CN113337820B - 制作马达弹簧片的蚀刻方法 - Google Patents

Abstract

本申请公开一种制作马达弹簧片的蚀刻方法，将弹簧片板材以相对于输送方向具有倾斜角度的方式进行蚀刻。经过多次以60度到120度的扇形喷射角度喷洒蚀刻液于弹簧片板材。本申请的通过改良喷嘴喷洒蚀刻液的喷射角度，其可避免喷嘴喷洒蚀刻液的力道过大会导致弹簧片板材脱离蚀刻输送路径的导轮，造成弹簧片板材掉落在多个导轮的间隙，导致弹簧片板材刮伤导轮，同时也会造成弹簧片板材卡住多个导轮的故障问题。

Description

制作马达弹簧片的蚀刻方法

技术领域

本申请涉及蚀刻方法的技术领域，尤其涉及一种制作马达弹簧片的蚀刻方法。

背景技术

于现有技术中，轻薄型的板材（如VCM马达弹簧片材料在0.03到0.05mm）以传统的蚀刻放板方式置于滚轮的输送路径上，当轻薄型的板材通过蚀刻喷嘴进行蚀刻制程，其中蚀刻喷嘴喷洒角度（喷嘴45度约3.0kg/cm²，流量约为3到5L/min）。上述蚀刻喷嘴的喷洒力道会导致轻薄型的板材被脱离滚轮的输送路径，进而轻薄型的板材会掉落在滚轮的间隙，导致轻薄型的板材会刮伤滚轮，也会造成轻薄型的板材掉落卡固于滚轮造成卡机故障的问题。

发明内容

本申请实施例提供一种制作马达弹簧片的蚀刻方法，可以有效解决目前弹簧片板材于蚀刻制程中，喷嘴喷洒蚀刻液的力道过大会导致弹簧片板材脱离蚀刻输送路径的问题。

为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：

提供了一种制作马达弹簧片的蚀刻方法，将弹簧片板材以相对于输送方向具有倾斜角度的方式进行蚀刻。经过多次以60度到120度的扇形喷射角度喷洒蚀刻液于弹簧片板材。

在其中一个实施例中，于将弹簧片板材以相对于输送方向具有倾斜角度的方式进行蚀刻的步骤中，弹簧片板材为矩形片，弹簧片板材的两侧边相对于输送方向具有35度到40度之间的倾斜角度。

在其中一个实施例中，于将弹簧片板材以相对于输送方向具有倾斜角度的方式进行蚀刻的步骤中，弹簧片板材经过多个导轮导引，并使弹簧片板材经过角度组件确认倾斜角度。

在其中一个实施例中，于经过多次以60度到120度的扇形喷射角度喷洒蚀刻液体于弹簧片板材的步骤中，于第一次以60度到70度进行扇形喷洒蚀刻液于弹簧片板材。

在其中一个实施例中，于经过多次以60度到120度的扇形喷射角度喷洒蚀刻液体于弹簧片板材的步骤中，于第二次以85度到95度进行扇形喷洒蚀刻液于弹簧片板材。

在其中一个实施例中，于经过多次以60度到120度的扇形喷射角度喷洒蚀刻液体于弹簧片板材的步骤中，于第三次以85度到95度进行扇形喷洒蚀刻液于弹簧片板材。

在其中一个实施例中，于经过多次以60度到120度的扇形喷射角度喷洒蚀刻液体于弹簧片板材的步骤中，于第四次以110度到120度进行扇形喷洒蚀刻液于弹簧片板材。

在其中一个实施例中，于经过多次以60度到120度的扇形喷射角度喷洒蚀刻液体于弹簧片板材的步骤中，依序以65度、90度、90度与115度进行扇形喷洒蚀刻液于弹簧片板材。

在其中一个实施例中，于经过多次以60度到120度的扇形喷射角度喷洒蚀刻液体于弹簧片板材的步骤后，弹簧片板材的四个角位形成半径2.5mm到3mm的倒圆角。

在其中一个实施例中，弹簧片板材的厚度为0.02mm到0.05mm。

在其中一个实施例中，蚀刻液选自为酸性氯化铜、次氯酸钠化学再生剂或盐酸其中之一或其组合。

在本申请实施例中，制作马达弹簧片的蚀刻方法通过改良喷嘴喷洒蚀刻液的喷射角度，其可避免喷嘴喷洒蚀刻液的力道过大会导致弹簧片板材脱离蚀刻输送路径的导轮，造成掉落在多个导轮的间隙，导致弹簧片板材刮伤导轮，同时也会造成弹簧片板材卡住多个导轮造成故障的问题。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施方式及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1是本申请的制作马达弹簧片的蚀刻方法的步骤方块图；

