CN113226776B - 喷墨印刷设备、粒子喷射方法以及用于制造显示设备的方法 - Google Patents

喷墨印刷设备、粒子喷射方法以及用于制造显示设备的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN113226776B
CN113226776B CN201980086149.7A CN201980086149A CN113226776B CN 113226776 B CN113226776 B CN 113226776B CN 201980086149 A CN201980086149 A CN 201980086149A CN 113226776 B CN113226776 B CN 113226776B
Authority
CN
China
Prior art keywords
ink
outlet
ink tank
electrode
printing apparatus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201980086149.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN113226776A (zh
Inventor
金翰洙
梁银娥
姜锺赫
赵显敏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Display Co Ltd
Original Assignee
Samsung Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Display Co Ltd filed Critical Samsung Display Co Ltd
Publication of CN113226776A publication Critical patent/CN113226776A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113226776B publication Critical patent/CN113226776B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B41J2/17503—Ink cartridges
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B41J2/17566—Ink level or ink residue control
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/07—Ink jet characterised by jet control
    • B41J2/11—Ink jet characterised by jet control for ink spray
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/07—Ink jet characterised by jet control
    • B41J2/125—Sensors, e.g. deflection sensors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/195—Ink jet characterised by ink handling for monitoring ink quality
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41M—PRINTING, DUPLICATING, MARKING, OR COPYING PROCESSES; COLOUR PRINTING
    • B41M3/00—Printing processes to produce particular kinds of printed work, e.g. patterns
    • B41M3/14—Security printing
    • B41M3/144—Security printing using fluorescent, luminescent or iridescent effects
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B41J2/17566—Ink level or ink residue control
    • B41J2002/17573—Ink level or ink residue control using optical means for ink level indication
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
    • H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

提供了一种喷墨印刷设备、粒子喷射方法以及用于制造显示设备的方法。该喷墨印刷设备包括：储墨器，用于存储包含至少一个粒子的油墨；喷墨头单元，用于输送来自储墨器的油墨并将油墨喷射到目标衬底上；以及驱动单元，用于旋转储墨器。

Description

喷墨印刷设备、粒子喷射方法以及用于制造显示设备的方法
技术领域
本发明涉及喷墨印刷设备、粒子喷射方法以及用于制造显示设备的方法，并且更具体地，涉及即使当多次重复工艺时也能够以均匀质量印刷其中可能出现沉淀的待印刷物质的喷墨印刷设备、粒子喷射方法以及用于制造显示设备的方法。
背景技术
随着多媒体的发展，显示设备的重要性已经增加。相应地，正在使用诸如有机发光二极管(OLED)显示设备和液晶显示(LCD)设备的各种类型的显示设备。
显示设备包括诸如OLED显示面板或LCD面板的显示面板，作为配置成显示图像的设备。显示设备可以包括发光元件作为显示面板之中的发光显示面板。发光二极管(LED)的示例包括使用有机材料作为荧光物质的OLED和使用无机材料作为荧光物质的无机LED。
使用无机半导体作为荧光物质的无机LED的优点在于，与OLED相比，其即使在高温环境中也具有耐用性，并且蓝光的效率更高。另外，关于已经被指出作为现有无机LED元件的限制的制造工艺，已经开发了使用介电电泳(DEP)技术的转移方法。因此，已经对与OLED相比在耐用性和效率方面优越的无机LED开展了持续研究。
同时，喷墨印刷设备可以用于使用DEP技术来转移无机LED元件或用于形成包括在显示设备中的有机层。无机LED元件的转移或有机层的形成也可以通过由喷墨印刷来印刷任意的油墨或溶液并且随后执行后处理工艺来执行。在喷墨印刷设备中，预定的油墨或溶液可以提供给喷墨头，并且喷墨头可以执行将油墨或溶液喷射到预定衬底上的工艺。
发明内容
[技术问题]
本发明的方面提供一种喷墨印刷设备，该喷墨印刷设备能够防止由于粒子随着工艺时间推移的沉淀而导致的粒子在喷射的油墨中的分散度的降低。
本发明的方面还提供一种粒子喷射方法和制造显示设备的方法，该粒子喷射方法和制造显示设备的方法即使当多次重复制造工艺时也能够保持喷射的油墨的质量。
应当注意，本发明的目的不限于上述目的，并且本公开的其它未提及的目的对于本领域中的技术人员将从以下描述中显而易见。
[技术方案]
根据本公开的实施方式，喷墨印刷设备包括：储墨器，配置成存储包含一个或多个粒子的油墨；喷墨头单元，配置成从储墨器接收油墨并将油墨喷射到目标衬底上；以及驱动单元，配置成旋转储墨器。
驱动单元可以绕作为旋转轴的驱动轴旋转储墨器，该驱动轴置于与作用在储墨器的油墨上的重力的方向垂直或以锐角倾斜的参考平面上。
储墨器可以包括一个表面和与该一个表面相对的另一表面，并且参考平面可以设置在距该一个表面和该另一表面相等的距离处。
储墨器可以包括设置在该一个表面中的第一出口和设置在该另一表面中的第二出口。
喷墨印刷设备还可以包括第一管道和第二管道，并且其中，第一出口可以通过第一管道连接至喷墨头单元，以及第二出口可以通过第二管道连接至喷墨头单元。
第一出口和第二出口中的至少一个可以阻挡油墨朝向喷墨头单元移动。
喷墨印刷设备还可以包括：阀，连接至第一管道和第二管道；以及第三管道，连接至阀和喷墨头单元，其中，阀可以阻挡沿着第一管道、第二管道和第三管道中的至少一个的流动路径。
喷墨印刷设备还可以包括传感器单元，该传感器单元配置为测量粒子在存储在储墨器中的油墨中的分散度。
在作用在储墨器中的油墨上的重力的方向上可以限定有感测区域，并且传感器单元可以测量粒子在感测区域中的分散度。
喷墨头单元可以包括头部基础部和喷墨头，喷墨头包括配置成喷射包含粒子的油墨的多个喷嘴。
根据本公开的实施方式，粒子喷射方法包括：在储墨器中制备具有分散在其中的多个粒子的油墨，并测量粒子在储墨器中的第一分散度；将油墨喷射到目标衬底上，并测量在储墨器中沉淀的粒子的第二分散度；以及当计算第一分散度与第二分散度的比值且该比值超过预定参考值时，旋转储墨器。
储墨器可以绕作为旋转轴的驱动轴旋转，该驱动轴置于与作用在储墨器的油墨上的重力的方向垂直或以锐角倾斜的参考平面上。
储墨器可以包括一个或多个出口，并且出口可以包括设置在储墨器的一个表面中的第一出口和设置在与该一个表面相对的另一表面中的第二出口。
在粒子在其处具有第一分散度的时间点处，油墨可以通过第一出口喷射，并且在储墨器旋转之后，油墨通过第二出口喷射。
粒子可以包括具有偶极子的发光元件。
该方法还可以包括：在油墨喷射到目标衬底上之后，在目标衬底上形成电场；以及通过电场对准其中粒子定向的方向。
根据本公开的实施方式，用于制造显示设备的方法包括：制备其上形成有第一电极和第二电极的目标衬底，以及在储墨器中制备包含发光元件的油墨；将油墨喷射到目标衬底上并测量在储墨器中沉淀的发光元件的分散度；以及当该分散度由于发光元件沉淀而超过预定参考值时，旋转储墨器。
储墨器可以绕作为旋转轴的驱动轴旋转，该驱动轴置于与作用在油墨上的重力的方向垂直或以锐角倾斜的参考平面上，并且沉淀的发光元件可以分散在旋转后的储墨器中的油墨中。
该方法还可以包括：在测量发光元件的分散度之后，当该分散度超过预定参考值时，停止喷射油墨。
该方法还可以包括：在喷射油墨之后，在目标衬底上形成电场；以及通过电场对准其中发光元件定向的方向，使得发光元件落在第一电极与第二电极之间。
其它实施方式的细节并入详细描述和附图中。
[有益效果]
根据实施方式的喷墨印刷设备即使在多次重复工艺时也可以保持粒子在储墨器中的分散度。此外，当使用该喷墨印刷设备将油墨喷射到目标衬底上时，可以喷射具有均匀质量的油墨，以提高制造的显示设备的可靠性。
根据实施方式的有益效果不限于以上描述的有益效果，并且本文中并入了各种其它有益效果。
附图说明
图1是根据实施方式的喷墨印刷设备的示意性立体图。
图2是示出图1的喷墨印刷设备的示意性剖视图。
图3是根据实施方式的喷墨头单元的局部剖视图。
图4是图3的部分A的放大图。
图5是根据实施方式的喷墨印刷设备在一个时间点处的剖视图。
图6是示出图5中油墨排放的放大剖视图。
图7和图8是依照根据实施方式的喷墨印刷设备的驱动状态的示意性立体图。
图9是图8的喷墨印刷设备的示意性剖视图。
图10是示出使用根据实施方式的喷墨印刷设备的粒子喷射方法的流程图。
图11至图14是示意性地示出使用根据实施方式的喷墨印刷设备的粒子喷射方法的剖视图。
图15是根据另一实施方式的喷墨印刷设备的示意性立体图。
图16是示出图15的喷墨印刷设备的示意性剖视图。
图17至图19是示出依照根据另一实施方式的喷墨印刷设备的工艺操作的结构的示意图。
图20是根据另一实施方式的喷墨印刷设备的示意性立体图。
图21和图22是示出使用根据另一实施方式的喷墨印刷设备的偶极子对准工艺的示意图。
图23是根据实施方式的发光元件的示意图。
图24是根据另一实施方式的发光元件的示意图。
图25是使用根据实施方式的方法制造的显示设备的平面图。
图26是沿着图25的线I-I'截取的显示设备的局部剖视图。
具体实施方式
现在将在下文中参考其中示出本发明的优选的实施方式的附图更全面地描述本发明。然而，本发明可以以不同的形式实现，并且不应被解释为限于本文中阐述的实施方式。确切地说，提供这些实施方式使得本公开将是彻底的和完整的，并且将向本领域中的技术人员充分地传达本发明的范围。
还将理解的是，当层被称作为“在”另一层或衬底“上”时，其可以直接在所述另一层或衬底上，或者也可以存在中间层。在说明书通篇，相同的参考标记指示相同的组件。
将理解的是，尽管在本文中术语“第一”、“第二”等可以用于描述各种元件，但是这些元件不应受这些术语限制。这些术语仅用于将一个元件与另一元件区分开。例如，在不背离本发明的教导的情况下，以下讨论的第一元件可以被称作第二元件。类似地，第二元件也可以被称作第一元件。
在下文中，将参考附图描述实施方式。
图1是根据实施方式的喷墨印刷设备的示意性立体图。图2是示出图1的喷墨印刷设备的示意性剖视图。
在附图中，限定了第一方向D1、第二方向D2和第三方向D3。第一方向D1和第二方向D2是彼此共面且正交的方向，以及第三方向D3是与第一方向D1和第二方向D2中的每个垂直的方向。
同时，图1和图2是用于描述根据实施方式的喷墨印刷设备1000的配置的附图，并且喷墨印刷设备1000的结构和布置不限于图1和图2中示出的结构和布置。喷墨印刷设备1000可以包括更多构件或具有与图1和图2中示出的结构不同的结构。
参考图1和图2，根据实施方式的喷墨印刷设备1000可以包括储墨器600、油墨罐700、压力控制器800和喷墨头单元900。喷墨印刷设备1000可以包括多个管道LT，并且油墨罐700、压力控制器800和喷墨头单元900中的每个可以通过至少一个管道LT连接至储墨器600。从油墨罐700提供给储墨器600的油墨30可以通过喷墨头单元900喷射或排放到目标衬底上。
油墨罐700可以用来存储制造的油墨30，并将油墨30提供给储墨器600。油墨罐700的形状不受特别限制，并且在附图中示出了其中油墨罐700具有圆柱形形状的情况。例如，油墨罐700可以是油墨盒、油墨容器等。尽管在附图中未示出，但是油墨罐700还可以包括配置成传递用于将油墨30提供给储墨器600的压力的气动压力形成设备。
同时，在一个实施方式中，油墨30可以包含溶剂35和包含在溶剂35中的多个粒子31。在实施方式中，油墨30可以以溶液或胶体状态的形式提供。例如，溶剂35可以是丙酮、水、乙醇、甲苯、丙二醇(PG)、丙二醇乙酸甲酯(PGMA)等，但是不限于此。多个粒子31可以以分散状态包含在溶剂35中，并提供给储墨器600，并且最终可以通过喷墨头单元900从喷墨印刷设备1000喷射或排放。
然而，在一些情况下，粒子31可以在预定量的时间内保持初始的分散状态，并且然后在溶剂35中沉淀或沉降。图2示出了喷墨印刷设备1000在初始时间点(第一时间点，t＝t1)处的状态，并且在预定量的时间流逝之后，粒子31在油墨30中的每单位体积的分散度可以由于沉淀而改变。根据实施方式的喷墨印刷设备1000可以通过由储墨器600执行的操作再次分散沉淀或沉降的粒子31。这将在以下详细描述。
压力控制器800可以向提供给储墨器600的油墨30传递压力P。油墨30可以接收来自压力控制器800的压力P，并且可以通过喷墨头单元900以预定的压力喷射或排放而不流动。压力控制器800的形状和类型不受限制。例如，压力控制器800可以是半月板压力控制器，并且从压力控制器800传递至储墨器600的压力P可以是负压。
储墨器600可以用于从油墨罐700接收油墨30，并将油墨30输送至喷墨头单元900。喷墨印刷设备1000可以通过储墨器600将油墨30输送至喷墨头单元900，而不是将来自油墨罐700的油墨30直接提供给喷墨头单元900。因此，如以下将描述的，喷墨印刷设备1000可以控制通过储墨器600提供的油墨30的质量。
储墨器600可以包括壳体610、传感器单元670和680以及驱动单元690，壳体610配置成存储或容纳油墨30，并且壳体610可以包括形成在至少一个表面中并连接至一个或多个管道LT的多个出口IE。
壳体610可以临时地存储或容纳从油墨罐700提供的油墨30。壳体610的形状不受特别限制，并且在附图中示出其中壳体610具有六面体形状的情况作为示例，该六面体形状的每个边缘在一个方向上延伸。在一些实施方式中，壳体610可以具有拥有其中形成有预定空间的形状，例如，圆柱形形状、球形形状等，以存储或容纳油墨30。此外，壳体610可以由其形状不由于从压力控制器800(其将在以下描述)传递的压力而改变的材料制成，但是壳体610的材料不受特别限制。
多个出口IE可以形成在壳体610的至少一个表面中，并连接到至少一个管道LT。出口IE可以通过与其连接的管道LT提供或输送油墨30，并且也可以将预定的压力P传递到壳体610中。多个出口IE包括第一出口IE1、第二出口IE2、第三出口IE3、第四出口IE4、第五出口IE5和第六出口IE6，并且在附图中示出了其中三个出口IE形成在壳体610的在第三方向D3上的两个表面(即，壳体610的上表面和下表面)中的每个中的情况。第一出口IE1、第三出口IE3和第六出口IE6可以设置在作为储墨器600的第一表面A1的上表面中，以及第二出口IE2、第四出口IE4和第五出口IE5可以设置在作为储墨器600的第二表面A2的下表面中。然而，出口IE的数量和布置不限于此。出口IE的数量可以更多或更少，并且在一些情况下，出口IE中的至少一些可以形成在壳体610的在第一方向D1或第二方向D2上的侧表面中。在这种情况下，油墨30可以从壳体610的侧表面提供，并输送至喷墨头单元900。然而，优选地，在其处形成出口IE的位置可以是壳体610的上表面或下表面，并且特别地，连接至压力控制器800的出口IE可以形成在壳体610的上表面中，使得传递压力P时出口IE不与油墨30接触。此外，尽管在附图中未示出，但是配置成阻挡油墨30的输送或压力P的传递的阻挡构件可以设置在出口IE处。当储墨器600在以下将描述的操作中旋转时，出口IE的阻挡构件可以阻挡油墨30的输送或压力P的传递。
传感器单元670和680可以设置在壳体610的在第一方向D1或第二方向D2上的侧表面中的任一个上。传感器单元670和680可以包括第一传感器单元670和第二传感器单元680，并且第一传感器单元670和第二传感器单元680可以设置在壳体610的相对的侧表面上。然而，本公开不限于此。传感器单元670和680也可以包括在喷墨印刷设备1000中作为单独的设备，而不设置在壳体610上。
传感器单元670和680可以感测提供到储墨器600中的油墨30的浓度、粒子31的分散度等。特别地，第一传感器单元670可以生成预定信号，并经由提供给壳体610的油墨30将该信号提供给第二传感器单元680。第二传感器单元680可以接收该信号，并测量提供给壳体610的油墨30的浓度、粒子31的分散度等。例如，传感器单元670和680中的每个可以是光学传感器、激光传感器等，并且在这种情况下，第一传感器单元670可以是配置成生成光或激光的构件，以及第二传感器单元680可以是配置成接收光或激光的构件。
驱动单元690可以以一个方向作为旋转轴旋转。驱动单元690可以设置在壳体610的至少一个表面上，例如，设置在壳体610的在第一方向D1或第二方向D2上的一个侧表面上。驱动单元690可以设置在其上没有设置传感器单元670和680的一个侧表面上，但是本公开不限于此。驱动单元690可以在一个方向或两个方向上旋转，并且因此，连接至驱动单元690的壳体610也可以旋转。驱动单元690的形状不受特别限制，并且如附图中所示，驱动单元690可以具有圆柱形形状(其具有圆形截面)，并且旋转。驱动单元690可以包括连接至另一构件以执行旋转的操作部和连接至操作部和壳体610以传递由于旋转而导致的旋转力的传递构件，但是本公开不限于此。例如，驱动单元690可以是旋转马达，并且在一些情况下，驱动单元690也可以设置在喷墨印刷设备1000中作为单独的设备，而不设置在壳体610上。
喷墨头单元900可以将从储墨器600输送的油墨30喷射或排放到目标衬底(未示出)上。尽管在附图中未示出，但是喷墨头单元900可以设置在框架构件上，并将油墨30喷射或排放到制备在框架构件下方的目标衬底上。
喷墨头单元900可以包括基础部910和一个或多个喷墨头920，该一个或多个喷墨头920设置在基础部910的下表面上，并且包括多个喷嘴925(参见图3)。基础部910可以具有在一个方向上延伸的形状。例如，其中基础部910延伸的方向可以与其中框架构件延伸的方向相同。如附图中所示，基础部910可以包括在第一方向D1上延伸的长边和在第二方向D2上延伸的短边。然而，基础部910的形状不限于此。
此外，尽管在附图中未示出，但是喷墨头单元900的基础部910可以设置在在第一方向D1上延伸的框架构件上。在一些实施方式中，基础部910可以设置在移动构件上，该移动构件设置在框架构件上，并在一个方向(例如，其中基础部910的短边延伸的第二方向D2)上移动。因此，在其中目标衬底具有大于基础部910的截面面积的面积的情况下，喷墨头单元900可以在一个方向上移动，并喷射或排放油墨30。
部分地突出的区域可以形成在基础部910的上表面上，并且基础部910可以通过该突出的区域连接至管道LT。基础部910可以包括形成在其中并连接至管道LT的第一内管911(参见图3)，并且从储墨器600输送的油墨30可以通过管道LT移动至第一内管911。
多个喷墨头920可以设置在基础部910的下表面上，并在布置在其中基础部910延伸的方向上。多个喷墨头920可以布置成单行或多行，并且在附图中示出了其中布置在第一方向D1上的喷墨头920布置成两行的情况。然而，本公开不限于此，并且喷墨头单元900可以包括更多的喷墨头920。在实施方式中，包括在单个喷墨头单元900中的喷墨头920的数量可以在128至1800的范围内，但是不限于此。
喷墨头920可以包括一个或多个喷嘴925，并且从基础部910输送的油墨30可以通过喷嘴925喷射。喷墨头920可以包括设置在其中的第二内管921(参见图3)，并且第二内管921可以连接至喷嘴925和基础部910的第一内管911。油墨30可以沿着第一内管911和第二内管921流动，并且然后通过每个喷嘴925喷射。当油墨30通过喷墨头920中的喷嘴925喷射时，从压力控制器800传递的负压可以传递至喷嘴925，并且油墨30可以不流动。通过喷嘴925喷射的油墨30的量可以根据施加至每个喷墨头920的电压来控制。在一个实施方式中，通过喷墨头920的单个喷嘴925一次排放的油墨30的量可以在1至50pl(皮升)的范围内，但是不限于此。
图3是根据实施方式的喷墨头单元的局部剖视图。图4是图3的部分A的放大图。
参考图3和图4，从储墨器600提供的油墨30可以通过基础部910的第一内管911、喷墨头920的第二内管921以及喷嘴925喷射或排放。这里，由于从压力控制器800传递的负压，在喷嘴925的出口处，油墨30可以形成附图中向上凹入的界面。在其中不由压力控制器800传递负压的情况下，在喷嘴925的出口处，油墨30可以形成附图中向下凸出的界面。
在这种情况下，当喷射油墨30时，可能难以控制通过喷嘴925一次排放的油墨30的量或油墨30的形状。可替代地，在一些情况下，油墨30可能以不期望的状态流动，或者由于油墨30的界面在喷墨头920处被暴露，因此油墨30可能被干燥并聚集在喷嘴925周围。为了防止这种情况，喷墨印刷设备1000可以包括压力控制器800，并且油墨30可以在喷嘴925的出口处形成凹入的界面。
通过喷嘴925排放的油墨30可以包含分散在溶剂35中的粒子31。在其中粒子31被分散的状态下，油墨30可以通过喷嘴925排放，并喷射到目标衬底SUB上。在一些实施方式中，通过后续工艺，油墨30可以被干燥或者溶剂35可以被挥发，并且仅粒子31可以落在目标衬底SUB上。因此，根据实施方式的喷墨印刷设备1000可以将包含粒子31的油墨30喷射到目标衬底SUB上，并且通过后续工艺使仅粒子31落在或印刷在目标衬底SUB上。
再次参考图1和图2，喷墨印刷设备1000可以包括多个管道LT，例如，第一管道LT1至第九管道LT9。在多个管道LT之中，第一管道LT1、第二管道LT2、第三管道LT3、第四管道LT4、第五管道LT5和第六管道LT6可以连接至储墨器600，以及第七管道LT7至第九管道LT9可以分别连接至油墨罐700、压力控制器800和喷墨头单元900。特别地，第一管道LT1、第二管道LT2、第三管道LT3、第四管道LT4、第五管道LT5和第六管道LT6可以分别连接至储墨器600的第一出口IE1、第二出口IE2、第三出口IE3、第四出口IE4、第五出口IE5和第六出口IE6。
