上。
2.根据权利要求1所述的锁紧机构,其特征在于,所述旋转压紧块的底部设置有一个锁紧接触点,所述锁紧接触点将旋转压紧块受到的力作用到所述模块测试头上,从而将所述模块测试头固定在模块挂架上。
3.根据权利要求1所述的锁紧机构,其特征在于,所述锁紧机构还包括:弹簧,所述弹簧设置在所述模块挂架上,所述弹簧的顶端与所述旋转压紧块接触。
4.根据权利要求1所述的锁紧机构,其特征在于,所述锁紧机构还包括:电气连接块,所述电气连接块和所述模块挂架固定连接。
5.根据权利要求4所述的锁紧机构,其特征在于,所述模块测试头和所述电气连接块通过销钉定位连接。
6.根据权利要求3所述的锁紧机构,其特征在于,所述模块测试头通过弹簧与所述模块挂架滑动连接。
7.根据权利要求6所述的锁紧机构,其特征在于,当所述手旋螺丝的拧紧力卸载后,固定在所述模块挂架上的弹簧在受到所述旋转压紧块的挤压恢复时,将所述旋转压紧块向上弹开,所述旋转压紧块脱离与所述模块测试头的接触。
8.根据权利要求6所述的锁紧机构,其特征在于,所述旋转压紧块和旋转固定块均设有相互配合的圆弧面,所述旋转压紧块的圆弧面和旋转固定块的圆弧面配合形成一个转动支点,所述转动支点与所述手旋螺丝的轴心形成一个力臂,使得所述旋转压紧块与旋转固定块形成一个杠杠机构。
9.一种力学检测设备推拉力机,其特征在于,包括:模块挂架、模块测试头,以及如权利要求1-8中任一项所述的锁紧机构。
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