CN113265639A - 一种具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构，包括：固定轮、公转盘和导向轮；固定轮与真空室连接；公转盘设置在固定轮的下方，并设置有多个自转盘，每个自转盘通过转动传递机构与固定轮连接并通过摆动传递机构与导向轮连接。导向轨道的结构被设置为在公转盘旋转时，带动滑动结构沿滑轨前后移动，使得摆动臂摆动。本发明能够避免开门手动调节自转盘的角度，使得镀膜过程一次完成，从而能够保证膜层质量和提高镀膜效率。

Description

一种具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构
技术领域
本发明涉及一种镀膜机技术领域，具体涉及一种具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构。
背景技术
随着电子设备的大力发展，各种类型的芯片应运而生。对于一些芯片，会设置有一些微型内凹槽，这些微型内凹槽也需要被均匀镀膜，才能实现芯片的功能。如果镀膜过程中，使用的基片相对于蒸发源方向不变，则内凹槽中有一个面始终不能镀到膜。目前，常用的方法是用一种可以手动调节角度的行星盘镀膜，要分两次镀膜，第一次手工调整一个角度镀膜，镀膜完成后设备要开门，然后再手动调整一个角度镀膜。这种方式有很多缺点，一是两次镀膜中间要开门手动调整行星盘角度，这个过程中很容易引入污染物，导致膜层中间有杂质，影响膜层质量；二是镀膜设备开门过程中要增加一次抽放气时间，导致镀膜效率降低。
发明内容
鉴于上述技术问题，本发明实施例提供具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构，能够避免开门手动调节自转盘的角度，使得镀膜过程一次完成，从而能够保证膜层质量和提高镀膜效率。
本发明采用的技术方案为：
本发明实施例提供一种具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构，包括：固定轮、公转盘和导向轮；所述固定轮与真空室的顶部固定连接；所述公转盘设置在所述固定轮的下方，与设置在真空室上的驱动装置连接，所述公转盘的下方设置有多个自转盘，每个自转盘通过转动传递机构与所述固定轮连接并通过摆动传递机构与所述导向轮连接；其中，所述转动传递机构包括第一从动轮、第二从动轮、第一连接架、第二连接架、第一转轴、第二转轴、第三转轴、第一锥齿轮、第二锥齿轮和第三锥齿轮，所述第一从动轮设置在所述固定轮和所述第二从动轮之间并与所述固定轮和所述第二从动轮啮合连接，所述第一转轴的一端与所述第二从动轮连接，另一端穿过所述第一连接架与所述第一锥齿轮连接，所述第一连接架和所述第二连接架通过所述第二转轴转动连接，所述第二锥齿轮设置在所述第二转轴上，所述第三转轴的一端与所述第三锥齿轮连接，另一端穿过所述第二连接架与所述自动盘连接，所述第二锥齿轮分别与所述第一锥齿轮和所述第三锥齿轮啮合连接；
所述导向轮设置在所述固定轮的上方并与所述真空室固定连接，所述导向轮上形成有导向轨道；
所述摆动传递机构包括导轨、滑动结构和摆动臂，所述导轨设置在对应的第一从动轮和第二从动轮的两侧；所述滑动结构分别与所述导轨和所述摆动臂滑动连接，以及与所述导向轨道滚动连接；所述摆动臂设置在所述第二连接架的两端；所述导向轨道的结构被设置为在所述公转盘旋转时，带动所述滑动结构沿所述滑轨前后移动，使得所述摆动臂摆动。
本发明实施例提供的具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构，由于设置了与自转盘连接的摆动传递机构，使得自转盘在公转、自转的同时实现自动摆动，从而能够避免开门手动调节自转盘的角度，使得镀膜过程一次完成，进而能够保证膜层质量和提高镀膜效率。
附图说明
图1至图3为本发明一实施例提供的具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构的结构示意图；
图4为本发明另一实施例提供的具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构的结构示意图；
图5为本发明又一实施例提供的具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供一种具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构，该转动机构能够在公转、自转的同时实现自动摆动，可适用于具有微型凹槽的基片的镀膜。通过该转动机构，镀膜过程中不需要设备开门手动调节自转盘的角度，膜层中间不会引入外界污染物，能够保证膜层质量。此外，镀膜过程一次完成，中间不需要设备开门，减少一次放气和抽气时间，能够提高镀膜效率。以下参考附图，对本发明实施例提供的具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构进行详细介绍。
(实施例1)
本实施例提供的具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构，该镀膜转动机构用于放置待镀膜的工件例如基片，如图1所示，安装在真空室1内，通过安装在真空室1的顶部上的旋转驱动装置2例如驱动电机进行驱动，在蒸发源3的作用下，实现工件的均匀镀膜。真空室1、旋转驱动装置2、蒸发源3是镀膜机中的常用组件，为避免赘述，本发明省略对它们的具体介绍。
如图1至图3所示，本实施例提供的具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构可包括：同轴依次设置的导向轮7、固定轮8和公转盘6。
导向轮7设置在固定轮8的上方，导向轮7和固定轮8都与真空室1的顶部固定连接。例如，可通过固定法兰4与真空室1固定连接，固定法兰4的一端与真空室1的顶部连接，另一端可通过多个圆柱20分别导向轮7和固定轮8连接，使得导向轮7和固定轮8都处于固定状态。导向轮7上形成有导向轨道。在本实施例中，导向轮7可为槽轮，导向轨道为形成在导向轮7上的凹槽27。固定轮8可为直齿轮或斜齿轮。
公转盘6设置在固定轮8的下方，与设置在真空室上的驱动装置2连接，公转盘6的下方设置有多个自转盘11，每个自转盘11可通过转动传递机构与固定轮连接并通过摆动传递机构与导向轮7连接，以实现自转盘的公转和自转。在一个示例中，如图3所示，公转盘6可形成为十字型结构。在一具体示例中，公转盘6可通过转接法兰5与驱动装置2连接。转接法兰5的上端跟驱动装置2的转动部分连接，下端和公转盘6连接，使得公转盘6能够在驱动装置2的电机实现公转。
其中，转动传递机构可包括第一从动轮14、第二从动轮15、第一连接架13、第二连接架28、第一转轴23、第二转轴24、第三转轴25、第一锥齿轮16、第二锥齿轮17和第三锥齿轮18。第一从动轮14可通过转轴转动设置在固定轮8和第二从动轮15之间并与固定轮8和第二从动轮15啮合连接。第一转轴23的一端与第二从动轮15连接，另一端穿过第一连接架13与第一锥齿轮16连接，第一连接架13和第二连接架28通过第二转轴24转动连接，第二锥齿轮17设置在第二转轴24上，第三转轴25的一端与第三锥齿轮18连接，另一端穿过第二连接架28与自动盘11连接，第二锥齿轮18分别与第一锥齿轮16和第三锥齿轮17啮合连接。第一从动轮14和第二从动轮15可为直径比固定轮8小的直齿轮或斜齿轮，第一从动轮14和第二从动轮15的直径可相同。第一锥齿轮16、第二锥齿轮17和第三锥齿轮18的齿牙相对其轴心的倾斜角度在45°度左右，因此垂直的两个齿轮之间可以较好的啮合。
摆动传递机构可包括导轨9、滑动结构10和摆动臂12，导轨9设置在对应的第一从动轮14和第二从动轮15的两侧；滑动结构10分别与导轨9和摆动臂12滑动连接，以及与导向轨道滚动连接；摆动臂12设置在第二连接架28的两端。具体地，滑动结构10可包括滑动件、水平连接件和竖直连接件，滑动件与导轨9滑动连接；水平连接件与滑动件的上方连接并设置有轴承19，轴承19插入设置在凹槽27中；竖直连接件设置在滑动件的两侧，分别与摆动臂滑动连接。在一个具体示例中，竖直连接件上设置有拨杆26，摆动臂上设置有滑动槽29，拨杆26插入设置在滑动槽29中，可沿滑动槽29滑动。
通过转动传递机构和摆动传递机构，当公转盘6在电机带动下转动的时候，安装在公转盘6上的第一从动轮14开始转动，然后带动第二从动轮15、第一锥齿轮16、第二锥齿轮17、第三锥齿轮18转动，使得自转盘11绕第三转轴25自转。与此同时，滑动结构10左侧的轴承19开始沿槽轮7的凹槽滑动，带动滑动结构10沿导轨9来回移动，滑动结构10下面的拨杆26带动摆动臂12按照一定角度摆动，这样就使自转盘11在公转、自转的同时，还能自动摆动，使得镀膜过程中不需要设备开门手动调节自转盘的角度，膜层中间不会引入外界污染物，能够保证膜层质量。并且，镀膜过程一次完成，中间不需要设备开门，减少一次放气和抽气时间，能够提高镀膜效率。
