CN113219649A - 一种航天应用的高可靠压电偏摆镜 - Google Patents

一种航天应用的高可靠压电偏摆镜 Download PDF

Info

Publication number
CN113219649A
CN113219649A CN202110486560.2A CN202110486560A CN113219649A CN 113219649 A CN113219649 A CN 113219649A CN 202110486560 A CN202110486560 A CN 202110486560A CN 113219649 A CN113219649 A CN 113219649A
Authority
CN
China
Prior art keywords
hinge
piezoelectric ceramic
shell
piezoelectric
hinge mechanism
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202110486560.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN113219649B (zh
Inventor
陈�峰
徐国飞
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harbin Core Tomorrow Science & Technology Co ltd
Original Assignee
Harbin Core Tomorrow Science & Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harbin Core Tomorrow Science & Technology Co ltd filed Critical Harbin Core Tomorrow Science & Technology Co ltd
Priority to CN202110486560.2A priority Critical patent/CN113219649B/zh
Publication of CN113219649A publication Critical patent/CN113219649A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113219649B publication Critical patent/CN113219649B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements

Abstract

本发明提供了一种航天应用的高可靠压电偏摆镜,包括台面、壳体、底座、铰链机构、两级驱动压电陶瓷组、连接臂和中心立柱,台面包括台体、第一柔性铰链和偏转位移输出座,偏转位移输出座通过第一柔性铰链与台体连接,台体与壳体上端连接;在壳体的中心设有中心立柱,中心立柱通过四个连接臂与壳体连为一体,在壳体内围绕中心立柱开通四个竖直通孔,两级驱动压电陶瓷组安装在四个竖直通孔内,在压电陶瓷与所在的竖直通孔间隙内灌满胶;壳体上端与铰链机构连接,铰链机构的下端面与一级驱动压电陶瓷组接触,上端面与若干钢球点接触,在铰链机构上贴有应变计,壳体的下端与底座固定连接。本发明具有安全冗余性,可靠性高,精度高,结构紧凑。

Description

一种航天应用的高可靠压电偏摆镜
技术领域
本发明属于精密仪器技术领域,尤其是涉及一种航天应用的高可靠压电偏摆镜。
背景技术
压电偏摆镜在光束控制中可以获得良好的补偿、跟踪和控制效果,可以用于实验室的科学研究或者教学设备中,但随着压电偏摆镜在航天工程中得到越来越多的应用,对其的要求已经不仅仅是精度和响应速度,用在航天领域,对整体结构的抗冲击、抗振动能力以及其他力学性能都有更高的要求,振动或冲击很容易对压电陶瓷产生破坏,降低压电陶瓷的使用寿命,影响压电偏摆镜的可靠性。
发明内容
有鉴于此,本发明旨在提出一种航天应用的高可靠压电偏摆镜,具有安全冗余性,提高了使用的可靠性,保证高精度的同时,强化了整个结构的力学性能,且整个台体结构紧凑,闭环定位精度高,具有亚毫秒范围的响应时间。
为达到上述目的,本发明的技术方案是这样实现的:
一种航天应用的高可靠压电偏摆镜,包括台面、壳体、底座、铰链机构、一级驱动压电陶瓷组、二级驱动压电陶瓷组、连接臂和中心立柱,所述的台面包括台体、第一柔性铰链和偏转位移输出座,所述的偏转位移输出座通过第一柔性铰链与台体连接,所述台体与壳体上端连接;
在壳体的中心设有中心立柱,所述中心立柱通过四个连接臂与壳体连为一体,在壳体内围绕中心立柱开通四个竖直通孔,所述的一级驱动压电陶瓷组和二级压电陶瓷组分别包括四个压电陶瓷,所述的一级驱动压电陶瓷组和二级驱动压电陶瓷组从上到下依次安装在四个竖直通孔内,在压电陶瓷与所在的竖直通孔间隙内灌满胶;
所述壳体上端与铰链机构连接,铰链机构的下端面与一级驱动压电陶瓷组的四个压电陶瓷的顶端接触,所述的中心立柱的上端设有螺纹孔,在预紧螺钉上套设有碟簧,预紧螺钉穿过偏转位移输出座的中心处的通孔与中心立柱的上端的螺纹孔连接使铰链机构的上端面始终与嵌设在偏转位移输出座内部的若干钢球点接触,在铰链机构上贴有应变计,所述壳体的下端与底座固定连接,在底座下端设有一级出线孔和二级出线孔。
进一步的,所述铰链机构包括四个铰链单元,在每一个铰链单元上面都贴有应变计。
进一步的,每个铰链单元均包括铰链本体,在铰链本体的中部设有铰链机构陶瓷接触凸台,铰链本体的两端各设置一个固定孔,在固定孔与铰链机构陶瓷接触凸台之间的铰链本体上设有第二柔性铰链,在每个铰链单元上对应每个第二柔性铰链处分别设有一个应变计,在每个铰链机构上表面正中间位置上安装一个垫片,所述钢球设置四个,钢球与垫片一一对应点接触布置;四个铰链单元的铰链机构陶瓷接触凸台布置位置与一级驱动压电陶瓷组的四个压电陶瓷端对应。
进一步的,所述一级驱动压电陶瓷组与二级驱动压电陶瓷组单独控制,每一级驱动实现两维运动,通过调节压差来控制偏转的角度。
进一步的,在偏转位移输出座上均匀开设若干负载连接孔。
进一步的,在台体上均匀开设有多个台面固定孔,通过螺栓穿过台面固定孔与壳体上端连接。
进一步的,所述胶为航天胶。
进一步的,所述压电陶瓷为低压叠堆共烧压电陶瓷。
进一步的,所述一级出线孔用于穿设与一级驱动压电陶瓷组连接的电线,所述二级出线孔用于穿设与二级驱动压电陶瓷组连接的电线。
相对于现有技术,本发明所述的一种航天应用的高可靠压电偏摆镜具有以下优势:
(1)压电偏摆镜高精度、分辨率高,壳体内部竖直通孔灌胶,消减外界对陶瓷的振动破坏,吸收振动冲击,并且4个孔之间互不相通,抗干扰性强,提高陶瓷可靠性,进而提高偏摆镜的可靠性。
