CN113345328A - 显示面板Mura修补方法 - Google Patents

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Abstract

一种显示面板Mura修补方法，该方法包括下述步骤：S10，提供一存在缺陷的显示面板、检测机以及背板，存在缺陷的显示面板为第一显示面板；S20，将背板覆盖在第一显示面板背离检测基台的一侧，采用检测机对第一显示面板进行检测，获取第一显示面板中Mura缺陷的形状、位置坐标以及所述Mura缺陷沿第一方向、第二方向的长度；S30，根据步骤“S20”中获取的所述第一显示面板中Mura缺陷的形状、位置坐标以及所述Mura缺陷沿第一方向、第二方向的长度对所述第一显示面板中的所述Mura缺陷进行补偿。

Description

显示面板Mura修补方法
技术领域
本申请涉及显示领域，特别是涉及一种显示面板Mura修补方法。
背景技术
半导体显示面板，包括LCD(Liquid Crystal Display)液晶显示面板和OLED(Organic Light-Emitting Diode)显示面板，其像素图案均是通过曝光(Mask)形成。
然而在显示面板的制作过程中，受曝光机台及棱镜片(Lens)的影响，导致显示面板成像后的图案线宽出现偏差，会形成各种Mura缺陷，包括点状(Pin Mura)缺陷，带状Mura缺陷等各种Mura缺陷，在显示面板的制作源头改善这类Mura缺陷是非常困难的。
因此，现有的显示面板技术中，还存在着显示面板在进行曝光工艺时，所述显示面板易受到曝光机台、棱镜片等外界环境的影响，使得所述显示面板出现各种Mura缺陷，降低了所述显示面板的显示质量的问题，急需改进。
发明内容
本申请涉及一种显示面板Mura修补方法，用于解决现有技术中存在着显示面板在进行曝光工艺时，所述显示面板易受到曝光机台、棱镜片等外界环境的影响，使得所述显示面板出现各种Mura缺陷，降低了所述显示面板的显示质量的问题。
为解决上述问题，本申请提供的技术方案如下：
本申请提供的一种显示面板Mura修补方法，所述显示面板Mura修补方法包括下述步骤：
S10，提供一存在缺陷的显示面板、检测机以及背板，所述存在缺陷的显示面板为第一显示面板；
S20，将所述背板覆盖在所述第一显示面板背离检测基台的一侧，采用所述检测机对所述第一显示面板进行检测，获取所述第一显示面板中Mura缺陷的形状、位置坐标以及所述Mura缺陷沿第一方向、第二方向的长度；
S30，根据步骤“S20”中获取的所述第一显示面板中Mura缺陷的形状、位置坐标以及所述Mura缺陷沿所述第一方向、所述第二方向的长度对所述第一显示面板中的所述Mura缺陷进行补偿。
在本申请提供的一些实施例中，步骤“S30”具体包括：
S301，在所述第一显示面板的一侧进行镀膜；
S302，在镀膜后的所述第一显示面板一侧涂布一层光阻层；
S303，采用第一掩膜板对所述第一显示面板进行光罩；
S304，再依次对所述第一显示面板进行显影、蚀刻并去除所述第一显示面板上多余的所述光阻层。
在本申请提供的一些实施例中，所述第一掩膜板的形状与所述第一显示面板的形状相同，所述第一掩膜板中的透光区域与所述第一显示面板中的所述Mura缺陷的位置相同，所述第一掩膜板透光区域沿所述第一方向、所述第二方向的长度与所述第一显示面板中的所述Mura缺陷沿所述第一方向、所述第二方向的长度相同。
在本申请提供的一些实施例中，所述检测机为CCD感光摄像头，所述背板为透明基板。
在本申请提供的一些实施例中，所述背板背离所述第一显示面板的一侧设置有位置坐标。
在本申请提供的一些实施例中，所述背板沿所述第三方向的长度小于所述第一显示面板沿所述第三方向的长度，所述背板沿所述第一方向的长度等于所述第一显示面板沿所述第一方向的长度，所述背板沿所述第二方向的长度等于所述第一显示面板沿所述第二方向的长度。
在本申请提供的一些实施例中，所述背板包括多个区域；所述检测机每次至少可以捕捉一个所述区域内的位置坐标。
在本申请提供的一些实施例中，所述检测机可以沿所述第一方向、所述第二方向以及第三方向进行移动。
在本申请提供的一些实施例中，所述第一方向垂直于所述第二方向，所述第一方向与所述第二方向均垂直于所述第三方向。
在本申请提供的一些实施例中，所述Mura缺陷的形状包括：点、直线形、锯齿形或是波浪形。
与现有技术相比，本申请提供的一种显示面板Mura修补方法的有益效果为：
1.本申请提供的显示面板Mura修补方法，可以对所述显示面板由于在曝光工艺中产生的Mura缺陷，使得所述显示面板质量不佳的情况进行补偿，提高所述显示面板的显示质量以及生产良率；
2.本申请提供的显示面板Mura修补方法，所述检测机采用CCD感光摄像头并搭配设置有位置坐标的背板一起对所述显示面板进行检测，可以精准的测出所述显示面板上Mura缺陷的位置，提高所述显示面板Mura缺陷修补的成功率。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请实施例提供的显示面板Mura缺陷检测装置的结构示意图。
图2为本申请实施例提供的背板的结构示意图。
图3为本申请实施例提供的显示面板Mura修补方法的流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
本申请提供一种显示面板Mura修补方法，具体参阅图1至图3。
目前的显示面板在制作过程中，受曝光机台及棱镜片(Lens)的影响，导致显示面板成像后的图案线宽出现偏差，会形成各种Mura缺陷，包括点状(Pin Mura)缺陷，带状Mura缺陷等各种Mura缺陷，在显示面板的制作源头改善这类Mura缺陷是非常困难的。因此，本申请提供一种显示面板Mura修补方法以解决上述问题。
参阅图3，为本申请提供的一种显示面板Mura修补方法的流程示意图，所述显示面板Mura修补方法包括下述步骤：
S10，提供一存在缺陷的显示面板1、检测机3以及背板2，所述存在缺陷的显示面板为第一显示面板1，参阅图1和图2，分别为本申请提供的所述显示面板Mura缺陷检测装置的结构示意图100与背板的结构示意图200；
S20，将所述背板2覆盖在所述第一显示面板1背离检测基台的一侧，采用所述检测机3对所述第一显示面板1进行检测，获取所述第一显示面板1中Mura缺陷的形状、位置坐标以及所述Mura缺陷沿第一方向X、第二方向Y的长度；
S30，根据步骤“S20”中获取的所述第一显示面板1中Mura缺陷的形状、位置坐标以及所述Mura缺陷沿所述第一方向X、所述第二方向Y的长度对所述第一显示面板1中的所述Mura缺陷进行补偿。
进一步地，步骤“S30”具体包括：
S301，在所述第一显示面板1的一侧进行镀膜，覆盖所述第一显示面板1一侧的整面；
S302，在镀膜后的所述第一显示面板1一侧涂布一层光阻层；
S303，采用第一掩膜板对所述第一显示面板1进行光罩；
S304，再依次对所述第一显示面板1进行显影、蚀刻并去除所述第一显示面板1上多余的所述光阻层。
在本申请的一种实施例中，所述第一掩膜板的形状与所述第一显示面板1的形状相同，所述第一掩膜板中的透光区域与所述第一显示面板1中的所述Mura缺陷的位置相同，所述第一掩膜板透光区域沿所述第一方向X、所述第二方向Y的长度与所述第一显示面板1中的所述Mura缺陷沿所述第一方向X、所述第二方向Y的长度相同。
在本申请的一种实施例中，所述检测机3为CCD(Charge-coupled Device，电荷耦合元件)感光摄像头，在检测所述第一显示面板时通过拍照的方式对所述第一显示面板1进行拍照，再通过对照片的观察找出所述第一显示面板1中存在的缺陷，所述背板2为透明基板，既可以避免对所述第一显示面板1上存在的Mura缺陷造成误判，又可以通过观察直接读取出所述显示面板上存在的Mura缺陷的形状及位置坐标，操作方式简单、方便。
进一步地，所述背板2背离所述第一显示面板1的一侧设置有位置坐标。
在本申请的一种实施例中，所述背板2沿所述第三方向Z的长度小于所述第一显示面板1沿所述第三方向Z的长度，所述背板2沿所述第一方向X的长度等于所述第一显示面板1沿所述第一方向X的长度，所述背板2沿所述第二方向Y的长度等于所述第一显示面板1沿所述第二方向Y的长度。
在本申请的一种实施例中，所述背板2包括多个区域；所述检测机3每次至少可以捕捉一个所述区域内的位置坐标，若所述第一显示面板1的尺寸较小时，所述检测机3可以一次捕捉到整个所述第一显示面板的画面；若所述第一显示面板1的尺寸较大时，所述检测机3的镜头无法一次性拍下整个所述第一显示面板1的画面，则可以分多次、按区域对所述第一显示面板进行拍摄，进而检测所述第一显示面板1的每个区域是否存在Mura缺陷，详见图2；进一步地，所述区域的形状可以为矩形、三角形、梯形或是圆形等，所述区域的形状优选采用与所述检测机3的摄像头形状相似的形状，保证在捕捉所述第一显示面板1每个区域缺陷图形的同时节省检测周期。
在本申请的一种实施例中，所述检测机3可以沿所述第一方向X、所述第二方向Y以及第三方向Z进行移动，即在检测所述第一显示面板1是否存在Mura缺陷时，所述检测机3可以根据所述第一显示面板1的尺寸进行移动，以保证捕捉到所述第一显示面板1每个区域的画面。
在本申请的一种实施例中，所述第一方向X垂直于所述第二方向Y，所述第一方向X与所述第二方向Y均垂直于所述第三方向Z。
在本申请的一种实施例中，所述Mura缺陷的形状包括：点、直线形、锯齿形或是波浪形。
因此，本申请提供的一种显示面板Mura修补方法的有益效果为：首先，本申请提供的显示面板Mura修补方法，可以对所述显示面板由于在曝光工艺中产生的Mura缺陷，使得所述显示面板质量不佳的情况进行补偿，提高所述显示面板的显示质量以及生产良率；然后，本申请提供的显示面板Mura修补方法，所述检测机采用CCD感光摄像头并搭配设置有位置坐标的背板一起对所述显示面板进行检测，可以精准的测出所述显示面板上Mura缺陷的位置，提高所述显示面板Mura缺陷修补的成功率。
以上对本申请实施例所提供的一种显示面板Mura修补方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种显示面板Mura修补方法，其特征在于，所述显示面板Mura修补方法包括下述步骤：
S10，提供一存在缺陷的显示面板、检测机以及背板，所述存在缺陷的显示面板为第一显示面板；
S20，将所述背板覆盖在所述第一显示面板背离检测基台的一侧，采用所述检测机对所述第一显示面板进行检测，获取所述第一显示面板中Mura缺陷的形状、位置坐标以及所述Mura缺陷沿第一方向、第二方向的长度；
S30，根据步骤“S20”中获取的所述第一显示面板中Mura缺陷的形状、位置坐标以及所述Mura缺陷沿所述第一方向、所述第二方向的长度对所述第一显示面板中的所述Mura缺陷进行补偿。
2.根据权利要求1所述的显示面板Mura修补方法，其特征在于，步骤“S30”具体包括：
S301，在所述第一显示面板的一侧进行镀膜；
S302，在镀膜后的所述第一显示面板一侧涂布一层光阻层；
S303，采用第一掩膜板对所述第一显示面板进行光罩；
S304，再依次对所述第一显示面板进行显影、蚀刻并去除所述第一显示面板上多余的所述光阻层。
3.根据权利要求2所述的显示面板Mura修补方法，其特征在于，所述第一掩膜板的形状与所述第一显示面板的形状相同，所述第一掩膜板中的透光区域与所述第一显示面板中的所述Mura缺陷的位置相同，所述第一掩膜板透光区域沿所述第一方向、所述第二方向的长度与所述第一显示面板中的所述Mura缺陷沿所述第一方向、所述第二方向的长度相同。
4.根据权利要求1所述的显示面板Mura修补方法，其特征在于，所述检测机为CCD感光摄像头，所述背板为透明基板。
5.根据权利要求4所述的显示面板Mura修补方法，其特征在于，所述背板背离所述第一显示面板的一侧设置有位置坐标。
6.根据权利要求5所述的显示面板Mura修补方法，其特征在于，所述背板沿所述第三方向的长度小于所述第一显示面板沿所述第三方向的长度，所述背板沿所述第一方向的长度等于所述第一显示面板沿所述第一方向的长度，所述背板沿所述第二方向的长度等于所述第一显示面板沿所述第二方向的长度。
7.根据权利要求4所述的显示面板Mura修补方法，其特征在于，所述背板包括多个区域；所述检测机每次至少可以捕捉一个所述区域内的位置坐标。
8.根据权利要求1所述的显示面板Mura修补方法，其特征在于，所述检测机可以沿所述第一方向、所述第二方向以及第三方向进行移动。
9.根据权利要求6所述的显示面板Mura修补方法，其特征在于，所述第一方向垂直于所述第二方向，所述第一方向与所述第二方向均垂直于所述第三方向。
10.根据权利要求1所述的显示面板Mura修补方法，其特征在于，所述Mura缺陷的形状包括：点、直线形、锯齿形或是波浪形。
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Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080079931A1 (en) * 2006-10-02 2008-04-03 Samsung Electronics Co., Ltd. Methods, assemblies and systems for inspecting a photomask
CN101311821A (zh) * 2007-05-23 2008-11-26 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 修补带缺陷光罩图形的方法
CN105205803A (zh) * 2015-08-18 2015-12-30 武汉华星光电技术有限公司 显示面板缺陷检测方法
CN105590604A (zh) * 2016-03-09 2016-05-18 深圳市华星光电技术有限公司 Mura现象补偿方法
US20160266048A1 (en) * 2013-07-31 2016-09-15 Boe Technology Group Co., Ltd. Detecting system
CN106569387A (zh) * 2015-10-09 2017-04-19 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 光罩及其修复方法
CN106814479A (zh) * 2017-01-11 2017-06-09 昆山国显光电有限公司 一种面板缺陷位置的偏移补偿方法、装置及系统
CN107290345A (zh) * 2017-05-16 2017-10-24 武汉精测电子技术股份有限公司 一种基于aoi的显示面板缺陷分类方法及装置
CN107462585A (zh) * 2017-08-10 2017-12-12 武汉华星光电技术有限公司 自动光学检查机及玻璃基板的缺陷检查方法
CN107767807A (zh) * 2017-08-23 2018-03-06 武汉精测电子集团股份有限公司 一种适用于cell工序的色斑修复方法及系统
CN108734696A (zh) * 2017-04-18 2018-11-02 三星显示有限公司 用于白点Mura检测的系统及方法
CN109001208A (zh) * 2018-05-28 2018-12-14 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 一种显示面板的缺陷定位装置及缺陷定位方法
CN109491163A (zh) * 2018-12-12 2019-03-19 惠科股份有限公司 阵列基板修复工艺、阵列基板以及显示面板
CN110702685A (zh) * 2019-09-24 2020-01-17 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板的缺陷检测方法及缺陷检测系统
CN112213327A (zh) * 2019-07-09 2021-01-12 陕西坤同半导体科技有限公司 一种显示面板人员检测辅助方法及系统
CN112595726A (zh) * 2020-12-11 2021-04-02 深圳市智联汇网络系统企业(有限合伙) 一种oled微型显示器件的像素缺陷检测方法

Patent Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080079931A1 (en) * 2006-10-02 2008-04-03 Samsung Electronics Co., Ltd. Methods, assemblies and systems for inspecting a photomask
CN101311821A (zh) * 2007-05-23 2008-11-26 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 修补带缺陷光罩图形的方法
US20160266048A1 (en) * 2013-07-31 2016-09-15 Boe Technology Group Co., Ltd. Detecting system
CN105205803A (zh) * 2015-08-18 2015-12-30 武汉华星光电技术有限公司 显示面板缺陷检测方法
CN106569387A (zh) * 2015-10-09 2017-04-19 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 光罩及其修复方法
CN105590604A (zh) * 2016-03-09 2016-05-18 深圳市华星光电技术有限公司 Mura现象补偿方法
CN106814479A (zh) * 2017-01-11 2017-06-09 昆山国显光电有限公司 一种面板缺陷位置的偏移补偿方法、装置及系统
CN108734696A (zh) * 2017-04-18 2018-11-02 三星显示有限公司 用于白点Mura检测的系统及方法
CN107290345A (zh) * 2017-05-16 2017-10-24 武汉精测电子技术股份有限公司 一种基于aoi的显示面板缺陷分类方法及装置
CN107462585A (zh) * 2017-08-10 2017-12-12 武汉华星光电技术有限公司 自动光学检查机及玻璃基板的缺陷检查方法
CN107767807A (zh) * 2017-08-23 2018-03-06 武汉精测电子集团股份有限公司 一种适用于cell工序的色斑修复方法及系统
CN109001208A (zh) * 2018-05-28 2018-12-14 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 一种显示面板的缺陷定位装置及缺陷定位方法
CN109491163A (zh) * 2018-12-12 2019-03-19 惠科股份有限公司 阵列基板修复工艺、阵列基板以及显示面板
CN112213327A (zh) * 2019-07-09 2021-01-12 陕西坤同半导体科技有限公司 一种显示面板人员检测辅助方法及系统
CN110702685A (zh) * 2019-09-24 2020-01-17 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板的缺陷检测方法及缺陷检测系统
CN112595726A (zh) * 2020-12-11 2021-04-02 深圳市智联汇网络系统企业(有限合伙) 一种oled微型显示器件的像素缺陷检测方法

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