在本实施例中，导向轮7中的凹槽形状决定滑动结构10移动范围，从而影响自转盘11的摆动范围，图3中显示的凹槽是4个凸起，实际设计中可能用到多个突起的凹槽，也可能用到其他形状的凹槽，本发明不做特别限定，只要凹槽的结构被设置为能够在公转盘6旋转时，带动滑动结构10沿滑轨前后移动，使得摆动臂12摆动即可。
此外，在具体应用中，自转盘11的摆动范围和摆动幅度受以下条件影响：导向轮7中凹槽的形状，滑动结构10中拨杆26的位置，摆动臂12上面滑动槽29距离第二转轴24的距离，因此，实际使用中可以调节这些参数适合不同需求。
(实施例2)
图4为本发明另一实施例提供的具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构。如图4所示，该实施例的镀膜转动机构与前述实施例的镀膜转动机构的结构基本相同，不同之处在于，通过凸轮和弹簧实现自转盘的自动摆动。以下，为避免赘述，仅对不同之处进行介绍。
具体地，在本实施例中，导向轮7替换为凸轮30，导向轨道为凸轮30的外侧面，轴承19与该外侧面贴合接触，可沿该外侧面滚动。滑动结构的滑动件和导轨的前端之间可设置有拉伸弹簧31，或者，滑动结构的滑动件和导轨的后端之间可设置有压缩弹簧(未图示)，或者，在第三连接轴25上设置有扭转弹簧(未图示)。这样，通过凸轮和弹簧结构，与前述实施例工作原理类似，当公转盘6在电机带动下转动的时候，也能实现自转盘的自动摆动。
类似地，本实施例中的凸轮30的外侧面决定滑动结构10移动范围，从而影响自转盘11的摆动范围，图4中显示的外侧面由4个凸起构成，实际设计中可能用到多个突起的凹槽，也可能用到其他形状的外侧面，本发明不做特别限定，只要外侧面的结构被设置为能够在公转盘6旋转时，带动滑动结构10沿滑轨前后移动，使得摆动臂12摆动即可。
(实施例3)
图5为本发明另一实施例提供的具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构。如图5所示，该实施例的镀膜转动机构与前述实施例的镀膜转动机构的结构基本相同，不同之处在于，镀膜转动机构没有设置导向轮，摆动传递机构通过曲柄和连杆实现自转盘11的自动摆动。以下，为避免赘述，仅对不同之处进行介绍。
在本实施例中，滑动结构10通过曲柄41和连杆42与第一从动轮14连接。其中，曲柄41的一端可通过固定架与第一从动轮14转动连接，另一端与连杆42的一端转动连接，连杆42的另一端与滑动结构10的滑动件转动连接。这样，曲柄41可随着第一从动轮14一起转动，曲柄41的转动，会通过连杆42带动滑动结构10左右移动，从而带动摆动臂12来回摆动，进而带动自转盘11来回摆动。
以上所述实施例，仅为本发明的具体实施方式，用以说明本发明的技术方案，而非对其限制，本发明的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构，其特征在于，包括：固定轮、公转盘和导向轮；
所述固定轮与真空室的顶部固定连接；
所述公转盘设置在所述固定轮的下方，与设置在真空室上的驱动装置连接，所述公转盘的下方设置有多个自转盘，每个自转盘通过转动传递机构与所述固定轮连接并通过摆动传递机构与所述导向轮连接；
其中，所述转动传递机构包括第一从动轮、第二从动轮、第一连接架、第二连接架、第一转轴、第二转轴、第三转轴、第一锥齿轮、第二锥齿轮和第三锥齿轮，所述第一从动轮设置在所述固定轮和所述第二从动轮之间并与所述固定轮和所述第二从动轮啮合连接，所述第一转轴的一端与所述第二从动轮连接，另一端穿过所述第一连接架与所述第一锥齿轮连接，所述第一连接架和所述第二连接架通过所述第二转轴转动连接，所述第二锥齿轮设置在所述第二转轴上，所述第三转轴的一端与所述第三锥齿轮连接，另一端穿过所述第二连接架与所述自动盘连接，所述第二锥齿轮分别与所述第一锥齿轮和所述第三锥齿轮啮合连接；
所述导向轮设置在所述固定轮的上方并与所述真空室固定连接，所述导向轮上形成有导向轨道；
所述摆动传递机构包括导轨、滑动结构和摆动臂，所述导轨设置在对应的第一从动轮和第二从动轮的两侧；所述滑动结构分别与所述导轨和所述摆动臂滑动连接，以及与所述导向轨道滚动连接；所述摆动臂设置在所述第二连接架的两端；
