CN113285046B

CN113285046B - 衬底基板、衬底基板制造方法与显示面板

Info

Publication number: CN113285046B
Application number: CN202110557268.5A
Authority: CN
Inventors: 夏维; 郭远征; 文强
Original assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Current assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date: 2021-05-21
Filing date: 2021-05-21
Publication date: 2023-07-04
Anticipated expiration: 2041-05-21
Also published as: CN113285046A

Abstract

本公开实施例提供了一种衬底基板、衬底基板制造方法与显示面板，该衬底基板包括：第一衬底、第一功能层、第二功能层与第二衬底；第一功能层设于所述第一衬底一侧的表面上，且所述第一功能层上设有多个开孔区；第二功能层通过所述开孔区设于所述第一衬底的表面上，所述第二功能层被配置为能够阻隔水汽；第二衬底设于所述第一功能层与所述第二功能层背离所述第一衬底的一侧表面上；其中，所述第一功能层与所述第一衬底和/或所述第二衬底的酸碱性相反。本公开提供的衬底基板，能够提升双层衬底间的粘附力。

Description

衬底基板、衬底基板制造方法与显示面板

技术领域

本公开涉及显示技术领域，具体而言，涉及一种衬底基板、衬底基板制造方法与显示面板。

背景技术

近年来柔性显示迅猛发展，柔性显示的发展方向以此为曲面、可弯曲、可卷曲、可折叠，曲率半径越来越小，曲率半径的降低对柔性触控、封装和薄膜晶体管都提出了越来越高的要求。目前柔性衬底普遍都采用双层衬底，但在实际生产中，经常出现双层衬底分离的现象，大大影响产品的良率。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开实施例的目的在于提供一种衬底基板、衬底基板制造方法与显示面板，能够提升双层衬底间的粘附力。

根据本公开实施例的一个方面，提供了一种衬底基板，该衬底基板包括：

第一衬底；

第一功能层，设于所述第一衬底一侧的表面上，且所述第一功能层上设有多个开孔区；

第二功能层，通过所述开孔区设于所述第一衬底的表面上，所述第二功能层被配置为能够阻隔水汽；

第二衬底，设于所述第一功能层与所述第二功能层背离所述第一衬底的一侧表面上；

其中，所述第一功能层与所述第一衬底和/或所述第二衬底的酸碱性相反。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一衬底与所述开孔区对应的位置形成有凹槽，所述第二功能层位于所述凹槽。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一功能层呈酸碱两性或碱性，所述第一衬底和/或所述第二衬底呈酸性。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一功能层的材料包括：金属氧化物。

在本公开的一种示例性实施例中，所述金属氧化物为致密金属氧化层，所述致密金属氧化层被配置为能够阻隔水汽。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一衬底和/或所述第二衬底的形成材料中包括：羧基。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第二功能层包括：

无机层，通过所述开孔区设于所述第一衬底的表面上，所述无机层被配置为能够阻隔水汽；

粘接层，设于所述无机层背离所述第一衬底的一侧，所述粘接层与所述第二衬底的接触面能够形成氢键。

根据本公开的另一个方面，还提供了一种显示面板，该显示面板包括：

上述的衬底基板；

驱动功能层，设于所述第二衬底背离所述第一衬底的一侧；所述驱动功能层包括多个薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括有源层，所述有源层包括沟道区；至少部分所述薄膜晶体管的沟道区在所述第一衬底上的正投影，与所述第一功能层在所述第一衬底上的正投影具有重叠部分。

在本公开的一种示例性实施例中，所述薄膜晶体管的沟道区在所述第一衬底上的正投影，位于所述第一功能层在所述第一衬底上的正投影内。

根据本公开的又一个方面，还提供了一种衬底基板的制造方法，该制造方法包括：

提供第一衬底；

在所述第一衬底一侧的表面上形成包括多个开孔区的第一功能层；

以所述第一功能层作为刻蚀阻挡层，对所述第一衬底进行刻蚀，以在所述第一衬底上与所述开孔区对应的位置形成凹槽；

在所述第一衬底的表面上形成覆盖所述第一功能层的第二功能材料层；

图案化所述第二功能材料层，形成位于所述凹槽上的第二功能层，所述第二功能层被配置为能够阻隔水汽；

在所述第一功能层与所述第二功能层背离所述第一衬底的一侧表面上形成第二衬底；其中，所述第一功能层与所述第一衬底和/或所述第二衬底的酸碱性相反。

本公开提供的衬底基板，第一衬底与第二衬底之间形成有第一功能层和第二功能层，第一功能层与第一衬底及第二衬底中的至少一者酸碱性相反，当第一功能层与衬底材料接触后，第一功能层与酸碱性相反的衬底接触界面处会发生类似酸碱中和反应的化学反应生成化学键，通过在接触界面处生成化学键能大大增强第一功能层与衬底界面粘附力，从而提升双层衬底间的粘附力；同时，通过第二功能层能够阻隔水汽入侵。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1为本公开的一种实施例提供的显示面板的示意图；

图2为本公开的一种实施例提供的显示面板的俯视图；

图3-图5为本公开的一种实施例提供的衬底基板的制造工序图；

图6为本公开的一种实施例提供的衬底基板的示意图；

图7为本公开的另一种实施例提供的显示面板的示意图；

图8为本公开的另一种实施例提供的显示面板的俯视图；

图9为图8中有源层的示意图；

图10为图8中栅极层的示意图；

图11为本公开的一种实施例提供的衬底基板的制造方法流程图。

附图标记说明：

110、第一衬底；111、凹槽；120、第二衬底；

20、第一功能层；210、开孔区；

30、第二功能层；310、无机层；320、粘接层；

40、水汽阻隔层；

50、驱动功能层；510、有源层；511、沟道区；512、源漏区；520、栅绝缘层；530、栅极；540、源漏极；550、电极层；

60、发光层；610、第一子像素；620、第二子像素；630、第三子像素；

70、封装层。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本公开将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。

此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而没有特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知方法、装置、实现或者操作以避免模糊本公开的各方面。

虽然本说明书中使用相对性的用语，例如“上”“下”来描述图标的一个组件对于另一组件的相对关系，但是这些术语用于本说明书中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。能理解的是，如果将图标的装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在“上”的组件将会成为在“下”的组件。当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。

用语“一个”、“一”、“该”、和“至少一个”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等；用语“第一”、“第二”等仅作为标记使用，不是对其对象的数量限制。

本公开实施例提供了一种衬底基板，如图5所示，该衬底基板包括：第一衬底110、第一功能层20、第二功能层30与第二衬底120；第一功能层20设于第一衬底110一侧的表面上，且第一功能层20上设有多个开孔区210；第二功能层30通过开孔区210设于第一衬底110的表面上，第二功能层30被配置为能够阻隔水汽；第二衬底120设于第一功能层20与第二功能层30背离第一衬底110的一侧表面上。其中，第一功能层20与第一衬底110和的酸碱性相反；或者，第一功能层20与第二衬底120和的酸碱性相反；或者，第一功能层20与第一衬底110及第二衬底120的酸碱性均相反。需要说明的是，第一功能层20与第一衬底110和/或第二衬底120的酸碱性相反，即第一功能层20包括与第一衬底110和/或第二衬底120的酸碱性相反的酸性基团或碱性基团，第一功能层20可同时包括有酸性基团与碱性基团。

本公开提供的衬底基板，第一衬底110与第二衬底120之间形成有第一功能层20和第二功能层30，第一功能层20与第一衬底110及第二衬底120中的至少一者酸碱性相反，当第一功能层20与衬底材料接触后，第一功能层20与酸碱性相反的衬底接触界面处会发生类似酸碱中和反应的化学反应生成化学键，通过在接触界面处生成化学键能大大增强第一功能层20与衬底界面粘附力，从而提升双层衬底间的粘附力；同时，通过第二功能层30能够阻隔水汽入侵。

具体地，如图3所示，第一衬底110与开孔区210对应的位置形成有凹槽111，第二功能层30位于凹槽111。通过设置凹槽111，第二功能层30形成时随形覆盖在凹槽111上，第二功能层30背离第一衬底110的一层形成凹陷部，以相对增加与第二衬底120的层间接触面积，从而提升与第二衬底120之间的粘附力。

其中，在第一衬底110的厚度方向上，凹槽111的深度可为

例如

等，本公开在此不一一列举；当然，凹槽111的深度也可小于/>

或大于/>

本公开对此不做限制。

具体地，如图4所示，第二功能层30包括无机层310和粘接层320。无机层310通过开孔区210设于第一衬底110的表面上，无机层310被配置为能够阻隔水汽；粘接层320设于无机层310背离第一衬底110的一侧，粘接层320与第二衬底120的接触面能够形成氢键，从而提升与第二衬底120间的粘附力。

其中，第一衬底110上凹槽111的截面形状可为倒梯形，即靠近第二衬底120一侧的开口尺寸大于凹槽111底部的尺寸。通过使第一衬底110上凹槽111的截面形状为倒梯形，有利于无机层310沉积，保证无机层310的阻隔水汽的作用。当然，第一衬底110上凹槽111的截面形状也可为矩形、半圆形、三角形或不规则形状，本公开对此不做限制。

具体地，第一功能层20的材料呈酸碱两性或碱性，第一衬底110呈酸性；或者，第二衬底120呈酸性；或者，第一衬底110与第二衬底120均呈酸性。第一功能层20与酸碱性相反的酸性衬底接触界面处会发生类似酸碱中和反应的化学反应生成化学键，通过在接触界面处生成化学键能大大增强第一功能层20与衬底界面粘附力，从而提升双层衬底间的粘附力。

在本公开的一种实施例中，第一功能层20的材料包括金属氧化物，金属氧化物呈两性或者碱性，金属氧化物例如可以为AlOx、BeOx、CrOx、ZnOx、MgO等碱性或者两性金属氧化物。

其中，金属氧化物层的厚度可为

例如/>

等，本公开在此不一一列举；当然，金属氧化物层的厚度也可小于/>

或大于/>

本公开对此不做限制。此外，采用金属氧化物层，能够起到遮光的作用，形成对后续形成有源层510的遮光，以提高薄膜晶体管的性能。

其中，金属氧化物为致密金属氧化层，致密金属氧化层形成有致密氧化层，致密氧化层能够阻隔水汽，从而通过致密金属氧化层同时能够阻隔水汽入侵。

其中，形成第一衬底110的材料例如可为包括羧基(-COOH)的材料，例如采用聚酰胺酸(PAA)形成第一衬底110，聚酰胺酸(PAA)含有大量的羧基(-COOH)。聚酰胺酸与金属氧化物的界面处会发生类似酸碱中和反应的化学反应，生成化学键从而提升第一功能层20与第一衬底110间的粘附力。当然，第一衬底110也可为其他材料，例如聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯醇、聚乙烯基苯酚、聚醚砜、聚酰亚胺、聚酰胺、聚缩醛、聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二酯、聚萘二甲酸乙二酯或其组合。

其中，形成第二衬底120的材料例如可为包括羧基(-COOH)的材料，例如采用聚酰胺酸(PAA)形成第一衬底110，聚酰胺酸(PAA)含有大量的羧基(-COOH)。聚酰胺酸溶液涂覆在金属氧化物表面后，经过高温固化，聚酰胺酸与金属氧化物的界面处会发生类似酸碱中和反应的化学反应，生成化学键从而提升第一功能层20与第二衬底120间的粘附力。当然，第二衬底120也可为其他材料，例如聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯醇、聚乙烯基苯酚、聚醚砜、聚酰亚胺、聚酰胺、聚缩醛、聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二酯、聚萘二甲酸乙二酯或其组合。

在本公开的另一种实施例中，第一功能层20的材料包括金属，例如钼。通过磁控溅射法制备的金属钼(Mo)膜层，表面粗糙度很高，若将金属钼插入双层衬底(PI)间，也能大大提高粘附力。

本公开的实施例还提供了一种显示面板，如图1和图7所示，该显示面板包括：驱动功能层50和上述实施例所述的衬底基板。驱动功能层50设于第二衬底120背离第一衬底110的一侧；驱动功能层50包括多个薄膜晶体管，薄膜晶体管包括有源层510，有源层510包括沟道区511；至少部分薄膜晶体管的沟道区511在第一衬底110上的正投影，与第一功能层20在第一衬底110上的正投影具有重叠部分。

本公开提供的显示面板，衬底基板的第一衬底110与第二衬底120之间形成有第一功能层20和第二功能层30，第一功能层20与第一衬底110及第二衬底120中的至少一者酸碱性相反，当第一功能层20与衬底材料接触后，第一功能层20与酸碱性相反的衬底接触界面处会发生类似酸碱中和反应的化学反应生成化学键，通过在接触界面处生成化学键能大大增强第一功能层20与衬底界面粘附力，从而提升双层衬底间的粘附力；同时，通过第二功能层30能够阻隔水汽入侵。此外，至少部分薄膜晶体管的沟道区511在第一衬底110上的正投影与第一功能层20在第一衬底110上的正投影具有重叠部分，即可通过第一功能层20作为沟道区511的遮光层，遮蔽外界环境光对沟道区511的影响，从而提升薄膜晶体管的性能。

在本公开的一种实施例中，如图1、图6和图7所示，显示面板还包括水汽阻隔层40、发光层(EL)60和封装层(TFE)70，水汽阻隔层40设于第二衬底120背离第一衬底110的一侧，驱动功能层50设于水汽阻隔层40背离第二衬底120的一侧；发光层60设于驱动功能层50背离衬底基板的一侧；封装层70设于发光层60背离衬底基板的一侧。驱动功能层50包括多个薄膜晶体管，薄膜晶体管包括有源层510、栅绝缘层520、栅极530、源漏极540和电极层550，有源层510包括沟道区511和位于沟道区511两侧的源漏区512，电极层550连接源漏极540与发光层60，电极层550例如可作为各子像素的阳极。

在本公开的一种实施例中，如图1和图2所示，发光层60包括多个发光单元，各发光单元例如包括第一子像素610、第二子像素620和第三子像素630，第一子像素610可为蓝色子像素，第二子像素620可为红色子像素，第三子像素630可为绿色子像素；当然，各发光单元还可包括第四子像素，第四子像素可为黄色子像素，本公开对此不做限制。其中，各子像素对应有一个驱动晶体管和多个开关晶体管，各发光单元对应的驱动晶体管的沟道区511在第一衬底110上的正投影，位于第一功能层20在第一衬底110上的正投影内，遮蔽外界环境光对驱动晶体管的沟道区511造成影响，从而提升驱动晶体管的性能。

在本公开的另一种实施例中，如图7-图10所示，发光层60包括多个发光单元，各发光单元例如包括多个子像素，各子像素对应有一个驱动晶体管和多个开关晶体管。如图8所示，栅极530与有源层510的交叠处投影与位于第一功能层20图案内，一个子像素内的每个薄膜晶体管的沟道区511正投影位于两个凹槽111间的金属氧化物层图案内，沟道区511与沟道区511之间存在不少于一个凹槽111，即各驱动晶体管和开关晶体管的沟道区511在第一衬底110上的正投影均位于第一功能层20在第一衬底110上的正投影内。通过第一功能层20遮蔽外界环境光对各驱动晶体管和开关晶体管的沟道区511造成影响，从而提升驱动晶体管的性能。

此外，在该实施例中，凹槽111的密度更高，尺寸更小(＜5μm)，制备的第一衬底110的表面粗糙度更大，双层衬底间拥有更强的粘附力。但是，本领域技术人员应当清楚，凹槽111如果过小，第二衬底120的涂覆成膜比较困难，容易产生气泡。

本公开提供的显示面板可应用于各中显示装置中，其可以是电视机、笔记本电脑、平板电脑、可穿戴显示设备(VR、AR)、手机、车载显示、导航、电子书、数码相框、广告灯箱等任何具有柔性显示功能的产品或部件。