(2)双极控制具有安全冗余性,提高了使用的安全系数,且整个偏摆镜结构紧凑,铰链闭环定位精度高,驱动源是压电陶瓷,相比较于传统驱动源,压电类产品普遍响应速度快,谐振频率高,具有亚毫秒范围的响应时间;同时应变计贴在铰链机构上,相比较于贴在陶瓷上,避免了破坏陶瓷表面的树脂层,提高陶瓷的可靠性。
(3)两级驱动分开控制,互不干扰,两级驱动压电陶瓷可以一起运动实现更大位移,也可以单独运动,在一级出现问题时,可以启动另外一级;若需要达到与单级驱动器相同的行程,两级陶瓷所需的驱动行程为原单级驱动器的1/2,因此两级驱动陶瓷每一级的电容量为原来的1/2,提高驱动器的响应速度。
(4)整个结构还可以承受一定的侧向力,提高了陶瓷的使用寿命。
附图说明
构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
图1为本发明实施例所述的一种航天应用的高可靠压电偏摆镜的结构示意图;
图2为本发明实施例所述的一种航天应用的高可靠压电偏摆镜的俯视图;
图3为图2的B-B向剖视图;
图4为图1的A-A向剖视图;
图5为台面的结构示意图;
图6为单个铰链单元的结构示意图;
图7为某一级压电陶瓷驱动的控制原理图。
附图标记说明:
1-台面,2-壳体,3-底座,4-一级出线孔,5-预紧螺钉,6-碟簧,7-钢球,8-垫片,9-铰链机构,10-一级驱动压电陶瓷组,11-二级驱动压电陶瓷组,12-连接臂,13-中心立柱,14-胶,15-台面固定孔,16-第一柔性铰链,17-偏转位移输出座,18-负载连接孔,19-台体,20-应变计,21-二级出线孔,22-铰链机构陶瓷接触凸台,23-第二柔性铰链,24-固定孔。
具体实施方式
需要说明的是,在不冲突的情况下,本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
如图1-图7所示,一种航天应用的高可靠压电偏摆镜,包括台面1、壳体2、底座3、铰链机构9、一级驱动压电陶瓷组10、二级驱动压电陶瓷组11、连接臂12和中心立柱13,所述的台面1包括台体19、第一柔性铰链16和偏转位移输出座17,所述的偏转位移输出座17通过第一柔性铰链16与台体19连接,所述台体19与壳体2上端连接;
在壳体2的中心设置中心立柱13,所述中心立柱13通过四个连接臂12与壳体2连为一体,在壳体2内围绕中心立柱13开通四个竖直通孔,所述的一级驱动压电陶瓷组10和二级压电陶瓷组11分别包括四个压电陶瓷,所述的一级驱动压电陶瓷组10和二级驱动压电陶瓷组11从上到下依次安装在四个竖直通孔内,在压电陶瓷与所在的竖直通孔间隙内灌满胶14;
所述壳体2上端与铰链机构9连接,铰链机构9的下端面与一级驱动压电陶瓷组10的四个压电陶瓷的顶端接触,所述的中心立柱13的上端设有螺纹孔,在预紧螺钉5上套设有碟簧6,预紧螺钉5穿过偏转位移输出座17的中心处的通孔与中心立柱13的上端的螺纹孔连接使铰链机构9的上端面始终与嵌设在偏转位移输出座17内部的若干钢球7点接触,在铰链机构9上贴有应变计20,所述壳体2的下端与底座3固定连接,在底座3下端设有一级出线孔4和二级出线孔21,一级出线孔4用于穿设与一级驱动压电陶瓷组10连接的电线,所述二级出线孔21用于穿设与二级驱动压电陶瓷组11连接的电线。第一柔性铰链刚度越低,陶瓷损失位移越少,通过设置第一柔性铰链16将压电陶瓷产生的位移有效的传递出去,若接触的是一个刚度无限大的刚体,则是完全没有位移输出的。
所述铰链机构9包括四个铰链单元,在每一个铰链单元上面都贴有应变计20。
每个铰链单元均包括铰链本体,在铰链本体的中部设有铰链机构陶瓷接触凸台22,铰链本体的两端各设置一个固定孔24,在固定孔与铰链机构陶瓷接触凸台之间的铰链本体上设有第二柔性铰链23,在每个铰链单元上对应每个第二柔性铰链23处分别设有一个应变计20,相比较于应变计贴在陶瓷上,避免了破坏陶瓷表面的树脂层,提高陶瓷的可靠性;在每个铰链机构上表面正中间位置上安装一个垫片8,所述钢球7设置四个,钢球7与垫片8一一对应点接触布置;四个铰链单元的铰链机构陶瓷接触凸台布置位置与一级驱动压电陶瓷组的四个压电陶瓷端对应。
铰链单元通过螺钉穿过固定孔24固定到壳体上,铰链机构陶瓷接触凸台22直接与陶瓷面接触,压电陶瓷输出位移,铰链机构9的若干第二柔性铰链23处会发生形变。
在每个铰链机构陶瓷接触凸台上安装一个垫片8,所述钢球7设置四个,钢球7与垫片8一一对应点接触布置。
一级驱动压电陶瓷组10与二级驱动压电陶瓷组11单独控制,每一级驱动实现两维运动,通过调节压差来控制偏转的角度。两级驱动叠堆压电陶瓷可以一起运动实现更大位移,也可以单独运动,在一级出现问题时,可以启动另外一级。为了达到与单级驱动器相同的行程,两级陶瓷所需的驱动行程为原单级驱动器的1/2,因此两级驱动陶瓷每一级的电容量为原来的1/2,提高驱动器的响应速度。
在偏转位移输出座17上均匀开设若干负载连接孔18,用于安装负载即镜体。在台体19上均匀开设有多个台面固定孔15,通过螺栓穿过台面固定孔15与壳体2上端连接。胶14为航天胶,提高整个结构的稳定性。
所述两级压电陶瓷作为驱动原件,压电陶瓷是一种能够将机械能和电能相互转换的功能陶瓷材料,具有敏感的特性,可以将极其微弱的机械振动转换成电信号,它频率稳定性好,精度高。本发明专利所述产品选用的是低压叠堆共烧压电陶瓷,该叠堆压电陶瓷可以承受很大的压力,刚度大,绝缘在侧边,陶瓷整个截面积均可致动,出力大,性能完好展现,不存在局部电场变形,不易出现点应力,低压叠堆共烧工艺压电陶瓷具有优异的性能及超长使用寿命,特殊的绝缘材料确保在严苛的条件下动态性能最大输出。
压电陶瓷的工作原理如下:
根据陶瓷的逆压电效应:在对压电陶瓷的极化方向上施加电压,压电陶瓷会随之发生形变位移,形变位移△L有如下关系式:
△L=d33 n U
其中:
d33:应变系数(m/V)
n:压电陶瓷片个数
U:驱动电压(V)。
通过给定电压使整体结构内部的压电陶瓷进行伸长或者缩短运动,压电陶瓷之间协作运动带动偏转位移输出座进行精密偏转定位运动。每一级驱动都有四支压电陶瓷,四支陶瓷实现两维运动,其中两支为一组,通过调节压差来控制偏转的角度。
两级驱动控制原理一样,以其中一级为例阐述。如图7所示,保持CH3恒压控制,给定CH1电压,Y轴方向布置的陶瓷PZT X1和PZT X2由于各自的压差会有不同程度的伸长或压缩,进而带动偏转位移输出端绕X轴偏转运动。同理,保持CH3恒压控制,给定CH2电压,X轴方向布置的陶瓷PZT Y1和PZT Y2由于各自的压差会有不同程度的伸长或压缩,进而带动偏转位移输出端绕Y轴偏转运动。绕X轴或者Y轴偏转运动的角度依靠调节CH1或者CH2给定的电压。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种航天应用的高可靠压电偏摆镜,其特征在于:包括台面(1)、壳体(2)、底座(3)、铰链机构(9)、一级驱动压电陶瓷组(10)、二级驱动压电陶瓷组(11)、连接臂(12)和中心立柱(13),所述的台面(1)包括台体(19)、第一柔性铰链(16)和偏转位移输出座(17),所述的偏转位移输出座(17)通过第一柔性铰链(16)与台体(19)连接,所述台体(19)与壳体(2)上端连接;
在壳体(2)的中心设置中心立柱(13),所述中心立柱(13)通过四个连接臂(12)与壳体(2)连为一体,在壳体(2)内围绕中心立柱(13)开通四个竖直通孔,所述的一级驱动压电陶瓷组(10)和二级压电陶瓷组(11)分别包括四个压电陶瓷,所述的一级驱动压电陶瓷组(10)和二级驱动压电陶瓷组(11)从上到下依次安装在四个竖直通孔内,在压电陶瓷与所在的竖直通孔间隙内灌满胶(14);
所述壳体(2)上端与铰链机构(9)连接,铰链机构(9)的下端面与一级驱动压电陶瓷组(10)的四个压电陶瓷的顶端接触,所述的中心立柱(13)的上端设有螺纹孔,在预紧螺钉(5)上套设有碟簧(6),预紧螺钉(5)穿过偏转位移输出座(17)的中心处的通孔与中心立柱(13)的上端的螺纹孔连接使铰链机构(9)的上端面始终与嵌设在偏转位移输出座(17)内部的若干钢球(7)点接触,在铰链机构(9)上贴有应变计(20),所述壳体(2)的下端与底座(3)固定连接,在底座(3)下端设有一级出线孔(4)和二级出线孔(21)。
2.根据权利要求1所述的一种航天应用的高可靠压电偏摆镜,其特征在于:所述铰链机构(9)包括四个铰链单元,在每一个铰链单元上面都贴有应变计(20)。
3.根据权利要求2所述的一种航天应用的高可靠压电偏摆镜,其特征在于:每个铰链单元均包括铰链本体,在铰链本体的中部设有铰链机构陶瓷接触凸台(22),铰链本体的两端各设置一个固定孔(24),在固定孔与铰链机构陶瓷接触凸台之间的铰链本体上设有第二柔性铰链(23),在每个铰链单元上对应每个第二柔性铰链(23)处分别设有一个应变计(20),在每个铰链机构上表面正中间位置上安装一个垫片(8),所述钢球(7)设置四个,钢球(7)与垫片(8)一一对应点接触布置;四个铰链单元的铰链机构陶瓷接触凸台布置位置与一级驱动压电陶瓷组的四个压电陶瓷端对应。
4.根据权利要求1、2或3所述的一种航天应用的高可靠压电偏摆镜,其特征在于:所述一级驱动压电陶瓷组(10)与二级驱动压电陶瓷组(11)单独控制,每一级驱动实现两维运动,通过调节压差来控制偏转的角度。
5.根据权利要求4或所述的一种航天应用的高可靠压电偏摆镜,其特征在于:在偏转位移输出座(17)上均匀开设若干负载连接孔(18)。
6.根据权利要求1所述的一种航天应用的高可靠压电偏摆镜,其特征在于:在台体(19)上均匀开设有多个台面固定孔(15),通过螺栓穿过台面固定孔(15)与壳体(2)上端连接。
7.根据权利要求1所述的一种航天应用的高可靠压电偏摆镜,其特征在于:所述胶(14)为航天胶。
8.根据权利要求1所述的一种航天应用的高可靠压电偏摆镜,其特征在于:所述压电陶瓷为低压叠堆共烧压电陶瓷。
9.根据权利要求1、2、3、5、6、7或8所述的一种航天应用的高可靠压电偏摆镜,其特征在于:所述一级出线孔(4)用于穿设与一级驱动压电陶瓷组(10)连接的电线,所述二级出线孔(21)用于穿设与二级驱动压电陶瓷组(11)连接的电线。
CN202110486560.2A 2021-04-30 2021-04-30 一种航天应用的高可靠压电偏摆镜 Active CN113219649B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110486560.2A CN113219649B (zh) 2021-04-30 2021-04-30 一种航天应用的高可靠压电偏摆镜

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110486560.2A CN113219649B (zh) 2021-04-30 2021-04-30 一种航天应用的高可靠压电偏摆镜

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113219649A true CN113219649A (zh) 2021-08-06
CN113219649B CN113219649B (zh) 2022-11-22

Family

ID=77090765

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110486560.2A Active CN113219649B (zh) 2021-04-30 2021-04-30 一种航天应用的高可靠压电偏摆镜

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113219649B (zh)

Citations (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4257686A (en) * 1978-12-14 1981-03-24 Itek Corporation Multiple layer piezoelectric wavefront modulator
US4703215A (en) * 1986-03-13 1987-10-27 Aisan Kogyo Kabushiki Kaisha Stacked piezoelectric ceramics displacement magnifying device
WO1990014737A1 (en) * 1989-05-15 1990-11-29 Alcatel Dial Face S.P.A. Piezoceramic transducer for telephone instruments
WO1992010874A1 (en) * 1990-12-04 1992-06-25 Scansov Transport Ab Piezoelectric motor
CN1145667A (zh) * 1996-02-12 1997-03-19 亚莱斯唐公司 多层压电可变形双压电晶片反射镜
CN1633009A (zh) * 2005-01-04 2005-06-29 西安交通大学 利用公路系统振动能量压电发电的方法及系统
CN1846948A (zh) * 2006-03-17 2006-10-18 燕山大学 具有全位姿反馈的六自由度微操作机器人
US20070219640A1 (en) * 2006-03-16 2007-09-20 Active Implants Corporation Ceramic-on-ceramic prosthetic device coupled to a flexible bone interface
US20090168146A1 (en) * 2007-12-28 2009-07-02 Texas Instruments Incorporated stabilizer for mems devices having deformable elements
JP2009152557A (ja) * 2007-11-26 2009-07-09 Sii Nanotechnology Inc 変位計付圧電アクチュエータおよび圧電素子ならびにそれを用いた位置決め装置
CN201611266U (zh) * 2010-03-16 2010-10-20 山东力创科技有限公司 热量表超声波换能器
CN201976028U (zh) * 2011-04-19 2011-09-14 吉林大学 内置应变片式自检测压电驱动平台
CN202231634U (zh) * 2011-09-01 2012-05-23 哈尔滨芯明天科技有限公司 可实现微分运动的角偏转微动台
CN102866277A (zh) * 2012-09-29 2013-01-09 林纪秋 陶瓷电子电压互感器的结构及其应用方法
CN202695554U (zh) * 2012-08-20 2013-01-23 哈尔滨芯明天科技有限公司 直驱式纳米级精密定位平台
CN102938622A (zh) * 2012-10-30 2013-02-20 苏州市职业大学 一种压电俘能单元
CN104614196A (zh) * 2015-02-11 2015-05-13 重庆大学 压电陶瓷叠堆执行器刚度测量装置
CN104793333A (zh) * 2015-04-29 2015-07-22 中国科学院光电技术研究所 一种大行程高速多级驱动倾斜镜
CN104793328A (zh) * 2015-03-30 2015-07-22 苏州大学 物镜驱动台
CN204964864U (zh) * 2015-05-07 2016-01-13 苏州大学 压电式物镜驱动台
CN105545287A (zh) * 2016-02-05 2016-05-04 贵州航天凯山石油仪器有限公司 一种微音器的改进方法及高压微音器
CN106090543A (zh) * 2016-08-04 2016-11-09 苏州大学 一种精瞄镜的二维微转动装置
JP2017185968A (ja) * 2016-04-08 2017-10-12 国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 アクチュエータ及びアクティブトラス
WO2017198047A1 (zh) * 2016-05-17 2017-11-23 西安交通大学 一种压电陶瓷驱动的三自由度角度调节装置及调节方法
CN107705821A (zh) * 2017-09-14 2018-02-16 山东大学 一种二自由度尺蠖式微纳定位平台
CN107976802A (zh) * 2017-11-22 2018-05-01 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七七研究所) 一种二维快速控制反射镜
CN108435521A (zh) * 2018-03-12 2018-08-24 肇庆奥迪威传感科技有限公司 一种超声波传感器
CN108592964A (zh) * 2018-05-25 2018-09-28 山东省科学院激光研究所 可调谐去敏小型光纤干涉仪
CN108640643A (zh) * 2018-07-20 2018-10-12 成都上泰科技有限公司 一种含有增强纤维的二氧化硅气凝胶制造工艺
CN109951100A (zh) * 2019-03-25 2019-06-28 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种大行程位移驱动装置及其控制方法
CN110058404A (zh) * 2019-04-26 2019-07-26 广东工业大学 一种压电驱动型一体式大行程微纳偏摆台
CN210022753U (zh) * 2019-01-08 2020-02-07 西安冠虹电子科技有限公司 一种瓦片型聚焦超声波压电陶瓷片及其封装模块
CN110890850A (zh) * 2019-12-05 2020-03-17 松山湖材料实验室 纳米级精度压电驱动线性位移台
CN110912444A (zh) * 2019-04-08 2020-03-24 浙江师范大学 一种仿生爬行式压电驱动器
CN210724601U (zh) * 2019-12-05 2020-06-09 哈尔滨芯明天科技有限公司 一种基于压电陶瓷的精密旋转机构
CN111510019A (zh) * 2020-04-22 2020-08-07 西安交通大学 具备传感信号调平功能的二维快速偏转调节装置及方法
CN112222439A (zh) * 2020-09-30 2021-01-15 哈尔滨芯明天科技有限公司 一种大承载超精密快速加工定位台

Patent Citations (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4257686A (en) * 1978-12-14 1981-03-24 Itek Corporation Multiple layer piezoelectric wavefront modulator
US4703215A (en) * 1986-03-13 1987-10-27 Aisan Kogyo Kabushiki Kaisha Stacked piezoelectric ceramics displacement magnifying device
WO1990014737A1 (en) * 1989-05-15 1990-11-29 Alcatel Dial Face S.P.A. Piezoceramic transducer for telephone instruments
WO1992010874A1 (en) * 1990-12-04 1992-06-25 Scansov Transport Ab Piezoelectric motor
CN1145667A (zh) * 1996-02-12 1997-03-19 亚莱斯唐公司 多层压电可变形双压电晶片反射镜
CN1633009A (zh) * 2005-01-04 2005-06-29 西安交通大学 利用公路系统振动能量压电发电的方法及系统
US20070219640A1 (en) * 2006-03-16 2007-09-20 Active Implants Corporation Ceramic-on-ceramic prosthetic device coupled to a flexible bone interface
CN1846948A (zh) * 2006-03-17 2006-10-18 燕山大学 具有全位姿反馈的六自由度微操作机器人
JP2009152557A (ja) * 2007-11-26 2009-07-09 Sii Nanotechnology Inc 変位計付圧電アクチュエータおよび圧電素子ならびにそれを用いた位置決め装置
US20090168146A1 (en) * 2007-12-28 2009-07-02 Texas Instruments Incorporated stabilizer for mems devices having deformable elements
CN201611266U (zh) * 2010-03-16 2010-10-20 山东力创科技有限公司 热量表超声波换能器
CN201976028U (zh) * 2011-04-19 2011-09-14 吉林大学 内置应变片式自检测压电驱动平台
CN202231634U (zh) * 2011-09-01 2012-05-23 哈尔滨芯明天科技有限公司 可实现微分运动的角偏转微动台
CN202695554U (zh) * 2012-08-20 2013-01-23 哈尔滨芯明天科技有限公司 直驱式纳米级精密定位平台
CN102866277A (zh) * 2012-09-29 2013-01-09 林纪秋 陶瓷电子电压互感器的结构及其应用方法
CN102938622A (zh) * 2012-10-30 2013-02-20 苏州市职业大学 一种压电俘能单元
CN104614196A (zh) * 2015-02-11 2015-05-13 重庆大学 压电陶瓷叠堆执行器刚度测量装置
CN104793328A (zh) * 2015-03-30 2015-07-22 苏州大学 物镜驱动台
CN104793333A (zh) * 2015-04-29 2015-07-22 中国科学院光电技术研究所 一种大行程高速多级驱动倾斜镜
CN204964864U (zh) * 2015-05-07 2016-01-13 苏州大学 压电式物镜驱动台
CN105545287A (zh) * 2016-02-05 2016-05-04 贵州航天凯山石油仪器有限公司 一种微音器的改进方法及高压微音器
JP2017185968A (ja) * 2016-04-08 2017-10-12 国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 アクチュエータ及びアクティブトラス
WO2017198047A1 (zh) * 2016-05-17 2017-11-23 西安交通大学 一种压电陶瓷驱动的三自由度角度调节装置及调节方法
CN106090543A (zh) * 2016-08-04 2016-11-09 苏州大学 一种精瞄镜的二维微转动装置
CN107705821A (zh) * 2017-09-14 2018-02-16 山东大学 一种二自由度尺蠖式微纳定位平台
CN107976802A (zh) * 2017-11-22 2018-05-01 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七七研究所) 一种二维快速控制反射镜
CN108435521A (zh) * 2018-03-12 2018-08-24 肇庆奥迪威传感科技有限公司 一种超声波传感器
CN108592964A (zh) * 2018-05-25 2018-09-28 山东省科学院激光研究所 可调谐去敏小型光纤干涉仪
CN108640643A (zh) * 2018-07-20 2018-10-12 成都上泰科技有限公司 一种含有增强纤维的二氧化硅气凝胶制造工艺
CN210022753U (zh) * 2019-01-08 2020-02-07 西安冠虹电子科技有限公司 一种瓦片型聚焦超声波压电陶瓷片及其封装模块
CN109951100A (zh) * 2019-03-25 2019-06-28 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种大行程位移驱动装置及其控制方法
CN110912444A (zh) * 2019-04-08 2020-03-24 浙江师范大学 一种仿生爬行式压电驱动器
CN110058404A (zh) * 2019-04-26 2019-07-26 广东工业大学 一种压电驱动型一体式大行程微纳偏摆台
CN110890850A (zh) * 2019-12-05 2020-03-17 松山湖材料实验室 纳米级精度压电驱动线性位移台
CN210724601U (zh) * 2019-12-05 2020-06-09 哈尔滨芯明天科技有限公司 一种基于压电陶瓷的精密旋转机构
CN111510019A (zh) * 2020-04-22 2020-08-07 西安交通大学 具备传感信号调平功能的二维快速偏转调节装置及方法
CN112222439A (zh) * 2020-09-30 2021-01-15 哈尔滨芯明天科技有限公司 一种大承载超精密快速加工定位台

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PAULISH, A.G.等: ""Numerical Simulation of the Piezo-Optical Strain Sensor Gauge Factor"", 《OPTOELECTRONICS INSTRUMENTATION AND DATA PROCESSING 》 *
谢永等: ""基于位移放大机构的压电快速反射镜设计"", 《上海交通大学学报》 *
郑星等: ""压电陶瓷驱动器菱形位移放大机构的动态应变测量"", 《中国测试》 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN113219649B (zh) 2022-11-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107464586B (zh) 一种驱动力解耦的三自由度大行程微定位平台
US6465936B1 (en) Flextensional transducer assembly and method for its manufacture
CN1320290C (zh) 六自由度超磁致伸缩主动振动控制平台
US7893599B2 (en) Energy converters and associated methods
CN1860623B (zh) 用于振动能量收集的应变能量往复运行装置和方法
US20080129153A1 (en) Inertial energy scavenger
US6570298B2 (en) Vibration control device and driving method thereof
US6291928B1 (en) High bandwidth, large stroke actuator
CN113219649B (zh) 一种航天应用的高可靠压电偏摆镜
CN113315411B (zh) 平台移动装置
CN110065926B (zh) 二自由度scott-russell柔性微纳定位平台
CN114123852B (zh) 一种微动台及运动装置
EP2239792A1 (en) Positioning device and use of the same
CN109655222B (zh) 新型振动台
CN100587850C (zh) 一体化超精密工作台运动机构
CN112838787A (zh) 一种具有两级放大机构的粘滑式压电驱动器及其驱动方法
CN112327503A (zh) 一种光路指向精密调节装置
JP6498485B2 (ja) アクチュエータ及び直動モータ
CN108732745B (zh) 一种一维快速控制反射镜
CN213906578U (zh) 一种超精密平行放大式促动器
CN107238730A (zh) 一种压电式高频振动台
CN220568059U (zh) 一种微动平台
CN116155136B (zh) 二自由度解耦大行程柔性结构微动平台
US7231126B2 (en) Flexure arrangements
CN108922577B (zh) 基于激光尺非定轴检测方法的xyθ微定位平台设计

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant