CN220129803U - 喷墨打印装置 - Google Patents

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CN220129803U CN202321149827.XU CN202321149827U CN220129803U CN 220129803 U CN220129803 U CN 220129803U CN 202321149827 U CN202321149827 U CN 202321149827U CN 220129803 U CN220129803 U CN 220129803U
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Abstract

喷墨打印装置可以包括：台，其上安置有基板；喷嘴部，设置在台上方，并将油墨喷射到基板上，油墨包含溶剂和固体物质；以及头部，将油墨提供给喷嘴部。喷嘴部包括：内部流动路径，在第一方向上延伸，油墨通过内部流动路径从头部提供；以及进口，其中限定有入口区域。油墨在与第一方向相交的第二方向上通过入口区域从内部流动路径引入。进口包括与入口区域相邻并限定入口区域的倾斜表面以及平行于第一方向的平坦表面。倾斜表面和平坦表面之间的角度是锐角。

Description

喷墨打印装置
技术领域
本公开涉及能够提高头部(也称为“喷墨头部”)或喷嘴部的寿命的喷墨打印装置。
背景技术
随着多媒体技术的发展，显示设备变得越来越重要。因此，目前使用各种类型的显示设备，诸如有机发光显示(OLED)设备和液晶显示(LCD)设备。
显示设备包括用于显示图像的诸如有机发光显示面板和液晶显示面板的显示面板。它们之中，发光显示面板可以包括发光元件。例如，发光二极管(LED)可以包括使用有机材料作为荧光材料的有机发光二极管(OLED)以及使用无机材料作为荧光材料的无机发光二极管。
使用无机半导体作为荧光材料的无机发光二极管的优点在于：其在高温环境中具有耐久性，并且其具有比有机发光二极管高的蓝光效率。
应当理解，此背景技术部分旨在为理解该技术提供有用的背景。然而，此背景技术部分也可以包括在本文中所公开的主题的相应有效申请日之前不是相关领域的技术人员所理解的部分的思想、概念或认识。
实用新型内容
实施方式提供了能够提高头部或喷嘴部的寿命的喷墨打印装置。
然而，本公开的实施方式不限于本文中阐述的那些。通过参考以下给出的本公开的详细描述，本公开所属领域的普通技术人员将更清楚上述和其它实施方式。
根据本公开的实施方式，喷墨打印装置包括：台，其上安置有基板(即，目标基板)；喷嘴部，设置在台上方，并且将油墨喷射到基板上，油墨包含溶剂和固体物质；以及头部，将油墨提供给喷嘴部。喷嘴部包括：内部流动路径，在第一方向上延伸，油墨通过内部流动路径从头部提供；以及进口，其中限定有入口区域。油墨在与第一方向相交的第二方向上通过入口区域从内部流动路径引入。进口包括与入口区域相邻并限定入口区域的倾斜表面以及平行于第一方向的平坦表面。倾斜表面和平坦表面之间的角度是锐角。
在实施方式中，喷嘴部还可以包括压力部，压力部设置成在第二方向上与进口相邻并且限定向从入口区域引入的油墨提供压力的压力区域。
在实施方式中，压力部可以包括压电元件。
在实施方式中，喷嘴部还可以包括出口，出口在第二方向上与压力部相邻以限定出口区域。油墨可以通过施加在压力区域中的压力而从出口区域排出。
在实施方式中，其中，入口区域的宽度可以在远离内部流动路径的第二方向上增加。
在实施方式中，入口区域可以包括与内部流动路径相邻的端部和与压力区域相邻的相对端部。入口区域的端部的面积可以小于入口区域的相对端部的面积。
在实施方式中，油墨可以依次穿过内部流动路径、入口区域、压力区域和出口区域。
在实施方式中，喷嘴部还可以包括其中定位有内部流动路径和进口的基部，内部流动路径可以穿过基部，并且内部流动路径的边缘可以由基部和进口的平坦表面限定。
在实施方式中，倾斜表面可以包括：第一倾斜表面，具有端部(其与平坦表面接触)和相对端部；以及第二倾斜表面，与第一倾斜表面的相对端部接触，第一倾斜表面可以比第二倾斜表面更朝向入口区域倾斜。
根据本公开的实施方式，喷墨打印装置包括：台，其上安置有基板；喷嘴部，设置在台上方，并将油墨喷射到基板上，油墨包含溶剂和固体物质；以及头部，将油墨提供给喷嘴部。喷嘴部可以包括：内部流动路径，在第一方向上延伸，油墨通过内部流动路径从头部提供；以及入口区域。油墨在与第一方向相交的第二方向上通过入口区域从内部流动路径引入。入口区域的宽度在远离内部流动路径的第二方向上增加。
根据本公开的实施方式，可以防止由于固体颗粒的沉淀而导致的喷墨打印装置的头部或喷嘴部的寿命降低。
应当注意，本公开的效果不限于以上描述的那些，并且本公开的其它效果对于本领域技术人员而言将从以下描述中显而易见。
附图说明
通过参考附图详细描述本公开的实施方式，根据本公开的实施方式的另外的理解将变得更加明显，在附图中：
图1是示出根据本公开的实施方式的喷墨打印装置的示意性立体图；
图2是根据图1的实施方式的喷墨打印装置的喷墨头部在从第三方向观察时的示意性平面图；
图3是示意性地示出根据图1的实施方式的喷墨打印装置的喷墨头部的操作的视图；
图4是示意性地示出根据图1的实施方式的喷墨打印装置的油墨存储部和喷墨头部之间的连接关系的视图；
图5是示意性地示出根据图1的实施方式的喷墨头部的内部的视图；
图6是示出沿着图5的线X1-X1’截取的剖面的示意性剖视图；
图7是图5的区域A的示意性放大视图；
图8是示意性地示出根据对比示例的喷墨打印装置的喷墨头部的内部的结构的视图；
图9是沿着图8的线X2-X2’截取的示意性剖视图；
图10是根据图1的实施方式的喷墨打印装置的探针设备在从第三方向观察时的示意性平面图；
图11和图12是示意性地示出图10的探针设备的操作的图；
图13是示意性地示出由图10的探针设备在目标基板之上产生电场以对准油墨中的固体物质的视图；
图14是示意性地示出根据本公开的实施方式的显示设备的平面图；
图15是示意性地示出根据图14的实施方式的显示设备的像素的结构的布局的视图；
图16是示意性地示出根据图14的实施方式的显示设备的发光元件的视图；
图17是沿着图15的线Xa-Xa’、Xb-Xb’和Xc-Xc’截取的示意性剖视图；
图18至图20是示出根据图14的实施方式的制造显示设备的方法的示意图；
图21是示意性地示出根据另一实施方式的喷墨打印装置的喷墨头部的内部的结构的视图；以及
图22是图21的区域C的示意性放大图。
具体实施方式
在以下描述中，出于解释的目的，阐述了许多具体细节以提供对本公开的各种实施方式或实现方式的透彻理解。如本文中所使用的，“实施方式”和“实现方式”是可互换的词，它们是本文中所公开的设备或方法的非限制性示例。然而，显然，可以在没有这些具体细节或具有一个或更多个等效布置的情况下实践各种实施方式。这里，各种实施方式不必是排它的，也不限制本公开。例如，一实施方式的特定形状、配置和特性可以在另一实施方式中使用或实现。
除非另外说明，否则所示出的实施方式应理解为提供本公开的特征。因此，除非另有说明，否则各种实施方式的特征、组件、模块、层、膜、面板、区和/或方面等(在下文中，单独或统称为“元件”)可以在不背离本公开的情况下以其它方式组合、分离、互换和/或重新布置。
附图中通常提供交叉影线和/或阴影的使用来澄清相邻元件之间的边界。因此，存在或不存在交叉影线或阴影都不传达或指示对特定材料、材料性质、尺寸、比例、所示元件之间的共性和/或元件的任何其它特性、属性、性质等的任何偏好或要求，除非另有说明。此外，在附图中，为了清楚和/或描述的目的，可以夸大元件的尺寸和相对尺寸。当实施方式可以不同地实现时，可以与所描述的顺序不同地执行特定的工艺顺序。例如，两个连续描述的工艺可以基本上同时执行，或者以与所描述的顺序相反的顺序执行。
当元件(诸如，层)被称为在另一元件或层“上”、“连接到”或“联接到”另一元件或层时，其可以直接在该另一元件或层上、直接连接到或直接联接到该另一元件或层，或者可以存在居间层。然而，当元件或层被称为“直接在”另一元件或层“上”、“直接连接到”或“直接联接到”另一元件或层时，不存在居间元件或层。为此，术语“连接”可以指具有或不具有居间元件的物理连接、电连接和/或流体连接。同样，相同的附图标记表示相同的元件。
虽然本文中可以使用“第一”、“第二”等术语来描述各种元件，但这些元件不应受这些术语限制。这些术语用于将一个元件与另一元件区分开。因此，在不背离本公开的教导的情况下，以下讨论的第一元件可以被称为第二元件。类似地，第二元件也可以被称为第一元件。
出于描述的目的，本文中可以使用诸如“以下”、“下方”、“之下”、“下部”、“上方”、“上部”、“之上”、“较高”、“侧”(例如，如在“侧壁”中)等空间相对术语，并由此来描述如附图中所示的一个元件与另一(些)元件的关系。除了在附图中描绘的取向之外，空间相对术语旨在还包括装置在使用、操作和/或制造中的不同取向。例如，如果附图中的装置被翻转，则被描述为在其它元件或特征“下方”或“以下”的元件将随之被定向其它元件或特征“上方”。因此，术语“下方”可以包括上方和下方两种取向。此外，装置可以以其它方式取向(例如，旋转90度或处于其它取向)，并且因此，应当相应地解释本文中使用的空间相对描述语。
本文中使用的术语是出于描述特定实施方式的目的，而不旨在进行限制。如本文中所使用的，单数形式“一”和“一个”旨在也包括复数形式，除非上下文另外清楚地指示。此外，当在本说明书中使用时，术语“包括(comprises)”、“包括(comprising)”、“包括(includes)”和/或“包括(including)”指定所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或其组的存在，但不排除一个或更多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或其组的存在或添加。
本文中参考作为实施方式和/或中间结构的示意性图示的剖面图和/或分解图来描述各种实施方式。这样，由例如制造技术和/或公差导致的图示的形状的变化将是预料到的。因此，本文中公开的实施方式不一定被解释为限于区的特定示出的形状，而是包括由例如制造导致的形状的偏差。以这种方式，附图中所示的区在本质上可以是示意性的，并且这些区的形状可以不反映设备的区的实际形状，并且因此，不一定旨在进行限制。
如本领域中的惯例，一些实施方式根据功能块、单元和/或模块进行描述并在附图中示出。所属领域的技术人员将了解，这些块、单元和/或模块在物理上由可以使用基于半导体的制造技术或其它制造技术来形成的电子(或光学)电路(诸如，逻辑电路、离散组件、微处理器、硬布线电路、存储器元件、布线连接等)来实现。在块、单元和/或模块由微处理器或其它类似硬件实现的情况下，可以使用软件(例如，微代码)对它们进行编程和控制，以执行本文中所讨论的各种功能，并且可以可选地通过固件和/或软件来驱动。还可以设想，每个块、单元和/或模块可以由专用硬件实现，或者作为用于执行一些功能的专用硬件和用于执行其它功能的处理器(例如，一个或更多个编程的微处理器和相关联的电路)的组合来实现。此外，在不背离本公开的范围的情况下，一些实施方式的每个块、单元和/或模块可以在物理上分成两个或更多个交互且离散的块、单元和/或模块。此外，在不背离本公开的范围的情况下，一些实施方式的块、单元和/或模块可以在物理上组合成更复杂的块、单元和/或模块。
如本文中所使用的，术语“约”或“近似”包括所陈述的值并且意指在如本领域普通技术人员考虑到所讨论的测量和与特定量的测量相关的误差(即，测量系统的限制)而确定的特定值的可接受偏差范围内。例如，“约”可以意指在所陈述的值的一个或更多个标准偏差内，或者在所陈述的值的±30％、±20％、±10％、±5％内。
出于本公开的目的，短语“A和B中的至少一个”可以被解释为仅A、仅B或者A和B的任何组合。此外，“X、Y和Z中的至少一个”以及“选自由X、Y和Z组成的组中的至少一个”可以被解释为仅X、仅Y、仅Z或者X、Y和Z中的两个或更多个的任何组合。
除非本文中另有定义或暗示，否则本文中使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本公开所属领域的技术人员通常理解的相同的含义。还应当理解，诸如在常用词典中定义的那些术语应当被解释为具有与它们在相关技术和本公开的上下文中的含义一致的含义，并且不应当被解释为理想化的或过于正式的含义，除非本文中清楚地如此定义。
本公开的各种实施方式中的每个的特征可以彼此部分地或完全地组合，并且可以在技术上彼此不同地相互配合，并且各实施方式可以彼此独立地实现，或者可以彼此相关联地一起实现。
在下文中，将参考附图描述本公开的实施方式。
图1是示出根据本公开的实施方式的喷墨打印装置的示意性立体图。图2是根据图1的实施方式的喷墨打印装置的喷墨头部在从第三方向观察时的示意性平面图。图3是示意性地示出根据图1的实施方式的喷墨打印装置的喷墨头部的操作的视图。
在图1中，可以限定第一方向DR1、第二方向DR2和第三方向DR3。第一方向DR1和第二方向DR2可以彼此垂直，第一方向DR1和第三方向DR3可以彼此垂直，并且第二方向DR2和第三方向DR3可以彼此垂直。第一方向DR1可以指附图中的水平方向，第二方向DR2可以指附图中的垂直方向，并且第三方向DR3可以指附图中的上下方向(或厚度方向)。如本文中所使用的，除非另有具体说明，否则一方向可以是指由箭头指示的方向以及与由箭头指示的方向相反的方向。在区分两个相反方向的情况下，两个方向中的一个可以被称为“该方向上的一侧”，并且两个方向中的另一方向可以被称为“该方向上的相对侧”。在图1中，由方向的箭头表示的一侧可以被称为该方向上的一侧，并且相对侧可以被称为该方向上的相对侧。
参考图1至图3，根据本公开的实施方式的喷墨打印装置1可以包括台STA、喷墨头部100、基础框架600、油墨存储部500、第一连接线IL1和第二连接线IL2。台STA上可以安置有目标基板SUB。喷墨头部100上可以设置有喷嘴部300。第一连接线IL1可以将喷墨头部100连接到油墨存储部500。第二连接线IL2可以将喷墨头部100连接到油墨存储部500。根据本公开的实施方式的喷墨打印装置1可以使用喷墨头部100和喷嘴部300将油墨90喷射到安置在台STA上的目标基板SUB上。
台STA可以允许目标基板SUB安置在台STA上。台STA可以设置于在第二方向DR2上延伸的第一轨道RL1和在第二方向DR2上延伸的第二轨道RL2上。台STA可以通过第一轨道RL1和第二轨道RL2上的单独的移动机构在第二方向DR2上移动。因此，目标基板SUB也可以与台STA一起在第二方向DR2移动上。台STA和目标基板SUB可以在第二方向DR2上移动并穿过设置在台STA和目标基板SUB上方的喷墨头部100。因此，油墨90可以喷射到目标基板SUB的上表面上。虽然在附图中台STA在第二方向DR2上移动，但本公开不限于此。在一些实现方式中，喷墨头部100可以在第二方向DR2上移动。在以下描述中，为了便于说明，假设台STA通过第一轨道RL1和第二轨道RL2在第二方向DR2上移动。
喷墨头部100可以通过喷嘴部300将油墨90喷射到目标基板SUB上。喷嘴部300可以附接到喷墨头部100的底表面。喷嘴部300可以设置成使得它们在喷墨头部100的底表面上彼此间隔开，并且可以布置成一行或多行。虽然在图2中所示的示例中喷嘴部300布置成两行，并且这些行中的一行中的喷嘴部300可以相对于这些行中的另一行中的喷嘴部300交错，但本公开不限于此。例如，喷嘴部300可以布置成多于两行，并且可以布置成使得它们彼此重叠(例如，在视图中或在一方向上)，而不是交错。在一些实施方式中，喷墨头部100可以具有矩形形状。然而，本公开不限于此。
喷墨头部100可以设置成使得其在第三方向DR3上与安置在台STA上的目标基板SUB间隔开，并且在第三方向DR3上将油墨90喷射到目标基板SUB的上表面上。喷墨头部100可以设置在基础框架600上，并且喷墨头部100的位置可以通过基础框架600的配置来调节。
基础框架600上可以设置有喷墨头部100以移动喷墨头部100，并且可以限定喷墨头部100的移动路径，其中喷嘴部300设置并安装在喷墨头部100上。基础框架600可以包括支撑件610和移动单元630。
基础框架600的支撑件610可以包括第一支撑部611和第二支撑部612。第一支撑部611可以保持其中设置有喷嘴部300的喷墨头部100。在一些实施方式中，第一支撑部611可以具有在第一方向DR1上延伸的棒形状，但本公开不限于此。第二支撑部612可以在第三方向DR3上保持第一支撑部611。第二支撑部612可以分别连接(或延伸)到第一支撑部611的在第一方向DR1上的端部(例如，两个端部)，并且可以在第三方向DR3上延伸。因此，第一支撑部611和其中设置有喷嘴部300的喷墨头部100可以在第三方向DR3上与台STA间隔开。
连接(或延伸)到第一支撑部611的在第一方向DR1上的一侧的第二支撑部612和连接(或延伸)到第一支撑部611的在第一方向DR1上的相对侧的第二支撑部612可以在第一方向DR1上彼此间隔开。台STA和目标基板SUB可以设置在彼此间隔开的、连接(或延伸)到第一支撑部611的在第一方向DR1上的一侧的第二支撑部612和连接(或延伸)到第一支撑部611的在第一方向DR1上的相对侧的第二支撑部612之间。
基础框架600的移动单元630可以具备两个作用。例如，基础框架600的移动单元630可以具备具有喷墨头部100安装在其上的作用和在第一方向DR1上移动喷墨头部100的作用。移动单元630可以包括移动部631和固定部632。移动部631可以安装在第一支撑部611上并且能够在第一方向DR1上移动。固定部632可以设置在移动部631的底表面上，并且具有设置在其上的喷墨头部100。移动部631可以设置在第一支撑部611上以在第一支撑部611上在第一方向DR1上移动。其中设置有喷嘴部300的喷墨头部100可以固定到固定部632，并且与移动部631一起在第一方向DR1上移动。
油墨存储部500可以存储待提供给喷墨头部100的油墨90。在一些实施方式中，油墨存储部500可以设置在第一支撑部611的侧面上，但本公开不限于此。油墨存储部500可以经由第一连接线IL1和第二连接线IL2连接到(或延伸到)喷墨头部100。油墨存储部500的油墨90可以经由第一连接线IL1提供给喷墨头部100，并且在油墨90从喷墨头部100排出之后，剩余的油墨90可以经由第二连接线IL2被回收至油墨存储部500。以下描述上述操作的详细描述。
油墨90可以包括溶剂91和双极元件95(例如，参考图4)，双极元件95是包含在溶剂91中的固体物质。油墨90可以提供为溶液或胶体状态。双极元件95中的每个可以包括具有第一极性的第一端部和具有第二极性的第二端部。分散在溶剂91中的双极元件95可以提供给喷墨头部100并且可以从其排出。
在一些实施方式中，溶剂91可以包括丙酮、水、乙醇、甲苯、丙二醇(PG)和丙二醇乙酸甲酯(PGMA)中的至少一种。然而，本公开不限于此。
喷墨打印装置1还可以包括探针设备700。
探针设备700可以在目标基板SUB上形成电场IEL(例如，参考图12)。探针设备700可以设置在台STA上。探针设备700可以包括支撑目标基板SUB的子台710。例如，目标基板SUB可以安置在设置于台STA上的探针设备700的子台710上。
在油墨90的双极元件95以取向(例如，特定或可选择的取向)喷射到目标基板SUB上之后，双极元件95可以通过由探针设备700产生的电场IEL在目标基板SUB上在一方向上对准。以下结合图10至图13提供其详细描述。
在下文中，以下描述根据本公开的实施方式的喷墨打印装置1的油墨存储部500和喷墨头部100之间的油墨循环系统。
图4是示意性地示出根据图1的实施方式的喷墨打印装置的油墨存储部和喷墨头部之间的连接关系的视图。
参考图4，油墨存储部500可以向喷墨头部100提供油墨90，并且喷墨头部100可以排出提供的油墨90。提供给喷墨头部100的油墨90的一部分可以从喷墨头部100排出，并且油墨90的其余部分(或剩余部分)可以提供回油墨存储部500。例如，油墨90可以经由第一连接线IL1和第二连接线IL2在油墨存储部500和喷墨头部100之间循环。
在一些实施方式中，油墨存储部500可以包括第一油墨存储器510、第二油墨存储器520、第三油墨存储器530、压力泵550、压缩器560和流量计580。例如，油墨存储部500的第二油墨存储器520、压力泵550和第三油墨存储器530可以连接(或延伸)到喷墨头部100，并且它们可以形成单个循环系统。
第一油墨存储器510可以制备产生的油墨90。包含溶剂91和双极元件95的油墨90可以在第一油墨存储器510中制备，并且油墨90可以提供给循环系统。
第二油墨存储器520可以连接(或延伸)到第一油墨存储器510，并且可以提供制备的油墨90。在油墨90从喷墨头部100排出之后，第二油墨存储器520可以通过第二连接线IL2回收并存储油墨90的剩余部分。第二油墨存储器520可以位于第三油墨存储器530、喷墨头部100和第一油墨存储器510之间，第二油墨存储器520可以控制向第三油墨存储器530施加油墨90，使得向第三油墨存储器530提供适量的油墨90，以便于双极元件95的分散。提供给第二油墨存储器520的油墨90可以通过压力泵550提供给第三油墨存储器530。
压力泵550可以将动力传递给流体，使得油墨90可以在循环系统中循环。流量计580可以设置在压力泵550和第三油墨存储器530之间，并且流量计580可以测量提供给第三油墨存储器530的油墨90的流速。压力泵550可以根据由流量计580测量的油墨90的流速来调节提供给第三油墨存储器530的油墨90的流速。
压缩器560可以调节第三油墨存储器530中的压力。压缩器560可以从第三油墨存储器530的内部去除气体，使得第三油墨存储器530的内部处于真空状态。例如，压缩器560可以引入外部惰性气体，并且第三油墨存储器530的内部可以具有压力(例如，预定的或可选择的压力)。在实施方式中，可以省去(或省略)压缩器560。
第三油墨存储器530可以经由第一连接线IL1向喷墨头部100提供油墨90。在一些实施方式中，第三油墨存储器530可以包括可以用于将双极元件95分散在油墨90中的搅拌器ST。当搅拌器ST旋转时，提供给第三油墨存储器530的油墨90可以保持分散，因为双极元件95不下沉。例如，第三油墨存储器530的搅拌器ST可以防止双极元件95下沉到第三油墨存储器530的底部。因此，在通过喷墨头部100排出的油墨90中，可以减少双极元件95的数量。因此，第三油墨存储器530可以将其中双极元件95均匀地分散的油墨90提供给喷墨头部100，并且喷墨头部100可以排出包含足够量的双极元件95的油墨90。
第一连接线IL1上可以设置有第一阀VA1，并且第二连接线IL2上可以设置有第二阀VA2。第一阀VA1可以调整(或控制)从油墨存储部500提供给喷墨头部100的油墨90的流速，并且第二阀VA2可以调整(或控制)从喷墨头部100回收到油墨存储部500的油墨90的流速。
在下文中，基于喷嘴部300的结构来描述排出油墨90的工艺。
图5是示意性地示出根据图1的实施方式的喷墨头部的内部的视图。图6是示出沿着图5的线X1-X1’截取的剖面的示意性剖视图。图7是图5的区域A的示意性放大视图。图8是示意性地示出根据对比示例的喷墨打印装置的喷墨头部的内部的结构的视图。图9是沿着图8的线X2-X2’截取的示意性剖视图。
参考图5至图7，根据实施方式的喷墨打印装置1的喷嘴部300中的每个可以包括基部310、内部流动路径330和注射孔350。
喷嘴部300的基部310可以形成喷嘴部300的主体。基部310可以附接到喷墨头部100。
喷嘴部300的内部流动路径330可以位于基部310内部，并且可以连接(或延伸)到喷墨头部100的内管(未示出)。内部流动路径330可以是穿过基部310的管，并且可以提供通道，油墨90的剩余部分(例如，在油墨90已经经由连接(或延伸)到油墨存储部500的第一连接线IL1提供给喷嘴部300之后，油墨90的未被引入到喷嘴部300的注射孔350中的剩余部分)可以通过该通道经由连接(或延伸)到油墨存储部500的第二连接线IL2回收到油墨存储部500。
在一些实施方式中，内部流动路径330可以具有大体上在第一方向DR1上延伸的形状，但本公开不限于此。在图5中所示的示例中，内部流动路径330可以具有大体上在第一方向DR1上延伸的形状。
喷嘴部300的注射孔350可以从内部流动路径330接收穿过内部流动路径330的油墨90并排出油墨90。如图5和图6中所示，注射孔350可以在第三方向DR3上布置在内部流动路径330的相对侧上，并且注射孔350可以在第一方向DR1上彼此间隔开。例如，注射孔350中的每个可以连接(或延伸)到内部流动路径330，并且注射孔350可以沿着延伸方向(即，第一方向DR1)布置并且彼此间隔开。注射孔350中的每个可以连接(或延伸)到内部流动路径330。注射孔350中的每个可以包括进口351、压力部353和出口355。
注射孔350中的每个的进口351可以限定入口区域ENA，在入口区域ENA中从内部流动路径330提供油墨90。入口区域ENA可以在第三方向DR3上连接(或延伸)到内部流动路径330的相对侧。入口区域ENA可以是穿过进口351的空间。例如，进口351可以具有围绕入口区域ENA的形状，并且入口区域ENA可以限定为由进口351围绕的空间。
进口351的入口可以以锐角形成。例如，进口351可以包括平坦表面351a(其作为布置在第一方向DR1上的表面)以及倾斜表面351b(其作为围绕入口区域ENA的表面)。平坦表面351a可以以成锐角的第一角度θ1与倾斜表面351b相交。
进口351的平坦表面351a可以与内部流动路径330直接接触，并且可以平行于内部流动路径330的延伸方向(例如，第一方向DR1)。平坦表面351a可以具有在内部流动路径330的延伸方向上的平坦表面。例如，如图6中所示，平坦表面351a可以是平坦的，而不朝向内部流动路径330突出或在第三方向DR3上凹入(或凹陷)。例如，内部流动路径330在第三方向DR3上的相对边缘可以由基部310和进口351的平坦表面351a限定。因此，分散在穿过内部流动路径330的油墨90中的双极元件95可以不积聚地流动。
进口351的倾斜表面351b可以是围绕入口区域ENA的表面，并且可以具有相对于平坦表面351a以第一角度θ1倾斜的形状。例如，倾斜表面351b可以以第一角度θ1与平坦表面351a相交。第一角度θ1可以是小于90°的锐角。当倾斜表面351b以相对于平坦表面351a成锐角的第一角度θ1倾斜时，在从第三方向DR3观察入口区域ENA的情况下，倾斜表面351b可以不从入口区域ENA暴露，如图6中所示。例如，入口区域ENA的在第三方向DR3上的端部的面积可以小于入口区域ENA的在第三方向DR3上的相对端部的面积。因此，在双极元件95被引入到入口区域ENA中的情况下，双极元件95可以不积聚在进口351上。因此，可以提高喷嘴部300或喷墨头部100的寿命。
例如，参考图8和图9，根据对比示例的喷墨打印装置1’与根据上述实施方式的喷墨打印装置1的不同之处至少在于：注射孔350’的中的每个的进口的入口形成为钝角。
由于根据对比示例的喷墨打印装置1’的注射孔350’的进口以钝角形成，因此入口区域ENA’的在第三方向DR3上的端部的面积可以大于在第三方向DR3上的相对端部的面积。因此，如图9中所示，进口的倾斜表面可以暴露，这与图6中的进口的倾斜表面不同。结果，双极元件95可以被引入到入口区域ENA’中并且可以形成可以阻挡入口区域ENA’的沉淀物(例如，区B)。因此，可能缩短喷嘴部300’或喷墨头部的寿命。
鉴于上述情况，通过使倾斜表面351b以相对于平坦表面351a成锐角的第一角度θ1倾斜，可以防止喷嘴部300或喷墨头部100的寿命缩短。
返回参考图5至图7，由于倾斜表面351b以相对于平坦表面351a成锐角的第一角度θ1倾斜，入口区域ENA的宽度W1可以朝向第三方向DR3上的相对侧逐渐增加(即，在远离内部流动路径330的方向上逐渐增加)。如果第一角度θ1是90°，则与具有锐角的第一角度θ1的入口区域ENA相比，入口区域ENA可能无法具有足够的体积。结果，入口区域ENA的流入阻力可能变大，并且油墨90可能不容易被引入。鉴于上述情况，通过将第一角度θ1设定为锐角以确保入口区域ENA的足够体积，可以减小油墨90流入到进口351中的流入阻力。
注射孔350中的每个的压力部353可以限定向从入口区域ENA引入的油墨90施加压力的压力区域PRA。压力区域PRA可以是穿过压力部353的空间。例如，压力部353可以具有围绕压力区域PRA的形状，并且压力区域PRA可以限定为由压力部353围绕的空间。压力部353可以向从进口351引入的油墨90施加压力并调节排出的油墨90的量。
压力部353可以设置在进口351之下。因此，压力区域PRA可以设置在入口区域ENA之下。在一些实施方式中，压力部353可以包括压电元件。然而，本公开不限于此。在压力部353包括压电元件的情况下，压力部353的形状可以通过施加到压力部353的电信号而变形，以向油墨90施加压力。在压力部353包括压电元件的情况下，压力部353可以包括例如陶瓷材料，诸如钛酸钡(BaTiO3)和磷酸二氢铵(NH4H2PO4)。然而，本公开不限于此。
注射孔350中的每个的出口355可以限定出口区域EXA，油墨90通过施加在压力区域PRA中的压力而从出口区域EXA排出。出口区域EXA可以是穿过出口355的空间。例如，出口355可以具有围绕出口区域EXA的形状，并且出口区域EXA可以限定为由出口355围绕的空间。
出口355可以包括其形状不因外力而变形的材料。出口355可以包括与压力部353的材料不同的材料。例如，在压力部353包括压电元件的情况下，出口355可以包括不同于压电元件的材料。
如上所述，通过喷嘴部300的内部流动路径330引入到注射孔350中的每个中的油墨90可以沿着在第三方向DR3上的相对侧依次穿过入口区域ENA、压力区域PRA和出口区域EXA，并且油墨90的双极元件95可以不因进口351的形状而沉淀。因此，可以提高喷嘴部300或喷墨头部100的寿命，并且可以减小油墨90的流入阻力。因此，油墨90可以容易地移动到压力区域PRA。
在下文中，以下提供根据实施方式的喷墨打印装置1的探针设备700的详细描述。
图10是根据图1的实施方式的喷墨打印装置的探针设备在从第三方向观察时的示意性平面图。图11和图12是示意性地示出图10的探针设备的操作的视图。图13是示意性地示出由图10的探针设备在目标基板之上产生电场以对准油墨中的固体物质的视图。
与图1一起参考图10至图13，探针设备700可以包括子台710、探针支撑件730、探针部750和对准器780。
探针设备700可以设置在台STA上，并且可以与台STA一起在第二方向DR2上移动。其上设置有目标基板SUB的探针设备700可以沿着台STA移动，并且可以将油墨90喷射在目标基板SUB上。在油墨90被喷射的情况下，探针设备700可以在目标基板SUB之上产生电场IEL。
子台710可以提供其中放置目标基板SUB的空间。探针支撑件730、探针部750和对准器780可以设置在子台710上。
至少一个对准器780可以设置在子台710上。对准器780可以设置在子台710的侧中的每个上，且目标基板SUB可以放置在由对准器780围绕的区域中。
探针支撑件730和探针部750可以设置在子台710上。探针支撑件730可以提供其中探针部750设置在子台710上的空间。例如，探针支撑件730可以设置在子台710的至少一侧上，并且可以在子台710的该侧的延伸方向上延伸。例如，如图1中所示，探针支撑件730可以在子台710的左侧和右侧上在第二方向DR2上延伸。
探针部750可以设置在探针支撑件730上，并且于在子台710上准备的目标基板SUB上形成电场IEL。探针部750和探针支撑件730可以在第二方向DR2上延伸。探针支撑件730的长度可以大于目标基板SUB的长度。
探针部750可以包括探针驱动器753、探针夹具751和探针焊盘758。探针驱动器753可以设置在探针支撑件730上。探针夹具751可以设置在探针驱动器753上并传输电信号。探针焊盘758可以连接(或延伸)到探针夹具751并将电信号传输到目标基板SUB。
探针驱动器753可以设置在探针支撑件730上，并在第三方向DR3上移动探针夹具751和探针焊盘758。探针焊盘758可以通过探针驱动器753的驱动而连接到目标基板SUB或与目标基板SUB分离。
如图12中所示，探针焊盘758可以连接到目标基板SUB，并且通过从探针夹具751传输的电信号而在目标基板SUB之上形成电场IEL。例如，探针焊盘758可以与目标基板SUB的电极或电力焊盘接触，并且来自探针夹具751的电信号可以传输到目标基板SUB的电极或电力焊盘。
探针夹具751可以连接(或延伸)到探针焊盘758且可以连接(或延伸)到单独的电压施加设备。探针夹具751可以将从电压施加设备传输的电信号传输到探针焊盘758以在目标基板SUB上形成电场IEL。传输到探针夹具751的电信号可以是用于形成电场IEL的电压，例如交流(AC)电压。在其它实施方式中，可以设置多个探针夹具751，并且探针夹具751的数量在本文中没有特别限制。
在从喷嘴部300排出到目标基板SUB上的油墨90中，各自包括具有上述极性的第一端部和第二端部的双极元件95可以是分散的。在双极元件95放置在电场IEL中的情况下，可以传递介电泳力，使得可以改变它们的位置或取向。如图12中所示，喷射到目标基板SUB上的油墨90中的双极元件95可以安置在目标基板SUB上，同时它们的位置和取向通过探针设备700产生的电场IEL改变。
探针设备700在目标基板SUB之上产生电场IEL的时序在本文中没有特别限制。在附图中，探针部750可以在油墨90从喷嘴部300排出并到达目标基板SUB时产生电场IEL。因此，在双极元件95已经从喷嘴部300排出之后，双极元件95可以通过电场IEL接收介电泳力，直到双极元件95到达目标基板SUB。在一些实施方式中，探针部750可以在油墨90已经被安置在目标基板SUB上之后产生电场IEL。
虽然在附图中未示出，但根据本公开的实施方式的喷墨打印装置1还可以包括热处理部分，在该热处理部分中执行使喷射到目标基板SUB上的油墨90挥发的工艺。热处理部分可以向喷射到目标基板SUB上的油墨90辐照热量，使得油墨90的溶剂91可以挥发和去除，而双极元件95可以设置(或保留)在目标基板SUB上。通过将热量辐照到油墨90来去除溶剂91的工艺可以通过热处理工艺来执行。省略了对相同组成元件的详细描述。
顺便提及，以上描述的双极元件95可以是包括半导体层的发光元件30(例如，参考图16)，并且根据本公开的实施方式的喷墨打印装置1可以制造包括发光元件30的显示设备10(例如，参考图14)。在下文中，以下提供包括发光元件30的显示设备10的详细描述。
图14是示意性地示出根据本公开的实施方式的显示设备的平面图。图15是示意性地示出根据图14的实施方式的显示设备的像素的结构的布局的视图。图16是示意性地示出根据图14的实施方式的显示设备的发光元件的视图。图17是沿着图15的线Xa-Xa’、Xb-Xb’和Xc-Xc’截取的示意性剖视图。图18至图20是示出根据图14的实施方式的制造显示设备的方法的示意图。
参考图14，根据实施方式的显示设备10可以显示运动图像或静止图像。显示设备10可以指提供显示屏的任何电子设备。例如，显示设备10可以包括电视机、膝上型计算机、监视器、电子广告牌、物联网设备、移动电话、智能电话、平板个人计算机(PC)、电子手表、智能手表、手表电话、头戴式显示设备、移动通信终端、电子笔记本、电子书、便携式多媒体播放器(PMP)、导航设备、游戏控制台、数字相机、摄像机等。
显示设备10的形状可以以各种方式修改。例如，显示设备10可以具有诸如圆形、正方形、具备较长水平边的矩形、具备较长垂直边的矩形、具有圆化拐角的四边形、其它多边形等的形状。显示设备10的显示区域DA的形状可以与显示设备10的整体形状类似。图14以具有较长水平边的矩形形状示出了显示设备10和显示区域DA。
显示设备10可以包括显示区域DA和非显示区域NDA。在显示区域DA中，可以显示图像。在非显示区域NDA中，可以不显示图像。显示区域DA可以被称为有源区域，而非显示区域NDA也可以被称为无源区域。
显示区域DA可以大体上占据显示设备10的中央。显示区域DA可以包括像素PX。像素PX可以布置成矩阵。在平面图中，像素PX中的每个可以具有矩形形状或正方形形状。然而，本公开不限于此。像素PX中的每个可以具有具备在一方向上倾斜的边的菱形形状。像素PX中的每个可以包括至少一个发光元件30，其发射波长带(例如，特定的或可选择的波长带)的光以表达颜色。
参考图15，像素PX中的每个可以包括第一子像素PX1、第二子像素PX2和第三子像素PX3。第一子像素PX1可以发射第一颜色的光，第二子像素PX2可以发射第二颜色的光，并且第三子像素PX3可以发射第三颜色的光。第一颜色可以是蓝色，第二颜色可以是绿色，并且第三颜色可以是红色，但本公开不限于此。子像素PXn(这里，n为小于或等于3的正整数)可以发射相同颜色的光。虽然在图15中所示的示例中像素PX包括三个子像素PXn，但本公开不限于此。像素PX可以包括多于两个的子像素PXn。
显示设备10的子像素PXn中的每个可以包括限定为发射区域EMA的区域。第一子像素PX1可以包括第一发射区域EMA1，第二子像素PX2可以包括第二发射区域EMA2，并且第三子像素PX3可以包括第三发射区域EMA3。发射区域EMA可以限定为其中包括在显示设备10中的发光元件30所设置并且发射波长带(例如，特定的或可选择的波长带)的光的区域。
虽然附图中未示出，但显示设备10的子像素PXn中的每个可以包括非发射区域，非发射区域限定为与发射区域EMA不同的另一区域。在非发射区域中，可以不设置发光元件30，并且从发光元件30发射的光可以不到达，并且因此没有光可以从非发射区域射出。
显示设备10的子像素PXn中的每个可以包括电极21和22、发光元件30、接触电极26、内堤41和42(例如，参考图17)、外堤43以及至少一个绝缘层51、52、53和55(例如，参考图17)。
电极21和22可以电连接到发光元件30，并且电压(例如，预定的或可选择的电压)可以施加到电极21和22。因此，发光元件30可以发射特定波长带的光。可以利用电极21和22的至少一部分在子像素PXn内形成电场，并且可以对准发光元件30。
电极21和22可以包括第一电极21和第二电极22。在实施方式中，第一电极21可以从子像素PXn到另一子像素PXn断开连接，而第二电极22可以是跨接子像素PXn的公共电极。第一电极21和第二电极22中的一个可以是发光元件30的阳电极，并且第一电极21和第二电极22中的另一个可以是发光元件30的阴电极。然而，本公开不限于此。
第一电极21和第二电极22可以包括分别在水平方向上延伸的电极杆21S和22S以及分别从电极杆21S和22S分支并在与水平方向相交的垂直方向上延伸的一个或更多个电极分支21B和22B。
第一电极21可以包括第一电极杆21S和至少一个第一电极分支21B。第一电极杆21S可以在水平方向上延伸。至少一个第一电极分支21B可以从第一电极杆21S分支并在垂直方向上延伸。
在像素PX中，子像素PXn的第一电极杆21S的端部(例如，两个端部)可以在子像素PXn之间终止。第一电极杆21S的端部(例如，两个端部)可以与相邻的子像素PXn间隔开，并且与相同行中(例如，在水平方向上)的相邻子像素PXn的第一电极杆21S位于基本上相同的直线上。由于设置在子像素PXn中的每个中的第一电极杆21S的端部与其它子像素PXn的端部间隔开，所以可以将不同的电信号施加到不同的第一电极分支21B，使得可以单独地驱动第一电极分支21B。
第一电极分支21B可以从第一电极杆21S的至少一部分分支并且在垂直方向上延伸。第一电极分支21B可以被终止，使得它们和与第一电极杆21S相对的第二电极杆22S间隔开。
第二电极22可以包括第二电极杆22S和第二电极分支22B。第二电极杆22S可以在水平方向上延伸并且在垂直方向上与第一电极杆21S间隔开，并且第二电极分支22B从第二电极杆22S分支并且在垂直方向上延伸。第二电极杆22S的相对端部可以电连接到在水平方向上与像素PX相邻的另一子像素PXn的第二电极杆22S。例如，与第一电极杆21S不同，第二电极杆22S可以在水平方向上延伸以跨过不同的子像素PXn。第二电极杆22S可以延伸跨过子像素PXn，并且在显示区域DA的外部分处或非显示区域NDA中电连接到在一方向上延伸的部分，其中显示区域DA中设置有像素PX或子像素PXn。
第二电极分支22B可以与第一电极分支21B间隔开并且面对第一电极分支21B(例如，面对第一电极分支21B的一侧)。第二电极分支22B可以终止，同时与第一电极杆21S间隔开。第二电极分支22B可以电连接到第二电极杆22S，并且第二电极分支22B的端部可以与子像素PXn中的第一电极杆21S间隔开。
第一电极21和第二电极22可以通过接触孔电连接到显示设备10的电路元件层。例如，第一电极21和第二电极22可以分别通过第一电极接触孔CNTD和第二电极接触孔CNTS电连接到显示设备10的电路元件层。在附图中，第一电极接触孔CNTD可以形成在子像素PXn中的每个第一电极杆21S中，并且第二电极接触孔CNTS可以仅形成在与子像素PXn交叉的单个第二电极杆22S中。然而，本公开不限于此。在一些实现方式中，第二电极接触孔CNTS可以形成在子像素PXn中的每个中。
外堤43可以设置在子像素PXn之间的边界处，并且内堤41和42可以设置成与子像素PXn中的每个的中心相邻并且在电极21和22之下。虽然在图15中未示出内堤41和42(例如，参考图17)，但第一内堤41和第二内堤42可以分别设置在第一电极分支21B和第二电极分支22B之下。
外堤43可以设置在子像素PXn(例如，子像素PXn中的相邻的子像素PXn)之间的边界处。第一电极杆21S的端部可以终止于外堤43处，并且第一电极杆21S的端部可以彼此间隔开。例如，第一电极杆21S的端部可以与外堤43间隔开。外堤43可以在垂直方向上延伸，并且可以设置于在水平方向上布置的子像素PXn的边界处。然而，本公开不限于此。外堤43可以在水平方向上延伸，并且也可以设置于在垂直方向上布置的子像素PXn的边界处。外堤43以及内堤41和42可以包括相同的材料，并且可以经由单个工艺一起形成。
发光元件30可以设置在第一电极21和第二电极22之间。发光元件30的端部可以电连接到第一电极21，并且其另一端部可以电连接到第二电极22。发光元件30可以通过接触电极26电连接到第一电极21和第二电极22。以下提供接触电极26的详细描述。
发光元件30可以彼此间隔开并且可以基本上彼此平行。发光元件30之间的间隔(或距离)不限于此。在一些实现方式中，发光元件30中的一些发光元件30可以设置成彼此靠近以形成一组，并且发光元件30中的一些其它发光元件30可以设置成彼此靠近以形成与该组间隔开的另一组。在其它实施方式中，发光元件30可以布置成使得它们以不规则的密度在一方向上取向。在实施方式中，发光元件30可以具有在一方向上延伸的形状。电极(例如，第一电极分支21B和第二电极分支22B)延伸的方向可以基本上垂直于发光元件30延伸的方向。然而，本公开不限于此。发光元件30可以相对于第一电极分支21B和第二电极分支22B延伸的方向倾斜地取向，而不是垂直于第一电极分支21B和第二电极分支22B延伸的方向。
发光元件30可以是发光二极管。例如，发光元件30可以具有微米或纳米的尺寸，并且可以是由无机材料制成的无机发光二极管。电场IEL(例如，参考图12)可以在两个电极(例如，第一电极21和第二电极22)之间在上述方向上形成，并且可以在它们之间产生极性。因此，无机发光二极管可以在彼此面对的两个电极之间对准。发光元件30可以通过在两个电极之上形成的电场而在两个电极之间对准。
根据实施方式的发光元件30可以具有在一方向上延伸的形状。发光元件30可以具有棒、线、管等的形状。在实施方式中，发光元件30可以具有圆柱形或杆状形状。发光元件30的形状不限于此。发光元件30可以具有包括多边形柱形状的各种形状，诸如立方体、长方体、六边形柱等。在其它实施方式中，发光元件30可以具有在具备部分地倾斜的外表面的情况下在一方向上延伸的形状。包括在发光元件30中的半导体可以具有沿着该方向彼此依次布置或堆叠的结构。以下提供包括在发光元件30中的半导体层的详细描述。
发光元件30可以包括掺杂有导电类型(例如，p型或n型)的杂质的半导体层。可以传输从外部源施加的电信号，并且半导体层可以发射波长带(例如，特定的或可选择的波长带)的光。
在一些实施方式中，根据实施方式的发光元件30可以具有在一方向上延伸的形状。发光元件30可以具有诸如纳米杆、纳米线和纳米管的形状。在实施方式中，发光元件30可以具有圆柱形或杆状形状。然而，发光元件30的形状不限于此，并且可以具有各种形状，诸如立方体、长方体和六边形柱。
如图16中所示，发光元件30可以包括第一半导体层31、第二半导体层32、有源层36、电极层37和绝缘膜38。
第一半导体层31可以是n型半导体。例如，当发光元件30发射蓝色波长带的光时，第一半导体层31可以包括具有以下化学式的半导体材料：AlxGayIn1-x-yN(0≤x≤1，0≤y≤1，0≤x+y≤1)。例如，第一半导体层31的半导体材料可以是n型掺杂的AlGaInN、GaN、AlGaN、InGaN、AlN和InN中的至少一种。第一半导体层31可以掺杂有n型掺杂剂，并且n型掺杂剂可以是Si、Ge、Se和Sn等。然而，本公开不限于此。根据本公开的实施方式，第一半导体层31可以是掺杂有n型Si的n-GaN。第一半导体层31的长度可以在约1.5μm至约5μm的范围内。然而，本公开不限于此。
第二半导体层32可以设置在有源层36上。以下提供有源层36的详细描述。第二半导体层32可以是p型半导体。例如，当发光元件30发射蓝色或绿色波长带的光时，第二半导体层32可以包括具有以下化学式的半导体材料：AlxGayIn1-x-yN(0≤x≤1，0≤y≤1，0≤x+y≤1)。例如，第二半导体层32的半导体材料可以是p型掺杂的AlGaInN、GaN、AlGaN、InGaN、AlN和InN中的至少一种。第二半导体层32可以掺杂有p型掺杂剂，并且p型掺杂剂可以是Mg、Zn、Ca和Ba中的至少一种。然而，本公开不限于此。根据本公开的实施方式，第二半导体层32可以是掺杂有p型Mg的p-GaN。第二半导体层32的长度可以在约0.05μm至约0.10μm的范围内。然而，本公开不限于此。
虽然在附图中第一半导体层31和第二半导体层32中的每个被实现为单个层，但本公开不限于此。根据本公开的一些实施方式，根据有源层36的材料，第一半导体层31和第二半导体层32还可以包括更多的层(例如，包层、拉伸应变势垒减小(TSBR)层等)。
有源层36可以设置在第一半导体层31和第二半导体层32之间。有源层36可以包括具有单量子阱结构或多量子阱结构的材料。当有源层36包括具有多量子阱结构的材料时，有源层36的结构可以包括彼此交替地堆叠的量子层和阱层。响应于通过第一半导体层31和第二半导体层32施加的电信号，电子-空穴对可以在有源层36中复合，并且有源层36可以发射光。例如，当有源层36发射蓝色波长带的光时，有源层36可以包括诸如AlGaN和AlGaInN的材料。例如，当有源层36具有其中量子层和阱层彼此交替地堆叠的多量子阱结构时，量子层可以包括AlGaN或AlGaInN，并且阱层可以包括诸如GaN和AlGaN的材料。根据本公开的实施方式，有源层36可以包括AlGaInN作为量子层和AlInN作为阱层，并且有源层36可以发射具有在约450nm至约495nm的范围内的中心波长带的蓝光。
然而，本公开不限于此。有源层36可以具有其中具有大能带隙的半导体材料和具有小能带隙的半导体材料彼此交替地堆叠的结构，并且可以根据发射的光的波长范围而包括其它的第III族至第V族的半导体材料。因此，从有源层36发射的光不限于蓝色波长带的光。在一些实现方式中，有源层36可以发射红色或绿色波长带的光。有源层36的长度可以在约0.05μm至约0.10μm的范围内。然而，本公开不限于此。
从有源层36发射的光不仅可以通过发光元件30的在纵向方向上的外表面射出，而且还可以通过发光元件30的侧表面(例如，两个侧表面)射出。从有源层36发射的光传播的方向不限于一个方向，并且光可以从有源层36在各种方向上发射。
电极层37可以是欧姆接触电极。然而，本公开不限于此。电极层37可以是肖特基接触电极。发光元件30可以包括至少一个电极层37。虽然在图16中所示的示例中发光元件30包括电极层37，但本公开不限于此。在一些实现方式中，发光元件30可以包括更多数量的电极层37。在其它实施方式中，可以省略电极层37。即使电极层37的数量不同或者电极层37还可以包括其它结构，也可以同样地应用对发光元件30的以下描述。
电极层37可以在发光元件30电连接到根据本公开的实施方式的显示设备10中的电极(例如，图15的第一电极21和第二电极22)或接触电极26(例如，参考图15)时减小发光元件30与电极或接触电极26之间的电阻(例如，电气电阻)。电极层37可以包括具有导电性的金属。例如，电极层37可以包括铝(Al)、钛(Ti)、铟(In)、金(Au)、银(Ag)、氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)和氧化铟锡锌(ITZO)中的至少一种。电极层37可以包括掺杂有n型或p型杂质的半导体材料。电极层37可以包括相同的材料或者可以包括不同的材料。然而，本公开不限于此。
绝缘膜38可以与以上描述的半导体层(例如，第一半导体层31、第二半导体层32和有源层36)和电极层37的外表面相邻(例如，围绕它们的外表面)。根据本公开的实施方式，绝缘膜38可以与有源层36的至少外表面相邻(例如，围绕有源层36的至少外表面)，并且可以在发光元件30延伸的方向上延伸。绝缘膜38可以保护上述元件。例如，绝缘膜38可以与上述元件(例如，半导体层和电极层37)的侧表面相邻(例如，围绕它们的侧表面)，并且可以暴露发光元件30的在纵向方向上的端部(例如，两个端部)。
虽然在附图中所示的示例中绝缘膜38在发光元件30的纵向方向上延伸以从第一半导体层31覆盖到电极层37的侧表面(例如，覆盖第一半导体层31、有源层36、第二半导体层32和电极层37的侧表面或外表面)，但本公开不限于此。绝缘膜38可以仅覆盖包括有源层36的半导体层的一部分的外表面，或者可以仅覆盖电极层37的外表面的一部分以部分地暴露电极层37的外表面。在剖视图中，绝缘膜38的上表面的与发光元件30的至少一端部相邻的部分可以是圆化的。
绝缘膜38的厚度可以在约10nm至约1.0μm的范围内。例如，绝缘膜38的厚度可以是约40nm。然而，本公开不限于此。
绝缘膜38可以包括具有绝缘性质的材料，诸如硅氧化物(SiOx)、硅氮化物(SiNx)、硅氮氧化物(SiOxNy)、氮化铝(AlN)和氧化铝(Al2O3)。因此，可以防止在有源层36与电信号通过其传输到发光元件30的电极接触的情况下可能发生的短路。由于绝缘膜38可以保护包括有源层36的发光元件30的外表面，因此可以防止光效率的降低。
在一些实施方式中，绝缘膜38的外表面可以经受表面处理。发光元件30可以分散在油墨90中，并且油墨90可以喷射到电极(例如，第一电极21和第二电极22)上。因此，发光元件30可以在制造显示设备10的工艺期间在电极上对准。在这种情况下，可以对绝缘膜38应用表面处理，使得其变成疏水性的或亲水性的，以便使分散在油墨90中的发光元件30不彼此聚集。
发光元件30的长度h可以在约1μm至约10μm的范围内，或者在约2μm至约6μm的范围内。例如，发光元件30的长度h可以在约3μm至约5μm的范围内。发光元件30的直径可以在约30nm至约700nm的范围内，并且发光元件30的纵横比可以在约1.2至约100的范围内。然而，本公开不限于此。包括在显示设备10中的发光元件30可以根据有源层36的组成差异而具有不同的直径。例如，发光元件30的直径可以是约500nm。
根据本公开的实施方式的发光元件30可以包括有源层36，有源层36包括不同的材料以向外部发射不同波长带的光。在显示设备10中，第一子像素PX1的发光元件30可以发射具有中心波长带为第一波长的第一光，第二子像素PX2的发光元件30可以发射具有中心波长带为第二波长的第二光，并且第三子像素PX3的发光元件30可以发射具有中心波长带为第三波长的第三光。因此，可以从第一子像素PX1输出第一光，可以从第二子像素PX2输出第二光，并且可以从第三子像素PX3输出第三光。在一些实施方式中，第一光可以是具有在约450nm至约495nm的范围内的中心波长带的蓝光，第二光可以是具有在约495nm至约570nm的范围内的中心波长带的绿光，并且第三光可以是具有在约620nm至约750nm的范围内的中心波长带的红光。然而，本公开不限于此。
虽然图17仅示出了第一子像素PX1的剖面，但该描述可以同样地应用于其它像素PX或子像素PXn。图17示出了穿过设置在第一子像素PX1中的发光元件30的第一端部至第二端部的剖面。
例如，虽然在图17中未示出，但显示设备10还可以包括位于电极21和22中的每个之下的电路元件层。电路元件层可以包括半导体层和导电图案，并且可以包括至少一个晶体管和电力供应线。以下提供电路元件层中的元件的详细描述。
参考图15和图17，显示设备10可以包括第一绝缘层51、设置在第一绝缘层51上的电极21和22、发光元件30等。第一绝缘层51之下还可以设置有电路元件层(未示出)。第一绝缘层51可以包括有机绝缘材料以提供平坦表面。
内堤41和42、外堤43、电极21和22以及发光元件30可以设置在第一绝缘层51上。
在制造显示设备10的工艺中，在使用以上描述的图1的喷墨打印装置1喷射其中分散有发光元件30的油墨90的情况下，外堤43可以防止油墨90流过子像素PXn的边界(例如，子像素PXn中的相邻子像素PXn之间的边界)。外堤43可以将不同的子像素PXn彼此分开，使得其中分散有发光元件30的不同子像素PXn的油墨90可以不彼此混合。然而，本公开不限于此。
内堤41和42可以包括设置成与子像素PXn中的每个的中心相邻的第一内堤41和第二内堤42。
第一内堤41和第二内堤42可以彼此间隔开。第一电极21可以设置在第一内堤41上，并且第二电极22可以设置在第二内堤42上。参考图15和图17，第一电极分支21B可以设置在第一内堤41上，并且第二电极分支22B可以设置在第二内堤42上。
第一内堤41和第二内堤42可以设置在子像素PXn中的每个中，并且第一内堤41和第二内堤42可以在垂直方向上延伸。然而，本公开不限于此。第一内堤41和第二内堤42可以设置在子像素PXn中的每个中，并且在显示设备10的前表面上形成图案。内堤41和42以及外堤43可以包括聚酰亚胺(PI)。然而，本公开不限于此。
第一内堤41和第二内堤42可以具有至少部分地从第一绝缘层51突出的结构。第一内堤41和第二内堤42可以从其上设置有发光元件30的平面向上突出，并且第一内堤41和第二内堤42的突出部分的至少一部分可以具有倾斜度。由于内堤41和42具有从第一绝缘层51突出的倾斜侧，所以从发光元件30发射的光可以从内堤41和42的倾斜侧反射。如将在以下描述的，如果分别设置在内堤41和42上的电极21和22可以包括具有高反射率的材料，则从发光元件30发射的光可以从电极21和22反射，使得光可以朝向第一绝缘层51的上侧行进。
外堤43可以设置在子像素PXn中的每个的边界处且形成栅格图案，并且内堤41和42可以设置在子像素PXn中的每个内且在一方向上延伸。
电极21和22可以设置在第一绝缘层51以及内堤41和42上。如上所述，电极21和22可以分别包括电极杆21S和22S以及电极分支21B和22B。
第一电极21和第二电极22可以部分地设置在第一绝缘层51上，并且可以部分地设置在第一内堤41和第二内堤42上。如上所述，第一电极21的第一电极杆21S和第二电极22的第二电极杆22S可以在水平方向上延伸。第一内堤41和第二内堤42可以在垂直方向上延伸，并且也可以在垂直方向上设置在相邻的子像素PXn中。
第一电极接触孔CNTD可以穿过第一绝缘层51并暴露电路元件层的一部分。第一电极接触孔CNTD可以形成在第一电极21的第一电极杆21S中。第一电极21可以通过第一电极接触孔CNTD电连接到电路元件层的晶体管。电信号可以从晶体管传输到第一电极21。
第二电极22的第二电极杆22S可以在一方向上延伸，并且可以设置在其中没有设置发光元件30的非发射区域中。第二电极接触孔CNTS可以穿过第一绝缘层51并暴露电路元件层的一部分。第二电极接触孔CNTS可以形成在第二电极杆22S中。第二电极22可以经由第二电极接触孔CNTS电连接到电力电极。电信号可以从电力电极传输到第二电极22。
第一电极21和第二电极22的部分(例如，第一电极分支21B和第二电极分支22B)可以分别设置在第一内堤41和第二内堤42中。发光元件30可以设置在第一电极21和第二电极22之间的区中。例如，发光元件30可以设置在其中第一电极分支21B和第二电极分支22B彼此间隔开并且彼此面对的空间中。
电极21和22中的每个可以包括透明导电材料。例如，电极21和22中的每个可以包括诸如氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)和氧化铟锡锌(ITZO)的材料。然而，本公开不限于此。在一些实施方式中，电极21和22中的每个可以包括具有高反射率的导电材料。例如，电极21和22中的每个可以包括诸如银(Ag)、铜(Cu)和铝(Al)的金属作为具有高反射率的材料。入射在电极21和22中的每个上的光可以被反射并朝向子像素PXn中的每个的上侧射出。
电极21和22中的每个可以具有其中透明导电材料的一个或更多个层和具有高反射率的金属层彼此堆叠的结构。在其它实施方式中，电极21和22中的每个可以由包括透明导电材料和金属中的至少一种的单层构成。在实施方式中，电极21和22中的每个可以具有ITO/银(Ag)/ITO/IZO的叠层结构。在其它实施方式中，电极21和22中的每个可以是包括铝(Al)、镍(Ni)和镧(La)中的至少一种的合金。然而，本公开不限于此。
第二绝缘层52可以设置在第一绝缘层51、第一电极21和第二电极22上。第二绝缘层52可以设置成部分地覆盖第一电极21和第二电极22。第二绝缘层52可以覆盖第一电极21和第二电极22中的每个的上表面(例如，上表面的大部分)。第二绝缘层52可以暴露第一电极21和第二电极22中的每个的一部分。第二绝缘层52可以设置成暴露第一电极21和第二电极22的上表面的一部分。例如，第二绝缘层52可以暴露设置在第一内堤41上的第一电极分支21B的上表面的一部分和设置在第二内堤42上的第二电极分支22B的上表面的一部分。例如，第二绝缘层52可以基本上完全地形成在第一绝缘层51上，并且可以包括部分地暴露第一电极21和第二电极22的开口。
在实施方式中，第二绝缘层52可以具有台阶(例如，台阶差、厚度差或高度差)，使得第二绝缘层52的上表面的一部分在第一电极21和第二电极22之间凹陷。在一些实施方式中，第二绝缘层52可以包括无机绝缘材料，并且由于设置在第二绝缘层52之下的元件的台阶，设置成覆盖第一电极21和第二电极22的第二绝缘层52的上表面的一部分可以凹陷。发光元件30可以设置在第一电极21和第二电极22之间的第二绝缘层52上，并且与第二绝缘层52的凹陷的上表面形成空的空间。发光元件30可以与第二绝缘层52的上表面部分地间隔开，并且该空间可以用第三绝缘层53的材料填充。以下提供第三绝缘层53的详细描述。然而，本公开不限于此。第二绝缘层52可以形成平坦的上表面，并且发光元件30可以设置在第二绝缘层52上。
第二绝缘层52可以保护第一电极21和第二电极22并且使它们彼此电绝缘。第二绝缘层52可以防止设置在其上的发光元件30与其它元件接触并损坏。然而，第二绝缘层52的形状和结构不限于此。
发光元件30可以设置在电极21和22之间的第二绝缘层52上。例如，至少一个发光元件30可以设置于设置在电极分支21B和22B之间的第二绝缘层52上。然而，本公开不限于此。虽然在附图中未示出，但发光元件30中的至少一些可以设置在子像素PXn中的每个中。例如，发光元件30中的至少一些可以设置在电极分支21B和22B之间的区之外的其它区中。发光元件30可以设置在第一电极分支21B和第二电极分支22B的彼此面对的侧上。发光元件30可以通过接触电极26电连接到电极21和22。
在发光元件30中的每个中，可以在平行于第一绝缘层51的方向上设置多个层。根据实施方式的显示设备10的发光元件30可以具有在一方向上延伸的形状，并且可以具有其中多个半导体层在该方向上依次设置的结构。如上所述，在发光元件30中，第一半导体层31、有源层36、第二半导体层32和电极层37可以在该方向上依次设置，并且它们的外表面可以被绝缘膜38围绕。显示设备10的发光元件30可以布置成使得它们平行于第一绝缘层51延伸。包括在发光元件30中的半导体层可以在平行于第一绝缘层51的上表面的方向上依次设置。然而，本公开不限于此。在一些实施方式中，在发光元件30具有不同结构的情况下，可以在垂直于第一绝缘层51的方向上设置发光元件30的层。
发光元件30中的每个的端部可以与第一接触电极26a接触，并且其另一端部可以与第二接触电极26b接触。根据本公开的实施方式，发光元件30的在延伸方向的一侧上的端表面上没有形成绝缘膜，并且发光元件30的端表面可以暴露。因此，发光元件30的暴露的端表面可以与第一接触电极26a和第二接触电极26b接触。以下提供第一接触电极26a和第二接触电极26b的详细描述。然而，本公开不限于此。在一些实现方式中，发光元件30的绝缘膜38可以至少部分地去除，并且发光元件30的端表面(例如，两个端表面)可以部分地暴露。
第三绝缘层53可以部分地设置于设置在第一电极21和第二电极22之间的发光元件30上。第三绝缘层53可以设置成部分地围绕发光元件30的外表面。第三绝缘层53可以在制造显示设备10的工艺期间保护发光元件30并固定发光元件30。根据本公开的实施方式，第三绝缘层53的材料的一部分可以设置在发光元件30的下表面和第二绝缘层52之间。如上所述，第三绝缘层53可以形成为填充在制造显示设备10的工艺期间形成的在第二绝缘层52和发光元件30之间的空间。因此，第三绝缘层53可以形成为围绕发光元件30的外表面。然而，本公开不限于此。
在平面图中，第三绝缘层53可以在第一电极分支21B和第二电极分支22B之间在垂直方向上延伸。例如，在平面图中，第三绝缘层53可以在第一绝缘层51上具有岛形状或线形形状。根据本公开的实施方式，第三绝缘层53可以设置在发光元件30上。
第一接触电极26a和第二接触电极26b可以分别设置在电极21和22以及第三绝缘层53上。例如，第一接触电极26a可以设置在第一电极21和第三绝缘层53上，并且第二接触电极26b可以设置在第二电极22和第三绝缘层53上。第一接触电极26a和第二接触电极26b可以设置在第三绝缘层53上，并且第一接触电极26a和第二接触电极26b可以彼此间隔开。第三绝缘层53可以使第一接触电极26a与第二接触电极26b电绝缘，并且第一接触电极26a和第二接触电极26b可以彼此不直接接触。
第一接触电极26a可以在第一内堤41上与第一电极21的暴露的部分区接触，并且第二接触电极26b可以在第二内堤42上与第二电极22的暴露的部分区接触。第一接触电极26a和第二接触电极26b可以将从相应的电极21和22传输的电信号传输到发光元件30。
接触电极26可以包括导电材料。例如，接触电极26可以包括ITO、IZO、ITZO、铝(Al)等。然而，本公开不限于此。
接触电极26和第三绝缘层53上可以设置有钝化层55。钝化层55可以保护设置在第一绝缘层51上的元件(例如，发光元件30)免受外部环境的影响。
第二绝缘层52、第三绝缘层53和钝化层55中的每个可以包括无机绝缘材料或有机绝缘材料。根据本公开的实施方式，第二绝缘层52、第三绝缘层53和钝化层55可以包括无机绝缘材料，诸如硅氧化物(SiOx)、硅氮化物(SiNx)、硅氮氧化物(SiOxNy)、氧化铝(Al2O3)和氮化铝(AlN)。第二绝缘层52、第三绝缘层53和钝化层55可以包括作为有机绝缘材料的丙烯酸树脂、环氧树脂、酚醛树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺树脂、不饱和聚酯树脂、聚亚苯基树脂、聚苯硫醚树脂、苯并环丁烯、卡多(cardo)树脂、硅氧烷树脂、倍半硅氧烷树脂、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯-聚碳酸酯合成树脂等。然而，本公开不限于此。
参考图18至图20，根据实施方式的显示设备10(例如，参考图14)可以使用以上参考图1描述的喷墨打印装置1来制造。喷墨打印装置1可以喷射其中分散有发光元件30的油墨90，并且发光元件30可以设置在显示设备10的第一电极21和第二电极22之间。
首先，如图18中所示，制备第一绝缘层51、在第一绝缘层51上彼此间隔开的第一内堤41和第二内堤42、分别设置在第一内堤41和第二内堤42上的第一电极21和第二电极22以及覆盖第一电极21和第二电极22的第二绝缘材料层52’。第二绝缘材料层52’可以在随后的工艺中被部分地图案化，以形成显示设备10的第二绝缘层52。上述元件可以通过经由掩模工艺来图案化金属、无机材料、有机材料等而形成。
可以将其中分散有发光元件30的油墨90喷射到第一电极21和第二电极22上。发光元件30可以是一种双极元件95。可以通过使用以上描述的喷墨打印装置1和打印双极元件95的方法来进行其中分散有发光元件30的油墨90的注射。如附图中所示，根据实施方式的喷墨打印装置1可以排出其中分散有均匀数量的发光元件30的油墨90。以上已经描述了油墨90的排出；并且因此，将省略重复的描述。
随后，如图19中所示，可以将电信号施加到第一电极21和第二电极22，并且在其中分散有发光元件30的油墨90中产生电场IEL。由于电场IEL传递介电泳力并且改变取向和位置，发光元件30可以安置在第一电极21和第二电极22之间。
随后，如图20中所示，可以去除油墨90的溶剂91。发光元件30可以经由以上描述的工艺设置在第一电极21和第二电极22之间。随后，虽然在附图中未示出，但可以图案化第二绝缘材料层52’以形成第二绝缘层52，并且可以形成第三绝缘层53、第一接触电极26a和第二接触电极26b以及钝化层55(例如，参考图17)，从而可以制造显示设备10。
发光元件30的形状和材料不限于参考图16描述的那些。在一些实施方式中，发光元件30可以包括更多数量的层或者可以具有不同的形状。
在下文中，以下描述根据实施方式的喷墨打印装置1的变型。在以下描述中，相同或相似的元件将由相同或相似的附图标记表示，并且将省略或简要描述重复的描述。
图21是示意性地示出根据另一实施方式的喷墨打印装置的喷墨头部的内部结构的视图。图22是图21的区域C的示意性放大图。
在图21和图22中所示的示例中，在根据此实施方式的喷墨打印装置1_1中，注射孔350_1中的每个的进口351_1的入口可以具有具备多个角度的形状。例如，根据此实施方式，进口351_1可以具有多个倾斜表面351_1b和351_1c。
根据此实施方式，进口351_1可以包括平坦表面351_1a(其作为在第一方向DR1上的表面)以及第一倾斜表面351_1b和第二倾斜表面351_1c(其作为围绕入口区域ENA_1的表面)。第二倾斜表面351_1c可以比第一倾斜表面351_1b更朝向入口区域ENA_1倾斜。根据实施方式的进口351_1的平坦表面351_1a与根据上述实施方式的喷墨打印装置1的进口351的平坦表面351a基本上相同；并且因此，将省略重复的描述。
平坦表面351_1a可以以成锐角的第二角度θ2与第二倾斜表面351_1c相交。第一倾斜表面351_1b和第二倾斜表面351_1c可以彼此相交。第一倾斜表面351_1b和第二倾斜表面351_1c可以以不同的角度倾斜。例如，第二倾斜表面351_1c的端部可以与平坦表面351_1a接触，并且第二倾斜表面351_1c的另一端部可以与第一倾斜表面351_1b接触。第一倾斜表面351_1b可以与平行于平坦表面351_1a的方向形成锐角。例如，第一倾斜表面351_1b可以与平行于第一方向DR1的假想表面形成锐角。
由于第二倾斜表面351_1c以相对于平坦表面351_1a成锐角的第二角度θ2倾斜，并且第一倾斜表面351_1b与第二倾斜表面351_1c的相对端部接触(即，第一倾斜表面351_1b以与平行于第一方向DR1的假想表面成锐角倾斜)，因此当在第三方向DR3上观察入口区域ENA_1时，第一倾斜表面351_1b和第二倾斜表面351_1c可以不从入口区域ENA_1暴露。例如，入口区域ENA_1的在第三方向DR3上的端部的面积可以小于入口区域ENA的在第三方向DR3上的相对端部的面积。因此，在双极元件95被引入到入口区域ENA_1中的情况下，双极元件95可以不积聚在进口351_1上，从而可以提高喷嘴部300_1或喷墨头部的寿命。
由于第一倾斜表面351_1b和第二倾斜表面351_1c以不同的角度倾斜，因此入口区域ENA_1的宽度W1_1可以朝向在第三方向DR3上的相对侧增加(即，在远离内部流动路径的方向上增加)，并且入口区域ENA_1的宽度W1_1在第三方向DR3的变化率可以从第一倾斜表面351_1b和第二倾斜表面351_1c彼此接触的点变化。这是由于形成其中限定入口区域ENA_1的进口351_1的工艺。例如，其中不形成入口区域ENA_1的进口351_1可以被处理并形成入口区域ENA_1。处理进口351_1以形成入口区域ENA_1的工艺可以例如通过干法蚀刻或湿法蚀刻来进行。
例如，处理进口351_1以形成入口区域ENA_1的工艺可以包括形成第一倾斜表面351_1b(例如，初次处理)和形成第二倾斜表面351_1c(例如，第二次处理)。当在形成第一倾斜表面351_1b之后形成第二倾斜表面351_1c时，可以减小待处理以形成第二倾斜表面351_1c的进口351_1的厚度。因此，可以容易地形成入口区域ENA_1。
以上描述是本公开的技术特征的示例，并且本公开所属领域的技术人员将能够进行各种修改和变型。因此，以上描述的本公开的实施方式可以单独地实现或彼此组合地实现。
因此，在本公开中公开的实施方式不旨在限制本公开的技术精神，而是描述本公开的技术精神，并且本公开的技术精神的范围不受这些实施方式的限制。本公开的保护范围应当由所附权利要求来解释，并且应当理解，在等同范围内的所有技术精神都包括在本公开的范围内。

Claims (10)

1.喷墨打印装置，其特征在于，所述喷墨打印装置包括：
台，所述台上安置有基板；
喷嘴部，设置在所述台上方，并将油墨喷射到所述基板上，所述油墨包含溶剂和固体物质；以及
头部，将所述油墨提供给所述喷嘴部，
其中，所述喷嘴部包括：
内部流动路径，在第一方向上延伸，所述油墨通过所述内部流动路径从所述头部提供；以及
进口，所述进口中限定有入口区域，
所述油墨在与所述第一方向相交的第二方向上通过所述入口区域从所述内部流动路径引入，
所述进口包括：
倾斜表面，与所述入口区域相邻并且限定所述入口区域；以及
平坦表面，平行于所述第一方向，以及
所述倾斜表面和所述平坦表面之间的角度是锐角。
2.根据权利要求1所述的喷墨打印装置，其特征在于，所述喷嘴部还包括：
压力部，设置成在所述第二方向上与所述进口相邻，并且限定向从所述入口区域引入的所述油墨提供压力的压力区域。
3.根据权利要求2所述的喷墨打印装置，其特征在于，所述压力部包括压电元件。
4.根据权利要求3所述的喷墨打印装置，其特征在于，所述喷嘴部还包括：
出口，在所述第二方向上与所述压力部相邻以限定出口区域，
其中，所述油墨通过施加在所述压力区域中的所述压力而从所述出口区域排出。
5.根据权利要求4所述的喷墨打印装置，其特征在于，所述入口区域的宽度在远离所述内部流动路径的所述第二方向上增加。
6.根据权利要求5所述的喷墨打印装置，其特征在于，
所述入口区域包括：
端部，与所述内部流动路径相邻；以及
相对端部，与所述压力区域相邻，以及
所述入口区域的所述端部的面积小于所述入口区域的所述相对端部的面积。
7.根据权利要求6所述的喷墨打印装置，其特征在于，所述油墨依次穿过所述内部流动路径、所述入口区域、所述压力区域和所述出口区域。
8.根据权利要求1所述的喷墨打印装置，其特征在于，所述喷嘴部还包括基部，所述内部流动路径和所述进口位于所述基部中，
其中，所述内部流动路径穿过所述基部，以及
其中，所述内部流动路径的边缘由所述基部和所述进口的所述平坦表面限定。
9.根据权利要求1所述的喷墨打印装置，其特征在于，所述倾斜表面包括：
第一倾斜表面，具有：
端部，与所述平坦表面接触；以及
相对端部；以及
第二倾斜表面，与所述第一倾斜表面的所述相对端部接触，
其中，所述第一倾斜表面比所述第二倾斜表面更朝向所述入口区域倾斜。
10.喷墨打印装置，其特征在于，所述喷墨打印装置包括：
台，所述台上安置有基板；
喷嘴部，设置在所述台上方，并将油墨喷射到所述基板上，所述油墨包含溶剂和固体物质；以及
头部，将所述油墨提供给所述喷嘴部，
其中，所述喷嘴部包括：
内部流动路径，在第一方向上延伸，所述油墨通过所述内部流动路径从所述头部提供；以及
入口区域，
所述油墨在与所述第一方向相交的第二方向上通过所述入口区域从所述内部流动路径引入，以及
所述入口区域的宽度在远离所述内部流动路径的所述第二方向上增加。
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