本公开的实施例还一种衬底基板的制造方法，如图11所示，该衬底基板的制造方法包括：

步骤S100、提供第一衬底；

步骤S200、在第一衬底一侧的表面上形成包括多个开孔区的第一功能层；

步骤S300、以所述第一功能层作为刻蚀阻挡层，对所述第一衬底进行刻蚀，以在第一衬底上与开孔区对应的位置形成凹槽；

步骤S400、在第一衬底的表面上形成覆盖第一功能层的第二功能材料层；

步骤S500、图案化第二功能材料层，形成位于凹槽上的第二功能层，第二功能层被配置为能够阻隔水汽；

步骤S600、在第一功能层与第二功能层背离第一衬底的一侧表面上形成第二衬底；其中，第一功能层与第一衬底和/或第二衬底的酸碱性相反。

本公开提供的衬底基板的制造方法，在第一衬底与第二衬底之间形成有第一功能层和第二功能层，第一功能层与第一衬底及第二衬底中的至少一者酸碱性相反，当第一功能层与衬底材料接触后，第一功能层与酸碱性相反的衬底接触界面处会发生类似酸碱中和反应的化学反应生成化学键，通过在接触界面处生成化学键能大大增强第一功能层与衬底界面粘附力，从而提升双层衬底间的粘附力；同时，通过第二功能层能够阻隔水汽入侵。

下面，将对本公开提供的衬底基板的制造方法中的各步骤进行详细的说明。

在步骤S100中，提供第一衬底。

具体地，如图3所示，提供第一衬底110，形成第一衬底110的材料例如可为包括羧基(-COOH)的材料，例如采用聚酰胺酸(PAA)形成第一衬底110，聚酰胺酸(PAA)含有大量的羧基(-COOH)。聚酰胺酸与金属氧化物的界面处会发生类似酸碱中和反应的化学反应，生成化学键从而提升第一功能层20与第一衬底110间的粘附力。当然，第一衬底110也可为其他材料，例如聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚乙烯醇(PVA)、聚乙烯基苯酚(PVP)、聚醚砜(PES)、聚酰亚胺、聚酰胺、聚缩醛、聚碳酸酯(PC)、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚萘二甲酸乙二酯(PEN)或其组合。

在步骤S200中，在第一衬底一侧的表面上形成包括多个开孔区的第一功能层。

具体地，如图3所示，可通过沉积金属氧化物层，接着通过曝光形成图案化的金属氧化物层。第一功能层20的材料呈酸碱两性或碱性，第一衬底110呈酸性。第一功能层20与酸碱性相反的酸性衬底接触界面处会发生类似酸碱中和反应的化学反应生成化学键，通过在接触界面处生成化学键能大大增强第一功能层20与衬底界面粘附力。

在本公开的一种实施例中，第一功能层20的材料包括金属氧化物，金属氧化物呈两性或者碱性，金属氧化物例如可以为AlOx、BeOx、CrOx、ZnOx、MgO等碱性或者两性金属氧化物。其中，金属氧化物层的厚度可为

例如/>

或大于

本公开对此不做限制。

其中，可在金属氧化物的表面形成致密氧化层，致密氧化层能够阻隔水汽，从而通过致密金属氧化层同时能够阻隔水汽入侵。

在步骤S300中，以第一功能层作为刻蚀阻挡层，对第一衬底进行刻蚀，以在第一衬底上与开孔区对应的位置形成凹槽。

具体地，如图3所示，第一功能层20可作为第一衬底110的刻蚀阻挡层。在对第一衬底110进行刻蚀时，通过第一功能层20作为刻蚀阻挡层，进而在第一衬底110上形成与开孔区210位置对应的凹槽111，避免了提供新的掩膜版，降低了工艺难度与成本，提高了工艺效率。

其中，第一衬底110上凹槽111的截面形状可为倒梯形，即靠近第二衬底120一侧的开口尺寸大于凹槽111底部的尺寸。通过使第一衬底110上凹槽111的截面形状为倒梯形，有利于无机材料层的沉积，保证无机层310的阻隔水汽的作用。当然，第一衬底110上凹槽111的截面形状也可为矩形、半圆形、三角形或不规则形状，本公开对此不做限制。

在步骤S400中，在第一衬底的表面上形成覆盖第一功能层的第二功能材料层。

具体地，在第一衬底110的表面上沉积覆盖第一功能层20的第二功能材料层，第二功能材料层包括无机材料层和粘接材料层。

在步骤S500中，图案化第二功能材料层，形成位于凹槽上的第二功能层，第二功能层被配置为能够阻隔水汽。

具体地，如图4所示，图案化第二功能材料层，行成位于凹槽111上的第二功能层30，即形成无机层310和粘接层320。无机层310通过开孔区210设于凹槽111中的第一衬底110的表面上，无机层310被配置为能够阻隔水汽；粘接层320设于无机层310背离第一衬底110的一侧，粘接层320与第二衬底120的接触面能够形成氢键，从而提升与第二衬底120间的粘附力。

