CN113182306A - 芯片清洗装置以及清洗方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了芯片清洗装置以及清洗方法，所述装置包括电机；减速机，所述减速机与所述电机相连；偏心机构，所述偏心机构的一端与所述减速机相连；连杆，所述偏心机构的另一端与所述连杆的一端相连；清洗杆，所述清洗杆与所述连杆的另一端相连，芯片设在所述清洗杆上；清洗槽，所述清洗杆设在所述清洗槽内；固定架，所述固定架用于支撑固定所述芯片清洗装置。该芯片清洗装置结构简单，成本低，易操作，清洗效率高，节省了大量的人力，且在清洗过程中芯片不易破碎。

Description

芯片清洗装置以及清洗方法

技术领域

本发明涉及芯片清洗技术领域，具体而言，本发明涉及芯片清洗装置以及清洗方法。

背景技术

随着科学技术的不断发展，各种各样的芯片已广泛应用于人们的日常生活、工作以及工业中，为人们的生活带来了极大的便利。但是芯片在制备过程中，极易有颗粒、光刻残胶等异物附着在芯片表面，因此，芯片在组装之前需要进行清洗。

现有技术中清洗芯片的方法大体分为两种，第一种方法是手动抛动清洗，此方法容易造成芯片破碎，且耗费大量的人力，另外在清洗过程中，清洗抛动速度不可控。第二种方法是通过机械手臂进行抛动清洗，该方法存在价格高且维修难的缺点。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的目的在于提出芯片清洗装置以及清洗方法。该芯片清洗装置结构简单，成本低，易操作，清洗效率高，节省了大量的人力，且在清洗过程中芯片不易破碎。

在本发明的一个方面，本发明提出了一种芯片清洗装置。根据本发明的实施例，该芯片清洗装置包括：

电机；

减速机，所述减速机与所述电机相连；

偏心机构，所述偏心机构的一端与所述减速机相连；

连杆，所述偏心机构的另一端与所述连杆的一端相连；

清洗杆，所述清洗杆与所述连杆的另一端相连，芯片设在所述清洗杆上；

清洗槽，所述清洗杆设在所述清洗槽内；

固定架，所述固定架用于支撑固定所述芯片清洗装置。

根据本发明上述实施例的芯片清洗装置，通过设置偏心机构，偏心机构的一端连接减速机，另一端连接连杆，偏心机构在减速机的作用下，带动连杆运动，从而带动清洗杆运动；同时，由于偏心机构的存在，带动连杆运动时，会经过偏心机构偏心的位置，带动连杆上下抖动，从而带动清洗杆上下抖动，固定在清洗杆上的芯片也随着清洗杆上下抖动，从而达到清洗芯片的目的。另外，通过设置减速机，减速机与电机配合使用，从而实现清洗杆的清洗抛动速度可调。该芯片清洗装置结构简单，成本低，易操作，清洗效率高，节省了大量的人力，且在清洗过程中芯片不易破碎。

另外，根据本发明上述实施例的芯片清洗装置还可以具有如下附加的技术特征：

在本发明的一些实施例中，所述芯片清洗装置还包括固定件，所述固定件设在所述清洗杆与所述固定架的连接处，由此，将所述清洗杆固定在所述固定架上，使清洗杆在清洗槽内运动，避免清洗杆随意晃动。

在本发明的一些实施例中，所述清洗杆为可伸缩杆，由此可根据清洗槽的深度调节清洗杆的长度，使该清洗杆适用于各种深度的清洗槽。

在本发明的一些实施例中，所述固定架包括第一支架、第二支架和第三支架，所述第一支架的一端与所述减速机相连，所述第一支架的另一端与所述第三支架垂直连接，所述第二支架设在所述第一支架与所述第三支架之间。

在本发明的一些实施例中，所述偏心机构包括第一固定轴、连接轴、偏心滑轨、缓冲杆和第二固定轴，所述第一固定轴与所述减速机相连，所述连接轴与所述第一固定轴通过所述偏心滑轨连接且连接在不同点上，所述缓冲杆连接在所述连接轴与所述第二固定轴之间，所述缓冲杆通过第二固定轴与所述连杆相连。

在本发明的一些实施例中，所述芯片通过夹具固定在所述清洗杆上，由此，固定在清洗杆上的芯片也随着清洗杆上下抖动，从而达到清洗芯片的目的。

在本发明的另一方面，本发明提出了一种采用上述的芯片清洗装置对芯片进行清洗的方法，包括：

(1)安装各部件，将芯片固定在清洗杆上，在清洗槽内放置清洗液；

(2)启动电机和减速机，对芯片进行清洗。

本发明实施例所述的对芯片进行清洗的方法，该方法简单快捷，只需将芯片固定在清洗杆上，在清洗槽内放置清洗液，启动电机和减速机，即可对芯片进行清洗，不仅使用方便，易操作，清洗效率高，节省了大量的人力，且在清洗过程中芯片不易破碎。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本发明实施例的芯片清洗装置的结构示意图。

图2是根据本发明实施例的偏心机构的结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本发明的一个方面，本发明提出了一种芯片清洗装置，参考附图1，所述装置包括：电机1、减速机2、偏心机构3、连杆4、清洗杆6、清洗槽8和固定架。下面进一步对根据本发明实施例的芯片清洗装置进行详细描述。

根据本发明的实施例，所述电机1的作用是为芯片清洗装置的运转提供动力，即为偏心机构3、连杆4和清洗杆6的抛动清洗提供动力。所述电机1与所述减速机2相连，所述减速机2的作用是调节偏心机构3、连杆4和清洗杆6的抛动速度，减速机2与电机1配合使用，从而实现清洗杆6的清洗抛动速度可调。

根据本发明的实施例，上述电机1的型号并不受特别限制，本领域人员可根据实际情况随意选择。同样地，上述减速机2的型号并不受特别限制，本领域人员可根据实际情况随意选择。

根据本发明的实施例，所述减速机2设计在清洗装置上部，不影响清洗槽的使用。

根据本发明的实施例，所述偏心机构3的一端与所述减速机2相连(可将调偏心机构3连接到减速机2的轴承上)，所述偏心机构3的另一端与所述连杆4的一端相连，偏心机构3在减速机2的作用下，带动连杆4运动，从而带动清洗杆6运动；同时，由于偏心机构3的存在，带动连杆4运动时，会经过偏心机构3偏心的位置，带动连杆4上下抖动，从而带动清洗杆6上下抖动，固定在清洗杆6上的芯片也随着清洗杆6上下抖动，从而达到清洗芯片的目的。

根据本发明的一个具体实施例，参考附图2，所述偏心机构3包括第一固定轴9、连接轴10、偏心滑轨11、缓冲杆12和第二固定轴13，所述第一固定轴9与所述减速机2相连，所述连接轴10与所述第一固定轴9通过所述偏心滑轨11连接且连接在不同点上，所述缓冲杆12连接在所述连接轴10与所述第二固定轴13之间，所述缓冲杆12通过第二固定轴13与所述连杆4相连。

根据本发明的实施例，所述偏心机构3设计为可更换型，角度调整范围较大，从而影响伸缩幅度。

根据本发明的实施例，连杆4，所述连杆4的一端与所述偏心机构3相连，所述连杆4的另一端与所述清洗杆6相连，连杆4的作用连接偏心机构3与清洗杆6。

根据本发明的实施例，清洗杆6，所述清洗杆6与所述连杆4的另一端相连，芯片设在所述清洗杆6上，固定在清洗杆6上的芯片也随着清洗杆6上下抖动，从而达到清洗芯片的目的。

根据本发明的再一个具体实施例，所述清洗杆6为可伸缩杆，由此可根据清洗槽8的深度调节清洗杆6的长度，使该清洗杆6适用于各种深度的清洗槽8。

根据本发明的实施例，连杆4主要为金属材料，固定件5和清洗杆6为特氟龙材料，以保证可以用在酸碱环境中。

根据本发明的实施例，清洗槽8，所述清洗槽8设在该装置的下部，所述清洗杆6设在所述清洗槽8内。所述清洗槽8内放置清洗溶液，用于清洗固定在清洗杆6上的芯片，例如酸性或者碱性液体，只要不破坏芯片同时又能达到清洗芯片的目的均可。

根据本发明的实施例，固定架，所述固定架用于支撑固定所述芯片清洗装置。根据本发明的又一个具体实施例，所述固定架包括第一支架7-1、第二支架7-2和第三支架7-3，所述第一支架7-1的一端与所述减速机2相连，所述第一支架7-1的另一端与所述第三支架7-3垂直连接，所述第二支架7-2设在所述第一支架7-1与所述第三支架7-3之间。所述第一支架7-1的作用是固定所述芯片清洗装置的上部分结构，即固定电机1、减速机2、偏心机构3和连杆4，通过螺丝将减速机2与第一支架7-1相固定；所述第三支架7-3的作用是固定所述芯片清洗装置的下部分结构，即固定连杆4、清洗杆6和固定件5；所述第二支架7-2的作用是固定所述第一支架7-1与所述第三支架7-3，避免所述第一支架7-1与所述第三支架7-3之间相对移动。

根据本发明的又一个具体实施例，所述芯片通过夹具固定在所述清洗杆6上，固定在清洗杆6上的芯片也随着清洗杆6上下抖动，从而达到清洗芯片的目的。

根据本发明的又一个具体实施例，参考附图1，所述芯片清洗装置还包括固定件5，所述固定件5设在所述清洗杆6与所述固定架的连接处，由此，将所述清洗杆6固定在所述固定架上，使清洗杆6在清洗槽8内运动，避免清洗杆6随意晃动。

本发明的芯片清洗装置至少具有如下优点之一：

1)通过设置偏心机构，偏心机构的一端连接减速机，另一端连接连杆，偏心机构在减速机的作用下，带动连杆运动，从而带动清洗杆运动；同时，由于偏心机构的存在，带动连杆运动时，会经过偏心机构偏心的位置，带动连杆上下抖动，从而带动清洗杆上下抖动，固定在清洗杆上的芯片也随着清洗杆上下抖动，从而达到清洗芯片的目的。

2)通过设置减速机，减速机与电机配合使用，从而实现清洗杆的清洗抛动速度可调。

3)该芯片清洗装置结构简单，易操作，清洗效率高，节省了大量的人力，且在清洗过程中芯片不易破碎。

4)所述清洗杆为可伸缩杆，由此可根据清洗槽的深度调节清洗杆的长度，使该清洗杆适用于各种深度的清洗槽。

在本发明的第二个方面，本发明提出了一种采用上述的芯片清洗装置对芯片进行清洗的方法，包括：

(1)安装各部件，在清洗槽8内放置合适量的清洗液；

(2)启动电机1和减速机2，减速机2与电机1配合使用，偏心机构3在减速机2的作用下，带动连杆4运动，从而带动清洗杆6运动；同时，由于偏心机构3的存在，带动连杆4运动时，会经过偏心机构3偏心的位置，带动连杆4上下抖动，从而带动清洗杆6上下抖动，固定在清洗杆6上的芯片也随着清洗杆6上下抖动，从而达到清洗芯片的目的。

本发明实施例所述的对芯片进行清洗的方法，该方法简单快捷，只需将芯片固定在清洗杆上，在清洗槽内放置清洗液，启动电机和减速机，即可对芯片进行清洗，不仅使用方便，易操作，清洗效率高，节省了大量的人力，且在清洗过程中芯片不易破碎。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (7)

1.一种芯片清洗装置，其特征在于，包括：

电机；

减速机，所述减速机与所述电机相连；

偏心机构，所述偏心机构的一端与所述减速机相连；

连杆，所述偏心机构的另一端与所述连杆的一端相连；

清洗杆，所述清洗杆与所述连杆的另一端相连，芯片设在所述清洗杆上；

清洗槽，所述清洗杆设在所述清洗槽内；

固定架，所述固定架用于支撑固定所述芯片清洗装置。

2.根据权利要求1所述的芯片清洗装置，其特征在于，还包括固定件，所述固定件设在所述清洗杆与所述固定架的连接处。

3.根据权利要求1所述的芯片清洗装置，其特征在于，所述清洗杆为可伸缩杆。

4.根据权利要求1所述的芯片清洗装置，其特征在于，所述固定架包括第一支架、第二支架和第三支架，所述第一支架的一端与所述减速机相连，所述第一支架的另一端与所述第三支架垂直连接，所述第二支架设在所述第一支架与所述第三支架之间。

5.根据权利要求1所述的芯片清洗装置，其特征在于，所述偏心机构包括第一固定轴、连接轴、偏心滑轨、缓冲杆和第二固定轴，所述第一固定轴与所述减速机相连，所述连接轴与所述第一固定轴通过所述偏心滑轨连接且连接在不同点上，所述缓冲杆连接在所述连接轴与所述第二固定轴之间，所述缓冲杆通过第二固定轴与所述连杆相连。

6.根据权利要求1所述的芯片清洗装置，其特征在于，所述芯片通过夹具固定在所述清洗杆上。

7.一种采用权利要求1-6任一项所述的芯片清洗装置对芯片进行清洗的方法，其特征在于，包括：

(1)安装各部件，将芯片固定在清洗杆上，在清洗槽内放置清洗液；

(2)启动电机和减速机，对芯片进行清洗。

Images