CN113383281A - 控制装置以及控制程序 - Google Patents

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Abstract

控制装置的控制部在控制对象的位置处于规定范围内的情况下，执行按照第1模式的模型预测控制，该第1模式使用测量值作为此次的控制周期中的控制量，在控制对象的位置处于规定范围外的情况下，执行按照第2模式的模型预测控制，该第2模式使用动态特性模型的输出值作为此次的控制周期中的控制量。由此，即使在仅能够得到控制对象的可动范围中的一部分测量位置的情况下，定位时的减振性也提高。

Description

控制装置以及控制程序
技术领域
本技术涉及控制装置以及控制程序。
背景技术
日本特开2004-120963号公报(专利文献1)公开了一种伺服控制装置，其具有：振动检测部，其对内部控制信息进行采样来检测振动的周期和振幅；以及振动控制装置，其由提供稳定的振动收敛性的周期控制部构成。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2004-120963号公报
专利文献2：日本特开2018-120327号公报
发明内容
发明所要解决的课题
在专利文献1所公开的伺服控制装置中，在伴随着振动频率变动而产生振动的情况下，在由振动检测部检测出振动的周期和振幅之后，执行用于抑制振动的控制。因此，需要允许一定时间的振动状态，用于抑制振动的控制开始延迟。特别是在想要抑制定位时的残留振动的情况下，在移动中难以检测振动，而在停止后检测振动，因此用于抑制振动的控制开始延迟。
专利文献1所公开的伺服控制装置使用扭矩指令值作为上述的内部控制信息。扭矩指令值振动的原因是从控制对象反馈的测量位置。但是，根据对测量位置进行测量的测量传感器的性能，可能存在无法测量控制对象的可动范围的全部位置的情况。然而，在专利文献1中，未考虑仅能够得到控制对象的可动范围中的一部分测量位置的情况。
本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种即使在仅能够得到控制对象的可动范围中的一部分测量位置的情况下，也能够提高定位时的减振性的控制装置以及控制程序。
用于解决课题的手段
根据本公开的一例，控制装置与对控制对象进行驱动的伺服机构连接，向伺服机构输出操作量，使得控制对象的控制量追随目标轨道。控制装置具有：取得部，其用于从测量控制对象的位置的测量传感器取得测量值；以及控制部，其按照每个控制周期，进行使用了表示操作量与控制对象的位置的关系的动态特性模型的模型预测控制，由此生成向伺服机构输出的操作量。测量传感器能够在包含控制对象的停止位置的规定范围内测量控制对象的位置。控制部在控制对象的位置处于规定范围内的情况下，执行按照第1模式的模型预测控制，该第1模式使用测量值作为此次的控制周期中的控制量。控制部在控制对象的位置处于规定范围外的情况下，执行按照第2模式的模型预测控制，该第2模式使用动态特性模型的输出值作为此次的控制周期中的控制量。
根据本公开，即使控制对象的位置在可测量范围外，也通过按照第2模式的模型预测控制来生成操作量。因此，能够提高减振性以及对目标轨道的追随性。并且，在控制对象的位置处于可测量范围(包含控制对象的停止位置)内的情况下，通过使用了测量值的第1模式的模型预测控制，能够提高减振性以及对目标轨道的追随性。由此，即使在仅能够得到控制对象的可动范围中的一部分测量位置的情况下，也能够提高定位时的减振性。
在上述公开中，控制部在第1模式中，使用测量值来运算动态特性模型的输出值。在模型预测控制中，适当运算动态特性模型的输出值。根据该公开，即使在控制对象的状态从动态特性模型发生了变动的情况下，通过使用测量值来运算模型输出值，也能够提高针对控制对象的状态变动的鲁棒性。
在上述公开中，控制部在第1模式中，以此次的控制周期中的测量值与此次的控制周期中的动态特性模型的输出值的差分量，对直到此次的控制周期为止运算出的动态特性模型的输出值进行校正。
根据本公开，即使在测量值中包含噪声成分的情况下，在对已经运算出的动态特性模型的输出值进行校正时，也能够抑制噪声成分被放大。
在上述公开中，控制部在控制对象的位置从规定范围外变化到规定范围内的情况下，进行N个控制周期的、按照第3模式的控制。N是2以上的整数。控制部在第3模式中，以使得在N个控制周期之间，消除通过按照第1模式的模型预测控制而生成的第1操作量与通过按照第2模式的模型预测控制而生成的第2操作量的差分的方式，生成向伺服机构输出的操作量。
根据该公开，能够抑制从第2模式向第1模式切换时的扭矩变动。
在上述公开中，伺服机构包含：伺服电机，其用于使控制对象移动；以及伺服驱动器，其对伺服电机进行驱动。动态特性模型包含：第1动态特性模型，其表示操作量与伺服电机的位置的关系；以及第2动态特性模型，其表示伺服电机的位置与控制对象的位置的关系。第2动态特性模型是使用从控制对象的振动波形中得到的波形参数而生成的。波形参数包含振动频率以及振动波形中连续的2个波的振幅比中的至少振动频率。
根据该公开，能够使用第1动态特性模型以及第2动态特性模型容易地创建动态特性模型。
根据本公开的一例，控制程序用于实现控制装置，该控制装置与对控制对象进行驱动的伺服机构连接，向伺服机构输出操作量，使得控制对象的控制量追随目标轨道，该控制程序使计算机执行以下步骤：从测量控制对象的位置的测量传感器取得测量值；以及按照每个控制周期，进行使用了表示操作量与控制对象的位置的关系的动态特性模型的模型预测控制，由此生成向伺服机构输出的操作量。测量传感器能够在包含控制对象的停止位置的规定范围内测量控制对象的位置。生成操作量的步骤包含以下步骤：在控制对象的位置处于规定范围内的情况下，执行按照第1模式的模型预测控制，该第1模式使用测量值作为此次的控制周期中的控制量；以及在控制对象的位置处于规定范围外的情况下，执行按照第2模式的模型预测控制，该第2模式使用动态特性模型的输出值作为此次的控制周期中的控制量。
根据该公开，即使在仅能够得到控制对象的可动范围中的一部分测量位置的情况下，也能够提高定位时的减振性。
发明的效果
根据本发明，即使在仅能够得到控制对象的可动范围中的一部分测量位置的情况下，也能够提高定位时的减振性。
附图说明
图1是表示应用本实施方式的控制装置的控制系统的结构例的示意图。
图2是表示本实施方式的控制装置的硬件结构的一例的示意图。
图3是表示本实施方式的控制装置的功能结构的示意图。
图4是说明为了创建第1动态特性模型而执行的调试(tuning)的图。
图5是表示振动波形的一例的图。
图6是表示使用了第1动态特性模型和第2动态特性模型的模型输出值的运算方法的图。
图7是表示本实施方式的控制系统所进行的电机控制的处理步骤的流程图。
图8是表示电机控制的仿真结果的一例的图。
图9是表示电机控制的仿真结果的另一例的图。
具体实施方式
参照附图详细说明本发明的实施方式。另外，对图中的相同或相应的部分标注相同的标号并不重复其说明。
§1应用例
首先，参照图1，对应用本发明的场景的一例进行说明。图1是表示应用本实施方式的控制装置的控制系统的结构例的示意图。图1所示的例子的控制系统1包含：作为负载的控制对象2；用于测量控制对象2的位置的测量传感器20；1个或多个伺服机构；以及控制装置100。
图1所示的例子的控制对象2是能够使载置有工件的工作板3分别向相互垂直的两个方向移动的XY工作台。另外，控制对象2并不限定于XY工作台，只要是被定位在指定的位置(停止位置)的装置即可。
控制对象2除了工作板3之外，还具有第1底板4和第2底板7。
在第1底板4配置有使工作板3沿X方向任意移动的滚珠丝杠6。滚珠丝杠6与工作板3所包含的螺母卡合。
而且，第2底板7配置有使工作板3及第1底板4沿Y方向任意移动的滚珠丝杠9。滚珠丝杠9与第1底板4所包含的螺母卡合。
1个或多个伺服机构由用于使工作板3移动的1个或多个伺服电机300、和驱动伺服电机300的1个或多个伺服驱动器200构成。
1个或多个伺服电机300是用于使控制对象2的工作板3移动的电机，在图1所示的例子中，包含2个伺服电机300X、300Y。伺服电机300X与滚珠丝杠6的一端连结。伺服电机300X进行旋转驱动，由此工作板3所包含的螺母与滚珠丝杠6相对旋转，其结果，工作板3沿着X方向移动。伺服电机300Y与滚珠丝杠9的一端连结。伺服电机300Y进行旋转驱动，由此第1底板4所包含的螺母与滚珠丝杠9相对旋转，其结果，工作板3以及第1底板4沿Y方向移动。
在图1所示的例子中，1个或多个伺服驱动器200包含2个伺服驱动器200X、200Y。2个伺服驱动器200X、200Y分别驱动伺服电机300X、300Y。
伺服驱动器200基于来自控制装置100的指令值(指令位置或指令速度)和来自对应的伺服电机300的反馈值，生成针对对应的伺服电机300的驱动信号。伺服驱动器200通过将所生成的动作信号输出到伺服电机300来驱动伺服电机300。
例如，伺服驱动器200接收来自与对应的伺服电机300的旋转轴结合的编码器的输出信号作为反馈值。通过反馈值，能够检测伺服电机300的位置、旋转相位、旋转速度、累计转速等。
测量传感器20测量作为控制对象2的位置的工作板3的位置。测量传感器20将表示测量出的位置(以下，称为“测量位置”。)的测量值发送至控制装置100。在图1所示的例子中，测量传感器20包含2个测量传感器20X、20Y。测量传感器20X、20Y例如由激光位移计等位移传感器构成。
测量传感器20X测量工作板3的X方向的位置。具体而言，测量传感器20X测量工作板3的与X方向垂直的端面的位移。
测量传感器20Y测量工作板3的Y方向的位置。具体而言，测量传感器20Y测量工作板3的与Y方向垂直的端面的位移。
通常，若扩大测量传感器20的可测量范围，则测量分辨率降低。因此，为了在维持较高的测量分辨率的同时测量控制对象2(在此为工作板3)的可动范围的整个区域，需要准备昂贵的测量传感器。控制对象2的振动中特别需要抑制的振动是定位时的停止后的残留振动。因此，在使用比较价廉的测量传感器20的情况下，测量传感器20设置为能够在控制对象2的可动范围中的包含停止位置的规定范围(以下，也称为“测量对象范围”)内测量控制对象2的位置。
控制装置100与1个或多个伺服机构连接，向伺服机构输出操作量，使得控制对象2的控制量(在此为工作板3的位置)追随目标轨道。控制装置100与伺服驱动器200和测量传感器20连接，将与来自测量传感器20的测量值对应的操作量输出到伺服驱动器200，进行控制对象2的工作板3的位置控制。在控制装置100与伺服驱动器200之间，能够进行包含操作量的数据交换。在控制装置100与测量传感器20之间，能够进行包含测量值的数据交换。
图1示出控制装置100与伺服驱动器200之间经由现场总线101a连接、控制装置100与测量传感器20之间经由现场总线101b连接的结构例。但是，不限于这样的结构例，能够采用任意的通信手段。或者，也可以将控制装置100与伺服驱动器200及测量传感器20之间直接用信号线连接。进而，也可以采用将控制装置100与伺服驱动器200一体化的结构。只要实现以下说明的算法，则可以采用任意的安装方式。
控制装置100按照每个控制周期，进行使用了表示操作量与控制对象2的位置的关系的动态特性模型的模型预测控制，由此生成向伺服驱动器200输出的操作量。控制装置100将所生成的操作量作为指令值(指令位置或指令速度)输出到伺服驱动器200。
动态特性模型是伺服驱动器200、伺服电机300以及控制对象2的模型，由表示作为输入值的操作量与控制对象2的位置的关系的传递函数来规定。控制对象2的位置在图1所示的例子中是工作板3的位置。模型预测控制是以目标位置与控制对象2的位置的偏差成为最小的方式决定输入值的控制方法。
由于测量传感器20的测量对象范围是控制对象2的可动范围的一部分，因此根据控制对象2的位置，存在可获得测量值的情况和无法获得测量值的情况。因此，控制装置100在控制对象2的位置处于测量对象范围内的情况下，执行按照第1模式的模型预测控制，该第1模式使用测量值作为此次的控制周期中的控制对象2的控制量。另一方面，在控制对象2的位置处于测量对象范围外的情况下，控制装置100执行按照第2模式的模型预测控制，该第2模型不使用测量值，而使用动态特性模型的输出值(以下，称为“模型输出值”。)作为此次的控制周期中的控制对象2的控制量。这样，不论控制对象2的位置处于测量对象范围内还是测量对象范围外，都通过模型预测控制来生成操作量MV。因此，能够提高减振性以及对目标轨道的追随性。
进而，在第1模式中，也可以使用测量值来计算模型输出值。由此，即使在控制对象2的实际状态(例如振动频率)从动态特性模型发生了变动的情况下，也能够维持较高的减振性，能够提高针对控制对象2的状态变动的鲁棒性。
在第2模式中，不使用测量值，而使用模型输出值作为此次的控制周期中的控制对象2的控制量。在按照第2模式的模型预测控制中，也使用模型输出值来生成操作量，因此能够提高减振性以及对目标轨道的追随性。但是，与按照第1模式的模型预测控制相比，它们的精度降低。然而，在控制对象2的位置处于测量对象范围外的情况下，控制对象2处于朝向停止位置移动中的状态。因此，减振性以及对目标轨道的追随性的精度降低不会成为问题。
这样，根据本实施方式，根据控制对象2的位置是否处于测量对象范围内来切换第1模式和第2模式。因此，即使在只能得到控制对象的可动范围中的一部分测量值的情况下，也能够提高定位时的减振性。
§2具体例
接着，对本实施方式的控制装置100的具体例进行说明。
＜A.控制装置的硬件结构例＞
作为一例，本实施方式的控制装置100也可以使用PLC(可编程控制器)来安装。控制装置100也可以通过处理器执行预先保存的控制程序(包含后述的系统程序以及用户程序)来实现后述的处理。
图2是示出本实施方式的控制装置100的硬件结构的一例的示意图。如图2所示，控制装置100包含CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)或MPU(Micro-ProcessingUnit：微处理单元)等处理器102、芯片组104、主存储器106、闪存108、外部网络控制器116、存储卡接口118、现场总线控制器122、124、外部网络控制器116、存储卡接口118。
处理器102读出保存在闪存108中的系统程序110和用户程序112，在主存储器106中展开并执行，由此实现对控制对象的任意控制。处理器102通过执行系统程序110以及用户程序112，执行后述那样的对伺服驱动器200的操作量的输出、经由现场总线的数据通信所涉及的处理等。
系统程序110包含数据的输入输出处理、执行定时控制等用于提供控制装置100的基本功能的指令代码。作为其一部分，系统程序110包含模型创建库110A和模型预测控制库110B。这些库是一种程序模块，包含用于实现本实施方式的处理和功能的命令码。用户程序112根据控制对象任意地设计，包含用于执行序列控制的序列程序112A和用于执行运动控制的运动程序112B。在用户程序112中，定义分别利用模型创建库110A以及模型预测控制库110B的模型创建功能块以及模型预测控制功能块，由此实现本实施方式的处理以及功能。功能块是由控制装置100执行的程序的组件，是指将多次使用的程序元素模块化而得到的功能块。
芯片组104通过控制各组件来实现作为控制装置100整体的处理。
现场总线控制器122是与通过现场总线和控制装置100连接的各种设备之间交换数据的接口。作为这样的设备的一例，连接有测量传感器20。
现场总线控制器124是与通过现场总线和控制装置100连接的各种设备之间交换数据的接口。作为这样的设备的一例，连接有伺服驱动器200。
现场总线控制器122、124能够对所连接的设备赋予任意的指令，并且能够取得设备所管理的任意的数据。
外部网络控制器116控制各种通过有线/无线网络的数据交换。存储卡接口118构成为能够装卸存储卡120，能够对存储卡120写入数据，并从存储卡120读出数据。
＜B.伺服驱动器＞
对本实施方式的控制装置100所连接的伺服驱动器200的动作进行说明。伺服驱动器200接收从控制装置100输出的操作量作为指令值(指令位置或指令速度)，并且接收来自与伺服电机300结合的编码器的输出信号作为反馈值。伺服驱动器200使用指令值和反馈值，例如执行按照模型追随控制系统的控制环路的控制运算。
伺服驱动器200在接收指令位置作为指令值的情况下，执行按照位置控制环路及速度控制环路的控制运算。伺服驱动器200在接收指令速度作为指令值的情况下，执行按照速度控制环路的控制运算。
伺服驱动器200通过执行按照位置控制环路的控制运算，运算与由反馈值得到的伺服电机300的测量位置和从控制装置100提供的指令位置的位置偏差对应的指令速度。
伺服驱动器200通过执行按照速度控制环路的控制运算，运算与指令速度和根据反馈值得到的伺服电机300的测量速度的速度偏差对应的扭矩。伺服驱动器200输出表示电流指令的动作信号，该电流指令用于使伺服电机300产生运算出的扭矩。
＜C.控制装置的功能结构例＞
图3是表示本实施方式的控制装置的功能结构的示意图。如图3所示，控制装置100具有由模型创建模块130、轨道生成模块140、模型预测控制模块150构成的控制单元160。在图中，将模型预测控制记作“MPC(Model Predictive Control)”。另外，控制装置100具有分别与伺服驱动器200X、200Y对应的2个控制单元160。但是，在图3中，为了简化而仅描绘了2个控制单元160中的一方。
典型地，模型创建模块130通过在用户程序112中规定模型创建功能块，调用模型创建库110A来实现。即，模型创建模块130通过用户程序112所规定的功能块而被功能化。
模型创建模块130创建表示由伺服驱动器200及伺服电机300构成的模型对象400的动态特性的动态特性模型(以下，称为“动态特性模型P”。)。模型创建模块130将规定创建出的动态特性模型P的特性参数提供给模型预测控制模块150。
轨道生成模块140沿着预先指定的目标轨道，生成表示控制对象2的目标位置的目标值SP的时间序列数据，从该时间序列数据中依次读出与各控制周期对应的目标值SP，并输入到模型预测控制模块150。具体而言，轨道生成模块140从目标值SP的时间序列数据中提取从当前时刻起到作为将来的一定期间的预测时域(horizon)结束为止的多个目标值SP，并输入到模型预测控制模块150。
另外，控制装置100也可以预先存储规定目标轨道的目标值SP的时间序列数据。在该情况下，轨道生成模块140访问预先存储的目标值SP的时间序列数据。这样，规定目标轨道的每个控制周期的目标值SP可以以时间序列数据的形式预先保存，也可以按照预先确定的计算式依次计算关于各控制周期的目标值SP。
典型地，模型预测控制模块150通过在用户程序112中规定模型预测控制功能块，调用模型预测控制库110B来实现。即，模型预测控制模块150通过用户程序112所规定的功能块而被功能化。
模型预测控制模块150按照每个控制周期，进行使用了动态特性模型P的模型预测控制，由此生成向伺服驱动器200输出的操作量MV。模型预测控制模块150将生成的操作量MV作为指令值输出到伺服驱动器200。
模型预测控制模块150在控制对象2的位置处于测量传感器20的测量对象范围内的情况下，执行按照第1模式的模型预测控制，该第1模式使用测量值PVL作为此次的控制周期中的控制对象2的控制量。模型预测控制模块150在控制对象2的位置处于测量对象范围外的情况下，执行按照第2模式的模型预测控制，该第2模式不使用测量值PVL，而使用模型输出值作为此次的控制周期中的控制量。之后将叙述模型预测控制的具体例。
模型预测控制模块150在与此次的控制周期对应的目标值SP处于测量对象范围内的情况下，判断为控制对象2的位置处于测量对象范围内即可。或者，也可以是，模型预测控制模块150在此次的控制周期中的模型输出值处于测量对象范围内的情况下，判断为控制对象2的位置处于测量对象范围内。或者，也可以是，在处于无法测量到测量对象的距离的范围时测量传感器20输出错误信号的情况下，模型预测控制模块150在从测量传感器20接收到错误信号的期间，判断为控制对象2的位置处于测量对象范围外。
或者，也可以是，测量传感器20输出从下限值到上限值的测量值，在到测量对象的实际距离为下限值以下的情况下输出下限值，在到测量对象的实际的距离为上限值以上的情况下输出上限值。还可以是，模型预测控制模块150在来自这样的测量传感器20的测量值为上限值或下限值的情况下，判断为控制对象2的位置处于测量对象范围外，在不是这样的情况下，判断为控制对象2的位置处于测量对象范围内。
＜D.动态特性模型P＞
动态特性模型P通过事先的调试(tuning)来创建。如果能够在控制对象2的可动范围的整个区域中测量控制对象2的位置，则基于事先在调试中得到的操作量和控制对象2的测量位置来创建动态特性模型P。例如，通过准备能够在控制对象2的可动范围的可动范围的整个区域中测量控制对象2的位置的测量传感器来创建动作模型P。
动态特性模型P例如由以下的函数P(z-1)表示。函数P(z-1)是组合了无用时间要素和n次延迟要素的离散时间传递函数。在由函数P(z-1)表示的动态特性模型中，将无用时间要素的无用时间d以及n次延迟要素的变量a1～an和变量b1～bm决定为特性参数。无用时间是指从被赋予输入值起到出现与其相应的输出为止的时间(即，从输入到输出为止的延迟时间)。另外，对于次数n以及次数m，也可以决定最佳的值。
[数式1]
Figure BDA0003174989310000101
这样的特性参数的创建处理(即，系统识别)也可以通过最小二乘法等来执行。
具体而言，以使对y＝P(z-1)*u的变量u赋予了操作量(例如指令位置)时的输出y与控制对象2的测量位置一致的方式(即，误差成为最小的方式)，决定各个特性参数的值。
此时，也可以在先决定了无用时间d之后，生成使控制对象2的测量位置提前了该决定的无用时间d后的校正后的时间波形，基于该校正后的时间波形，决定去除了无用时间要素后的传递函数的剩余要素。
在无法测量控制对象2的可动范围的整个区域的情况下，只要组合表示操作量与伺服电机300的位置(以下，称为“电机位置”。)的关系的第1动态特性模型PCM、和表示电机位置与控制对象2的位置的关系的第2动态特性模型PML，创建动态特性模型P即可。即，按照P＝PCM*PML来创建动态特性模型P。
第1动态特性模型PCM是伺服驱动器200和伺服电机300的模型，由表示作为输入值的操作量和作为输出值的电机位置之间的关系的传递函数来规定。通常，在伺服电机300中设置编码器，根据来自编码器的反馈值连续且高精度地测量电机位置。因此，基于电机位置的测量值来创建第1动态特性模型。
第2动态特性模型PML是控制对象2的模型，由表示作为输入值的电机位置与作为输出值的控制对象2的位置之间的关系的传递函数来规定。电机位置与控制对象2的位置的关系依赖于控制对象2的振动。因此，第2动态特性模型PML是使用从控制对象2的振动波形中提取出的波形参数而创建的。波形参数包含控制对象2的振动频率(典型的是固有振动频率)以及振动波形中连续的2个波的振幅比中的至少振动频率。从测量传感器20的测量结果，容易地获得控制对象2的振动波形。
＜D-1.第1动态特性模型PCM的创建＞
对第1动态特性模型PCM的创建方法进行说明。第1动态特性模型PCM例如使用日本特开2018-120327(专利文献2)所公开的方法来创建。第1动态特性模型PCM通过执行模型预测控制之前的调试来创建。
图4是说明为了创建第1动态特性模型PCM而执行的调试的图。如图4所示，控制装置100的模型创建模块130将用于调试的预先设定的多个操作量(例如指令位置)依次输出到伺服驱动器200，取得伺服电机300的测量位置。根据从与伺服电机300的旋转轴结合的编码器输出的反馈值，确定伺服电机300的测量位置。模型创建模块130通过将操作量以及伺服电机300的测量位置分别作为识别输入以及识别输出，并使用识别输出相对于识别输入的关系来应用系统识别方法，能够创建第1动态特性模型PCM。
第1动态特性模型PCM例如由以下的函数PCM(z-1)表示。函数PCM(z-1)是组合了无用时间要素和n次延迟要素的离散时间传递函数。在由函数PCM(z-1)表示的第1动态特性模型中，将无用时间要素的无用时间d以及n次延迟要素的变量aCM1～aCMn和变量bCM1～bCMm决定为特性参数。另外，对于次数n以及次数m，也可以决定最佳的值。
[数式2]
Figure BDA0003174989310000121
这样的特性参数的创建处理(即，系统识别)也可以使用识别输入以及识别输出，通过最小二乘法等来执行。
具体而言，决定各个特性参数的值，使得对y＝PCM(z-1)＊u的变量u赋予了选择为识别输入的操作量时的输出y与选择为识别输出的伺服电机300的测量位置一致(即，使得误差成为最小)。
此时，也可以在先决定了无用时间d之后，生成使识别输出提前了该决定的无用时间d后的校正后的时间波形，基于该校正后的时间波形，决定除无用时间要素以外的传递函数的剩余要素。
也可以使次数n以及次数m不同，来计算多个第1动态特性模型。在该情况下，基于1个或多个评价基准，创建最佳的第1动态特性模型PCM。作为评价基准，包含表示识别的可靠性的程度(FIT率)、无用时间的妥当性等。另外，在定位系统模型的情况下，作为评价基准，也可以采用稳定增益的妥当性。
FIT率是表示对由计算出的特性参数规定的函数PCM(z-1)赋予了识别输入时计算出的输出、和实际收集到的识别输出之间的一致率的值。关于这样的FIT率，能够使用计算误差的公知的计算式。基本上，选择使得FIT率为最大(即，一致率最大/误差最小)的计算式即可。
另外，在第1动态特性模型的评价时，也可以排除表现出特异行为的模型。例如，在表现出不包含在控制对象的原本特性中的特异行为的情况下，认为并非表现出原本控制对象的原本特性，所以也可以作为存在问题的动态特性模型进行排除。
这样，在第1动态特性模型PCM的计算过程中，也可以计算使特性参数不同的多个第1动态特性模型。在该情况下，也可以使用上述的FIT率来创建多个第1动态特性模型中的1个第1动态特性模型。
＜D-2.第2动态特性模型PML的创建＞
接着，对第2动态特性模型PML的创建方法进行说明。使用在执行模型预测控制之前的调试中取得的控制对象2的振动波形来创建第2动态特性模型PML。例如，在为了创建第1动态特性模型PCM而执行的调试中，测量传感器20测量刚停止了伺服电机300的旋转后的工作板3的振动波形。
图5是表示振动波形的一例的图。在图5中示出将横轴设为时间、将纵轴设为控制对象2的位置(图中记作“负载位置”)的曲线图。即使伺服电机300的旋转停止，控制对象2的工作板3也振动。工作板3按照与控制对象2对应的固有振动频率进行振动。因此，控制装置100的模型创建模块130根据振动波形提取振动周期T0’，按照f0＝1/T0’计算振动频率f0。或者，模型创建模块130也可以考虑衰减的影响，按照以下的[数式3]来计算振动频率f0。ζ表示振动的衰减比。
[数式3]
Figure BDA0003174989310000131
模型创建模块130使用计算出的振动频率f0来创建第2动态特性模型PML。第2动态特性模型PML例如用以下的[数式4]的函数PML(s)来表示。在函数PML(s)中，ω0是控制对象2的振动角频率，用ω0＝2πf0来表示。模型创建模块130能够使用计算出的振动频率f0来创建用[数式4]表示的函数PML(s)。
[数式4]
Figure BDA0003174989310000132
第2动态特性模型PML例如可以由以下的[数式5]或者[数式6]的函数PML(s)来表示。
[数式5]
Figure BDA0003174989310000133
[数式6]
Figure BDA0003174989310000141
ζ使用对数衰减率δ，用ζ＝δ/(δ2+4π2)1/2表示。对数衰减率δ使用振动波形中连续的2个波的振幅比Adr和自然对数ln，用δ＝ln(1/Adr)表示。振幅比Adr由图6所示的振动波形中连续的2个波的振幅An、An+1之比An+1/An来表示。因此，模型创建模块130从振动波形中提取振幅比Adr以及振动频率f0，并能够使用提取出的振幅比Adr以及振动频率f0来创建[数式5]或者[数式6]的函数PML(s)。
模型创建模块130将[数式4]～[数式6]的函数PML(s)变换(Z变换)为离散时间形式，创建变换后的函数PML(z-1)所示的第2动态特性模型PML即可。
＜E.模型预测控制的处理例＞
＜E-1.模型预测控制的整体＞
模型预测控制模块150通过向上述由[数式1]的函数P(z-1)表示的动态特性模型P输入到此次的控制周期k为止生成的操作量MVk、···、MVk-m+1，运算控制周期k+d+1中的模型输出值YMk+d+1。在此，如上所述，m是由动态特性模型P规定的次数。另外，控制周期k+d+1是从此次的控制周期k起到经过了动态特性模型所规定的无用时间d+1的未来的控制周期。
如上述那样求出的模型输出值YLk+d+1用于生成下次的控制周期中的操作量MV。此时，运算出的数据移位1个控制周期，以为下次的控制周期做准备。例如，如上述那样求出的模型输出值YLk+d+1在下次的控制周期中被用作模型输出值YLk+d。换言之，在此次的控制周期k中，在上次的控制周期中运算出的模型输出值YLk+d+1被用作模型输出值YLk+d。模型预测控制模块150通过使用了在上次的控制周期中已运算的该模型输出值YLk+d和动态特性模型P的模型预测控制，生成在此次的控制周期k中向伺服驱动器200输出的操作量MVk。
模型预测控制模块150例如按照以下那样的运算方法，生成在此次的控制周期k中向伺服驱动器200输出的操作量MVk。
模型预测控制模块150在创建动态特性模型P后，进行阶跃响应计算和斜坡响应计算。
所谓阶跃响应计算，是求出在输出为0的初始状态下继续最大的输入(阶跃输入)时的动态特性模型P的输出(以下，也称为“阶跃输出Ys”。)的计算。在以下的说明中，将从阶跃输入的输入开始起的经过时间i(＞无用时间d)内的阶跃输出Ys设为Ys(i)。
所谓斜坡响应计算，是求出在输出为0的初始状态下进行了按照每个控制周期各增加一级的输入(斜坡输入)时的动态特性模型P的输出(以下，也称为“斜坡输出Yr”。)的计算。在以下的说明中，将从斜坡输入的输入开始起的经过时间i(＞无用时间d)内的斜坡输出Yr设为Yr(i)。
进而，模型预测控制模块150进行将模型输出值YLk+d设为指定状态的自由响应计算。所谓响应计算，是在控制周期k+d中处于指定状态的动态特性模型P中，求出将此次的控制周期k以后的输入设为0时的、控制周期k+d后的控制周期k+d+H中的动态特性模型的输出Yf(k+d+H)的计算。
模型预测控制模块150将阶跃输出以及斜坡输出的大小分别设为ks以及kr，按照以下的式子运算控制周期k+d后的控制周期k+d+H中的动态特性模型P的输出MHk+d+H。
MHk+d+H＝ks＊Ys(H)+kr＊Yr(H)+Yf(k+d+H)
模型预测控制模块150求出ks以及kr，使得MHk+d+H与模型输出值YLk+d的差分ΔMH、和控制周期k+d+H中的参考轨道上的位置RHk+d+H与此次的控制周期k中的控制对象2的控制量PVk(在此为工作板3的位置)的差分ΔPH一致。参考轨道由控制周期k+d+H中的目标值SPk+d+H、此次的控制周期k中的目标值SPk和控制量PVk、以及预先确定的参考轨道时间常数Tr来确定。为了求出2个变量ks和kr，设定2个值作为H。设定为H的2个值是比控制对象2的振动周期短的时间，例如是振动周期的1/8以及振动周期的1/4。然后，通过求解由该2个值各自的式子构成的联立方程式，来运算变量ks、kr。
模型预测控制模块150生成如上述那样求出的ks与阶跃输入的乘积，作为在此次的控制周期k中向伺服驱动器200输出的操作量MVk即可。
＜E-2.按照第1模式和第2模式的模型预测控制的运算方法＞
如上所述，模型预测控制模块150以ΔMH与ΔPH一致的方式求出ks和kr。为了求出ks和kr，需要确定此次的控制周期k中的控制对象2的控制量PVk。
在控制对象2的位置处于测量对象范围内的情况下，控制装置100从测量传感器20取得表示控制对象2的测量位置的测量值PVL。因此，模型预测控制模块150执行按照第1模式的模型预测控制，该第1模式使用测量值PVL作为此次的控制周期k中的控制对象2的控制量PVk。
另一方面，在控制对象2的位置处于测量对象范围外的情况下，控制装置100无法使用来自测量传感器20的测量值PVL。因此，模型预测控制模块150执行按照第2模式的模型预测控制，该第2模式不使用测量值PVL，而使用模型输出值YLk作为此次的控制周期k中的控制对象2的控制量PVk。
并且，如上所述，模型预测控制模块150通过向上述由[数式1]的函数P(z-1)表示的动态特性模型P输入到此次的控制周期k为止生成的操作量MVk、···、MVk-m+1，运算控制周期k+d+1中的模型输出值YMk+d+1。该模型输出值YLk+d+1用于在下次的控制周期中生成操作量MV。即，模型预测控制模块150为了生成下次的控制周期中的操作量MV，运算从此次的控制周期起经过了动态特性模型所规定的无用时间的未来的控制周期中的模型输出值YLk+d+1。
在运算某个控制周期中的模型输出值YLk+d+1时，模型预测控制模块150需要将该控制周期之前的控制周期中的控制对象2的位置输入到动态特性模型P。在按照第1模式的模型预测控制中，控制装置100从测量传感器20取得测量值PVL。因此，模型预测控制模块150使用从测量传感器20取得的测量值PVL来运算模型输出值YLk+d+1。即，按照第1模式的模型预测控制应用复位模型类型。
另一方面，在按照第2模式的模型预测控制中，控制装置100无法从测量传感器20取得测量值PVL。因此，模型预测控制模块150使用在到此为止的控制周期中运算出的模型输出值YL来运算模型输出值YLk+d+1。即，按照第2模式的模型预测控制应用独立模型类型。
以下，对复位模型类型以及独立模型类型的运算方法的一个例子进行说明。另外，以下，对动态特性模型P由以下的[数式7]所示的函数P(z-1)表示时的例子进行说明。
[数式7]
Figure BDA0003174989310000161
＜E-2-1.按照独立模型类型的模型输出值YLk+d+1的运算例＞
在独立模型类型中，模型预测控制模块150通过将在上次的控制周期中运算出的模型输出值YLk+d和在此次的控制周期k中生成的操作量MVk输入到动态特性模型P，按照以下的式子运算控制周期k+d+1中的模型输出值YLk+d+1即可。
YLk+d+1＝-a1YLk+d+b1MVk
＜E-2-2.按照复位模型类型的模型输出值YLk+d+1的第1运算例＞
在复位模型类型中，从测量传感器20反馈表示此次的控制周期k中的控制对象2的测量位置的测量值PVLk。模型预测控制模块150使用测量值PVLk作为此次的控制周期k中的控制对象2的控制量PVk，按照以下的式子，更新下次的控制周期k+1的模型输出值YLk+1。
YLk+1＝-a1PVLk+b1MVk-d
MVk-d是在之前的控制周期k-d中生成的操作量。
由于下次的控制周期k+1以后的测量位置还未被测量，所以模型预测控制模块150使用已运算的模型输出值YL，按照以下的式子，更新到控制周期k+d为止的模型输出值YL。
YLk+2＝-a1YLk+1+b1MVk-d+1
···
YLk+d＝-a1YLk+d-1+b1MVk-1
模型预测控制模块150通过将按照上述的式子更新的模型输出值YLk+d和在此次的控制周期k生成的操作量MVk输入到动态特性模型P，按照以下的式子运算控制周期k+d+1中的模型输出值YLk+d+1即可。
YLk+d+1＝-a1YLk+d+b1MVk
＜E-2-3.按照复位模型类型的模型输出值YLk+d+1的第2运算例＞
在第1运算例中，在测量值PVLk中包含噪声成分的情况下，在更新模型输出值YLk+1～YLk+d时，该噪声成分被放大。因此，模型预测控制模块150为了抑制测量时的噪声成分的放大，也可以通过以下的运算方法来更新模型输出值YLk～YLk+d。
模型预测控制模块150运算此次的控制周期k中的模型输出值YLk与测量值PVLk的差分值来作为校正量CL。即，校正量CL由CL＝PVLk-YLk表示。
接下来，模型预测控制模块150将模型输出值YLk更新为测量值PVLk，并且使用校正量CL按照以下的式子来更新到控制周期k+d为止的模型输出值YL。
YLk+1←YLk+1+CL
···
YLk+d←YLk+d+CL
另外，模型输出值YLk+1～YLk+d在之前的控制周期k-d～控制周期k-1中被分别运算出。即，模型预测控制模块150以校正量CL对直到上次的控制周期为止运算出的模型输出值YLk+1～YLk+d进行校正。
模型预测控制模块150通过使用按照上述式子校正后的模型输出值YLk+d和动态特性模型P，来运算控制周期k+d+1中的模型输出值YLk+d+1。具体而言，模型预测控制模块150通过将模型输出值YLk+d和在此次的控制周期k生成的操作量MVk输入到动态特性模型P，按照以下的式子运算控制周期k+d+1中的模型输出值YLk+d+1即可。
YLk+d+1＝-a1YLk+d+b1MVk
＜E-3.使用了第1动态特性模型PCM和第2动态特性模型PML的模型输出的运算方法＞
在动态特性模型P被分割为第1动态特性模型PCM和第2动态特性模型PML的情况下，也可以使用第1动态特性模型PCM和第2动态特性模型PML来运算动态特性模型P的输出。
图6是表示使用了第1动态特性模型PCM和第2动态特性模型PML的模型输出值YL的运算方法例的图。如图6所示，模型预测控制模块150通过将操作量MV输入到第1动态特性模型PCM，能够运算与该操作量MV相应的伺服电机300的位置的预测值YM。模型预测控制模块150通过将运算出的预测值YM输入到第2动态特性模型PML，能够运算与该预测值YM对应的模型输出值YL。
模型预测控制模块150为了提高模型输出值YL的预测精度，也可以接收从伺服电机300反馈的表示伺服电机300的测量位置的测量值PVM，使用测量值PVM校正预测值YM。
例如，模型预测控制模块150运算此次的控制周期k中的预测值YMk与测量值PVMk的差分值来作为校正量CM。即，校正量CM由CM＝PVMk-YMk表示。另外，此次的控制周期k中的预测值YMk在之前的控制周期k-d-1中被运算出。
接下来，模型预测控制模块150将预测值YMk校正为测量值PVMk，并且使用校正量CM，按照以下的式子更新到控制周期k+d为止的预测值YM。
YMk+1←YMk+1+CM
···
YMk+d←YMk+d+CM
另外，预测值YMk+1～YMk+d分别在之前的控制周期k-d～控制周期k-1中被运算出。
模型预测控制模块150使用更新后的预测值YMk+d、在此次的控制周期k生成的操作量MVk以及第1动态特性模型PCM，运算控制周期k+d+1中的电机位置的预测值YMk+d+1即可。例如，第1动态特性模型PCM用以下的[数式8]的函数PCM(z-1)来表示。
[数式8]
Figure BDA0003174989310000191
在第1动态特性模型PCM用[数式8]的函数PCM(z-1)表示的情况下，模型预测控制模块150按照YMk+d+1＝-aCM1YMk+d+bCM1MVk来运算预测值YMk+d+1即可。
如上述那样，模型预测控制模块150对预测值YM进行校正。另外，模型预测控制模块150对预测值YM的校正方法并不限定于上述的校正方法，也可以使用其他的运算方法。
模型预测控制模块150使用校正后的预测值YM和第2动态特性模型PML，运算模型输出值YL。例如，第2动态特性模型PML用以下的[数式9]的函数PML(z-1)来表示。
[数式9]
Figure BDA0003174989310000192
在第2动态特性模型PML用[数式9]的函数PML(z-1)表示的情况下，模型预测控制模块150按照YLk+d+1＝-aML1YLk+d-aML2YLk+d-1+bML1YMk+d+1+bML2YMk+d来运算控制周期k+d+1中的模型输出值YLk+d+1即可。
＜F.处理步骤＞
接着，对本实施方式的控制装置100进行的电机控制的处理步骤概要进行说明。图7是表示本实施方式的控制系统所进行的电机控制的处理步骤的流程图。图7所示的步骤也可以通过控制装置100的处理器102执行控制程序(包含图2所示的系统程序110以及用户程序112)来实现。
首先，控制装置100使伺服驱动器200执行调试，基于通过调试得到的识别输入以及识别输出，创建第1动态特性模型PCM(步骤S1)。接下来，控制装置100使用从调试时所得到的控制对象2的振动波形得到的波形参数(振动频率以及振幅比)来创建第2动态特性模型PML(步骤S2)。另外，也可以代替步骤S1和S2，将调试时得到的操作量和控制对象2的位置测量值分别作为识别输入和识别输出来创建动态特性模型P。
接着，控制装置100判断控制对象2的位置是否在测量传感器20的测量对象范围内(步骤S3)。该判断方法的例子如在<C.控制装置的功能结构例>中说明的那样。
在控制对象2的位置处于测量对象范围外的情况下(步骤S3：否)，控制装置100通过进行按照第2模式的模型预测控制，生成操作量MV(步骤S4)。即，使用模型输出值YLk作为此次的控制周期k中的控制对象2的控制量PVk来执行模型预测控制。
在步骤S4之后，控制装置100按照独立模型类型，运算从此次的控制周期k起经过了无用时间d+1的控制周期k+d+1中的模型输出值YLk+d+1(步骤S5)。即，控制装置100使用在上次的控制周期之前运算出的模型输出值YL，运算模型输出值YLk+d+1。
在控制对象2的位置处于测量对象范围内的情况下(步骤S3：是)，控制装置100通过进行按照第1模式的模型预测控制，生成操作量MV(步骤S6)。即，使用来自测量传感器20的测量值PVL作为此次的控制周期k中的控制对象2的控制量PVk来执行模型预测控制。
在步骤S6之后，控制装置100按照复位模型类型，运算从此次的控制周期k起经过了无用时间d+1的控制周期k+d+1中的模型输出值YLk+d+1(步骤S7)。即，控制装置100使用从测量传感器20反馈的测量值PVL，运算模型输出值YLk+d+1。
在下次的控制周期中生成操作量MV时，在步骤S5或者步骤S7中运算出的模型输出值YLk+d+1被利用为模型输出值YLk+d。
接着，控制装置100判断是否到达了目标轨道的终点(步骤S8)。在未到达目标轨道的终点的情况下(步骤S8：否)，在下次的控制周期中，重复步骤S3～S7的处理。
在到达了目标轨道的终点的情况下(步骤S8：是)，电机控制的处理结束。通过以上那样的处理步骤，实现本实施方式的控制装置100的电机控制。另外，步骤S1～S8的处理针对所指定的各个伺服驱动器200而实施。因此，有时也针对多个伺服驱动器200的各个并行地执行步骤S1～S8的处理。
＜G.按照第3模式的控制＞
如上所述，测量传感器20设置成能够测量包含控制对象2的停止位置的规定范围(测量对象范围)。因此，在将控制对象2定位在停止位置时，控制对象2的位置通常从测量对象范围外移动到可测量范围内。因此，在控制装置100中执行的模型预测控制从按照第2模式的模型预测控制切换为按照第1模式的模型预测控制。在从按照第2模式的模型预测控制切换为按照第1模式的模型预测控制时，向伺服驱动器200输出的操作量MV可能产生急剧的变动，从而导致伺服电机300的扭矩大幅变动。因此，控制装置100为了抑制这样的扭矩的变动，优选在从按照第2模式的模型预测控制切换为按照第1模式的模型预测控制时，进行按照以下的第3模式的控制。
按照第3模式的控制仅执行预先确定的N个控制周期。N是2以上的整数。
在第3模式中，模型预测控制模块150求出通过按照第1模式的模型预测控制而生成的操作量(以下，称为“第1操作量MV1”)与通过按照第2模式的模型预测控制而生成的操作量(以下，称为“第2操作量MV2”)之间的差分ΔMV(ΔMV＝MV1-MV2)。
模型预测控制模块150以在N个控制周期之间消除差分ΔMV的方式，生成向伺服驱动器200输出的操作量MV。
例如，模型预测控制模块150将差分ΔMV分割为N个分割量(＝ΔMV/N)。模型预测控制模块150在第3模式的第n个(n为1～N的整数)控制周期中，生成从第1操作量MV1中减去分割量ΔMV/N与N-n的相乘量(＝(N-n)×ΔMV/N)而得到的量，作为向伺服驱动器200输出的操作量MV。
由此，在从按照第2模式的模型预测控制切换为按照第1模式的模型预测控制时，输出到伺服驱动器200的操作量MV的急剧变动被抑制，从而能够抑制伺服电机300的扭矩变动。
＜H.仿真结果＞
进行了用于验证本实施方式的控制装置100的效果的仿真。
图8是表示电机控制的仿真结果的一例的图。图8示出了以下条件下的仿真结果。
·使用振动频率为9.2Hz时的第2动态特性模型PML。
·将控制对象的固有振动频率设为9.2Hz。
·将目标轨道设为以400ms使控制对象移动100mm的轨道。
·将伺服驱动器的位置控制方式设为模型追踪型2自由度控制方式，将模型追踪型2自由度控制方式的控制参数在任意仿真中均设为相同的值。
图9是表示电机控制的仿真结果的另一例的图。在图9中，示出除了将控制对象的固有振动频率设为从9.2Hz变动-10％而得到的8.28Hz这一点之外都与图8为相同条件下的仿真结果。
在图8和图9中，在最左列的(a)，示出始终进行按照不使用测量值PVL的第2模式的模型预测控制时的仿真结果。在图8和图9中，在从左起的第2列(b)，示出始终进行按照使用测量值PVL的第1模式的模型预测控制时的仿真结果。在图8和图9中，在从左起的第3列(c)，示出仅在从停止位置±2mm的范围内按照第1模式进行模型预测控制、在该范围外进行按照第2模式的模型预测控制时的仿真结果。在图9的最右列(d)，仅在从停止位置±2mm的范围内进行按照第1模式的模型预测控制，在该范围外进行按照第2模式的模型预测控制。并且，示出在从第2模式切换为第1模式时进行了按照第3模式的控制时的仿真结果。另外，将进行按照第3模式的控制的控制周期的个数设为33。
在图8和图9中，在各列的第1段示出目标位置的时间变化即目标轨道。目标轨道是5次轨道。在第2段，示出目标位置与控制对象的位置(负载位置)的时间变化。在第3段，示出目标位置与负载位置的偏差的时间变化。在第4段，示出施加于伺服电机的扭矩的时间变化。从第1段到第3段的曲线图的横轴刻度与第4段的曲线图的横轴刻度相同。
如图8所示，在控制对象以与第2动态特性模型PML中的振动频率相同的频率进行振动的情况下，不论使用第1模式和第2模式中的哪个模式，都确认到显示出高减振性。另外，在控制对象的移动中(即，0～400ms的期间)中，(a)以及(c)中的针对目标轨道的追随性比(b)中的针对目标轨道的追随性差。这被认为是因为不能根据测量位置来修正由动态特性模型中的模型误差引起的预测误差。
如图9所示，在控制对象以从第2动态特性模型PML中的振动频率发生了变动的频率进行振动的情况下，仅在不使用控制对象的测量位置的第2模式的模型预测控制中，确认出在停止后振动(参考图9的(a))。这是因为动态特性模型未高精度地对控制对象进行建模。
然而，如图9的(b)所示，通过进行使用控制对象的测量位置的第1模式的模型预测控制，停止后的振动被抑制。这是因为根据控制对象的测量位置对动态特性模型与实际控制对象的差异进行了适当修正。
如图9的(c)所示，即使仅在停止位置的附近范围进行了第1模式的模型预测控制，也与图9的(b)同样地抑制了停止后的振动。根据该结果可知，通过使用能够在包含停止位置的规定范围内测量控制对象的位置的测量传感器20，能够维持较高的减振性以及对目标轨道的追随性，并且可确认出相对于控制对象的振动频率变动的鲁棒性提高。
但是，在图9的(c)中，在从第2模式向第1模式切换时扭矩大幅变动。然而，如图9的(d)所示，确认出：通过在从第2模式向第1模式切换时进行按照第3模式的控制，能够充分地抑制扭矩的变动幅度。
＜I.优点＞
如上所述，本实施方式的控制装置100与对控制对象2进行驱动的伺服机构连接，向伺服机构输出操作量MV，使得控制对象2的控制量追随目标轨道。控制装置100具有现场总线控制器122和处理器102，该现场总线控制器122是用于取得来自测量控制对象2的位置的测量传感器20的测量值PVL的取得部。处理器102通过进行使用了表示操作量MV与控制对象2的位置的关系的动态特性模型P的模型预测控制，生成向伺服驱动器200输出的操作量MV。测量传感器20能够在包含控制对象2的停止位置的规定范围(测量对象范围)，测量控制对象2的位置。处理器102在控制对象2的位置处于测量对象范围内的情况下，执行按照第1模式的模型预测控制，该第1模式使用测量值PVL作为此次的控制周期中的控制量PV。处理器102在控制对象2的位置处于测量对象范围外的情况下，执行按照第2模式的模型预测控制，该第2模式不使用测量值PVL，而使用模型输出值YL作为此次的控制周期中的控制量PV。
根据上述结构，不论控制对象2的位置处于测量对象范围内还是测量对象范围外，都通过模型预测控制生成操作量MV。因此，能够提高减振性以及对目标轨道的追随性。
进而，在控制对象2的位置处于测量对象范围内的情况下(即第1模式的情况下)，使用测量值PVL来运算模型输出值YL。由此，即使在控制对象2的状态从动态特性模型发生了变动的情况下，也能够维持较高的减振性，能够提高针对控制对象2的状态变动的鲁棒性。
这样，根据本实施方式，即使在仅能够得到控制对象2的可动范围中的一部分测量位置的情况下，也能够提高定位时的减振性。
＜J.附记＞
如上所述，本实施方式和变形例包含如下的公开。
(结构1)
一种控制装置(100)，其与对控制对象(2)进行驱动的伺服机构(200、300)连接，向所述伺服机构(200、300)输出操作量，使得控制对象(2)的控制量追随目标轨道，该控制装置(100)具有：
取得部(122)，其用于从测量所述控制对象(2)的位置的测量传感器(20)取得测量值；以及
控制部(102、150)，其按照每个控制周期，进行使用了表示所述操作量与所述控制对象(2)的位置的关系的动态特性模型的模型预测控制，由此生成向所述伺服机构(200、300)输出的所述操作量，
所述测量传感器(20)能够在包含所述控制对象(2)的停止位置的规定范围内测量所述控制对象(2)的位置，
所述控制部(102、150)在所述控制对象(2)的位置处于所述规定范围内的情况下，执行按照第1模式的模型预测控制，该第1模式使用所述测量值作为此次的控制周期中的所述控制量，
所述控制部(102、150)在所述控制对象(2)的位置处于所述规定范围外的情况下，执行按照第2模式的模型预测控制，该第2模式使用所述动态特性模型的输出值作为所述此次的控制周期中的所述控制量。
(结构2)
在结构1所记载的控制装置(100)中，
所述控制部(102、150)在所述第1模式中，使用所述测量值来运算所述动态特性模型的输出值。
(结构3)
在结构2所记载的控制装置(100)中，
所述控制部(102、150)在所述第1模式中，以所述此次的控制周期中的所述测量值与所述此次的控制周期中的所述模型输出值的差分量，对直到所述此次的控制周期为止运算出的所述模型输出值进行校正。
(结构4)
在结构1至3中的任意一项所记载的控制装置(100)中，
所述控制部(102、150)在所述控制对象(2)的位置从所述规定范围外变化到所述规定范围内的情况下，进行N个所述控制周期的、按照第3模式的控制，
N是2以上的整数，
所述控制部(102、150)在所述第3模式中，以使得在所述N个控制周期之间，消除通过按照所述第1模式的模型预测控制而生成的第1操作量与通过按照所述第2模式的模型预测控制而生成的第2操作量的差分的方式，生成向所述伺服机构输出的所述操作量。
(结构5)
在结构1至4中的任意一项所记载的控制装置(100)中，
所述伺服机构(200、300)包含：伺服电机(300)，其用于使所述控制对象(2)移动；以及伺服驱动器(200)，其对所述伺服电机(300)进行驱动，
所述动态特性模型包含：第1动态特性模型，其表示所述操作量与所述伺服电机(300)的位置的关系；以及第2动态特性模型，其表示所述伺服电机(300)的位置与所述控制对象(2)的位置的关系，
所述第2动态特性模型是使用从所述控制对象(2)的振动波形中得到的波形参数而生成的，
所述波形参数包含振动频率以及所述振动波形中连续的2个波的振幅比中的至少所述振动频率。
(结构6)
一种控制程序(110、112)，其用于实现控制装置(100)，该控制装置(100)与对控制对象(2)进行驱动的伺服机构(200、300)连接，向所述伺服机构(200、300)输出操作量，使得控制对象(2)的控制量追随目标轨道，所述控制程序(110、112)使计算机执行以下步骤：
从测量所述控制对象(2)的位置的测量传感器(20)取得测量值；以及
按照每个控制周期，进行使用了表示所述操作量与所述控制对象(2)的位置的关系的动态特性模型的模型预测控制，由此生成向所述伺服机构(200、300)输出的所述操作量，
所述测量传感器(20)能够在包含所述控制对象(2)的停止位置的规定范围内测量所述控制对象的位置，
运算所述模型输出值的步骤包含以下步骤：
在所述控制对象(2)的位置处于所述规定范围内的情况下，执行按照第1模式的模型预测控制，该第1模式使用所述测量值作为此次的控制周期中的所述控制量；以及
在所述控制对象(2)的位置处于所述规定范围外的情况下，执行按照第2模式的模型预测控制，该第2模式使用所述动态特性模型的输出值作为所述此次的控制周期中的所述控制量。
对本发明的实施方式进行了说明，但应该认为此次公开的实施方式在所有方面都是例示而不是限制性的。本发明的范围由权利要求书表示，意在包含与权利要求书等同的意思以及范围内的所有变更。
标号说明
1：控制系统；2：控制对象；3：工作板；4：第1底板；6、9：滚珠丝杠；7：第2底板；20、20X、20Y：测量传感器；100：控制装置；101a、101b：现场总线；102：处理器；104：芯片组；106：主存储器；108：闪存；110：系统程序；110A：模型创建库；110B：模型预测控制库；112：用户程序；112A：序列程序；112B：运动程序；116：外部网络控制器；118：存储卡接口；120：存储卡；122、124：现场总线控制器；130：模型创建模块；140：轨道生成模块；150：模型预测控制模块；160：控制单元；200、200X、200Y：伺服驱动器；300、300X、300Y：伺服电机；400：模型对象。

Claims (6)

1.一种控制装置，其与对控制对象进行驱动的伺服机构连接，向所述伺服机构输出操作量，使得控制对象的控制量追随目标轨道，该控制装置具有：
取得部，其用于从测量所述控制对象的位置的测量传感器取得测量值；以及
控制部，其按照每个控制周期，进行使用了表示所述操作量与所述控制对象的位置的关系的动态特性模型的模型预测控制，由此生成向所述伺服机构输出的所述操作量，
所述测量传感器能够在包含所述控制对象的停止位置的规定范围内测量所述控制对象的位置，
所述控制部在所述控制对象的位置处于所述规定范围内的情况下，执行按照第1模式的模型预测控制，该第1模式使用所述测量值作为此次的控制周期中的所述控制量，
所述控制部在所述控制对象的位置处于所述规定范围外的情况下，执行按照第2模式的模型预测控制，该第2模式使用所述动态特性模型的输出值作为所述此次的控制周期中的所述控制量。
2.根据权利要求1所述的控制装置，其中，
所述控制部在所述第1模式中，使用所述测量值来运算所述动态特性模型的输出值。
3.根据权利要求2所述的控制装置，其中，
所述控制部在所述第1模式中，以所述此次的控制周期中的所述测量值与所述此次的控制周期中的所述动态特性模型的输出值的差分量，对直到所述此次的控制周期为止运算出的所述动态特性模型的输出值进行校正。
4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的控制装置，其中，
所述控制部在所述控制对象的位置从所述规定范围外变化到所述规定范围内的情况下，进行N个控制周期的、按照第3模式的控制，
N是2以上的整数，
所述控制部在所述第3模式中，以使得在所述N个控制周期之间，消除通过按照所述第1模式的模型预测控制而生成的第1操作量与通过按照所述第2模式的模型预测控制而生成的第2操作量的差分的方式，生成向所述伺服机构输出的所述操作量。
5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的控制装置，其中，
所述伺服机构包含：伺服电机，其用于使所述控制对象移动；以及伺服驱动器，其对所述伺服电机进行驱动，
所述动态特性模型包含：第1动态特性模型，其表示所述操作量与所述伺服电机的位置的关系；以及第2动态特性模型，其表示所述伺服电机的位置与所述控制对象的位置的关系，
所述第2动态特性模型是使用从所述控制对象的振动波形中得到的波形参数而生成的，
所述波形参数包含振动频率以及所述振动波形中连续的2个波的振幅比中的至少所述振动频率。
6.一种控制程序，其用于实现控制装置，该控制装置与对控制对象进行驱动的伺服机构连接，向所述伺服机构输出操作量，使得所述控制对象的控制量追随目标值，所述控制程序使计算机执行以下步骤：
从测量所述控制对象的位置的测量传感器取得测量值；以及
按照每个控制周期，进行使用了表示所述操作量与所述控制对象的位置的关系的动态特性模型的模型预测控制，由此生成向所述伺服机构输出的所述操作量，
所述测量传感器能够在包含所述控制对象的停止位置的规定范围内测量所述控制对象的位置，
生成所述操作量的步骤包含以下步骤：
在所述控制对象的位置处于所述规定范围内的情况下，执行按照第1模式的模型预测控制，该第1模式使用所述测量值作为此次的控制周期中的所述控制量；以及
在所述控制对象的位置处于所述规定范围外的情况下，执行按照第2模式的模型预测控制，该第2模式使用所述动态特性模型的输出值作为所述此次的控制周期中的所述控制量。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102390568B1 (ko) * 2022-01-04 2022-04-27 승화프린팅(주) 라벨용 포장필름 ,그의 제조방법 및 그를 부착한 포장필름

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002297241A (ja) * 2001-03-30 2002-10-11 Toshiba Mach Co Ltd 位置制御装置および位置制御方法
JP2003029845A (ja) * 2001-07-19 2003-01-31 Yaskawa Electric Corp 外乱の内部モデルを用いた位置決め制御装置
JP2006072700A (ja) * 2004-09-02 2006-03-16 Fujitsu Ten Ltd モデル予測制御装置及びモデル予測制御方法
CN101930214A (zh) * 2009-06-24 2010-12-29 株式会社日立制作所 控制装置、控制模型调整装置及控制模型调整方法
TW201217919A (en) * 2010-04-26 2012-05-01 Mitsubishi Electric Corp Servo control apparatus
JP2017022933A (ja) * 2015-07-14 2017-01-26 株式会社ミツトヨ フィードバック制御装置
CN106950849A (zh) * 2015-11-30 2017-07-14 欧姆龙株式会社 控制参数调整装置、控制参数调整方法
CN107014579A (zh) * 2017-06-02 2017-08-04 上海华龙测试仪器股份有限公司 一种电液伺服模拟地震振动台
CN107797447A (zh) * 2016-09-05 2018-03-13 欧姆龙株式会社 模型预测控制装置、控制方法、信息处理程序及记录介质
CN108345270A (zh) * 2017-01-24 2018-07-31 欧姆龙株式会社 控制装置、控制程序及控制系统
JP2018151899A (ja) * 2017-03-14 2018-09-27 オムロン株式会社 制御装置、制御プログラムおよび制御システム

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4081336B2 (ja) 2002-09-27 2008-04-23 オークマ株式会社 サーボ制御装置

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002297241A (ja) * 2001-03-30 2002-10-11 Toshiba Mach Co Ltd 位置制御装置および位置制御方法
JP2003029845A (ja) * 2001-07-19 2003-01-31 Yaskawa Electric Corp 外乱の内部モデルを用いた位置決め制御装置
JP2006072700A (ja) * 2004-09-02 2006-03-16 Fujitsu Ten Ltd モデル予測制御装置及びモデル予測制御方法
CN101930214A (zh) * 2009-06-24 2010-12-29 株式会社日立制作所 控制装置、控制模型调整装置及控制模型调整方法
TW201217919A (en) * 2010-04-26 2012-05-01 Mitsubishi Electric Corp Servo control apparatus
JP2017022933A (ja) * 2015-07-14 2017-01-26 株式会社ミツトヨ フィードバック制御装置
CN106950849A (zh) * 2015-11-30 2017-07-14 欧姆龙株式会社 控制参数调整装置、控制参数调整方法
CN107797447A (zh) * 2016-09-05 2018-03-13 欧姆龙株式会社 模型预测控制装置、控制方法、信息处理程序及记录介质
CN108345270A (zh) * 2017-01-24 2018-07-31 欧姆龙株式会社 控制装置、控制程序及控制系统
JP2018151899A (ja) * 2017-03-14 2018-09-27 オムロン株式会社 制御装置、制御プログラムおよび制御システム
CN107014579A (zh) * 2017-06-02 2017-08-04 上海华龙测试仪器股份有限公司 一种电液伺服模拟地震振动台

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
L.BOSSI: "Multivariable predictive control for vibrating structures: An application", CONTROL ENGINEERING PRACTICE, vol. 19, no. 10, pages 1087 - 1098, XP028274788, DOI: 10.1016/j.conengprac.2011.05.003 *

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