CN113167546A - 均热板 - Google Patents

Abstract

提供一种均热板，其具有使工作液体从芯的端部到中心部循环并且赋能防止干透的发生的优异功能。一种均热板，包括：外壳，其由面对彼此且外周边结合到彼此的第一片材和第二片材形成；工作液体，其密封于所述外壳中；和芯，其部署在所述第一片材或所述第二片材的内壁表面上。壁部部署在所述芯周围，如所述外壳的内部的俯视图中所见。

Description

均热板

技术领域

本公开总体上涉及热接地平面。

背景技术

近来，随着实现电子设备的更高集成度和更高性能，发热值增加。此外，随着产品的小型化，热量生成密度增加，且因此用于应对热量的辐射的措施变为重要的。这种情形在移动终端(例如，移动智能手机或平板设备)中是更明显的，且热设计已经变得极度困难。虽然石墨片材等用作用于应对热量的构件，但石墨片材等的传热量不是充足的。

Vapor chamber(均热板或蒸汽室)为具有高传热能力的用于应对热量的构件，均热板为平面热量导管。均热板展现了整体上优异的Apparent thermal conductivity(表观热导率)，其表观热导率近似于金属(例如，铜或铝)的表观热导率的数倍至数十倍那样大。

作为使用均热板的用于应对热量的构件，例如，专利文献1公开一种用于应对热量的片材类型构件，其中，芯、非织造织物和工作液体密封于通过结合金属片材形成的类似片材的外壳中。

发明内容

一些实施例包括一种均热板，包括：外壳，其具有：第一片材，其具有第一内壁表面，和第二片材，其具有第二内壁表面，所述第一片材的所述第一内壁表面与所述第二片材的所述第二内壁表面面对彼此，且所述第一片材与所述第二片材的外周边结合到彼此；均热板可以还包括：工作液体，其密封于所述外壳中；芯，其部署在所述第一片材的所述第一内壁表面上；和壁部，其部署在所述第一片材的所述第一内壁表面上的所述芯周围。

在一些实施例中，所述壁部部署在所述芯周围，如所述外壳的内部的俯视图中所见。

在一些实施例中，所述壁部的上表面的形状顺应面对所述壁部的所述第二片材的部分处所述第二片材的所述第二内壁表面的形状。

在一些实施例中，所述芯由多个柱状突出部和部署在所述突出部上的网格形成。在一些实施例中，所述网格部署在所述壁部的上表面上。在一些实施例中，所述网格包括具有高毛细管作用的材料。在一些实施例中，所述网格包括多孔材料或非织造织物。在一些实施例中，所述突出部具有1μm或更大至100μm或更小的高度。在一些实施例中，所述网格包括0.10μm至50μm的孔径尺寸。

在一些实施例中，所述工作液体包括水或酒精或替选碳氟化合物。

在一些实施例中，所述均热板可以包括多个支撑柱，其部署在所述第二片材的所述第二内壁表面上。在一些实施例中，所述均热板可以包括腔体，其部署在所述芯与所述第二片材之间。

在一些实施例中，所述第一片材或所述第二片材具有200μm或更小的厚度。

公开一种方法，其可以包括：用具有第一多个间隙的第一图案将抗电镀剂放置在片材上；将填充所述第一图案中的所述第一多个间隙的电镀施加到所述片材；去除所述抗电镀剂；用具有第二多个间隙的第二图案将抗蚀剂放置在所述片材上；蚀刻所述片材以去除与所述第二多个间隙对应的所述片材的部分；以及去除所述抗蚀剂。

在一些实施例中，使用印刷或曝光显影将所述抗电镀剂放置在所述片材上。在一些实施例中，所述片材和所述抗电镀剂包括不同的材料。在一些实施例中，所述蚀刻在所述片材上形成多个突出部和壁部。

在一些实施例中，所述方法可以包括：执行后表面抛光。在一些实施例中，所述方法可以包括：用第二片材的周边密封所述片材的周边。

在一些实施例中，当从外壳的上表面观看外壳的内部时，密封于外壳中的工作液体在芯的中心部处汽化，并在芯的端部(外周边部)处液化。

然后，芯的端部处液化的工作液体归因于毛细管现象而朝向芯的中心部移动，且因此可能获取传热效果。

以芯的端部处液化的工作液体朝向芯的中心部流动的为前提实现上述机制。然而，在比芯的端部稍微更靠内部的点处，已经存在工作液体并非朝向芯的中央部而是朝向芯的端部流动(逆流)的情况。

当工作液体逆向地流动时，工作液体的汽化发生在芯的端部或芯的外部处，且因此工作液体停滞在芯的端部的周边上。

当工作液体的这种停滞发生时，工作液体不再供应到芯的中心部，且因此已经存在芯的中心部变为干透的情况，从而称为“干透(dry-out)”的现象发生。

当干透发生时，工作液体的汽化并不发生在靠近热源的芯的中心部处，且因此来自热源的热量不能被吸收。在此情况下，热源的温度不降低，且因此存在疑虑：电子部件(例如，CPU)归因于电子部件的热失控而变为有缺陷的，且移动终端的表面温度变为高于所估计的温度。

已经鉴于上述情形进行本发明，并且本发明的目的是提供一种均热板，其具有使工作液体从芯的端部到中心部循环因而赋能防止干透的发生的优异功能。

本发明的各个实施例中描述的均热板包括：外壳，其由面对彼此且外周边结合到彼此的第一片材和第二片材形成；工作液体，其密封于所述外壳中；和芯，其部署在所述第一片材或所述第二片材的内壁表面上，其中，壁部部署在所述芯周围，如所述外壳的内部的俯视图中所见。

根据本发明的一些实施例，可以提供提供均热板，其具有使工作液体从芯的端部到中心部循环因而赋能防止干透的发生的优异功能。

提及这些说明性实施例并非限制或限定本公开，而是提供示例以协助理解它。在具体实施方式中讨论附加实施例，并且在此提供进一步的描述。通过检查本说明书或通过实践所提出的一个或多个实施例，可以进一步理解由各个实施例中的一个或多个提供的优点。

附图说明

当参照附图阅读以下具体实施方式时，更好地理解本公开的这些和其他特征、方面和优点。

图1是示意性地示出均热板的结构的一个示例的截面图。

图2(a)和图2(b)是示意性地示出部署在芯周围的壁部的位置的俯视图。

图3是以放大方式示出由图1中的虚线A指示的区域的放大截面图。

图4是示意性地示出壁部具有不同形状的示例中的区域的放大截面图。

图5是示意性地示出网格部署在壁部的上表面上的示例中的区域的放大截面图。

图6是示意性地示出网格部署在壁部的上表面上的另一示例中的区域的放大截面图。

图7是示意性地示出壁部延伸到均热板的边缘的示例中的区域的放大截面图。图8(a)、图8(b)、图8(c)和图8(d)是示意性地示出制造芯和壁部的步骤的一个示例的截面图。

图9(a)、图9(b)、图9(c)和图9(d)是示意性地示出制造芯和壁部的步骤的一个示例的截面图。

图10(a)、图10(b)、图10(c)和图10(d)是示意性地示出制造芯和壁部的步骤的一个示例的截面图。

具体实施方式

在一些实施例中，公开一种均热板(或热接地平面，Thermal ground plane)。然而，各个实施例不限于本文献中描述的各种配置，并且各个实施例或发明可在本发明的所公开的实施例的要旨不改变的范围内通过合适的修改而适用。此外，通过组合本文献中描述的两个或更多个示例、实施例或配置获得的实施例或配置也落入本发明的范围内。

仅作为示例实施例提供本文献中描述的各个实施例。不同实施例中描述的各个实施例和实施例的配置可以部分地彼此替换或组合。

根据本发明的均热板是一种均热板，包括：外壳，其由面对彼此且外周边结合到彼此的第一片材和第二片材形成；工作液体，其密封于所述外壳中；和芯，其部署在所述第一片材或所述第二片材的内壁表面上，其中，壁部部署在所述芯周围，如所述外壳的内部的俯视图中所见。

图1是示意性地示出根据一些实施例的均热板的结构的一个示例的截面图。

图1所示的均热板1包括例如：外壳10，其由面对彼此的第一片材11和第二片材12形成；工作液体20，其密封于外壳10中；芯30，其部署在第一片材11的第一内壁表面11a上；和多个支撑柱40，其部署在第二片材12的第二内壁表面12a上。腔体13形成于外壳10中。

为了确保腔体13，第一片材11和第二片材12由支撑柱40支撑。

第一片材11和第二片材12在这些片材的外边缘处结合到彼此并受密封。

在外壳10中，芯30部署在外壳10的内壁表面10a上。芯30由以下部分形成：多个突出部31，其按预定间隔部署在第一片材11的内壁表面11a上；和网格32，其部署在突出部31上。

可以与第一片材11一体地形成突出部31。例如，突出部31可以通过蚀刻等形成于第一片材11的内壁表面11a上。以相同方式，可以与第二片材12一体地形成支撑柱40。例如，支撑柱40可以通过蚀刻等形成于第二片材12的内壁表面12a上。

在一些实施例中，工作液体20可以按液相浸渍到芯30中。在一些实施例中，工作液体20可以按气相(当工作液体是水时，水蒸气)存在于腔体13中。

在一些实施例中，壁部60可以部署在芯30周围。稍后描述壁部的细节。

在一些实施例中，热量生成构件70可以部署在第一片材11的外壁表面上。

归因于热量生成构件70的热量，存在于恰在热量生成构件70上方的芯30中的一些或所有工作液体20可以汽化，和/或从热量生成构件70取得热量并可以汽化的工作液体可以从网格32移动到腔体13。

在一些实施例中，汽化的工作液体在外壳10中移动和/或在外壳10的外边缘附近冷凝，以使得工作液体变为液相。

在一些实施例中，液相的工作液体20可以经由毛细管作用在芯30中移动。在一些实施例中，工作液体20可以在芯30中朝向热量生成构件70移动。工作液体20可以去除功，以从热量生成构件70去除热量。

在一些实施例中，随着热量从生成构件70传递到工作液体20并且工作液体20例如比如以循环方式在外壳内移动，热量生成构件70可以由均热板冷却。

在一些实施例中，壁部可以部署在芯30周围，如在外壳的内部的俯视图中所见。

图2(a)和图2(b)是示意性地示出根据一些实施例的部署在芯周围的壁部的位置的俯视图。

在图2(a)中，示出形成芯30的多个突出部31。突出部31部署在第一片材11的内壁表面11a上。归因于形成多个突出部31，工作液体可以保持于突出部之间。

在一些实施例中，壁部60可以部署在芯30周围。

在一些实施例中，壁部60可包围芯30的周边，以使得由壁部60形成封闭空间。例如，可能并非总是必要的是，芯30的整个周边由壁部60包围。在一些实施例中，壁部60可以仅包围芯30的周边的部分。

在一些实施例中，壁部60可以包围芯60的整个周边或芯30的整个周边的可观量。

在一些实施例中，可以与第一片材11一体地形成壁部60。例如，壁部60可以通过蚀刻等形成在第一片材的内表面上。在一些实施例中，可以通过蚀刻与突出部31同时地形成壁部。

在一些实施例中，可以使用与突出部30相同的材料形成壁部60。在一些实施例中，可以使用相同材料形成壁部60、突出部30和第一片材11。

在一些实施例中，壁部60的高度可以并非特定地受限制。在一些实施例中，壁部的高度可以是1μm或更大和/或100μm或更小。在一些实施例中，壁部的高度可以是5μm或更大和/或50μm或更小。在一些实施例中，壁部的高度可以是15μm或更大和/或30μm或更小。在一些实施例中，当芯包括突出部31时，例如，壁部的高度可以等于突出部31的高度。

在例如比如通过蚀刻同时地形成壁部和突出部的一些实施例中，壁部的高度和突出部的高度可以设置得彼此相等。

在一些实施例中，壁部的宽度(例如，由图2(a)中的两个箭头W指示的宽度)可以并非特定地受限制。在一些实施例中，壁部的宽度可以是10μm或更大和/或5000μm或更小。在一些实施例中，壁部的宽度可以是50μm或更大和/或200μm或更小。在一些实施例中，壁部的宽度可以是10μm或更大和/或7000μm或更小。在一些实施例中，壁部的宽度可以是10μm或更大和/或2000μm或更小。在一些实施例中，壁部的宽度可以是100μm或更大和/或1000μm或更小。

在一些实施例中，芯可以包括部署在多个柱状突出部上的网格。

图2(b)示出网格32部署在形成芯30的多个突出部31上。在一些实施例中，网格32并非部署在壁部60的上表面上。在一些实施例中，网格32可以具有汽化的工作液体和液化的工作液体可以经过的尺寸的孔径。例如，网格32可以具有0.10μm或更大至50μm或更小的孔径尺寸。

例如，网格可以包括非织造织物或多孔材料。

图3是以放大方式示出根据一些实施例的由图1中的虚线A指示的区域的放大截面图。

在一些实施例中，通过在芯30周围提供壁部60，在液化的工作液体20存在于芯30的端部处的情况下，可以防止工作液体20流动到壁部60的外部(在图3中由X指示)，以及防止工作蒸汽流动到芯30的端部中。相应地，工作液体移动的方向受控制。例如，工作液体可以朝向芯的中心部移动，并且因此，工作液体连续地供应到芯的中心部。

在一些实施例中，壁部的上表面的形状可以具有面对壁部的第二片材的部分处实质上顺应第二片材的相对内壁表面的形状的形状。

图4是示意性地示出根据一些实施例的壁部具有不同形状的示例中的区域的放大截面图。在图4中，壁部60的上表面60a面对第二片材12的内壁表面12a。

壁部60的上表面60a的形状例如可以是实质上顺应第二片材12的内壁表面12a的形状的形状。例如，壁部60的上表面60a的形状可以实质上是顺应第二片材12的内壁表面12a的倾斜而倾斜形状。其他配置与作为放大截面图的图3所示的对应配置等同。

在一些实施例中，通过将壁部的上表面形状形成为顺应面对壁部的第二片材(例如，相对片材)的内壁表面的形状的形状，可以减少外壳的外边缘处的空间。在一些实施例中，在空间形成于外壳的外边缘处并且工作液体停滞在空间中的情况下，外壳中循环的工作液体的量降低。在一些实施例中，外壳的外边缘处的空间的体积可以是小的(例如，比如，小于大约0.05、0.025、0.01、0.005mL等)。作为另一示例，外壳的外边缘处的空间的体积可以小于均热板的内部体积的大约5％、2.5％、1％、0.5％等。

在一些实施例中，通过将壁部的上表面形状形成为顺应面对壁部的第二片材的部分处的第二片材的内壁表面的形状的形状，可以减少外壳的外边缘处的空间。

在一些实施例中，壁部的上表面可以倾斜。通过该配置，例如，工作液体可以通过攀爬壁部的上表面而到达芯。

在一些实施例中，网格可以部署在壁部的上表面上。图5是示意性地示出根据一些实施例的网格部署在壁部的上表面上的示例中的区域的放大截面图。如图5所示，网格32也部署在壁部60的上表面60a上。

其他配置与作为放大截面图的图3所示的对应配置等同。

在一些实施例中，在网格也处于壁部的上表面上的情况下，存在于外壳外缘处和/或壁部的外部的工作液体可以由壁部上的网格吸收，和/或可以通过毛细管作用返回芯的中心部。

在一些实施例中，可以通过在壁部的上表面上部署网格增强工作液体的循环或流动。

图6是示意性地示出根据一些实施例的网格部署在壁部的上表面上的另一示例中的区域的放大截面图。

在一些实施例中，如图6所示的配置所示，壁部60的上表面60a倾斜，以使得壁部60的上表面的形状形成为顺应面对壁部60的上表面60a的第二片材12的内壁表面12a的形状的形状，并且网格32部署在壁部60的上表面60a上。

通过该配置，在一些实施例中，可以减少外壳的外边缘处的空间的体积。在一些实施例中，工作液体可以更容易地攀爬壁部的上表面，和/或工作液体的循环性质可以得以进一步增强。

包括壁部的材料不受限制。例如，壁部可以由金属制成。例如，可以使用多孔材料形成壁部。作为另一示例，可以使用具有等于或小于网格的孔径直径的多孔材料形成壁部。

在一些实施例中，包括壁部的材料可以是不与水反应的材料。在一些实施例中，可以使用具有高耐热性(例如，100℃或更高的耐热温度)的材料形成壁部。

在一些实施例中，外壳的形状可以并非特定地受限制。例如，在一些实施例中，外壳的平面形状(从图1中的附图中的上侧观看的形状)可以是多边形(例如，三角形或矩形、圆形、椭圆形或通过组合这些形状形成的形状)。

在一些实施例中，形成外壳的第一片材和第二片材可以与彼此重叠以使得这些片材的端部与彼此一致，或者可以与彼此重叠以使得这些片材的端部距彼此移位。

在一些实施例中，用于形成第一片材和第二片材的材料可以并非特定地受限制，只要材料具有适合于用于形成均热板的性质(例如，导热性、强度或柔性)。在一些实施例中，用于形成第一片材和/或第二片材的材料可以是金属(例如，比如铜、镍、铝、镁、钛、铁或含有这些金属作为主要成分的合金)。在一些实施例中，用于形成第一片材和/或第二片材的材料可以是铜或铜合金。

在一些实施例中，用于形成第一片材的材料和用于形成第二片材的材料可以不同于彼此。例如，通过使用具有高强度的材料以用于形成第一片，可以分散施加到外壳的应力。此外，通过使这两个片材的材料不同于彼此，一个片材可以获得一种功能，而另一片材可以获得另一功能。虽然上述功能并非特定地受限制，但例如可以列举导热功能、电磁波屏蔽功能等。

在一些实施例中，第一片材和第二片材的厚度并非特定地受限制。例如，当第一片材和第二片材极度薄时，外壳的强度可能降低，以使得外壳可能变形。在一些实施例中，第一片材和/或第二片材的厚度可以是20μm或更大。在一些实施例中，第一片材和/或第二片材的厚度可以均为30μm或更大。

另一方面，当第一片材和第二片材变得极度厚时，减少整个均热板的厚度可能变得困难。在一些实施例中，第一片材和/或第二片材的厚度均为200μm或更小。作为另一示例，第一片材和/或第二片材的厚度可以是150μm或更小。作为另一示例，第一片材和第二片材的厚度可以是100μm或更小。作为另一示例，第一片材或第二片材的厚度可以彼此相等或可以彼此不同。

在形成芯的突出部与第一片材一体地形成的一些实施例中，第一片材的厚度可以由不与突出部接触的第一片材的部分的厚度确定。在支撑柱与第二片材一体地形成的一些实施例中，第二片材的厚度由不与支撑柱接触的第二片材的部分的厚度确定。

在一些实施例中，第一片材可以具有固定厚度。在一些实施例中，第一片材可以具有大厚度部分和小厚度部分。在一些实施例中，第二片材可以具有固定厚度。在一些实施例中，第二片材可以具有大厚度部分和小厚度部分。在一些实施例中，不与支撑柱接触的第二片材的部分可以朝向外壳的内部缩进。

在一些实施例中，工作液体可以并非特定地受限制。在一些实施例中，工作液体可以在外壳中的大气下生成气液相变。例如，水、酒精、替选碳氟化合物等可以用作工作液体。例如，替选碳氟化合物可以遵循美国环境保护署(EPA)制定的清单。在一些实施例中，工作液体是水性化合物。在一些实施例中，工作液体是水。

在一些实施例中，芯可以并非特定地受限制。在一些实施例中，芯可以具有毛细管结构，其可以归因于毛细管作用而使工作液体移动。例如，芯的毛细管结构可以采用传统均热板中使用的已知结构。在一些实施例中，具有不平整度的微精细结构(例如，精细孔隙、槽或突出)可以用于毛细管结构。例如，多孔结构、纤维结构、槽结构、网结构等可以用作毛细管结构。

在一些实施例中，芯可以连续地部署在外壳中的汽化部分(例如，汽化器)和冷凝部分(例如，冷凝器)之间。在一些实施例中，芯的至少一部分可以与外壳一体地形成。

在一些实施例中，芯可以包括第一片材的内壁表面上的多个突出部。例如，可以将工作液体保持在突出部之间，和/或可以增强均热板的传热能力。

例如，突出部表示与周围区域的高度相比具有更大高度的部分。例如，归因于内壁表面上形成的周围区域中的凹入部分(例如，槽等)，突出部可以包括与周围相比具有更大高度的部分。例如，突出部可以包括从内壁表面突出的部分。

在一些实施例中，其中，芯可以包括突出部。突出部的高度可以并非特定地受限制。在一些实施例中，突出部的高度是1μm或更大至100μm或更小。在一些实施例中，突出部的高度是5μm或更大至50μm或更小。在一些实施例中，突出部的高度是15μm或更大至35μm或更小。

在一些实施例中，通过将突出部的高度设置为大于周围的高度，可以进一步增加工作液体的保留量。在一些实施例中，通过进一步降低突出部的高度，可以确保工作液体的蒸汽移动的更大腔体。

在一些实施例中，可以通过调整突出部的高度调整均热板的传热和/或均热板的热扩散的能力。

在一些实施例中，突出部之间的距离可以并非特定地受限制。在一些实施例中，突出部之间的距离是1μm或更大至500μm或更小。在一些实施例中，突出部之间的距离是5μm或更大至300μm或更小。在一些实施例中，突出部之间的距离是15μm或更大至200μm或更小。在一些实施例中，通过降低突出部之间的距离，可以进一步增加毛细管现象。例如，通过增加突出部之间的距离，可以增加均热板的渗透性。例如，随着均热板渗透性的增加，热室传热能力可以增加。

在一些实施例中，突出部的形状可以并非特定地受限制。在一些实施例中，突出部可以包括圆柱形状、角柱形状、圆截头圆锥形状、角截头圆锥形状等。

在一些实施例中，可以按图案布置突出部。图案可以包括任何类型的图案(例如，比如，平行于壁60的突出部的矩形阵列；按角度(例如，距壁45度偏移)的突出部的矩形阵列；突出部的六边形阵列；放射状阵列(例如，螺旋阵列)等)。突出部至少具有规则布置图案或不规则布置图案。

在一些实施例中，芯可以包括与内壁表面相对的第一片材的一侧的表面上的网格、非织造织物或多孔材料。例如，芯可以由以预定间隔部署在第一片材的内壁表面上的多个突出部和/或部署在突出部上的高毛细管力构件(例如，网格、非织造织物或多孔材料)形成。作为另一示例，芯可以由直接部署在第一片材的内壁表面上的网格、非织造织物或多孔材料形成。

在一些实施例中，芯可以包括部署在多个突出部上的网格。网格可以具有0.01μm或更大至50μm或更小的孔径尺寸。

在一些实施例中，当网格的孔径的尺寸是小的时，蒸汽沿着朝向芯的端部流动的工作液体的逆流进入芯中可能发生。即使毛细管作用可能归因于网格孔径尺寸的小而增加，该情况也可能发生。在一些实施例中，壁部可以部署在芯周围，这样可以减轻或消除蒸气逆流到芯中。

关于网格的孔径的尺寸与突出部高度的关系，当突出部的高度大于网格的孔径的直径时，工作蒸汽进入朝向芯的端部流动的工作液体的逆流中可能发生。在一些实施例中，壁部可以部署在芯周围，并且因此，归因于工作液体蒸汽的该逆流而引起的缺点可以得以消除。

即，根据本发明的均热板的配置合适地适用于这样的情况：关于网格的孔径的尺寸与突出部的高度之间的关系，突出部的高度大于网格的孔径的直径。

在一些实施例中，支撑柱可以从内部支撑第一片材和第二片材。因为支撑柱部署在外壳中，所以即使当外壳中的压力降低和/或外部压力从外壳的外部等施加到外壳时，支撑柱也可以抑制外壳的变形。支撑柱例如可以通过直接接触方式支撑第一片材或第二片材，或者例如可以通过其他构件(例如，芯)的方式支撑第一片材或第二片材。

在一些实施例中，支撑柱的形状可以并非特定地受限制。例如，支撑柱可以具有圆柱形状、角柱形状、圆截头圆锥形状、角截头圆锥形状等。

在一些实施例中，支撑柱的布置可以并非特定地受限制。例如，可以均匀地布置支撑柱。作为另一示例，可以按格栅点方式布置支撑柱，以使得支撑柱之间的距离具有固定值。例如，通过均匀地布置支撑柱，均热板可以遍及整个结构确保均匀的强度。

根据本发明的均热板不限于上述实施例，并且可以在本发明的范围内关于均热板的配置、制造条件等进行各种修改和改变。

例如，芯可以部署在均热板的第二片材的内壁表面上。例如，支撑柱可以通过芯的方式支撑第二片材，而不与第二片材直接接触。

在一些实施例中，均热板的传热和/或均热板的热扩散的能力可以允许均热板用作热辐射器件。

本文献中公开的均热板的各个实施例和示例可以允许缩小尺寸(例如，比如，减少均热板的厚度)。例如，均热板可以用在要求缩小尺寸的设备(例如，电子设备)内。

在一些实施例中，制造均热板的方法可以并非特定地受限制。例如，可以通过这样的方式获得上述配置：使壁部部署在芯周围的第一片材和部署支撑柱的第二片材与彼此重叠，第一片材和第二片材可以在留下用于填充工作液体的开口部分的同时结合到彼此，并且可以通过开口部分在外壳中填充工作液体，并且可以密封开口部分。

在一些实施例中，第一片材和第二片材的结合方法可以并非特定地受限制。例如，可以使用激光焊接、电阻焊接、扩散焊接、钎焊、钨极惰性气体保护(TIG)焊接、超声焊接、树脂密封等结合第一片材和第二片材。

在一些实施例中，将壁部布置在芯周围的方法可以并非特定地受限制。例如，金属片材可以用作第一片材，并且多个突出部和壁部可以通过蚀刻金属片得以同时地或实质上同时地形成。

在一些实施例中，为了获得壁部部署在芯周围的结构，可以在形成多个突出部和壁部之后将网格放置在多个突出部上。

在下文中，参考附图描述制造芯和壁部的步骤的示例。

图7是示意性地示出壁部具有不同形状的示例中的区域的放大截面图。

在图4中，壁60存在于均热板的边缘附近。即，壁60延伸到片材11和片材12面对彼此(例如，比如，片材11和片材12是片材12结合)的点。

在一些实施例中，将壁60延伸到片材11和/或片材12的边缘，均热板的尾部的刚度可以增加，和/或均热板可以变得难以弯曲。

在一些实施例中，壁60的宽度可以是1mm或更大和/或10mm或更小。在一些实施例中，壁60可以与片材11一体化。例如，一体化可以增加刚度和/或可以减少部件的数量并且促进组装。

在一些实施例中，网格32可以或可以不覆盖壁60，如图4所示。

在一些实施例中，至少一个或所有支撑柱40可以与壁60重叠。

通过布置支撑柱40以使得与壁60重叠，垂直方向上的刚性更可靠地增加，并且变得易于保证空间。此外，支撑柱40可以部署在不与壁60重叠的位置处。在此情况下，可以保证更多的蒸汽空间，并且增加均热板的特性。图7是实施例的截面图。

图8(a)、图8(b)、图8(c)和图8(d)是示意性地示出可以用以制造芯和壁部的步骤的示例的截面图。

首先，如图8(a)所示，制备片材110。例如，片材110可以包括金属和/或具有大于均热板的第一片材的厚度与突出部的厚度之和的厚度。

然后，如图8(b)所示，可以通过诸如印刷或曝光显影等的技术在片材110上形成抗蚀剂140。形成抗蚀剂140的位置是待形成突出部和/或壁部的位置。

然后，如图8(c)所示，通过对片材110施加蚀刻并且剥离抗蚀剂，突出部31和壁部60保留在未施加蚀刻的部分处。可以执行蚀刻，以使得具有与第一片材11的厚度相等的厚度的片材110通过调整蚀刻深度而保留。

网格32可以放置在突出部31上。例如，网格32和突出部31可以通过焊接、电镀等结合到彼此，或者网格32和突出部31可以使用粘合剂粘合到彼此。

使用这些步骤，例如，可以创建芯30和壁部60部署在第一片材11的内壁表面上的实施例。

替代地，形成芯的多个突出部、部署在多个突出部上的网格和壁部可以彼此一体地形成。

图9(a)、图9(b)、图9(c)和图9(d)以及图10(a)、图10(b)、图10(c)和图10(d)是示意性地示出制造芯和壁部的步骤的另一示例的截面图。

首先，如图9(a)所示，可以制备作为待蚀刻的物体的片材110。例如，片材110可以包括金属和/或具有大于均热板的第一片材的厚度与突出部的厚度之和的厚度。

然后，如图9(b)所示，可以通过诸如印刷或曝光显影等的技术在片材110上形成或放置抗电镀剂140。例如，可以形成顺应待形成的网格的位置(图案)的抗电镀150。

然后，如图9(c)所示，电镀施加到片材110，以使得在片材110上形成另一金属图案132。关于该步骤中执行的金属电镀，可能必须使用与形成片材110的金属不同种类的金属执行该金属电镀。在一些实施例中，铜可以用作用于片材110的金属，并且镍电镀例如可以用于金属图案132。

然后，如图9(d)所示，可以剥离抗电镀剂，以使得网格32的图案可以保留在片材110上。例如，该步骤中获得的网格可以没有彼此相交的纵线或横线。网格可以是纵线和横线彼此不相交的格栅状网格。

然后，如图10(a)所示，可以通过诸如印刷或曝光显影的技术在片材110上形成抗蚀剂140。形成抗蚀剂140的位置是待形成突出部和/或壁部的位置。

然后，如图10(b)所示，蚀刻可以施加到片材110，并且如图10(c)所示，可以剥离抗蚀剂。结果，突出部31和壁部60可以保留在未施加蚀刻的部分处。在一些实施例中，可以使用蚀刻形成片材110的金属而不蚀刻形成网格32的金属的化学蚀刻剂执行蚀刻。

关于通过蚀刻形成的突出部31，突出部31可以在网格32的一侧具有精细形状，并且可以在与网格32相对的一侧(第一片材11的一侧)具有粗犷锥形形状。

在一些实施例中，可以执行蚀刻，以使得具有与第一片材11的厚度相等的厚度的金属片材通过调整蚀刻深度或蚀刻持续时间而保留。例如，这样可以控制突出部31和/或壁部60的高度。

如图10(c)所示，可以剥离抗蚀剂，以使得网格32的图案可以保留在片材110上。

如图10(d)所示，当片材11的厚度是大的时，例如，可以通过执行后表面抛光调整第一片材的厚度。

例如，使用这些步骤，形成芯的多个突出部、部署在多个突出部上的网格和壁部能够彼此一体地形成的实施例。

例如，这些步骤也可以用在制造没有壁部的均热板中。在此情况下，可以获得形成芯的多个突出部和部署在多个突出部上的网格彼此一体地形成的配置。然后，制造具备芯的均热板可以是可能的，其具有多个突出部和部署在多个突出部上的网格彼此一体地形成的配置。