图2是本申请的制作马达弹簧片的蚀刻输送路径的示意图；

图3是本申请的喷嘴的喷洒角度的示意图一；

图4是本申请的喷嘴的喷洒角度的示意图二；

图5是本申请的喷嘴的喷洒角度的示意图三；

图6是本申请的制作马达弹簧片的清洗示意图；

图7是本申请的制作马达弹簧片的压膜示意图；

图8是本申请的制作马达弹簧片的曝光示意图；

图9是本申请的制作马达弹簧片的显影示意图；

图10是本申请的制作马达弹簧片的蚀刻示意图；以及

图11是本申请的制作马达弹簧片的退膜示意图。

具体实施方式

以下将以图式揭露本申请的多个实施方式，为明确说明起见，许多实施上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实施上的细节不应用以限制本申请。也就是说，在本申请的部分实施方式中，这些实施上的细节是非必要的。此外，为简化图式起见，一些习知惯用的结构与组件在图式中将以简单的示意的方式绘示。在以下各实施例中，将以相同的标号表示相同或相似的组件。

请参阅图1到图5，图1是本申请的制作马达弹簧片的蚀刻方法的步骤方块图、图2是制作马达弹簧片的蚀刻输送路径的示意图、图3是喷嘴的喷洒角度的示意图一、图4是喷嘴的喷洒角度的示意图二以及图5是喷嘴的喷洒角度的示意图三。如图所示，制作马达弹簧片的步骤中，依序包含清洗、压膜、曝光、显影、蚀刻与剥膜的步骤。本实施方式提供一种制作马达弹簧片的蚀刻方法，其步骤包括：

步骤S10：将弹簧片板材100以相对于输送方向具有倾斜角度A的方式进行蚀刻。其中，弹簧片板材100包括铜合金材料10与感光干膜20，感光干膜20为经过显影后的弹簧片图案造型，并感光干膜20贴覆于铜合金材料10上。

于本实施方式的步骤中，弹簧片板材100为轻薄的矩形片，弹簧片板材100的厚度为0.02mm到0.05mm，上述弹簧片板材100蚀刻的方式都是采用无牵引板（或导引板）的方式进行蚀刻，将弹簧片板材100直接置于输送路径的多个导轮11，其中，弹簧片板材100的两侧边相对于输送方向具有35度到40度之间的倾斜角度A。其中，弹簧片板材100经过多个导轮11导引，并使弹簧片板材100经过角度组件13确认倾斜角度A。

步骤S20：经过多次以60度到120度的扇形喷射角度B喷洒蚀刻液200于弹簧片板材100。其中，喷嘴喷洒蚀刻液200为立体锥状的喷射范围。喷嘴垂直朝向于输送路径的输送面，扇形喷射角度B是指以喷嘴垂直喷射蚀刻液200于输送面的角度为0度，喷嘴喷射出的蚀刻液200向周侧喷射的最大范围的角度总和。

于本实施方式的步骤中，请复参阅图3，于第一次以60度到70度进行扇形喷洒蚀刻液于弹簧片板材100。其中，扇形喷射角度B的角度小，蚀刻液200的喷洒的范围小，蚀刻液200的喷洒的力道集中。

请复参阅图4，于第二次以85度到95度进行扇形喷洒蚀刻液于弹簧片板材100。其中，扇形喷射角度B的角度中等，蚀刻液200的喷洒的范围中等，蚀刻液200的喷洒的力道中等。

请复参阅图4，于第三次以85度到95度进行扇形喷洒蚀刻液于弹簧片板材100。重复第二次的进行扇形喷洒蚀刻液的制程。

请复参阅图5，于第四次以110度到120度进行扇形喷洒蚀刻液于弹簧片板材100。其中，扇形喷射角度B的角度大，蚀刻液200的喷洒的范围大，蚀刻液200的喷洒的力道小。

上述喷嘴以扇形喷射角度B喷洒蚀刻液200的制程中，依序以65度、90度、90度与115度进行扇形喷洒蚀刻液于弹簧片板材100进行蚀刻。其中，蚀刻液200选自为酸性氯化铜、次氯酸钠化学再生剂或盐酸其中之一或其组合。

本实施方式通过控制喷洒蚀刻液的扇形喷射角度B，其可以有效控制喷嘴喷洒蚀刻液的冲击力道，以避免导致弹簧片板材100脱离输送导轮11，造成掉落在多个导轮11的间隙，导致弹簧片板材100刮伤导轮11，同时也会造成弹簧片板材100卡住多个导轮11造成故障的问题。又，通过不同的扇形喷射角度B去喷洒蚀刻液的顺序，也可以使弹簧片板材100能够受到完整的蚀刻。

另外，制作马达弹簧片的步骤中，也包含清洗、压膜、曝光、显影、剥膜的步骤。本实施方式更进一步说明制作马达弹簧片的清洗、压膜、曝光、显影、剥膜的步骤，说明如下：

请参阅图6，是本申请的制作马达弹簧片的清洗示意图。如图所示，于本实施方式的步骤中，取铜合金材料10通过电解清洗机进行清洗制程。将铜合金材料10置于碱性溶液中，以铜合金材料10（如钛铜）为阳极，以不锈钢板为阴极，再通过直流电流作用于铜合金材料10、不锈钢板与碱性溶液，如此将铜合金材料10表面的油污除去。其中，碱性溶液为电解除油剂的溶液。

又，将除油污的铜合金材料10浸置于酸洗溶液中，一方面可将残留于铜合金材料10表面上的碱性溶液进行中和，另一方面通过酸洗将铜合金材料10碱性或酸性除油时所产生的不溶性附着物进行清洗，使铜合金材料10的整个表层形成清洁面。其中酸洗溶液为硫酸。另外，于上述将铜合金材料10碱性或酸性除油的过程中，由于除油溶液中添加多种表面活性剂，可达到良好除油去污效果，但也容易造成大量起泡，起泡会影响清洗效果，所以更进一步添加无硅消泡剂，以改善大量起泡的缺点。

请参阅图7，是本申请的制作马达弹簧片的压膜示意图。如图所示，于本实施方式的步骤中，将经清洗制程后的铜合金材料10通过压膜机进行压膜制程。将感光干膜20（即感光光阻）通过热压贴覆于铜合金材料10的表面。

请参阅图8，是本申请的制作马达弹簧片的曝光示意图。如图所示，于本实施方式的步骤中，将贴覆感光干膜20的铜合金材料10通过曝光机进行曝光制程。取掩膜版21（即菲林）置于感光干膜20的上方，再将UV紫外光的光线213通过掩膜版21照射于感光干膜20上。掩膜版21具有弹簧片图案211。UV紫外光的光线213会受到掩膜版21的弹簧片图案211的遮挡，如此未受到掩膜版21的弹簧片图案211遮挡住的UV紫外光的光线213会照射于感光干膜20上，进而使被照射到的感光干膜20被曝光，而未曝光的感光干膜20形成弹簧片图案211。其中，本实施方式的掩膜版21的弹簧片图案211的四个角位为倒圆角，其可使未被曝光的感光干膜20的四个角位也为倒圆角。

更进一步，将具有被曝光的感光干膜20的铜合金材料10通过裁切机进行裁切制程。铜合金材料10依据掩膜版21曝光的弹簧片图案211的范围裁切成多个板材101。

请参阅图9，是本申请的制作马达弹簧片的显影示意图。如图所示，于本实施方式的步骤中，将板材101通过显影机进行显影制程，板材101为具有被曝光的感光干膜20的铜合金材料10。将显影液喷淋于被曝光的感光干膜20，显影液会与被曝光的感光干膜20发生反应，并将被曝光的感光干膜20溶解去除掉。如此留下未被曝光的感光干膜20于铜合金材料10的表面的弹簧片板材100，换言之，弹簧片板材100为于铜合金材料10的表面上具有弹簧片图案211造型的感光干膜20。

请参阅图10，是本申请的制作马达弹簧片的蚀刻示意图。如图所示，于本实施方式的步骤中，将弹簧片板材100通过蚀刻机进行蚀刻制程。弹簧片板材100为具有未被曝光的感光干膜20于铜合金材料10上。弹簧片板材100执行步骤S20：经过多次以60度到120度的扇形喷射角度B喷洒蚀刻液200于弹簧片板材100，蚀刻液喷淋到弹簧片板材100，蚀刻液会将未被感光干膜20覆盖的铜合金材料10蚀刻除掉，如此留下受到感光干膜20覆盖的铜合金材料10的部分，其中，铜合金材料10留下的部分相同于掩膜版21的弹簧片图案211。