所述导向轨道的结构被设置为在所述公转盘旋转时，带动所述滑动结构沿所述滑轨前后移动，使得所述摆动臂摆动。
2.根据权利要求1所述的具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构，其特征在于，所述导向轨道为形成在所述导向轮上的凹槽；
所述滑动结构包括滑动件、水平连接件和竖直连接件，所述滑动件与所述导轨滑动连接；所述水平连接件与所述滑动件的上方连接并设置有轴承，所述轴承插入设置在所述凹槽中；所述竖直连接件设置在所述滑动件的两侧，分别与所述摆动臂滑动连接。
3.根据权利要求1所述的具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构，其特征在于，所述导向轮为凸轮，所述导向轨道为所述凸轮的外侧面；
所述滑动结构包括滑动件、水平连接件和竖直连接件，所述滑动件与所述导轨滑动连接，并且，所述滑动件和所述导轨之间设置有弹簧；所述水平连接件与所述滑动件的上方连接并设置有轴承，所述轴承与所述凸轮的外侧面滚动连接；所述竖直连接件设置在所述滑动件的两侧，分别与所述摆动臂滑动连接。
4.根据权利要求3所述的具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构，其特征在于，所述弹簧为拉伸弹簧，所述拉伸弹簧设置在所述导轨的前端。
5.根据权利要求3所述的具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构，其特征在于，所述弹簧为压缩弹簧，所述压缩弹簧设置在所述导轨的后端。
6.根据权利要求1所述的具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构，其特征在于，所述导向轮为凸轮，所述导向轨道为所述凸轮的外侧面；
所述滑动结构包括滑动件、水平连接件和竖直连接件，所述滑动件与所述导轨滑动连接；所述水平连接件与所述滑动件的上方连接并设置有轴承，所述轴承与所述凸轮的外侧面滚动连接；所述竖直连接件设置在所述滑动件的两侧，分别与所述摆动臂滑动连接；
所述第三连接轴上设置有扭转弹簧。
7.根据权利要求2、3或6所述的具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构，其特征在于，所述竖直连接件上设置有拨杆，所述摆动臂上设置有滑动槽，所述拨杆插入设置在所述滑动槽中。
8.一种具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构，其特征在于，包括：固定轮和公转盘；
所述固定轮与真空室的顶部固定连接；
所述公转盘设置在所述固定轮的下方，与设置在真空室上的驱动装置连接，所述公转盘的下方设置有多个自转盘，每个自转盘通过转动传递机构与所述固定轮连接并通过摆动传递机构实现自动摆动；
其中，所述转动传递机构包括第一从动轮、第二从动轮、第一连接架、第二连接架、第一转轴、第二转轴、第三转轴、第一锥齿轮、第二锥齿轮和第三锥齿轮，所述第一从动轮设置在所述固定轮和所述第二从动轮之间并与所述固定轮和所述第二从动轮啮合连接，所述第一转轴的一端与所述第二从动轮连接，另一端穿过所述第一连接架与所述第一锥齿轮连接，所述第一连接架和所述第二连接架通过所述第二转轴转动连接，所述第二锥齿轮设置在所述第二转轴上，所述第三转轴的一端与所述第三锥齿轮连接，另一端穿过所述第二连接架与所述自动盘连接，所述第二锥齿轮分别与所述第一锥齿轮和所述第三锥齿轮啮合连接；
所述摆动传递机构包括曲柄、连杆、导轨、滑动结构和摆动臂，所述导轨设置在对应的第一从动轮和第二从动轮的两侧；所述滑动结构滑动设置在所述导轨上，两端分别与所述摆动臂滑动连接；所述曲柄的一端与所述第一从动轮转动连接，另一端与所述连杆的一端转动连接，所述连杆的另一端与所述滑动结构转动连接；所述摆动臂设置在所述第二连接架的两端。
9.根据权利要求8所述的具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构，其特征在于，所述滑动结构的两端分别设置有拨杆，所述摆动臂上设置有滑动槽，所述拨杆插入设置在所述滑动槽中。
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