标号的描述

1：均热板

10：外壳

10a：外壳的内壁表面

11：第一片材

11a：第一片材的内壁表面

12：第二片材

12a：第二片材的内壁表面

13：腔体

20：工作液体

30：芯

31：突出部

32：网格

40：支撑柱

60：壁部

60a：壁部的上表面

70：热量生成构件

110：金属片材

132：金属图案

140：抗蚀剂

150：抗电镀剂

除非另外指定，否则术语“实质上”表示所指代的值的5％或10％内或制造公差内。除非另外指定，否则术语“大约”表示所指代的值的5％或10％内或制造公差内。

连词“或”是包括式的。

本文阐述大量具体细节以提供所要求保护的主题的透彻理解。然而，本领域技术人员应理解，可以在没有这些具体细节的情况下实践所要求保护的主题。在其他实例中，尚未详细描述本领域普通技术人员公知的方法、装置或系统，以使得不模糊所要求保护的主题。

本文中“适用于”或“配置为”的使用表示不排除适用于或配置为执行附加任务或步骤的设备的开放式和包括式语言。此外，“基于”的使用表示是开放式和包括式的，在于：“基于”一个或多个所陈述的条件或值的过程、步骤、计算或其他动作实际上可以基于超出所陈述的条件或值的附加条件或值。本文包括的标题、列表和编号仅是为了易于解释，而非表示限制。

虽然已经关于本主题的特定实施例详细描述本主题，但应理解，本领域技术人员在实现前述内容的理解时可以容易地产生对这些实施例的更改、变型和等同。相应地，应理解，本公开已经出于示例而非限制的目的得以提出，并且不排除包括对本主题这些修改、变型和/或添加，如对于本领域普通技术人员将容易地显而易见那样。

Claims (19)

1.一种均热板，包括：

外壳，其包括：

第一片材，其具有第一内壁表面，和

第二片材，其具有第二内壁表面，所述第一片材的所述第一内壁表面与所述第二片材的所述第二内壁表面彼此面对，且所述第一片材与所述第二片材的外周边彼此结合；

工作液体，其密封于所述外壳中；

芯，其部署在所述第一片材的所述第一内壁表面上；和

壁部，其部署在所述第一片材的所述第一内壁表面上的所述芯周围。

2.如权利要求1所述的均热板，其中，从所述外壳的内部的俯视图来查看，所述壁部部署在所述芯周围。

3.如权利要求1所述的均热板，其中，所述壁部的上表面的形状顺应在面对所述壁部的所述第二片材的部分处的所述第二片材的所述第二内壁表面的形状。

4.如权利要求1所述的均热板，其中，所述芯由多个柱状突出部和部署在所述突出部上的网格形成。

5.如权利要求4所述的均热板，其中，所述网格部署在所述壁部的上表面上。

6.如权利要求4所述的均热板，其中，所述网格包括具有高毛细管作用的材料。

7.如权利要求4所述的均热板，其中，所述网格包括多孔材料或非织造织物。

8.如权利要求4所述的均热板，其中，所述突出部具有1μm或更大至100μm或更小的高度。

9.如权利要求4所述的均热板，其中，所述网格包括0.10μm至50μm的孔径尺寸。

10.如权利要求1所述的均热板，其中，所述工作液体包括水或酒精或替选碳氟化合物。

11.如权利要求1所述的均热板，还包括多个支撑柱，其部署在所述第二片材的所述第二内壁表面上。

12.如权利要求1所述的均热板，还包括腔体，其部署在所述芯与所述第二片材之间。

13.如权利要求1所述的均热板，其中，所述第一片材或所述第二片材具有200μm或更小的厚度。

14.一种方法，包括：

将抗电镀剂放置在片材上，所述抗电镀剂具有第一多个间隙的第一图案；

将电镀施加到所述片材,所述电镀填充所述第一图案中的所述第一多个间隙；

去除所述抗电镀剂；

将抗蚀剂放置在所述片材上，所述抗蚀剂具有第二多个间隙的第二图案；

蚀刻所述片材以去除与所述第二多个间隙对应的所述片材的部分；以及

去除所述抗蚀剂。

15.如权利要求14的方法，其中，使用印刷或曝光显影将所述抗电镀剂放置在所述片材上。

16.如权利要求14的方法，其中，所述片材和所述抗电镀剂包括不同的材料。

17.如权利要求14所述的方法，还包括：执行后表面抛光。

18.如权利要求14所述的方法，其中，所述蚀刻在所述片材上形成多个突出部和壁部。

19.如权利要求14所述的方法，还包括：用第二片材的周边密封所述片材的周边。

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