承上所述，铜合金材料10的四个角位依照感光干膜20的四个倒圆角进行蚀刻，被蚀刻的铜合金材料10的四个角位形成半径2.5mm到3mm的倒圆角，其可避免后续输送被蚀刻的弹簧片板材100时，被蚀刻的弹簧片板材100的四个角位刮伤输送路径上的多个导轮11。

请参阅图11，是本申请的制作马达弹簧片的退膜示意图。如图所示，于本实施方式的步骤中，将未被曝光的感光干膜20与被蚀刻的铜合金材料10通过退膜机进行退膜制程。将脱膜液喷淋于未被曝光的感光干膜20，脱膜液会将未被曝光的感光干膜20溶解掉，留下被蚀刻的铜合金材料10的部分，此铜合金材料10即为马达弹簧片2。其中，脱膜液为有机退膜液，其也需要再次利用酸洗溶液与无硅消泡剂的功效，于此不再赘述。另外，于退膜制程后更进一步使用铜抗氧化剂于马达弹簧片2，以防止马达弹簧片2的表面在空气中被氧化。

综上所述，本申请提供一种制作马达弹簧片的蚀刻方法，其通过改良喷嘴喷洒蚀刻液的喷射角度，其可避免喷嘴喷洒蚀刻液的力道过大会导致弹簧片板材脱离蚀刻输送路径的导轮，造成弹簧片板材掉落在多个导轮的间隙，导致弹簧片板材刮伤导轮，同时也会造成弹簧片板材卡住多个导轮的故障问题。

还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、商品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、商品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、商品或者设备中还存在另外的相同要素。

上述说明示出并描述了本申请的若干优选实施方式，但如前对象，应当理解本申请并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施方式的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文对象发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本申请的精神和范围，则都应在本申请所附权利要求的保护范围内。

Claims (7)

1.一种制作马达弹簧片的蚀刻方法，其特征在于，其步骤包括：

将弹簧片板材以相对于输送方向具有倾斜角度的方式进行蚀刻；以及

经过多次以60度到120度的扇形喷射角度喷洒蚀刻液于所述弹簧片板材，其中第一次以60度到70度进行扇形喷洒蚀刻液于所述弹簧片板材，第二次以85度到95度进行扇形喷洒蚀刻液于所述弹簧片板材，第三次以85度到95度进行扇形喷洒蚀刻液于所述弹簧片板材，第四次以110度到120度进行扇形喷洒蚀刻液于所述弹簧片板材。

2.如权利要求1所述的制作马达弹簧片的蚀刻方法，其特征在于，于将弹簧片板材以相对于输送方向具有倾斜角度的方式进行蚀刻的步骤中，所述弹簧片板材为矩形片，所述弹簧片板材的两侧边相对于输送方向具有35度到40度之间的所述倾斜角度。

3.如权利要求1所述的制作马达弹簧片的蚀刻方法，其特征在于，于将弹簧片板材以相对于输送方向具有倾斜角度的方式进行蚀刻的步骤中，所述弹簧片板材经过多个导轮导引，并使所述弹簧片板材经过角度组件确认所述倾斜角度。

4.如权利要求1所述的制作马达弹簧片的蚀刻方法，其特征在于，于经过多次以60度到120度的扇形喷射角度喷洒蚀刻液于所述弹簧片板材的步骤中，第一次以65度、第二次以90度、第三次以90度与第四次以115度进行扇形喷洒蚀刻液于所述弹簧片板材。

5.如权利要求1所述的制作马达弹簧片的蚀刻方法，其特征在于，于经过多次以60度到120度的扇形喷射角度喷洒蚀刻液于所述弹簧片板材的步骤后，所述弹簧片板材的四个角位形成半径2.5mm到3mm的倒圆角。

6.如权利要求1所述的制作马达弹簧片的蚀刻方法，其特征在于，所述弹簧片板材的厚度为0.02mm到0.05mm。

7.如权利要求1所述的制作马达弹簧片的蚀刻方法，其特征在于，所述蚀刻液选自为酸性氯化铜、次氯酸钠化学再生剂或盐酸其中之一或其组合。

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