CN113363302B - 一种显示面板及其制作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明实施例提供一种显示面板及其制作方法,该显示面板包括平坦化层、像素定义层、阳极膜层和吸引层;像素定义层位于平坦化层的一侧,像素定义层包括多个开口;阳极膜层包括多个阳极金属子层,每一阳极金属子层位于对应的开口内,阳极膜层的材料包括磁性材料@Ag纳米颗粒;吸引层位于开口邻近平坦化层的一侧,吸引层包括多个吸引体;吸引体与开口一一对应,吸引体用于吸引阳极金属子层。本发明实施例提供一种显示面板及其制作方法,以磁性材料@Ag纳米颗粒形成显示面板的阳极膜层具有Ag的导电性,无需通过Cl2干刻Ag形成带有AgCl的阳极膜层,也克服了因开口过小无法通过湿刻的工艺形成阳极膜层。
Description
技术领域
本发明涉及显示领域,特别是涉及一种显示面板及其制作方法。
背景技术
目前,显示面板中阳极膜层的材料为Al,众所周知,Ag的导电性要优于Al,但是受工艺限制,目前无法量产使用材料Ag的阳极膜层,原因在于,1、金属刻蚀一般采用Cl2作为刻蚀气体,可得到各向异性的化学性刻蚀效果,但是利用Cl2干刻Ag的时候,Ag和Cl2会发生反应生成AgCl沉底物,导致Ag表面沉积AgCl,影响导电性能,同时也会导致腔室受到污染。2、由于显示面板的像素定义层中开口的宽度范围为2~3μm,开口过小,导致Ag的湿刻工艺无法准确控制精度,从而导致无法使用该工艺。
发明内容
本发明实施例提供一种显示面板及其制作方法,以磁性材料@Ag纳米颗粒形成显示面板的阳极膜层具有Ag的导电性,无需通过Cl2干刻Ag形成带有AgCl的阳极膜层,也克服了因开口过小无法通过湿刻的工艺形成阳极膜层。
第一方面,本发明实施例提供一种显示面板,该显示面板包括平坦化层、像素定义层、阳极膜层和吸引层;
所述像素定义层位于所述平坦化层的一侧,所述像素定义层包括多个开口;所述阳极膜层包括多个阳极金属子层,每一所述阳极金属子层位于对应的所述开口内,所述阳极膜层的材料包括磁性材料@Ag纳米颗粒;
所述吸引层位于所述开口邻近所述平坦化层的一侧,所述吸引层包括多个吸引体;所述吸引体与所述开口一一对应,所述吸引体用于吸引所述阳极金属子层。
可选的,所述吸引体在所述像素定义层的垂直投影与所述开口底部在所述像素定义层的垂直投影重合。
可选的,本发明实施例提供的显示面板还包括:像素驱动电路层,所述像素驱动电路层位于所述平坦化层远离所述像素定义层的一侧,所述像素驱动电路层包括多个像素驱动电路;
所述平坦化层包括多个通孔;所述通孔与所述开口一一对应,对应的所述通孔与所述开口相通;每一像素驱动电路通过一个通孔对应连接一个阳极金属子层;
所述吸引层位于所述平坦化层远离所述像素定义层的一侧。
可选的,所述平坦化层远离所述像素定义层的表面包括多个凹槽;所述吸引体与所述凹槽一一对应,所述吸引体位于所述凹槽内。
可选的,所述阳极膜层的材料包括Fe3O4@Ag纳米颗粒。
第二方面,本发明实施例提供一种显示面板的制作方法,该制作方法包括:
将磁性材料@Ag纳米颗粒融入第一溶液形成第二溶液;
提供一基板,其中,所述基板包括平坦化层、像素定义层和吸引层;所述像素定义层位于所述平坦化层的一侧,所述像素定义层包括多个开口;所述吸引层位于所述开口邻近所述平坦化层的一侧,所述吸引层包括多个吸引体,所述吸引体与所述开口一一对应,所述吸引层用于吸引所述磁性材料@Ag纳米颗粒;
将所述第二溶液沉积到所述开口内;
通过加热装置烘烤所述基板,使所述像素定义层非开口区的所述第二溶液蒸发,并使所述开口中的第二溶液中的第一溶液蒸发,形成多个阳极金属子层,其中所有的阳极金属子层构成阳极膜层。
可选的,所述第一溶液为挥发溶液。
可选的,所述第一溶液包括酒精、丙酮或者环己烷。
可选的,所述基板还包括像素驱动电路层,所述像素驱动电路层位于所述平坦化层远离所述像素定义层的一侧,所述像素驱动电路层包括多个像素驱动电路;所述平坦化层包括多个通孔;所述通孔与所述开口一一对应,对应的所述通孔与所述开口相通;所述吸引层位于所述平坦化层远离所述像素定义层的一侧;
将所述第二溶液沉积到所述开口内,包括:
将所述第二溶液沉积到所述开口和所述通孔内。
可选的,通过丝网印刷、喷墨打印或旋转涂布方法将所述第二溶液沉积到所述开口内。
本发明实施例提供的显示面板,阳极金属子层包括磁性材料@Ag纳米颗粒,并通过设置吸引层来吸引阳极金属子层,使位于每个像素定义层中开口内的阳极金属子层能够被吸引层中对应的吸引体吸引,从而使阳极金属子层固定在像素定义层的开口内,在制作阳极金属子层时,不被吸引体吸引的包含磁性材料@Ag纳米颗粒的溶液可以通过加热蒸发掉,从而形成阳极金属子层,无需通过Cl2干刻Ag形成带有AgCl的阳极膜层,也克服了因开口过小无法通过湿刻的工艺形成阳极膜层。因此本发明实施例提供的显示面板,形成的阳极膜层工艺简单,工作效率高,且适合量产。此外,由于磁性材料@Ag纳米颗粒具有银的导电性能,因此,相比于其他显示面板中的阳极膜层材料,本发明实施例提供的阳极膜层材料的导电性更强。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种显示面板的结构示意图;
图2为本发明实施例提供的又一种显示面板的结构示意图;
图3为本发明实施例提供的又一种显示面板的结构示意图;
图4为本发明实施例提供的一种显示面板的制作方法的流程示意图;
图5为本发明实施例提供的基板的结构示意图;
图6为本发明实施例提供的又一种基板的结构示意图;
图7为本发明实施例提供的又一种基板的结构示意图;
图8为本发明实施例提供的又一种基板的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明实施例作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明实施例,而非对本发明实施例的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本发明实施例相关的部分而非全部结构。
图1为本发明实施例提供的一种显示面板的结构示意图,参考图1,该显示面板包括平坦化层110、像素定义层120、阳极膜层130和吸引层140;像素定义层120位于平坦化层110的一侧,像素定义层120包括多个开口;阳极膜层130包括多个阳极金属子层131,每一阳极金属子层131位于对应的开口内,阳极膜层130的材料包括磁性材料@Ag纳米颗粒;吸引层140位于开口邻近平坦化层110的一侧,吸引层140包括多个吸引体141;吸引体141与开口一一对应,吸引体141用于吸引阳极金属子层131。
具体的,磁性材料@Ag纳米颗粒是由纳米银材料包覆磁性纳米颗粒形成,因此磁性材料@Ag纳米颗粒既具有磁性也具有Ag的导电性,示例性的,磁性材料@Ag纳米颗粒可以是Fe3O4@Ag纳米颗粒、Fe2O3@Ag纳米颗粒或者FeAlC@Ag纳米颗粒等。磁性材料@Ag纳米颗粒可以以液体的形式沉积到像素定义层120的开口内形成阳极膜层130,由于每一阳极金属子层131位于对应的开口内,每一开口又对应一个吸引体141,因此,每一吸引体141对应一个阳极金属子层131且每一吸引体141吸引对应的阳极金属子层131,使得在制作阳极金属子层131时,经加热处理可以将没有吸引体141吸引的区域的包括磁性材料@Ag纳米颗粒的部分液体蒸发,只在开口内保留能被吸引体吸引的磁性材料@Ag纳米颗粒,从而形成阳极金属子层131,无需通过Cl2干刻Ag形成带有AgCl的阳极膜层,也克服了因开口过小无法通过湿刻的工艺形成阳极膜层。此外,由于磁性材料@Ag纳米颗粒包括Ag,Ag的导电性能优于铝,因此,本发明实施例提供的阳极膜层130具有较强的导电性。磁性材料@Ag纳米颗粒中的磁性材料被吸引层140吸引,以使磁性材料@Ag纳米颗粒能够紧密排列且固定在开口内。吸引层140的材料可以是永磁体,永磁体用于吸引磁性材料。
本发明实施例提供的显示面板,阳极金属子层包括磁性材料@Ag纳米颗粒,并通过设置吸引层来吸引阳极金属子层,使位于每个像素定义层中开口内的阳极金属子层能够被吸引层中对应的吸引体吸引,从而使阳极金属子层固定在像素定义层的开口内,在制作阳极金属子层时,不被吸引体吸引的包含磁性材料@Ag纳米颗粒的溶液可以通过加热蒸发掉,从而形成阳极金属子层,无需通过Cl2干刻Ag形成带有AgCl的阳极膜层,也克服了因开口过小无法通过湿刻的工艺形成阳极膜层。因此本发明实施例提供的显示面板,形成的阳极膜层工艺简单,工作效率高,且适合量产。此外,由于磁性材料@Ag纳米颗粒具有银的导电性能,因此,相比于其他显示面板中的阳极膜层材料,本发明实施例提供的阳极膜层材料的导电性更强。
可选的,继续参考图1,吸引体141在像素定义层120的垂直投影与开口底部在像素定义层120的垂直投影重合。
具体的,在向像素定义层120的开口内注入磁性材料@Ag纳米颗粒时,会有一部分磁性材料@Ag纳米颗粒注入到像素定义层120的非开口处,经过后期处理,像素定义层120的非开口处的磁性材料@Ag纳米颗粒会被消除,若吸引体141在像素定义层120的垂直投影大于开口底部在像素定义层120的垂直投影,就会使吸引体141既吸引处于开口内的磁性材料@Ag纳米颗粒,也会使吸引体141吸引位于像素定义层120的非开口处的磁性材料@Ag纳米颗粒,在后期处理非开口处的磁性材料@Ag纳米颗粒时,会增加处理工艺和处理难度。因此,吸引体141在像素定义层120的垂直投影与开口底部在像素定义层120的垂直投影重合可以使像素定义层120的非开口处不残留磁性材料@Ag纳米颗粒。
可选的,图2为本发明实施例提供的又一种显示面板的结构示意图,参考图2,本发明实施例提供的显示面板还包括:像素驱动电路层150,像素驱动电路层150位于平坦化层110远离像素定义层120的一侧,像素驱动电路层150包括多个像素驱动电路151;平坦化层110包括多个通孔;通孔与开口一一对应,对应的通孔与开口相通;每一像素驱动电路151通过一个通孔对应连接一个阳极金属子层131;吸引层140位于平坦化层110远离像素定义层130的一侧。
具体的,通孔内包括导电材料,每一像素驱动电路151与通孔内的导电材料连接,通孔内的导电材料可以是磁性材料@Ag纳米颗粒。吸引层140位于平坦化层110远离像素定义层120的一侧,吸引层140吸引通孔内的磁性材料@Ag纳米颗粒,也吸引阳极膜层130。对应的通孔与开口相通,使得通孔内的导电结构和阳极膜层130可以采用相同的材料同时制作,无需单独制作通孔内的导电结构,从而减少显示面板的制作工艺提高显示面板的制作效率。显示面板还包括硅衬底160,硅衬底160位于像素驱动电路层150远离平坦化层110的一侧。
可选的,图3为本发明实施例提供的又一种显示面板的结构示意图,参考图3,平坦化层110远离像素定义层120的表面包括多个凹槽;吸引体141与凹槽一一对应,吸引体141位于凹槽内。
具体的,将吸引体141设置在平坦化层110的凹槽内,一方面可以减小显示面板的体积,另一方面,可以减小阳极金属子层131与吸引体141之间的距离,提高吸引体141对阳极金属子层131的吸引力。
可选的,阳极膜层的材料包括Fe3O4@Ag纳米颗粒。
具体的,Fe3O4具有磁性,能够被永磁体吸引,且Fe3O4相比于其他磁性材料,具有成本低以及易于获取的特点。采用Fe3O4与Ag制作Fe3O4@Ag纳米颗粒的制作工艺比较成熟,制作方法简单,能够提高Fe3O4@Ag纳米颗粒的制作效率。
图4为本发明实施例提供的一种显示面板的制作方法的流程示意图,参考图4,该制作方法包括:
S410、将磁性材料@Ag纳米颗粒融入第一溶液形成第二溶液。
具体的,第二溶液包括磁性材料@Ag纳米颗粒,将磁性材料@Ag纳米颗粒以液体的形式存在,可以使磁性材料@Ag纳米颗粒在沉积时,无需考虑磁性材料@Ag纳米颗粒所要沉积位置的大小。
S420、提供一基板,其中,图5为本发明实施例提供的基板的结构示意图,参考图5,基板包括平坦化层110、像素定义层120和吸引层140;像素定义层120位于平坦化层110的一侧,像素定义层120包括多个开口10;吸引层140位于开口10邻近平坦化层110的一侧,吸引层140包括多个吸引体141,吸引体141与开口10一一对应,吸引层140用于吸引磁性材料@Ag纳米颗粒。
S430、将第二溶液沉积到开口内。
具体的,图6为本发明实施例提供的又一种基板的结构示意图,参考图6,将第二溶液沉积到开口内的过程中时,会有一部分第二溶液沉积到非开口处。这样像素定义层120的开口内和非开口处都存在磁性材料@Ag纳米颗粒。
S440、通过加热装置烘烤基板,使像素定义层非开口区的第二溶液蒸发,并使开口中的第二溶液中的第一溶液蒸发,形成多个阳极金属子层,其中所有的阳极金属子层构成阳极膜层。
具体的,图7为本发明实施例提供的又一种基板的结构示意图,参考图7,通过加热装置烘烤基板之前,可以将基板旋转180°,使加热装置正对开口,加热装置通过加热的方式使第二溶液蒸发,由于基板中的吸引体将开口内的磁性材料@Ag纳米颗粒进行吸引,因此,加热装置无法使开口内的磁性材料@Ag纳米颗粒蒸发,从而使磁性材料@Ag纳米可以存放在开口内,形成阳极金属子层,多个阳极金属子层构成阳极膜层。
可选的,第一溶液为挥发溶液。
具体的,在加热装置加热过成中,第一溶液能够快速挥发,从而使开口内的第二溶液中的第一溶液挥发掉,使开口内仅存留磁性材料@Ag纳米颗粒。
可选的,第一溶液包括酒精、丙酮或者环己烷。
具体的,酒精、丙酮以及环己烷都是容易挥发的材料,在加热情况下可以快速挥发,且酒精、丙酮以及环己烷都能够溶解磁性材料@Ag纳米颗粒。
可选的,图8为本发明实施例提供的又一种基板的结构示意图,参考图8,基板还包括像素驱动电路层150,像素驱动电路层150位于平坦化层110远离像素定义层120的一侧,像素驱动电路层150包括多个像素驱动电路151;平坦化层110包括多个通孔20;通孔20与开口10一一对应,对应的通孔20与开口10相通;吸引层140位于平坦化层110远离像素定义层120的一侧;将第二溶液沉积到开口10内,包括:将第二溶液沉积到开口10和通孔20内。
具体的,将第二溶液沉积到开口10和通孔20内,并通过加热装置进行加热后形成如图2所述的显示面板。
可选的,通过丝网印刷、喷墨打印或旋转涂布方法将第二溶液沉积到开口内。
具体的,采用丝网印刷、喷墨打印或旋转涂布方法能够均匀的将第二溶液沉积到开口内,保证每个开口内沉积的第二溶液的量是相近的。
本实施例提供的显示面板的制作方法与本发明任意实施例提供的显示面板属于相同的发明构思,具有相应的有益效果,未在本实施例详尽的技术细节,详见本发明任意实施例提供的显示面板。
本发明实施例提供的显示面板及其制作方法,能够实现Ag作为阳极膜层,从而提高阳极膜层的导电率,提高显示面板的性能,此外,像素定义层中开口的大小无需考虑,解决了现有技术中因像素定义层开口小而无法制作阳极膜层的问题。
注意,上述仅为本发明实施例的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解,本发明实施例不限于这里所述的特定实施例,对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明实施例的保护范围。因此,虽然通过以上实施例对本发明实施例进行了较为详细的说明,但是本发明实施例不仅仅限于以上实施例,在不脱离本发明实施例构思的情况下,还可以包括更多其他等效实施例,而本发明实施例的范围由所附的权利要求范围决定。
Claims (9)
1.一种显示面板,其特征在于,包括平坦化层、像素定义层、阳极膜层和吸引层;
所述像素定义层位于所述平坦化层的一侧,所述像素定义层包括多个开口;所述阳极膜层包括多个阳极金属子层,每一所述阳极金属子层位于对应的所述开口内,所述阳极膜层的材料包括磁性材料@Ag纳米颗粒;
所述吸引层位于所述开口邻近所述平坦化层的一侧,所述吸引层包括多个吸引体;所述吸引体与所述开口一一对应,所述吸引体用于吸引所述阳极金属子层;
所述吸引体在所述像素定义层的垂直投影与所述开口底部在所述像素定义层的垂直投影重合。
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,还包括:
像素驱动电路层,所述像素驱动电路层位于所述平坦化层远离所述像素定义层的一侧,所述像素驱动电路层包括多个像素驱动电路;
所述平坦化层包括多个通孔;所述通孔与所述开口一一对应,对应的所述通孔与所述开口相通;每一像素驱动电路通过一个通孔对应连接一个阳极金属子层;
所述吸引层位于所述平坦化层远离所述像素定义层的一侧。
3.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述平坦化层远离所述像素定义层的表面包括多个凹槽;所述吸引体与所述凹槽一一对应,所述吸引体位于所述凹槽内。
4.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述阳极膜层的材料包括Fe3O4@Ag纳米颗粒。
5.一种显示面板的制作方法,其特征在于,包括:
将磁性材料@Ag纳米颗粒融入第一溶液形成第二溶液;
提供一基板,其中,所述基板包括平坦化层、像素定义层和吸引层;所述像素定义层位于所述平坦化层的一侧,所述像素定义层包括多个开口;所述吸引层位于所述开口邻近所述平坦化层的一侧,所述吸引层包括多个吸引体,所述吸引体与所述开口一一对应,所述吸引层用于吸引所述磁性材料@Ag纳米颗粒;所述吸引体在所述像素定义层的垂直投影与所述开口底部在所述像素定义层的垂直投影重合;
将所述第二溶液沉积到所述开口内;
通过加热装置烘烤所述基板,使所述像素定义层非开口区的所述第二溶液蒸发,并使所述开口中的第二溶液中的第一溶液蒸发,形成多个阳极金属子层,其中所有的阳极金属子层构成阳极膜层。
6.根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,所述第一溶液为挥发溶液。
7.根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,所述第一溶液包括酒精、丙酮或者环己烷。
8.根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,所述基板还包括像素驱动电路层,所述像素驱动电路层位于所述平坦化层远离所述像素定义层的一侧,所述像素驱动电路层包括多个像素驱动电路;所述平坦化层包括多个通孔;所述通孔与所述开口一一对应,对应的所述通孔与所述开口相通;所述吸引层位于所述平坦化层远离所述像素定义层的一侧;
将所述第二溶液沉积到所述开口内,包括:
将所述第二溶液沉积到所述开口和所述通孔内。
9.根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,通过丝网印刷、喷墨打印或旋转涂布方法将所述第二溶液沉积到所述开口内。
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