在步骤S600中，在第一功能层与第二功能层背离第一衬底的一侧表面上形成第二衬底；其中，第一功能层与第一衬底和/或第二衬底的酸碱性相反。

具体地，如图5所示，在第一功能层20与第二功能层30背离第一衬底110的一侧涂覆聚酰胺酸(PAA)，高温固化成膜。聚酰胺酸(PAA)含有大量的羧基(-COOH)。聚酰胺酸与金属氧化物的界面处会发生类似酸碱中和反应的化学反应，生成化学键从而提升第一功能层20与第一衬底110间的粘附力。当然，第二衬底120也可为其他材料，例如聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚乙烯醇(PVA)、聚乙烯基苯酚(PVP)、聚醚砜(PES)、聚酰亚胺、聚酰胺、聚缩醛、聚碳酸酯(PC)、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚萘二甲酸乙二酯(PEN)或其组合。

通过第一功能层20与第一衬底110及第二衬底120中的至少一者酸碱性相反，当第一功能层20与衬底材料接触后，第一功能层20与酸碱性相反的衬底接触界面处会发生类似酸碱中和反应的化学反应生成化学键，通过在接触界面处生成化学键能大大增强第一功能层20与衬底界面粘附力，从而提升双层衬底间的粘附力。

此外，如图1和图7所示，通过本公开提供的衬底基板的制造方法，可继续通过沉积水汽阻隔层40，制备驱动功能层50，接着形成发光层60，接着对发光器件进行封装，进行后续剥离、模组工艺可形成显示面板。

附图中所示的流程图仅是示例性说明，不是必须包括所有的内容和操作/步骤，也不是必须按所描述的顺序执行。例如，有的操作/步骤还可以分解，而有的操作/步骤可以合并或部分合并，因此实际执行的顺序有可能根据实际情况改变。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其它实施方案。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由下面的权利要求指出。

应当理解的是，本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims

1.一种衬底基板，其特征在于，包括：

第一衬底；

其中，所述第一功能层与所述第一衬底和/或所述第二衬底的酸碱性相反；

其中，所述第二功能层包括：无机层和粘接层，所述无机层通过所述开孔区设于所述第一衬底的表面上，所述无机层被配置为能够阻隔水汽；所述粘接层设于所述无机层背离所述第一衬底的一侧，所述粘接层与所述第二衬底的接触面能够形成氢键。

2.根据权利要求1所述的衬底基板，其特征在于，所述第一衬底与所述开孔区对应的位置形成有凹槽，所述第二功能层位于所述凹槽。

3.根据权利要求1所述的衬底基板，其特征在于，所述第一功能层呈酸碱两性或碱性，所述第一衬底和/或所述第二衬底呈酸性。

4.根据权利要求3所述的衬底基板，其特征在于，所述第一功能层的材料包括：金属氧化物。

5.根据权利要求4所述的衬底基板，其特征在于，所述金属氧化物为致密金属氧化层，所述致密金属氧化层被配置为能够阻隔水汽。

6.根据权利要求3所述的衬底基板，其特征在于，所述第一衬底和/或所述第二衬底的形成材料中包括：羧基。

7.一种显示面板，其特征在于，包括：

权利要求1-6任一项所述的衬底基板；

8.根据权利要求7所述的显示面板，其特征在于，所述薄膜晶体管的沟道区在所述第一衬底上的正投影，位于所述第一功能层在所述第一衬底上的正投影内。

9.一种衬底基板的制造方法，其特征在于，包括：

提供第一衬底；

在所述第一功能层与所述第二功能层背离所述第一衬底的一侧表面上形成第二衬底；其中，所述第一功能层与所述第一衬底和/或所述第二衬底的酸碱性相反；所述第二功能层包括：无机层和粘接层，所述无机层通过所述开孔区设于所述第一衬底的表面上，所述无机层被配置为能够阻隔水汽；所述粘接层设于所述无机层背离所述第一衬底的一侧，所述粘接层与所述第二衬底的接触面能够形成氢键。