油墨罐700可以连接至第七管道LT7。在一个实施方式中，第七管道LT7可以通过第一阀VA1连接至第一管道LT1和第二管道LT2，并且油墨罐700可以通过与其连接的管道LT向储墨器600提供油墨30。
压力控制器800可以连接至第八管道LT8。在一个实施方式中，第八管道LT8可以通过第二阀VA2连接至第三管道LT3和第四管道LT4，并且压力控制器800可以通过与其连接的管道LT向储墨器600的油墨30传递压力。
喷墨头单元900可以连接至第九管道LT9。在一个实施方式中，第九管道LT9可以通过第三阀VA3连接至第五管道LT5和第六管道LT6，并且喷墨头单元900可以通过与其连接的管道LT接收储墨器600的油墨30。
第七管道LT7、第八管道LT8和第九管道LT9以及其它管道LT1、LT2、LT3、LT4、LT5和LT6的连接可以根据喷墨印刷设备1000的工艺操作而改变。如以下将描述的，管道LT之间的连接可以根据粒子31在油墨30中的分散度来控制，并且可以改变油墨30通过其移动的管道LT和出口IE。
在一个实施方式中，任意的管道(例如，第七管道LT7、第八管道LT8和第九管道LT9)可以通过阀VA连接至不同的管道LT。喷墨印刷设备1000可以根据驱动期间的工艺操作通过阀VA控制管道LT之间的连接。根据实施方式，喷墨印刷设备1000可以根据操作控制阀VA，使得管道LT根据时间点连接至不同的管道LT。以下将参考其它附图描述管道LT与阀VA之间的连接关系。
同时，如图4中所示，当油墨30一旦通过喷嘴925排放时，包含在油墨30中的粒子31的数量可以根据储墨器600的每单位体积的油墨30所包含的粒子31的数量而改变。例如，如在图2中，在喷墨印刷设备1000的初始工艺操作(第一时间点，t＝t1)中，粒子31可以均匀地分散在储墨器600的油墨30中，通过每个喷嘴925一次排放的油墨30可以包含相同数量的粒子31，并且油墨30每单位体积可以包含大量的粒子31。
然而，如上所述，粒子31可以在溶剂35中沉淀或沉降，并且在这种情况下，由于使用喷墨印刷设备1000执行印刷工艺，因此每单位体积的油墨30分散的粒子31的数量可以变化。
图5是根据实施方式的喷墨印刷设备在一个时间点处的剖视图。图6是示出图5中油墨排放的放大剖视图。图5示出了在预定量的时间流逝之后(第二时间点，t＝t2)喷墨印刷设备1000的储墨器600。
参考图5，在使用喷墨印刷设备1000执行印刷工艺的同时，重力可以在与第三方向D3相反的方向上作用于分散在储墨器600中的油墨30中的粒子31。粒子31(其比重大于溶剂35的比重)可以沉淀或沉降在储墨器600的第二表面A2(例如，下表面)上，并且在油墨30中具有不均匀的分散度，并且其中仅存在溶剂35的区域可以形成在油墨30的上部部分处。特别地，在其中粒子31沉淀在壳体610的下表面上并彼此聚集的情况下，粒子31不向连接至储墨器600的管道LT移动，并且输送至喷墨头单元900的粒子31的数量减少。
参考图6，与图4相比，在第二时间点(t＝t2)处从喷墨印刷设备1000排放的油墨30'中，粒子31的分散度可以不是均匀的，并且包含在油墨30'中的粒子31的数量可以很少。因此，包含在油墨30'中的粒子31的数量可以在喷射到目标衬底SUB上的油墨30'分子之间变化，并且因此，设置在目标衬底SUB的其上完成印刷工艺的不同区域中的粒子31的数量可以不是均匀的。为了防止这种情况，根据实施方式的喷墨印刷设备1000可以包括配置成感测粒子31在储墨器600中的分散度的传感器单元670和680，并且可以包括配置成根据感测到的粒子31的分散度旋转储墨器600的驱动单元690。
图7和图8是依照根据实施方式的喷墨印刷设备的驱动状态的示意性立体图。图9是图8的喷墨印刷设备的示意性剖视图。图7示出了喷墨印刷设备1000在第三时间点(t＝t3)处的状态，以及图8和图9示出了喷墨印刷设备1000在第四时间点(t＝t4)处的状态。
根据实施方式，储墨器600可以绕与驱动单元690的旋转轴相同的旋转轴旋转，并且驱动单元690的旋转轴可以在与其中重力施加的方向不同的方向上。即，驱动单元690可以以不同于作为其中重力施加的方向的第三方向D3的方向(例如，第一方向D1或第二方向D2)作为旋转轴旋转。
在图8和图9中，在喷墨印刷设备1000中，储墨器600可以由于驱动单元690的操作而旋转，并且每个阀VA的位置可以从图2改变。然而，附图中示出的每个阀VA的位置或形状仅是示例以示出储墨器600的旋转，并且喷墨印刷设备1000不一定具有附图中示出的结构。
参考图7至图9，当储墨器600中的粒子31沉淀或沉降时，传感器单元670和680可以感测这种情况，并且驱动单元690可以被驱动。由于其中粒子31沉淀的方向与重力的方向相同，因此储墨器600可以在与重力的方向不平行的方向上旋转。在一个实施方式中，驱动单元690可以以驱动轴作为旋转轴旋转，该驱动轴置于与作用在油墨30上的重力的方向垂直或以锐角倾斜的参考平面上。即，其中驱动单元690被驱动或旋转的方向可以是与其中重力施加至旋转轴的方向(例如，第三方向D3)不同的方向。因此，储墨器600可以在与驱动单元690相同的方向上旋转，并且其中粒子31由于施加至其的重力而沉淀的方向可以改变。
例如，如在图2和图5中，在第一时间点(t＝t1)和第二时间点(t＝t2)处，重力可以施加至油墨30，并且粒子31可以朝向储墨器600的第二表面A2沉淀或沉降。如在图7中，在第三时间点(t＝t3)处，储墨器600由于驱动单元690的操作而旋转。如在图8和图9中，在储墨器600旋转之后，在第四时间点(t＝t4)处，施加至油墨30的重力可以在朝向储墨器600的第一表面A1'的方向上，并且粒子31也可以朝向第一表面A1'移动。因此，由于沉淀在第二表面A2'上的粒子31朝向第一表面A1'移动，所以粒子31可以再次分散在油墨30的溶剂35中。在第四时间点(t＝t4)处，再次分散在油墨30中的粒子31可以输送至喷墨头单元900，并且通过喷嘴925排放的每个油墨30分子所包括的粒子31的数量可以再次增加。
在喷墨印刷设备1000中，其中储墨器600的传感器单元670和680感测粒子31的分散度以及操作驱动单元690的操作可以重复多次。即，储墨器600的传感器单元670和680可以在工艺期间连续地测量粒子31在油墨30中的分散度，并且在其中粒子31的分散度降低到预定水平或更低的情况下，驱动单元690可以执行旋转。因此，即使当油墨30包含可能沉淀或沉降的粒子31时，喷墨印刷设备1000也可以重复该工艺，并且因此保持粒子31的初始设置的分散度。此外，可以保持喷射到目标衬底SUB上的油墨30中的粒子31的数量，以提高最终制造的产品的质量。
同时，由于储墨器600的旋转，油墨罐700、压力控制器800和喷墨头单元900通过其连接至储墨器600的管道LT和出口IE可以改变。根据实施方式，储墨器600的一个或多个出口IE可以同时连接至油墨罐700、压力控制器800和喷墨头单元900中的至少一个。即，在喷墨印刷设备1000中，根据工艺操作，独立的构件可以通过不同的管道LT和出口IE连接至储墨器600。
具体地，壳体610可以包括通过管道LT连接至油墨罐700的第一出口IE1和第二出口IE2、通过管道LT连接至压力控制器800的第三出口IE3和第四出口IE4、以及通过管道LT连接至喷墨头单元900的第五出口IE5和第六出口IE6。多个出口IE可以根据喷墨印刷设备1000在其处被驱动的时间点提供或输送油墨30，或者向壳体610传递预定的压力。
将描述油墨罐700与储墨器600之间的连接作为示例。如在图2中，在喷墨印刷设备1000的第一时间点(t＝t1)处，油墨罐700通过第七管道LT7和第一管道LT1连接至储墨器600。另一方面，如在图9中，在第四时间点(t＝t4)处，油墨罐700通过第七管道LT7和第二管道LT2连接至储墨器600。即，根据储墨器600的旋转，执行提供油墨30的相同功能的管道LT可以改变。
此外，如在图2中，在第一时间点(t＝t1)处，油墨30通过第一出口IE1提供给壳体610，预定的压力通过第三出口IE3传递，并且储墨器600中的油墨30通过第五出口IE5输送至喷墨头单元900。另一方面，如在图9中，在第四时间点(t＝t4)处，油墨30通过第二出口IE2和第六出口IE6提供或输送，并且压力通过第四出口IE4传递。
即，在每个时间点(t)处，油墨30可以通过设置在附图中的上表面中的出口IE提供，并且可以通过设置在附图中的下表面中的出口IE输送至喷墨头单元900。根据实施方式，油墨罐700、压力控制器800和喷墨头单元900可以通过不同的出口IE或管道LT连接至储墨器600。油墨罐700、压力控制器800和喷墨头单元900可以根据喷墨印刷设备1000的工艺操作通过不同的管道LT和出口IE提供或输送油墨30以及施加压力。这里，不同的管道LT和出口IE可以在喷墨印刷设备1000的工艺操作中执行相同的功能。
此外，根据实施方式，喷墨印刷设备1000可以包括多个阀VA，例如，第一阀VA1、第二阀VA2和第三阀VA3，并且每个阀VA可以连接至与油墨罐700、压力控制器800和喷墨头单元900连接的单个管道LT以及与储墨器600连接的至少一个管道LT。在一个实施方式中，阀VA1、VA2和VA3中的每个可以根据喷墨印刷设备1000的工艺操作将任一个管道LT与连接至不同出口IE的管道LT连接。
例如，如在图2和图9中，可以打开第一阀VA1，使得与油墨罐700连接的第七管道LT7的流动路径在第一时间点(t＝t1)处连接至第一管道LT1的流动路径，并且可以打开第一阀VA1，使得第七管道LT7的流动路径在第四时间点(t＝t4)处连接至第二管道LT2的流动路径。因此，油墨30可以通过第一管道LT1或第二管道LT2提供给储墨器600。此外，如在图7中，在储墨器600在其处旋转的第三时间点(t＝t3)处，可以在所有方向上关闭第一阀VA1，以阻挡油墨30穿过第七管道LT7的提供。
即，在根据实施方式的喷墨印刷设备1000中，由于通过储墨器600的传感器单元670和680进行感测，因此可以操作每个阀VA和驱动单元690，并且储墨器600可以旋转。在下文中，将参考其它附图更详细地描述喷墨印刷设备1000的工艺操作。
图10是示出使用根据实施方式的喷墨印刷设备的粒子喷射方法的流程图。图11至图14是示意性地示出使用根据实施方式的喷墨印刷设备的粒子喷射方法的剖视图。图11至图14集中于储墨器600，示意性地示出了喷墨印刷设备1000的工艺操作。
即，在图11至图14中，省略了油墨罐700、压力控制器800和喷墨头单元900，并且应参考以上描述的其它附图用于其描述。此外，在图11至图14中，储墨器600被示出为跨过传感器单元670和680切割的截面，并且省略了驱动单元690。在下文中，将关于喷射油墨30的方法详细描述储墨器600的操作。
参考图10至图14，根据实施方式的喷射油墨30的方法可以包括：其中在储墨器600中制备具有分散在其中的多个粒子31的油墨30并测量粒子31在储墨器600中的第一分散度的操作(S100)；其中将油墨30喷射到目标衬底SUB上，并测量沉淀在储墨器600中的粒子31的第二分散度的操作(S200)；以及其中当计算第一分散度与第二分散度的比值且该比值超过预定参考值(S300)时，旋转储墨器600的操作(S400)。
首先，如图11中所示，在第一时间点(t＝t1)处，在喷墨印刷设备1000的储墨器600中制备包含粒子31的油墨30(S100)。油墨30可以通过连接至油墨罐700的第七管道LT7以及第一管道LT1提供给第一出口IE1。
如上所述，喷墨印刷设备1000可以包括多个管道LT和阀VA，并且根据每个工艺，可以打开阀VA使得任意管道LT的流动路径彼此连接，或者可以关闭阀VA使得流动路径被阻挡。在实施方式中，每个阀VA可以是三通阀。传感器单元670和680可以感测粒子31的分散度，并且由于根据感测到的分散度的反馈，可以执行每个阀VA的操作。
在图11的情况下，在喷墨印刷设备1000的第一时间点(t＝t1)处，第一阀VA1将与油墨罐700连接的第七管道LT7连接至第一管道LT1，第二阀VA2将与压力控制器800连接的第八管道LT8连接至第三管道LT3，以及第三阀VA3将与喷墨头单元900连接的第九管道LT9连接至第五管道LT5。
为了描述阀VA1、VA2和VA3中的每个的操作，将描述第一阀VA1作为示例。尽管没有详细描述，但是以下描述也可以同样地适用于第二阀VA2和第三阀VA3。
图11中的放大图示出了其中第一阀VA1打开沿着第七管道LT7和第一管道LT1的流动路径并关闭沿着第二管道LT2的流动路径的情况。因此，油墨罐700中的油墨30可以通过第七管道LT7和第一管道LT1提供给第一出口IE1。
当油墨30制备在储墨器600中时，通过设置在储墨器600中的传感器单元670和680测量粒子31在油墨30中的第一分散度(S100)。传感器单元670和680的类型不受特别限制，但是图11示出了其中第一传感器单元670是光发射单元以及第二传感器单元680是光接收单元的情况。从第一传感器单元670发射的光可以穿过油墨30并且可以入射到第二传感器单元680上，并且第二传感器单元680可以测量入射到其上的光的量，以计算粒子31在感测区域SA中的分散度。
根据实施方式，其中传感器单元670和680感测粒子31在油墨30中的分散度的感测区域SA可以具有在第三方向D3上延伸的形状，并且传感器单元670和680可以测量油墨30的粒子31在第三方向D3上的分散度。即，传感器单元670和680可以测量粒子31在油墨30中的分散度在重力的方向上的变化。
如上所述，由于粒子31可以根据喷墨印刷设备1000的工艺沉淀或沉降，因此传感器单元670和680测量粒子31在第三方向D3(例如，重力的方向)上的分散度。随着工艺时间的流逝，粒子31的分散度可以根据感测区域SA的上部区域和下部区域而变化，并且传感器单元670和680可以感测该变化。在以下将描述的附图中，传感器单元670和680可以感测偏差并控制每个阀VA和驱动单元690的操作。
接下来，如图12中所示，在第二时间点(t＝t2)处，传感器单元670和680测量正沉淀或沉降的粒子31的第二分散度(S200)。在第二时间点(t＝t2)处，粒子31可以由于重力而沉淀或沉降在壳体610的第二表面A2上。传感器单元670和680可以计算在第一时间点(t＝t1)处测量的第一分散度与在第二时间点(t＝t2)处测量的第二分散度的比值，并且可以确定该比值是否超过预定参考值(S300)。由传感器单元670和680测量的第一分散度可以是通过喷墨印刷设备1000喷射的油墨30中的粒子31的分散度的初始设定值。
当粒子31通过喷墨印刷设备1000分散时，提供给储墨器600的油墨30可以提供成使得粒子31的分散度具有初始设定值。当具有初始设定值的第一分散度与当粒子31沉淀时测量的第二分散度的比值降低至预定水平或更低(即，降低至预定参考值或更低)时，传感器单元670和680可以感测这种情况并操作阀VA和驱动单元690。因此，当该工艺执行多次时，喷墨印刷设备1000可以最小化粒子31在油墨30中的分散度与作为初始设定值的第一分散度之间的偏差。在实施方式中，预定参考值可以限定为相对于作为初始设定值的第一分散度的第二分散度。预定参考值可以具有通过将第二分散度除以第一分散度来计算的、在0.6至0.8范围内的数值。即，传感器单元670和680可以确定第二分散度是否低于在第一分散度的60％至80％的范围内的数值。然而，本公开不限于此。
接下来，如图13中所示，当由传感器单元670和680测量的第二分散度降低至预定参考值或更小时，传感器单元670和680可以控制阀VA和驱动单元690(未示出)的操作(S400)。
首先，传感器单元670和680可以在所有方向上关闭第一阀VA1，使得油墨30不再提供给储墨器600。如图13中的放大图所示，第一阀VA1可以关闭沿着第七管道LT7和第一管道LT1的流动路径以及沿着第二管道LT2的流动路径，以阻挡油墨30的提供。第二阀VA2和第三阀VA3也可以与第一阀VA1相同地操作。其中在所有方向上关闭阀VA的操作可以在第二时间点(t＝t2)与第三时间点(t＝t3)之间执行，或者在第三时间点(t＝t3)处同时执行。当所有的流动路径被每个阀VA关闭时，传感器单元670和680可以驱动驱动单元690，以与重力的方向不平行的方向(例如，不同于第三方向D3的方向)作为旋转轴旋转储墨器600。
最后，参考图14，在第四时间点(t＝t4)处，在储墨器600的油墨30中，重力可以施加至第一表面A1'，并且粒子31也可以朝向第一表面A1'移动。在第二时间点(t＝t2)处沉淀的粒子31可以由于重力再次分散在油墨30中，并且从喷墨头单元900排放的油墨30中的粒子31的分散度可以在与在第一时间点(t＝t1)处的油墨30中的粒子31的分散度相似的水平处。
此外，每个阀VA(例如，第一阀VA1)可以打开沿着连接至第二出口IE2的第二管道LT2的流动路径，由于储墨器600的旋转，油墨30被提供给该第二出口IE2。如图14中的放大图所示，第一阀VA1可以打开沿着第七管道LT7和第二管道LT2的流动路径，并阻挡沿着第一管道LT1的流动路径。因此，与第一时间点(t＝t1)不同，油墨30可以通过第七管道LT7和第二管道LT2提供给第二出口IE2。尽管在附图中未示出，但是第二阀VA2和第三阀VA3可以相同地操作。即，压力控制器800的压力P可以通过第八管道LT8和第四管道LT4传递至第四出口IE4，以及喷墨头单元900可以通过第六管道LT6和第九管道LT9接收油墨30。
同时，即使在第四时间点(t＝t4)之后，传感器单元670和680也可以连续地测量粒子31的分散度。传感器单元670和680可以计算在每个时间点(t)处测量的分散度与第一分散度的比值，并且连续地确定该比值是否超过预定参考值。在其中该比值超过预定参考值的情况下，可以执行旋转储墨器600的操作，以保持粒子31在油墨30中的分散度。因此，根据实施方式的喷墨印刷设备1000可以包括可旋转的储墨器600，并保持喷射或排放的油墨30的质量。
同时，根据实施方式的喷墨印刷设备1000的结构不受特别限制，只要该结构能够保持储墨器600的油墨30的分散状态即可。即，根据实施方式的喷墨印刷设备1000可以具有任何结构，只要储墨器600是可旋转的且存在连接至相同构件的多个出口IE即可。此外，在一些情况下，管道LT可以不连接至每个出口IE，每个构件可以通过单个管道LT连接至储墨器600，并且管道LT可以连接至储墨器600的不同的出口IE。
图15是根据另一实施方式的喷墨印刷设备的示意性立体图。图16是示出图15的喷墨印刷设备的示意性剖视图。
参考图15和图16，根据另一实施方式的喷墨印刷设备1000_1的储墨器600_1可以包括多个壳体610_1和620_1，并且每个出口IE_1可以包括设置在壳体610_1和620_1之间的多个紧固部630_1和640_1。驱动单元690_1可以仅旋转多个壳体610_1和620_1中的一个，并且可以固定另一壳体的位置。
具体地，图15的储墨器600_1可以包括第一壳体610_1和第二壳体620_1，并且油墨30可以提供到第二壳体620_1中。第一壳体610_1和第二壳体620_1可以具有基本上相同的形状，并且该形状可以是在与驱动单元690_1的旋转轴相同的方向上延伸的圆柱形形状。然而，本公开不限于此。由于壳体610_1和620_1具有圆柱形形状，因此储墨器600_1可以总体上具有圆柱形形状。
第一壳体610_1可以形成为围绕第二壳体620_1的外表面，并且第一壳体610_1和第二壳体620_1可以彼此分离。即，与图1的喷墨印刷设备1000中不同，根据实施方式，储墨器600_1可以包括分离的壳体610_1和620_1，并且壳体610_1和620_1中的至少一个(例如，第一壳体610_1)可以被固定，并且第二壳体620_1可以在一个方向上旋转。
如上所述，储墨器600可以包括驱动单元690，以控制沉淀或沉降的粒子31的分散度，并且可以在一个方向(例如，与重力的方向相反的方向)上旋转。在这种情况下，由于连接至储墨器600的管道LT旋转，因此管道LT可以彼此交叉。另一方面，在图15和图16的储墨器600_1的情况下，第一壳体610_1的位置可以固定，并且仅油墨30提供至其的第二壳体620_1可以旋转，并且因此可以保持连接至储墨器600_1的管道LT的位置。即，储墨器600_1的驱动单元690_1可以设置在第二壳体620_1中，并通过旋转仅向第二壳体620_1传递旋转力。
同时，根据实施方式，配置成连接彼此分离的第一壳体610_1和第二壳体620_1的紧固部630_1和640_1可以设置在储墨器600_1的多个出口IE_1处。
具体地，第一紧固部630_1设置在第一壳体610_1上，以及第二紧固部640_1设置在第二壳体620_1上。第一紧固部630_1的数量和第二紧固部640_1的数量可以与出口IE_1的数量相同。即，在其中储墨器600_1包括第一出口IE1_1、第二出口IE2_1、第三出口IE3_1、第四出口IE4_1、第五出口IE5_1和第六出口IE6_1的情况下，第一紧固部630_1的数量和第二紧固部640_1的数量可以是六个。然而，本公开不限于此。
第一紧固部630_1可以设置成与连接至出口IE_1的多个管道LT邻近，例如，与第一管道LT1、第二管道LT2、第三管道LT3、第四管道LT4、第五管道LT5和第六管道LT6邻近。第二紧固部640_1与第一紧固部630_1相对设置。尽管在附图中未示出，但是第一紧固部630_1和第二紧固部640_1也可以包括设置在出口IE_1处的阻挡构件。
第一紧固部630_1和第二紧固部640_1可以执行彼此连接或彼此分离的操作，以控制油墨30的移动或压力P的传递。即，第一紧固部630_1和第二紧固部640_1可以执行与上述阀VA基本上相同的功能。根据喷墨印刷设备1000_1的工艺操作，传感器单元670和680可以感测粒子31的分散度，并控制每个阀VA、驱动单元690_1以及紧固部630_1和640_1的操作。
图17至图19是示出依照根据另一实施方式的喷墨印刷设备的工艺操作的结构的示意图。
将参考图16至图19描述图15的喷墨印刷设备1000_1的工艺。首先，如图16中所示，在喷墨印刷设备1000_1的第一时间点(t＝t1)处，可以连接第一紧固部630_1和第二紧固部640_1，并且可以向储墨器600_1提供油墨30，或者可以向储墨器600_1传递压力P。第一时间点(t＝t1)是指其中粒子31的由传感器单元670和680感测的分散度不超过预定参考值的状态，并且第一紧固部630_1和第二紧固部640_1可以在第一时间点(t＝t1)处彼此连接。这里，每个阀VA可以通过第一管道LT1、第三管道LT3和第五管道LT5向储墨器600_1输送油墨30或传递压力P。
接着，如图17中所示，在第二时间点(t＝t2)处，在其中粒子31的由传感器单元670和680感测的分散度小于或等于预定参考值的情况下，传感器单元670和680可以感测到该情况并控制阀VA以及紧固部630_1和640_1的操作。如附图中所示，每个阀VA可以阻挡不同管道LT之间的连接，并且第一紧固部630_1和第二紧固部640_1也可以彼此分离，以阻挡油墨30向储墨器600_1的输送或压力P向储墨器600_1的传递。可以在第二时间点(t＝t2)处或第二时间点(t＝t2)与第三时间点(t＝t3)之间执行其中关闭每个阀VA并分离紧固部630_1和640_1的操作。
接下来，如图18中所示，当油墨30的输送和压力P的传递被每个阀VA以及紧固部630_1和640_1阻挡时，驱动单元690_1被驱动以旋转第二壳体620_1。第二壳体620_1可以在第三方向D3(例如，与重力的方向相反的方向)上旋转，并且沉淀的粒子31可以再次分散。
最后，如图19中所示，当第二壳体620_1的旋转完成时，每个阀VA可以在一个方向上再次打开，并且紧固部630_1和640_1可以彼此连接，使得油墨30向储墨器600_1输送或者压力P向储墨器600_1传递。这里，当第一紧固部630_1和第二紧固部640_1再次连接时，可以控制驱动单元690_1的旋转的角度，以防止在第一紧固部630_1与第二紧固部640_1之间发生泄漏。即，喷墨印刷设备1000_1还可以包括配置为感测驱动单元690_1的状态以控制驱动单元690_1在第一时间点(t＝t1)与第四时间点(t＝t4)之间的旋转状态的感测单元。然而，本公开不限于此。
在图15的喷墨印刷设备1000_1中，与图1中不同，储墨器600_1包括多个壳体610_1和620_1，并且每个出口IE_1包括紧固部630_1和640_1，使得仅壳体610_1和620_1中的一个可以旋转。以这种方式，可以保持粒子31在油墨30中的分散度，并且同时可以防止由于储墨器600_1的旋转而导致的管道LT之间的干扰。
图20是根据另一实施方式的喷墨印刷设备的示意性立体图。
除了省略了第二管道LT2、第四管道LT4和第六管道LT6，以及第一紧固部630_2的数量改变之外，图20的喷墨印刷设备1000_2与图15的喷墨印刷设备1000_1相同。在下文中，将仅描述不同之处。
根据实施方式，在喷墨印刷设备1000_2中，多个管道LT_2可以仅连接至储墨器600_2的多个出口IE_2中的一些，并且连接至管道LT_2的出口IE_2可以根据喷墨印刷设备1000_2的工艺而改变。
具体地，在图20的喷墨印刷设备1000_2中，在第一时间点(t＝t1)处，第一管道LT1_2、第三管道LT3_2和第五管道LT5_2可以分别连接至第一出口IE1_2、第三出口IE3_2和第五出口IE5_2。另一方面，在其中喷墨印刷设备1000_2的第二壳体620_2由于通过传感器单元670和680进行感测而旋转的情况下，连接至管道LT_2的出口IE_2可以改变。在第二壳体620_2在其处旋转的第四时间点(t＝t4，未示出)处，第一管道LT1_2、第三管道LT3_2和第五管道LT5_2可以分别连接至第二出口IE2_2、第四出口IE4_2和第六出口IE6_2。因此，设置在第一壳体610_2上并连接至第一管道LT1_2、第三管道LT3_2和第五管道LT5_2的第一紧固部630_2的数量可以是三个，以及设置在第二壳体620_2上并可以连接至第一紧固部630_2的第二紧固部640_2的数量可以是六个。即，第一紧固部630_2的数量可以与连接至储墨器600_2的管道LT_2的数量相同，并且第二紧固部640_2的数量可以与储墨器600_2的出口IE_2的数量相同。因此，在根据实施方式的喷墨印刷设备1000_2中，一个或多个管道LT_2可以执行相同的功能，但是连接至不同的出口IE_2。
图21和图22是示出使用根据另一实施方式的喷墨印刷设备的偶极子对准工艺的示意图。
粒子31的类型不受特别限制，并且根据实施方式的喷墨印刷设备1000可以将粒子31喷射到目标衬底SUB上，该粒子31可以分散在溶剂35中并沉淀或沉降。在实施方式中，粒子31可以是能够沉淀或沉降的偶极子31'。
同时，根据实施方式，由喷墨印刷设备1000喷射的油墨30可以包括分散在溶剂35中的偶极子31'，并且偶极子31'可以具有相对于一个方向的方向性，并且因此在从喷墨印刷设备1000喷射之后在特定方向上对准。
偶极子31'可以是拥有具有第一极性的一个端部部分和具有与第一极性不同的第二极性的另一端部部分的物体。例如，偶极子31'的一个端部部分可以具有正极性，并且偶极子31'的另一端部部分可以具有负极性。当置于预定的电场中时，其两个端部部分具有不同的极性的偶极子31'可以接收电力(吸引力和排斥力)，并且可以控制其中偶极子31'定向的方向。
参考图21和图22，油墨30可以包括偶极子31'，并且可以通过喷墨头单元900的喷嘴925排放。油墨30中的偶极子31'可以具有由于其两个端部部分具有不同的极性(例如，第一极性和第二极性)而导致的方向性。然而，如图21中所示，当喷射包含偶极子31'的油墨30时，在其中不施加外力的情况下，其中偶极子31'定向的方向可以是随机的。因此，当油墨30喷射到目标衬底SUB上时，油墨30中的偶极子31'以随机的方向定向。
另一方面，如图22中所示，当在排放包含偶极子31'的油墨30时向油墨30施加预定电场E时，油墨30中的偶极子31'可以以一定的方向定向并喷射到目标衬底SUB上。直至油墨30从喷嘴925喷射到目标衬底SUB上，偶极子31'接收电力并在电场E的方向上定向。
在一些情况下，在实施方式中，电极21和22可以设置在目标衬底SUB上，并且通过喷嘴925排放的油墨30可以喷射到电极21和22上。如在图22中，在喷射到目标衬底SUB上之后，由于通过预定电极施加的电场，偶极子31'也可以在一个方向上定向。当通过电极21和22施加预定的电信号时，可以在喷射到电极21和22上的油墨30中形成电场，并且偶极子31'可以受电场影响，并且在一个方向上定向。然而，本公开不限于此。
同时，上述偶极子31'可以是包括导电半导体的发光元件，并且根据实施方式，可以使用喷墨印刷设备1000制造包括发光元件的显示设备。
图23是根据实施方式的发光元件的示意图。
发光元件300可以包括掺杂有任意导电(例如，p型或n型)杂质的半导体晶体。半导体晶体可以接收从外部电源施加的电信号，并将所接收的电信号发射为特定波长带中的光。
发光元件300可以是发光二极管(LED)。具体地，发光元件300可以是具有微米或纳米尺寸并由无机材料制成的无机LED。在其中发光元件300是无机LED的情况下，当电场在特定方向上形成在两个电极之间时，无机LED可以在具有极性的两个电极之间对准。发光元件300可以接收来自电极的预定的电信号，并发射特定波长带中的光。
参考图23，根据实施方式的发光元件300可以包括多个导电半导体310和320、有源层330、电极材料层370以及绝缘膜380。多个导电半导体310和320可以将传输至发光元件300的电信号传输至有源层330，并且有源层330可以发射特定波长带中的光。
具体地，发光元件300可以包括第一导电半导体310、第二导电半导体320、设置在第一导电半导体310与第二导电半导体320之间的有源层330、设置在第二导电半导体320上的电极材料层370、以及设置成围绕第一导电半导体310、第二导电半导体320、有源层330和电极材料层370外表面的绝缘膜380。图23的发光元件300被示出为具有其中第一导电半导体310、有源层330、第二导电半导体320和电极材料层370依次形成在纵向方向上的结构，但是本公开不限于此。电极材料层370可以省略，或者在一些实施方式中，电极材料层370可以设置在第一导电半导体310和第二导电半导体320的两个侧表面中的至少一个上。即使当发光元件300还包括另一结构时，以下对发光元件300的描述也可以同样地适用。
第一导电半导体310可以是n型半导体层。例如，在其中发光元件300发射蓝色波长带中的光的情况下，第一导电半导体310可以是具有化学式InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1，0≤y≤1，0≤x+y≤1)的半导体材料。例如，第一导电半导体310可以是掺杂有n型杂质的AlInGaN、GaN、AlGaN、InGaN、AlN和InN中的任一种或多种。第一导电半导体310可以掺杂有第一导电掺杂剂。例如，第一导电掺杂剂可以是Si、Ge、Sn等。第一导电半导体310的长度可以在1.5μm至5μm的范围内，但是本公开不限于此。
第二导电半导体320可以是p型半导体层。例如，在其中发光元件300发射蓝色波长带中的光的情况下，第二导电半导体320可以是具有化学式InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1，0≤y≤1，0≤x+y≤1)的半导体材料。例如，第二导电半导体320可以是掺杂有p型杂质的AlInGaN、GaN、AlGaN、InGaN、AlN和InN中的任一种或多种。第二导电半导体320可以掺杂有第二导电掺杂剂。例如，第二导电掺杂剂可以是Mg、Zn、Ca、Se、Ba等。第二导电半导体320的长度可以在0.08μm至0.25μm的范围内，但是本公开不限于此。
同时，尽管在附图中示出了其中第一导电半导体310和第二导电半导体320构成单层的情况，但是本公开不限于此。在一些情况下，根据以下将描述的有源层330的材料，第一导电半导体310和第二导电半导体320也可以包括更多层。
有源层330设置在第一导电半导体310与第二导电半导体320之间，并且可以包括具有单量子阱结构或多量子阱结构的材料。在其中有源层330包括具有多量子阱结构的材料的情况下，有源层330可以具有其中多个量子层和阱层交替堆叠的结构。根据通过第一导电半导体310和第二导电半导体320施加的电信号，有源层330可以由于电子-空穴对的复合而发射光。例如，在其中有源层330发射蓝色波长带中的光的情况下，有源层330可以包括诸如AlGaN和AlInGaN的材料。特别地，在其中有源层330具有其中量子层和阱层交替堆叠的多量子阱结构的情况下，量子层可以包括诸如AlGaN或AlInGaN的材料，并且阱层可以包括诸如GaN或AlGaN的材料。
然而，本公开不限于此，并且有源层330可以具有其中具有大带隙能量的半导体材料和具有小带隙能量的半导体材料交替堆叠的结构，或者有源层330可以根据所发射的光的波长带而包括不同的III-V族半导体材料。由有源层330发射的光不限于蓝色波长带中的光，并且在一些情况下，有源层330可以发射红色或绿色波长带中的光。有源层330的长度可以在0.05μm至0.25μm的范围内，但是本公开不限于此。
同时，从有源层330发射的光不仅可以在纵向方向上发射至发光元件300的外表面，而且可以发射至发光元件300的两个侧表面。从有源层330发射的光的方向性不限于一个方向。
电极材料层370可以是欧姆接触电极。然而，本公开不限于此，并且电极材料层370也可以是肖特基接触电极。电极材料层370可以包括导电金属。例如，电极材料层370可以包括铝(Al)、钛(Ti)、铟(In)、金(Au)、银(Ag)、氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)和氧化铟锡锌(ITZO)中的至少一种。电极材料层370可以包括相同的材料或者包括不同的材料，但是本公开不限于此。
绝缘膜380可以形成为与第一导电半导体310、第二导电半导体320、有源层330和电极材料层370接触并围绕第一导电半导体310、第二导电半导体320、有源层330和电极材料层370的外表面。绝缘膜380可以执行保护构件的功能。例如，绝缘膜380可以形成为围绕部的侧表面部分，并且发光元件300的在纵向方向上的两个端部部分可以暴露，但是本公开不限于此。
绝缘膜380可以包括具有绝缘特性的材料，例如，氧化硅(SiOx)、氮化硅(SiNx)、氮氧化硅(SiOxNy)、氮化铝(AlN)、氧化铝(Al2O3)等。因此，绝缘膜380可以防止在其中发光元件300与电信号传输至其的电极直接接触的情况下可能发生的有源层330的电短路。此外，由于绝缘膜380保护包括有源层330的发光元件300的外表面，因此绝缘膜380可以防止发光效率的劣化。
在附图中示出了其中绝缘膜380形成为在发光元件300的纵向方向上延伸并从第一导电半导体310至电极材料层370覆盖发光元件300的情况，但是本公开不限于此。绝缘膜380可以仅覆盖第一导电半导体310、有源层330和第二导电半导体320，或者可以仅覆盖电极材料层370的外表面的部分，使得电极材料层370的外表面部分地暴露。
绝缘膜380的厚度可以在0.5μm至1.5μm的范围内，但是本公开不限于此。
此外，在一些实施方式中，可以表面处理绝缘膜380的外表面。当制造显示设备10(参见图25)时，分散在预定油墨中的发光元件300可以喷射到电极上并对准。这里，为了保持其中发光元件300分散在油墨中而不与其它相邻的发光元件300聚集的状态，绝缘膜380的表面可以处理成疏水的或亲水的。
发光元件300可以具有在一个方向上延伸的形状。例如，发光元件300可以在纵向方向具有长度h。发光元件300可以具有纳米杆、纳米线、纳米管等的形状。在实施方式中，发光元件300可以具有圆柱形或杆状形状。然而，发光元件300的形状不限于此，并且可以是诸如立方体形状、长方体形状或六棱柱形状的各种其它形状。
图24是根据另一实施方式的发光元件的示意图。
参考图24，发光元件300'可以形成为使得多个层围绕不同层的外表面，而不在一个方向上堆叠。除了层的形状部分地不同之外，图24的发光元件300'与图23的发光元件300相同。在下文中，将仅描述不同之处。
根据实施方式，第一导电半导体310'可以在一个方向上延伸，并且具有形成为朝向中心部分倾斜的两个端部部分。图24的第一导电半导体310'可以具有包括杆状或圆柱形主体部和形成在主体部的上部部分和下部部分处的锥形端部部分的形状。主体部的上端部部分可以具有比其下端部部分更陡的斜率。
有源层330'设置成围绕第一导电半导体310'的主体部的外表面。有源层330'可以具有在一个方向上延伸的环形形状。有源层330'不形成在第一导电半导体310'的上端部部分和下端部部分上。即，有源层330'可以仅与第一导电半导体310'的平行侧表面接触。
第二导电半导体320'设置成围绕有源层330'的外表面和第一导电半导体310'的上端部部分。第二导电半导体320'可以包括在一个方向上延伸的环形主体部和具有形成为倾斜的侧表面的上端部部分。即，第二导电半导体320'可以与有源层330'的平行侧表面和第一导电半导体310'的倾斜的上端部部分直接接触。然而，第二导电半导体320'不形成在第一导电半导体310'的下端部部分上。
电极材料层370'设置成围绕第二导电半导体320'的外表面。即，电极材料层370'的形状可以与第二导电半导体320'的形状基本上相同。即，电极材料层370'可以与第二导电半导体320'的外表面完全接触。
绝缘膜380'可以设置成围绕电极材料层370'和第一导电半导体310'的外表面。绝缘膜380'可以与第一导电半导体310'的下端部部分以及有源层330'和第二导电半导体320'以及电极材料层370'的暴露的下端部部分直接接触。
同时，发光元件300的长度h'可以在1μm至10μm的范围内或在2μm至5μm的范围内，并且优选地，可以是约4μm的长度。此外，发光元件300的直径可以在300nm至700nm的范围内，并且包括在显示设备10中的多个发光元件300可以根据有源层330的组成的不同而具有不同的直径。优选地，发光元件300的直径可以是约500nm。
根据实施方式，喷墨印刷设备1000可以将图23的发光元件300或图24的发光元件300'分散在油墨30中，并将油墨30喷射或排放到目标衬底SUB上，并且以此方式，可以制造包括发光元件300的显示设备10。
图25是使用根据实施方式的方法制造的显示设备的平面图。
参考图25，显示设备10可以包括多个像素PX。像素PX可以各自包括配置为发射特定波长带中的光的一个或多个发光元件300，以显示特定的颜色。
多个像素PX可以各自包括第一子像素PX1、第二子像素PX2和第三子像素PX3。第一子像素PX1可以发射第一颜色的光，第二子像素PX2可以发射第二颜色的光，以及第三子像素PX3可以发射第三颜色的光。第一颜色可以是红色，第二颜色可以是绿色，以及第三颜色可以是蓝色，但是本公开不限于此，并且每个子像素PXn(例如，n＝1、2、3)也可以发射相同颜色的光。此外，尽管图25示出了其中每个像素PX包括三个子像素的情况，但是本公开不限于此，并且每个像素PX可以包括更多的子像素。
显示设备10的每个子像素PXn可以包括限定为发光区域和非发光区域的区域。发光区域可以限定为其中设置有包括在显示设备10中的发光元件300并且从其发射特定波长带中的光的区域。非发光区域是除了发光区域之外的区域，并且可以限定为其中不设置发光元件300并且不从其发射光的区域。
显示设备10的子像素PXn可以包括多个堤部400(参见图26)、多个电极210和220以及发光元件300。
多个电极210和220可以电连接至发光元件300，并且可以接收预定电压，使得发光元件300发射光。此外，为了对准发光元件300，可以利用电极210和220中的每个的至少一部分以在子像素PXn中形成电场。然而，本公开不限于此，并且在一些情况下，电场也可以由单独的对准信号应用设备形成。
更详细地，参考图25，多个电极210和220可以包括第一电极210和第二电极220。在实施方式中，第一电极210可以是针对每个子像素PXn分离的像素电极，以及第二电极220可以是沿着每个子像素PXn公共连接的公共电极。第一电极210和第二电极220中的任一个可以是发光元件300的阳极电极，并且其另一个可以是发光元件300的阴极电极。然而，本公开不限于此，并且其也可以是相反的方式。
第一电极210和第二电极220可以分别包括设置成在第一方向D1上延伸的电极主干部分210S和220S以及在垂直于第一方向D1的第二方向D2上从电极主干部分210S和220S延伸并分支的一个或多个电极分支部分210B和220B。
具体地，第一电极210可以包括第一电极主干部分210S和一个或多个第一电极分支部分210B，第一电极主干部分210S设置成在第一方向D1上延伸，一个或多个第一电极分支部分210B从第一电极主干部分210S分支并在第二方向D2(Y轴方向)上延伸。
一个任意像素的第一电极主干部分210S可以具有间隔开并终止在子像素PXn之间的两个端部，并且可以与属于相同行(例如，在第一方向D1上相邻)的相邻子像素的第一电极主干部分210S基本上共线。因此，设置在每个子像素PXn中的第一电极主干部分210S可以向每个第一电极分支部分210B施加不同的电信号，并且第一电极分支部分210B可以单独地驱动。
第一电极分支部分210B可以从第一电极主干部分210S的至少一部分分支，在第二方向D2上延伸，并且在与设置成与第一电极主干部分210S相对的第二电极主干部分220S间隔开的同时终止。
第二电极220可以包括第二电极主干部分220S和第二电极分支部分220B，第二电极主干部分220S设置成在第一方向D1上延伸并且可以与第一电极主干部分210S间隔开并与第一电极主干部分210S相对，第二电极分支部分220B设置成从第二电极主干部分220S分支并在第二方向D2上延伸。然而，第二电极主干部分220S的另一端部部分可以延伸至在第一方向D1上与其相邻的多个子像素PXn。因此，一个任意像素的第二电极主干部分220S可以具有连接至像素PX之间的相邻像素的第二电极主干部分220S的两个端部。
第二电极分支部分220B可以与第一电极分支部分210B间隔开并与第一电极分支部分210B相对，并且可以在与第一电极主干部分210S间隔开的同时终止。即，第二电极分支部分220B可以设置在子像素PXn中，同时一个端部部分连接至第二电极主干部分220S，并且另一端部部分与第一电极主干部分210S间隔开。
尽管图25示出了其中设置有两个第一电极分支部分210B并且第二电极分支部分220B设置在它们之间的情况，但是本公开不限于此。
多个堤部400可以包括设置在子像素PXn之间的边界处的第三堤部430以及分别设置在电极210和220的下部部分处的第一堤部410和第二堤部420。尽管在该附图中未示出第一堤部410和第二堤部420，但是第一堤部410和第二堤部420可以分别设置在第一电极分支部分210B和第二电极分支部分220B的下部部分处。
第三堤部430可以设置在子像素PXn之间的边界处。多个第一电极主干部分210S可以具有彼此间隔开并基于第三堤部430终止的端部部分。第三堤部430可以在第二方向D2上延伸，并且可以设置在布置在第一方向D1上的子像素PXn之间的边界处。然而，本公开不限于此，并且第三堤部430也可以在第一方向D1上延伸，并且可以设置在布置在第二方向D2上的子像素PXn之间的边界处。多个子像素PXn可以基于第三堤部430来区分。第三堤部430可以包括与第一堤部410和第二堤部420相同的材料，并且可以通过与第一堤部410和第二堤部420基本上相同的工艺形成。
尽管在图25中未示出，但是覆盖子像素PXn的整个区域以及第一电极分支部分210B和第二电极分支部分220B的第一绝缘层510(参见图26)可以设置在每个子像素PXn中。第一绝缘层510可以同时保护电极210和220，并且使电极210和220彼此绝缘，使得电极210和220不直接接触。
多个发光元件300可以在第一电极分支部分210B与第二电极分支部分220B之间对准。多个发光元件300中的至少一些可以具有电连接至第一电极分支部分210B的一个端部部分和电连接至第二电极分支部分220B的另一端部部分。
多个发光元件300可以在第二方向D2上间隔开并对准，以便基本上彼此平行。发光元件300在其处间隔开的间距不受特别限制。在一些情况下，多个发光元件300可以彼此相邻地设置以形成群组，并且其它发光元件300可以在以预定间距与其间隔开的状态下形成群组、具有不均匀的密度并且可以在一个方向上定向和对准。
接触电极260可以设置在第一电极分支部分210B和第二电极分支部分220B中的每个上。然而，接触电极260可以基本上设置在第一绝缘层510上，并且接触电极260中的至少一些可以与第一电极分支部分210B和第二电极分支部分220B接触，或者可以电连接至第一电极分支部分210B和第二电极分支部分220B。
多个接触电极260可以设置成在第二方向D2上延伸，并且设置成在第一方向D1上彼此间隔开。接触电极260可以与发光元件300的至少一个端部部分接触，并且接触电极260可以与第一电极210和第二电极220接触以接收电信号。因此，接触电极260可以向发光元件300传输从电极210和220中的每个传输的电信号。
接触电极260可以包括第一接触电极261和第二接触电极262。第一接触电极261可以设置在第一电极分支部分210B上，并且可以与发光元件300的一个端部部分接触，以及第二接触电极262可以设置在第二电极分支部分220B上，并且可以与发光元件300的另一端部部分接触。
第一电极主干部分210S和第二电极主干部分220S可以分别通过接触孔(例如，第一电极接触孔CNTD和第二电极接触孔CNTS)电连接至显示设备10的电路元件层。在该附图中示出了其中单个第二电极接触孔CNTS形成在多个子像素PXn的第二电极主干部分220S中的情况。然而，本公开不限于此，并且在一些情况下，第二电极接触孔CNTS可以形成在每个子像素PXn中。
此外，尽管在图25中未示出，但是显示设备10可以包括第二绝缘层520(在图26中示出)和钝化层550(在图26中示出)，第二绝缘层520和钝化层550设置成覆盖电极210和220中的每个以及发光元件300中的至少一些。以下将参考图26描述其布置、结构等。
图26是沿着图25的线I-I'截取的显示设备的局部剖视图。
图26仅示出了第一子像素PX1的剖视图，但是该剖视图可以同样适用于其它像素PX或子像素PXn。图26示出了跨过任意发光元件300的一个端部部分和另一端部部分切割的截面。
同时，尽管在图26中未示出，但是显示设备10还可以包括设置在电极210和220中的每个的下部部分处的电路元件层。电路元件层包括多个半导体层和多个导电图案，并且可以包括至少一个晶体管和电源线。然而，在下文中，将省略其详细描述。
参考图26，显示设备10可以包括通孔层200、电极210和220以及设置在通孔层200上的发光元件300等。电路元件层(未示出)还可以设置在通孔层200的下部部分处。通孔层200可以包括有机绝缘材料，并且执行表面平坦化功能。
多个堤部410、420和430设置在通孔层200上。多个堤部410、420和430可以设置成在每个子像素PXn中彼此间隔开。多个堤部410、420和430可以包括设置成与子像素PXn的中心部分相邻的第一堤部410和第二堤部420以及设置在子像素PXn之间的边界处的第三堤部430。
当在显示设备10的制造期间使用上述图1的喷墨印刷设备1000喷射油墨30时，第三堤部430可以用于防止油墨30流过子像素PXn之间的边界。可替代地，在其中显示设备10还包括另一构件的情况下，该构件可以设置在第三堤部430上，并且第三堤部430可以用于支承该构件。然而，本公开不限于此。
第一堤部410和第二堤部420设置成彼此间隔开且彼此相对。第一电极210可以设置在第一堤部410上，以及第二电极220可以设置在第二堤部420上。可以理解的是，在图25和图26中，第一电极分支部分210B设置在第一堤部410上，并且第二电极分支部分220B设置在第二堤部420上。
如上所述，第一堤部410、第二堤部420和第三堤部430可以通过基本上相同的工艺形成。因此，堤部410、420和430也可以形成单个栅格图案。多个堤部410、420和430可以包括聚酰亚胺(PI)。
多个堤部410、420和430可以具有其至少一部分基于通孔层200突出的结构。堤部410、420和430可以基于其上设置有发光元件300的平面向上突出，并且突出部分的至少一部分可以具有斜率。具有突出结构的堤部410、420和430的形状不受特别限制。如该附图中所示，第一堤部410和第二堤部420可以突出至相同的高度，而第三堤部430突出至更高的位置。
反射层211和221可以设置在第一堤部410和第二堤部420上，以及电极层212和222可以设置在反射层211和221上。反射层211和221以及电极层212和222可以构成电极210和220。
反射层211和221包括第一反射层211和第二反射层221。第一反射层211可以覆盖第一堤部410，以及第二反射层221可以覆盖第二堤部420。反射层211和221的部分通过穿过通孔层200的接触孔电连接至电路元件层。
反射层211和221可以包括高反射材料，并反射从发光元件300发射的光。例如，反射层211和221可以包括诸如银(Ag)、铜(Cu)、氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)和氧化铟锡锌(ITZO)的材料，但是本公开不限于此。
电极层212和222包括第一电极层212和第二电极层222。电极层212和222可以具有与反射层211和221基本上相同的图案。第一反射层211和第一电极层212可以设置成与第二反射层221和第二电极层222间隔开。
电极层212和222可以包括透明导电材料，并且从发光元件300发射的发射光可以入射到反射层211和221上。例如，电极层212和222可以包括诸如氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)和氧化铟锡锌(ITZO)的材料，但是本公开不限于此。
在一些实施方式中，反射层211和221以及电极层212和222可以形成其中由ITO、IZO、ITZO等制成的一个或多个透明导电层与由铜等制成的一个或多个金属层堆叠的结构。例如，反射层211和221以及电极层212和222也可以形成ITO/Ag/ITO/IZO的堆叠结构。
同时，在一些实施方式中，第一电极210和第二电极220可以形成为单层。即，反射层211和221以及电极层212和222可以形成为单层，并且该层可以同时向发光元件300传输电信号并反射光。在实施方式中，第一电极210和第二电极220可以包括高反射导电材料。例如，第一电极210和第二电极220可以由包含铝(Al)、镍(Ni)、镧(La)等的合金制成。然而，本公开不限于此。
第一绝缘层510设置成部分地覆盖第一电极210和第二电极220。第一绝缘层510可以设置成覆盖第一电极210和第二电极220中的每个的大部分的上表面，并且可以允许第一电极210和第二电极220的部分暴露。第一绝缘层510也可以设置成部分地覆盖其中第一电极210和第二电极220间隔开的区域以及第一电极210和第二电极220的与该区域相对的侧部。
第一绝缘层510设置成使得第一电极210和第二电极220中的每个的相对平坦的上表面暴露，并且设置成使得电极210和220与第一堤部410和第二堤部420的倾斜的侧表面重叠。第一绝缘层510形成平坦的上表面，使得发光元件300设置在其上，并且该上表面在一个方向上朝向第一电极210和第二电极220延伸。第一绝缘层510的延伸部分终止在第一电极210和第二电极220的倾斜的侧表面处。因此，接触电极260可以与第一电极210和第二电极220的暴露的部分接触，并且可以与第一绝缘层510的平坦的上表面上的发光元件300平滑地接触。
第一绝缘层510可以同时保护第一电极210和第二电极220，并使第一电极210和第二电极220彼此绝缘。此外，第一绝缘层510可以防止设置在第一绝缘层510上的发光元件300与其它构件直接接触并对其造成损坏。
发光元件300可以设置在第一绝缘层510上。一个或多个发光元件300可以在第一电极210和第二电极220之间设置第一绝缘层510上。在发光元件300中，可以在与通孔层200水平的方向上设置多个层。在根据实施方式的显示设备10的发光元件300中，第一导电半导体310、有源层330、第二导电半导体320和电极材料层370可以依次设置在与通孔层200水平的方向上。然而，本公开不限于此。其中设置发光元件300的多个层的顺序可以是相反的，并且在一些情况下，当发光元件300具有不同的结构时，可以在垂直于通孔层200的方向上设置多个层。
第二绝缘层520可以部分地设置在发光元件300上。在制造显示设备10的工艺中，第二绝缘层520可以同时保护发光元件300并固定发光元件300。第二绝缘层520可以设置成围绕发光元件300的外表面。即，第二绝缘层520的材料的部分可以设置在发光元件300的下表面与第一绝缘层510之间。在平面图中，第二绝缘层520可以在第一电极分支部分210B与第二电极分支部分220B之间在第二方向D2上延伸，并且具有岛状或线性形状。
接触电极260设置在电极210和220以及第二绝缘层520中的每个上。接触电极260包括设置在第一电极210上的第一接触电极261和设置在第二电极220上的第二接触电极262。第一接触电极261和第二接触电极262在第二绝缘层520上设置成彼此间隔开。因此，第二绝缘层520可以使第一接触电极261与第二接触电极262彼此绝缘。
第一接触电极261可以至少与第一电极210和发光元件300的由于第一绝缘层510被图案化而暴露的一个端部部分接触。第二接触电极262可以至少与第二电极220和发光元件300的由于第一绝缘层510被图案化而暴露的另一端部部分接触。第一接触电极261和第二接触电极262可以与发光元件300的两个端部部分的侧表面接触，例如与第一导电半导体310、第二导电半导体320或电极材料层370接触。如上所述，第一绝缘层510可以形成平坦的上表面，使得接触电极260与发光元件300的侧表面平滑地接触。
接触电极260可以包括导电材料。例如，接触电极260可以包括ITO、IZO、ITZO、Al等。然而，本公开不限于此。
钝化层550可以形成在第二绝缘层520的上部部分和接触电极260处，并且用于保护设置在通孔层200上的构件免受外部环境的影响。
以上已经描述的第一绝缘层510、第二绝缘层520和钝化层550中的每个可以包括无机绝缘材料或有机绝缘材料。在实施方式中，第一绝缘层510和钝化层550可以包括诸如氧化硅(SiOx)、氮化硅(SiNx)、氮氧化硅(SiOxNy)、氧化铝(Al2O3)、氮化铝(AlN)等的材料。第二绝缘层520可以包括光刻胶等作为有机绝缘材料。然而，本公开不限于此。
在结束详细描述时，本领域中的技术人员将理解，在基本上不背离本发明的原理的情况下，可以对优选实施方式做出许多变化和修改。因此，所公开的本发明的优选实施方式仅以一般性和描述性的意义使用，而非出于限制的目的。

Claims (16)

1.喷墨印刷设备，包括：
储墨器，配置成存储包含一个或多个粒子的油墨，所述储墨器包括形成在所述储墨器的在重力方向上的第一表面上的第一出口和形成在所述储墨器的第二表面上的第二出口，所述第二表面是在所述重力方向上与所述第一表面相对的表面；
喷墨头单元，配置成从所述储墨器接收所述油墨并将所述油墨喷射到目标衬底上；
驱动单元，配置成旋转所述储墨器，使得所述储墨器的配置于在重力方向上的一侧的表面改变为配置于与重力方向相反的方向上的一侧；以及
第一管道和第二管道，所述第一管道连接在所述第一出口和所述喷墨头单元之间，并且所述第二管道连接在所述第二出口和所述喷墨头单元之间，
其中，所述第一出口和所述第二出口中的一个在所述油墨通过所述第一出口和所述第二出口中的另一出口流动时阻挡所述油墨朝向所述喷墨头单元移动。
2.根据权利要求1所述的喷墨印刷设备，其中，所述驱动单元绕作为旋转轴的驱动轴旋转所述储墨器，所述驱动轴置于与作用在所述储墨器的所述油墨上的重力的方向垂直或以锐角倾斜的参考平面上。
3.根据权利要求2所述的喷墨印刷设备，其中：
所述储墨器包括一个表面和与所述一个表面相对的另一表面，以及
所述参考平面设置在距所述一个表面和所述另一表面相等的距离处。
4.根据权利要求1所述的喷墨印刷设备，还包括：
阀，连接至所述第一管道和所述第二管道；以及
第三管道，连接至所述阀和所述喷墨头单元，
其中，所述阀阻挡沿着所述第一管道、所述第二管道和所述第三管道中的至少一个的流动路径。
5.根据权利要求1所述的喷墨印刷设备，还包括：传感器单元，配置为测量所述粒子在存储在所述储墨器中的所述油墨中的分散度。
6.根据权利要求5所述的喷墨印刷设备，其中，在作用在所述储墨器中的所述油墨上的重力的方向上限定有感测区域，以及
所述传感器单元测量所述粒子在所述感测区域中的所述分散度。
7.根据权利要求5所述的喷墨印刷设备，其中，所述喷墨头单元包括头部基础部和喷墨头，所述喷墨头包括配置成喷射包含所述粒子的所述油墨的多个喷嘴。
8.粒子喷射方法，包括：
在储墨器中制备具有分散在其中的多个粒子的油墨，并测量所述粒子在所述储墨器中的第一分散度；
将所述油墨喷射到目标衬底上，并测量在所述储墨器中沉淀的所述粒子的第二分散度；以及
当计算所述第一分散度与所述第二分散度的比值且所述比值超过预定参考值时，旋转所述储墨器，使得所述储墨器的配置于在重力方向上的一侧的表面改变为配置于与重力方向相反的方向上的一侧，
其中，所述储墨器包括形成在所述储墨器的在重力方向上的第一表面上的第一出口和形成在所述储墨器的第二表面上的第二出口，所述第二表面是在所述重力方向上与所述第一表面相对的表面，
将所述油墨喷射到目标衬底上由喷墨头单元执行，所述喷墨头单元配置成从所述储墨器接收所述油墨并将所述油墨喷射到目标衬底上，
所述喷墨头单元通过第一管道连接到所述第一出口并且通过第二管道连接到所述第二出口，以及
所述第一出口和所述第二出口中的一个在所述油墨通过所述第一出口和所述第二出口中的另一出口流动时阻挡所述油墨朝向所述喷墨头单元移动。
9.根据权利要求8所述的粒子喷射方法，其中，所述储墨器绕作为旋转轴的驱动轴旋转，所述驱动轴置于与作用在所述储墨器的所述油墨上的重力的方向垂直或以锐角倾斜的参考平面上。
10.根据权利要求8所述的粒子喷射方法，其中，在所述粒子在其处具有所述第一分散度的时间点处，所述油墨通过所述第一出口喷射，以及在所述储墨器旋转之后，所述油墨通过所述第二出口喷射。
11.根据权利要求9所述的粒子喷射方法，其中，所述粒子包括具有偶极子的发光元件。
12.根据权利要求11所述的粒子喷射方法，还包括：
在所述油墨喷射到所述目标衬底上之后，在所述目标衬底上形成电场；以及
通过所述电场对准其中所述粒子定向的方向。
13.用于制造显示设备的方法，所述方法包括：
制备其上形成有第一电极和第二电极的目标衬底，以及在储墨器中制备包含发光元件的油墨；
将所述油墨喷射到所述目标衬底上，并测量在所述储墨器中沉淀的所述发光元件的分散度；以及
当所述分散度由于所述发光元件沉淀而超过预定参考值时，旋转所述储墨器，使得所述储墨器的配置于在重力方向上的一侧的表面改变为配置于与重力方向相反的方向上的一侧，
其中，所述储墨器包括形成在所述储墨器的在重力方向上的第一表面上的第一出口和形成在所述储墨器的第二表面上的第二出口，所述第二表面是在所述重力方向上与所述第一表面相对的表面，
将所述油墨喷射到目标衬底上由喷墨头单元执行，所述喷墨头单元配置成从所述储墨器接收所述油墨并将所述油墨喷射到目标衬底上，
所述喷墨头单元通过第一管道连接到所述第一出口并且通过第二管道连接到所述第二出口，以及
所述第一出口和所述第二出口中的一个在所述油墨通过所述第一出口和所述第二出口中的另一出口流动时阻挡所述油墨朝向所述喷墨头单元移动。
14.根据权利要求13所述的方法，其中，所述储墨器绕作为旋转轴的驱动轴旋转，所述驱动轴置于与作用在所述油墨上的重力的方向垂直或以锐角倾斜的参考平面上；以及
沉淀的所述发光元件分散在旋转后的所述储墨器中的所述油墨中。
15.根据权利要求14所述的方法，还包括：在测量所述发光元件的所述分散度之后，当所述分散度超过所述预定参考值时，停止喷射所述油墨。
16.根据权利要求15所述的方法，还包括：
在喷射所述油墨之后，在所述目标衬底上形成电场；以及
通过所述电场对准其中所述发光元件定向的方向，使得所述发光元件落在所述第一电极与所述第二电极之间。
CN201980086149.7A 2018-12-24 2019-11-06 喷墨印刷设备、粒子喷射方法以及用于制造显示设备的方法 Active CN113226776B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180168382A KR102668889B1 (ko) 2018-12-24 2018-12-24 잉크젯 프린팅 장치, 잉크 분사 방법 및 표시 장치의 제조 방법
KR10-2018-0168382 2018-12-24
PCT/KR2019/014942 WO2020138702A1 (ko) 2018-12-24 2019-11-06 잉크젯 프린팅 장치, 잉크 분사 방법 및 표시 장치의 제조 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113226776A CN113226776A (zh) 2021-08-06
CN113226776B true CN113226776B (zh) 2023-07-14

Family

ID=71127195

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201980086149.7A Active CN113226776B (zh) 2018-12-24 2019-11-06 喷墨印刷设备、粒子喷射方法以及用于制造显示设备的方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11787190B2 (zh)
EP (1) EP3904103A4 (zh)
KR (1) KR102668889B1 (zh)
CN (1) CN113226776B (zh)
WO (1) WO2020138702A1 (zh)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102702898B1 (ko) 2019-05-21 2024-09-04 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR20210109088A (ko) 2020-02-26 2021-09-06 삼성디스플레이 주식회사 잉크젯 프린팅 장치, 쌍극성 소자의 프린팅 방법 및 표시 장치의 제조 방법
KR102434777B1 (ko) * 2020-09-21 2022-08-23 주식회사 고산테크 분산 안정성을 개선한 교반 장치를 포함하는 잉크젯 프린터의 잉크 저장탱크
KR20220070106A (ko) 2020-11-20 2022-05-30 삼성디스플레이 주식회사 잉크젯 프린팅 장치 및 그의 미토출 해소 방법
KR102568827B1 (ko) * 2020-12-02 2023-08-18 세메스 주식회사 잉크 분리 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템
US20220246448A1 (en) * 2021-02-03 2022-08-04 Samsung Electronics Co., Ltd. Dispenser for micro led suspension and method of transferring micro led
JP2023541725A (ja) * 2021-08-18 2023-10-04 深▲セン▼市▲華▼星光▲電▼半▲導▼体▲顕▼示技▲術▼有限公司 表示パネルの製造方法及び乾燥設備

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10340058A (ja) * 1997-06-06 1998-12-22 Brother Ind Ltd ディスプレイ装置
CN1820957A (zh) * 2005-02-18 2006-08-23 应用材料公司 在用于平板显示器制造的喷墨打印中减少墨水聚集的方法和设备
CN102066115A (zh) * 2008-06-24 2011-05-18 马斯特满股份有限公司 印刷装置
JP2013208760A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Seiko Epson Corp 印刷装置および印刷方法
JP2013237219A (ja) * 2012-05-16 2013-11-28 Seiko Epson Corp 液体収容パック及び攪拌装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH045513Y2 (zh) 1987-07-28 1992-02-17
US6224201B1 (en) * 1997-07-28 2001-05-01 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording apparatus provided with an improved ink supply route
JP2001322297A (ja) * 2000-05-18 2001-11-20 Konica Corp インクジェット記録装置及び記録方法
DE102013110108A1 (de) 2013-09-13 2015-03-19 Khs Gmbh Drucksystem zum Bedrucken von Flaschen oder dergleichen Behältern sowie Druckvorrichtung oder –maschine mit einem solchen Drucksystem
JP2016164961A (ja) 2014-10-30 2016-09-08 キヤノン株式会社 液体吐出装置、ナノインプリント装置、ナノインプリント用液体収容タンク、硬化物パターンの製造方法、光学部品の製造方法、回路基板の製造方法、インプリント用モールドの製造方法
US9707765B2 (en) * 2015-11-23 2017-07-18 Xerox Corporation Inhibiting sediment formation in a MICR ink tank
KR102608419B1 (ko) 2016-07-12 2023-12-01 삼성디스플레이 주식회사 표시장치 및 표시장치의 제조방법
US20210101396A1 (en) 2017-04-07 2021-04-08 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Printhead rotators
US10000065B1 (en) 2017-06-15 2018-06-19 The Boeing Company Inkjet printing system having dynamically controlled ink reservoir
US20200346467A1 (en) * 2017-12-11 2020-11-05 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid reservoirs
KR102630588B1 (ko) 2018-09-21 2024-01-31 삼성디스플레이 주식회사 발광 표시 장치의 제조 장치 및 제조 방법
US11858277B2 (en) 2019-04-29 2024-01-02 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Rotating housing with sensor
KR20200130606A (ko) 2019-05-10 2020-11-19 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 그의 제조 방법

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10340058A (ja) * 1997-06-06 1998-12-22 Brother Ind Ltd ディスプレイ装置
CN1820957A (zh) * 2005-02-18 2006-08-23 应用材料公司 在用于平板显示器制造的喷墨打印中减少墨水聚集的方法和设备
CN102066115A (zh) * 2008-06-24 2011-05-18 马斯特满股份有限公司 印刷装置
JP2013208760A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Seiko Epson Corp 印刷装置および印刷方法
JP2013237219A (ja) * 2012-05-16 2013-11-28 Seiko Epson Corp 液体収容パック及び攪拌装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP3904103A1 (en) 2021-11-03
WO2020138702A1 (ko) 2020-07-02
CN113226776A (zh) 2021-08-06
EP3904103A4 (en) 2022-08-17
KR102668889B1 (ko) 2024-05-24
US20220072864A1 (en) 2022-03-10
KR20200079378A (ko) 2020-07-03
US11787190B2 (en) 2023-10-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN113226776B (zh) 喷墨印刷设备、粒子喷射方法以及用于制造显示设备的方法
US11685154B2 (en) Inkjet printing device, dipole aligning method, and display device manufacturing method
CN113330587B (zh) 显示装置及其制造方法
CN112770912B (zh) 喷墨印刷装置、偶极子对准方法及显示设备制造方法
CN114144309B (zh) 喷墨印刷装置、用于使双极元件对准的方法和制造显示装置的方法
CN117218964A (zh) 显示设备及制造其的方法
CN115996849A (zh) 用于制造显示装置的喷墨印刷设备和方法
US12017453B2 (en) Inkjet printing device, method for printing bipolar elements, and method for manufacturing display device
US12068279B2 (en) Dipole alignment apparatus for use in manufacturing of display device including electric field forming unit having a stage and probe generating electric field, and applying electric field simultaneously with light irradiation generated by the light irradiation device to the ink sprayed on the stage
JPWO2020141652A5 (zh)
KR20210104385A (ko) 잉크젯 프린팅 장치, 이를 이용한 잉크젯 헤드의 검사 방법
CN114829149B (zh) 喷墨印刷设备和用于对准偶极子的方法
CN114867608B (zh) 喷墨印刷设备、双极元件印刷方法和显示设备制造方法
CN220129803U (zh) 喷墨打印装置
KR102715331B1 (ko) 잉크젯 프린팅 장치, 쌍극성 소자의 프린팅 방법 및 표시 장치의 제조 방법
KR20210056480A (ko) 잉크젯 프린팅 장치, 쌍극성 소자의 정렬 방법 및 표시 장치의 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant