CN113126454B - 一种半导体光刻机及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及EUV光源散热系统技术领域，具体为一种半导体光刻机，包括：电极套，所述电极套内轴心处贯穿设置有EUV光发射端。本发明当净水冷却水经过进水管上设置的第一冷却套时，净水冷却水能够使得散热环板转动，第二循环水管内的冷水被均匀的分散在圆柱水槽内，这样冷却水能够从敞口环形块内进入水冷板内，而多个散热环板位于两个水冷板之间转动，这样能够增加水冷板内的冷却水与散热环板间接接触的面积，而用于电极套的冷却水位于散热环板和水冷板之间，进而能够快速的进行热传导，这样能够保证冷却箱内的经过液氮降温的水在使用后，能够快速的进行回收进净水箱内，进而能够增加冷却机构内冷却水降温的速度和效率。

Description

一种半导体光刻机及其使用方法

技术领域

本发明涉及EUV光源散热系统技术领域，特别涉及一种半导体光刻机及其使用方法。

背景技术

在半导体工业中，极紫外光刻技术被认为是22-16nm节点的主流光刻技术。EUV光源是其重要组成部件之一，其中，DPP-EUV光源是现阶段13.5nm波段的主流光源之一，DPP-EUV光源是利用放电使Xe介质形成等离子体，辐射出紫外线，利用多层膜反射镜多次反射净化能谱，获得13.5nm波段的EUV光。光源内部放电电极在工作时的局部温度可达2000-2500°C。

如果温度累计，将会对放电电极造成不可修复的损害，降低使用寿命，增加维护困难以及成本，最重要的是造成光源不能正常工作，影响工业生产和实验进程。因此，需要加入冷却系统将放电电极的多余热量排出。

现有的光刻机需要大量的冷却水进行流动降温，这样冷却水静茹发热的光源处时，由于温差过大，这样冷却水快速的升温，从而降温的效果不明显，因此处理这样的问题需要大量的水源，因此，在降温过程中，大量的水份被消耗，使得光刻机降温的过程中水资源的大量的浪费，因此提出一种用于速冷且快速降温且可循环使用的冷却系统。

发明人针对上述的现状，以解决上述技术问题。

发明内容

为了达到上述目的，本发明采用的主要技术方案包括：一种半导体光刻机，包括：电极套，所述电极套内轴心处贯穿设置有EUV光发射端，所述EUV光发射端的左端延伸至所述电极套的左侧，所述电极套的左端固定连接有光源镜头，所述光源镜头左侧的中部设置有EUV光源孔，所述电极套的右侧上下两侧分别连通有进水管和出水管，所述进水管上设置有增压泵，所述增压泵的进水端连通有净水箱，所述出水管的一端与所述净水箱连通，所述净水箱的左侧固定连接有蒸发箱，所述蒸发箱内套设有固定座，所述蒸发箱内腔的上方套设有分水槽，所述分水槽内等距离设置有多个分水套，所述分水套内套设有蒸发板，所述蒸发板固定连接在所述固定座的顶部，所述分水套内套设有PP棉板，所述蒸发箱与所述净水箱相对一侧连通有连通管，所述净水箱的下方通过回水管与所述分水槽连通，所述回水管上设置有抽水泵，所述进水管和出水管上分别套设有第一冷却套和第二冷却套，所述第一冷却套和第二冷却套内均同时设置有第一循环水管和第二循环水管，所述第一循环水管与第二循环水管连通，所述第一循环水管和第二循环水管相对一侧分别等距离连通有第一分支管和第二分支管，所述第一冷却套和第二冷却套内腔结构相同，两组所述第一分支管和第二分支管的相对一端分别与所述第一冷却套和所述第二冷却套的内腔相通，且所述第一冷却套和所述第二冷却套相反设置，所述第一冷却套和第二冷却套的相对一侧通过安装螺栓固定连接有冷却机构，所述冷却机构右侧设置有供冷机构，所述进水管上设置有压力管，所述压力管的一端连通所述供冷机构，所述出水管上连通有温水管，所述温水管与所述冷却机构连通，所述第一冷却套和所述第二冷却套均通过输水管与所述冷却机构连通。

于本发明一种半导体光刻机，优选的，所述第一冷却套包括圆柱套，所述圆柱套内壁等距离设置的多个圆柱水槽，所述进水管的一端套设在所述圆柱套内，所述圆柱水槽内套设有中空圆套，所述中空圆套的侧表面等距离开设有环形槽，所述环形槽内壁的两侧均固定连接有敞口环形块，相邻的两个所述敞口环形块内壁固定连接有水冷板，所述第一冷却套还包括固定条，所述固定条的右侧转动连接有轴杆，所述轴杆的一端固定连接有圆台柱，所述圆台柱右侧固定连接有圆柱杆，所述圆柱杆右侧开设有导流槽，所述轴杆上等距离套设有多个散热环板。

于本发明一种半导体光刻机，优选的，所述冷却机构包括冷却箱，所述冷却箱内设置有冷却槽，所述冷却槽内等距离设置有速冷板，两个所述速冷板相对一侧通过多个导热板固定连接，所述速冷板包括中空方形套，所述中空方形套内等距离固定连接有中空竖板，所述中空竖板内壁的上下两侧均设置有微孔。

于本发明一种半导体光刻机，优选的，所述电极套包括套环，所述套环右侧上下两侧均开设有安装孔，所述进水管和出水管的 一端安装在所述安装孔内，所述套环内设置有弧形冷却腔和弧形集水腔，所述弧形冷却腔内套设有弧形冷却片，所述套环左端开设有圆柱形冷却腔，所述弧形冷却腔通过设置的进水通道与所述圆柱形冷却腔连通，所述圆柱形冷却腔内等距离设置环形金属环，所述圆柱形冷却腔通过设置的出水通道与所述弧形集水腔内腔连通，所述弧形集水腔通过接水孔与所述圆柱形冷却腔内腔连通，所述圆柱形冷却腔内壁右侧等距离连通有冷却板，所述冷却板的一侧设置有冷却方槽，所述套环的左侧设置有安装环。

于本发明一种半导体光刻机，优选的，所述供冷机构包括安装套，所述安装套的上方设置有压力腔，所述压力管与所述压力腔连通，所述压力腔内套设有滑块，所述滑块内套设有滑塞套，所述滑塞套的外壁与所述压力腔内壁搭接，所述安装套的轴心处开设有进气槽，所述进气槽与多个所述中空方形套内腔连通，所述进气槽内套设有密闭环，所述密闭环内弹性设置有第一密封块和第二密封块，所述滑块的底部固定连接有推杆，所述推杆上套设有复位弹簧，所述推杆的一端延伸至所述密闭环内，所述密闭环内设置有联动腔，所述联动腔内套设有所述第一密封块和第二密封块，所述第一密封块上固定连接有第一弧形环，第一弧形环铰接有第二弧形环，所述第一密封块和第二密封块两侧分别固定连接有第一齿条和第二齿条，所述第一齿条和第二齿条通过齿轴传送连接，所述推杆的一端与所述第二弧形环的外侧固定连接，所述安装套内套设有液氮瓶，所述液氮瓶的左端套设有固定安装环，所述固定安装环螺纹连接在安装套内开设的螺纹槽内，所述液氮瓶出液端设置有电磁阀。

于本发明一种半导体光刻机，优选的，所述水冷板包括两个环形金属板，两个所述环形金属板内套设有一个环形套。

于本发明一种半导体光刻机，优选的，所述圆柱杆上的导流槽设置的方向与冷却水流通的方向具有一定夹角。

于本发明一种半导体光刻机的使用方法，优选的，包括以下步骤：

第一步，在光刻机使用的过程中，增压泵启动，增压泵将净水箱内的净水从进水管经过第一冷却套进入电极套内，当进水管内收到水压时，进水管内的很小部分的水从压力管内分流进压力腔内，随着水压的增加，压力腔内的冷却水体积增加，此时水压使得滑块在压力腔内向下移动，滑块向下移动的过程中，推杆移动至联动腔内，这样在推杆的作用下，推杆推动第二弧形环，第二弧形环能够带动第一弧形环向一侧移动，此时第一弧形环上的第一密封块能够移动，由于所述第一齿条和第二齿条通过齿轴传动连接，此时所述第一齿条和第二齿条上的第一密封块和第二密封块能够朝向相背方向移动，此时，进气槽口径增加，液氮瓶内的液氮能够进入中空方形套内；

第二步，当增压泵将净水箱内的净水从进水管经过第一冷却套进入电极套内时，冷却水对电极套降温后，带有温度的热水温水管内进入冷却箱内，这样温水与进入中空方形套内的液氮接触后，使得液氮快速的气化，气化的冷气在中空竖板内逐渐的降温，这样温水管不断的为冷却箱提供温水，从而保证液氮不会使得纯净的温水出现结冰的情况，而且流动的温水迅速降温后，冷却的水能够进入第一冷却套和第二冷却套，能够对进入的冷却水进行降温，而且将散热升温的冷却水进行降温，这样一来，能够快速的使冷却水处在冷却的温度下，进而增加了电极套和EUV光发射端的降温速度，而且保证了循环的净水能够快速的达到降温要求的温度；

第三步；当净水冷却水经过进水管上设置的第一冷却套时，增压的水流首先与圆柱杆上开设的导流槽接触后，在导流槽的螺旋槽内经过，这样能够利用水压使得轴杆在固定条上转动，这样一来，净水冷却水能够使得散热环板转动，而此时冷却箱内冷却的水能够从输水管内进入第二循环水管内，这样第二循环水管内的冷水被均匀的分散在圆柱水槽内，这样冷却水能够从敞口环形块内进入水冷板内，而多个散热环板位于两个水冷板之间转动，这样能够增加水冷板内的冷却水与散热环板间接接触的面积，而用于电极套的冷却水位于散热环板和水冷板之间，进而能够快速的进行热传导，使得进入电极套和流出电极套的冷却水均能进行降温处理，经过圆柱水槽的冷却水能够从第一循环水管内回流到净水箱内；

第四步；由于电极套在工作时，以及EUV光工作时产生的高温，使得弧形冷却腔内弧形冷却片快速受热，并且弧形冷却腔内温度快速的上升，当冷却净水从进水管进入弧形冷却腔内后，冷却水迅速的与弧形冷却片接触，快速的将弧形冷却片上的温度进行降温处理，冷却水与弧形冷却片接触后，冷却水通过进水通道进入圆柱形冷却腔内与环形金属环接触，再经过冷却板内设置的冷却方槽内，这样能够快速的将环形金属环和冷却板上的热量进行传导，这样使之降温的带有温度的冷却水从接水孔和出水通道进入弧形集水腔内，此时弧形集水腔内的水从出水管内经过第二冷却套的冷却进入净水箱内，从而循环一次；

第五步；当光刻机闲置情况下，抽水泵将净水箱内的使用的水进行抽吸，使用的净水经过回水管进入蒸发箱内，并在分水槽内进行均匀的分配，这样分配后的净水在分水套内聚集，并经过PP棉板过滤和渗漏，使得净水均匀的分布在蒸发板上，蒸发板通电产生高温能够将渗漏的使用的冷却水蒸发产生蒸馏水在连通管内冷却逐渐进入净水箱内，这样能够保证冷却水的纯净，在使用时作为制冷剂时不会出现结冰的情况，而且保证了电极套的安全，不会出现锈蚀问题。

本发明至少具备以下有益效果：

1、在光刻机使用的过程中，增压泵启动，增压泵将净水箱内的净水从进水管经过第一冷却套进入电极套内，当进水管内收到水压时，进水管内的很小部分的水从压力管内分流进压力腔内，随着水压的增加，压力腔内的冷却水体积增加，此时水压使得滑块在压力腔内向下移动，滑块向下移动的过程中，推杆移动至联动腔内，这样在推杆的作用下，推杆推动第二弧形环，第二弧形环能够带动第一弧形环向一侧移动，此时第一弧形环上的第一密封块能够移动，由于所述第一齿条和第二齿条通过齿轴传动连接，此时所述第一齿条和第二齿条上的第一密封块和第二密封块能够朝向相背方向移动，此时，进气槽口径增加，液氮瓶内的液氮能够进入中空方形套内，这样能够根据使用冷却水的情况，可冷却水的流速，能够实时调节液氮进入的数量，进而增加了降温的灵活性，保证了降温的效果和速率。

2、当增压泵将净水箱内的净水从进水管经过第一冷却套进入电极套内时，冷却水对电极套降温后，带有温度的热水温水管内进入冷却箱内，这样温水与进入中空方形套内的液氮接触后，使得液氮快速的气化，气化的冷气在中空竖板内逐渐的降温，这样温水管不断的为冷却箱提供温水，从而保证液氮不会使得纯净的温水出现结冰的情况，而且流动的温水迅速降温后，冷却的水能够进入第一冷却套和第二冷却套，能够对进入的冷却水进行降温，而且将散热升温的冷却水进行降温，这样一来，能够快速的使冷却水处在冷却的温度下，进而增加了电极套和EUV光发射端的降温速度，而且保证了循环的净水能够快速的达到降温要求的温度。

3、当净水冷却水经过进水管上设置的第一冷却套时，增压的水流首先与圆柱杆上开设的导流槽接触后，在导流槽的螺旋槽内经过，这样能够利用水压使得轴杆在固定条上转动，这样一来，净水冷却水能够使得散热环板转动，而此时冷却箱内冷却的水能够从输水管内进入第二循环水管内，这样第二循环水管内的冷水被均匀的分散在圆柱水槽内，这样冷却水能够从敞口环形块内进入水冷板内，而多个散热环板位于两个水冷板之间转动，这样能够增加水冷板内的冷却水与散热环板间接接触的面积，而用于电极套的冷却水位于散热环板和水冷板之间，进而能够快速的进行热传导，使得进入电极套和流出电极套的冷却水均能进行降温处理，经过圆柱水槽的冷却水能够从第一循环水管内回流到净水箱内，这样能够保证冷却箱内的经过液氮降温的水在使用后，能够快速的进行回收进净水箱内，进而能够增加冷却机构内冷却水降温的速度和效率，进而能够迅速的降温。

4、由于电极套在工作时，以及EUV光工作时产生的高温，使得弧形冷却腔内弧形冷却片快速受热，并且弧形冷却腔内温度快速的上升，当冷却净水从进水管进入弧形冷却腔内后，冷却水迅速的与弧形冷却片接触，快速的将弧形冷却片上的温度进行降温处理，冷却水与弧形冷却片接触后，冷却水通过进水通道进入圆柱形冷却腔内与环形金属环接触，再经过冷却板内设置的冷却方槽内，这样能够快速的将环形金属环和冷却板上的热量进行传导，这样使之降温的带有温度的冷却水从接水孔和出水通道进入弧形集水腔内，此时弧形集水腔内的水从出水管内经过第二冷却套的冷却进入净水箱内，从而循环一次，这样能够使得冷却水循环的使用，避免水资源的浪费，进而能够节约降温冷却的成本。

5、当光刻机闲置情况下，抽水泵将净水箱内的使用的水进行抽吸，使用的净水经过回水管进入蒸发箱内，并在分水槽内进行均匀的分配，这样分配后的净水在分水套内聚集，并经过PP棉板过滤和渗漏，使得净水均匀的分布在蒸发板上，蒸发板通电产生高温能够将渗漏的使用的冷却水蒸发产生蒸馏水在连通管内冷却逐渐进入净水箱内，这样能够保证冷却水的纯净，在使用时作为制冷剂时不会出现结冰的情况，而且保证了电极套的安全，不会出现锈蚀问题，这样既保证了设备不会因为长期高温造成内部零件损坏的问题，增加了设备寿命，而且还能够使得净化水反复的净化使用。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本发明整体正面剖视图；

图2为本发明电极套正面的局部剖视图；

图3为图1中A处结构图；

图4为本发密闭环的结构图；

图5为为图1中B处结构图。

图中，1电极套、101套环、102安装孔、103弧形冷却腔、104进水通道、105圆柱形冷却腔、106环形金属环、107接水孔、108弧形集水腔、109出水通道、110安装环、111冷却板、112冷却方槽、2EUV光发射端、3光源镜头、4EUV光源孔、5进水管、6净水箱、7第一冷却套、71圆柱套、72圆柱水槽、73中空圆套、74敞口环形块、75水冷板、76环形槽、77固定条、78轴杆、79圆台柱、710圆柱杆、711导流槽、712散热环板、8第一循环水管、9第一分支管、10出水管、11第二冷却套、12温水管、13冷却箱、14冷却槽、15速冷板、16第二循环水管、17压力管、18抽水管、19回水管、20输水管、21冷却机构、22第二分支管、23安装套、24滑块、25滑塞套、26推杆、27复位弹簧、28中空方形套、29中空竖板、30微孔、31导热板、32螺纹槽、33固定安装环、34电磁阀、35进气槽、36密闭环、37第一密封块、38第二密封块、39联动腔、40第一弧形环、41第一齿条、42第二齿条、43齿轴、44第二弧形环、45蒸发箱、46固定座、47分水槽、48蒸发板、49分水套、50PP棉板、51连通管、52增压泵、53液氮瓶。

具体实施方式

以下将配合附图及实施例来详细说明本申请的实施方式，借此对本申请如何应用技术手段来解决技术问题并达成技术功效的实现过程能充分理解并据以实施。

如图1-5所示，本发明提供了一种半导体光刻机，包括：电极套1，电极套1内轴心处贯穿设置有EUV光发射端2，EUV光发射端2的左端延伸至电极套1的左侧，电极套1的左端固定连接有光源镜头3，光源镜头3左侧的中部设置有EUV光源孔4，电极套1的右侧上下两侧分别连通有进水管5和出水管10，进水管5上设置有增压泵52，增压泵52的进水端连通有净水箱6，出水管10的一端与净水箱6连通，净水箱6的左侧固定连接有蒸发箱45，蒸发箱45内套设有固定座46，蒸发箱45内腔的上方套设有分水槽47，分水槽47内等距离设置有多个分水套49，分水套49内套设有蒸发板48，蒸发板48固定连接在固定座46的顶部，分水套49内套设有PP棉板50，蒸发箱45与净水箱6相对一侧连通有连通管51，净水箱6的下方通过回水管19与分水槽47连通，回水管19上设置有抽水泵18，当光刻机闲置情况下，抽水泵18将净水箱6内的使用的水进行抽吸，使用的净水经过回水管19进入蒸发箱45内，并在分水槽47内进行均匀的分配，这样分配后的净水在分水套49内聚集，并经过PP棉板过滤和渗漏，使得净水均匀的分布在蒸发板48上，蒸发板48通电产生高温能够将渗漏的使用的冷却水蒸发产生蒸馏水在连通管51内冷却逐渐进入净水箱6内，这样能够保证冷却水的纯净，在使用时作为制冷剂时不会出现结冰的情况，而且保证了电极套1的安全，不会出现锈蚀问题，进水管5和出水管10上分别套设有第一冷却套7和第二冷却套11，第一冷却套7和第二冷却套11内均同时设置有第一循环水管8和第二循环水管16，第一循环水管8与第二循环水管16连通，第一循环水管8和第二循环水管16相对一侧分别等距离连通有第一分支管9和第二分支管22，第一冷却套7和第二冷却套11内腔结构相同，两组第一分支管9和第二分支管22的相对一端分别与第一冷却套7和第二冷却套11的内腔相通，且第一冷却套7和第二冷却套11相反设置，第一冷却套7和第二冷却套11的相对一侧通过安装螺栓固定连接有冷却机构21，冷却机构21右侧设置有供冷机构，进水管5上设置有压力管17，压力管17的一端连通供冷机构，出水管10上连通有温水管12，温水管12与冷却机构21连通，第一冷却套7和第二冷却套11均通过输水管20与冷却机构21连通。

在光刻机使用的过程中，增压泵52启动，增压泵52将净水箱6内的净水从进水管5经过第一冷却套7进入电极套1内，当进水管5内收到水压时，进水管5内的很小部分的水从压力管17内分流进压力腔内，随着水压的增加，压力腔内的冷却水体积增加，此时水压使得滑块24在压力腔内向下移动，滑块24向下移动的过程中，推杆26移动至联动腔39内，这样在推杆26的作用下，推杆26推动第二弧形环44，第二弧形环44能够带动第一弧形环40向一侧移动，此时第一弧形环40上的第一密封块37能够移动，由于第一齿条41和第二齿条42通过齿轴43传动连接，此时第一齿条41和第二齿条42上的第一密封块37和第二密封块38能够朝向相背方向移动，此时，进气槽35口径增加，液氮瓶53内的液氮能够进入中空方形套28内。

第一冷却套7包括圆柱套71，圆柱套71内壁等距离设置的多个圆柱水槽72，进水管5的一端套设在圆柱套71内，圆柱水槽72内套设有中空圆套73，中空圆套73的侧表面等距离开设有环形槽76，环形槽76内壁的两侧均固定连接有敞口环形块74，相邻的两个敞口环形块74内壁固定连接有水冷板75，第一冷却套7还包括固定条77，固定条77的右侧转动连接有轴杆78，轴杆78的一端固定连接有圆台柱79，圆台柱79右侧固定连接有圆柱杆710，圆柱杆710右侧开设有导流槽711，轴杆78上等距离套设有多个散热环板712。当净水冷却水经过进水管5上设置的第一冷却套7时，增压的水流首先与圆柱杆710上开设的导流槽711接触后，在导流槽711的螺旋槽内经过，这样能够利用水压使得轴杆78在固定条77上转动，这样一来，净水冷却水能够使得散热环板712转动，而此时冷却箱13内冷却的水能够从输水管20内进入第二循环水管16内，这样第二循环水管16内的冷水被均匀的分散在圆柱水槽72内，这样冷却水能够从敞口环形块74内进入水冷板75内，而多个散热环板712位于两个水冷板75之间转动，这样能够增加水冷板75内的冷却水与散热环板712间接接触的面积，而用于电极套1的冷却水位于散热环板712和水冷板75之间，进而能够快速的进行热传导，使得进入电极套1和流出电极套1的冷却水均能进行降温处理，经过圆柱水槽72的冷却水能够从第一循环水管8内回流到净水箱6内。

冷却机构21包括冷却箱13，冷却箱13内设置有冷却槽14，冷却槽14内等距离设置有速冷板15，两个速冷板15相对一侧通过多个导热板31固定连接，速冷板15包括中空方形套28，中空方形套28内等距离固定连接有中空竖板29，中空竖板29内壁的上下两侧均设置有微孔30。当增压泵52将净水箱6内的净水从进水管5经过第一冷却套7进入电极套1内时，冷却水对电极套1降温后，带有温度的热水温水管12内进入冷却箱13内，这样温水与进入中空方形套28内的液氮接触后，使得液氮快速的气化，气化的冷气在中空竖板29内逐渐的降温，这样温水管12不断的为冷却箱13提供温水，从而保证液氮不会使得纯净的温水出现结冰的情况，而且流动的温水迅速降温后，冷却的水能够进入第一冷却套7和第二冷却套11，能够对进入的冷却水进行降温，而且将散热升温的冷却水进行降温，这样一来，能够快速的使冷却水处在冷却的温度下，进而增加了电极套1和EUV光发射端2的降温速度，而且保证了循环的净水能够快速的达到降温要求的温度。

电极套1包括套环101，套环101右侧上下两侧均开设有安装孔102，进水管5和出水管10的 一端安装在安装孔102内，套环101内设置有弧形冷却腔103和弧形集水腔108，弧形冷却腔103内套设有弧形冷却片，套环101左端开设有圆柱形冷却腔105，弧形冷却腔103通过设置的进水通道104与圆柱形冷却腔105连通，圆柱形冷却腔105内等距离设置环形金属环106，圆柱形冷却腔105通过设置的出水通道109与弧形集水腔108内腔连通，弧形集水腔108通过接水孔107与圆柱形冷却腔105内腔连通，圆柱形冷却腔105内壁右侧等距离连通有冷却板1111，冷却板1111的一侧设置有冷却方槽112，套环101的左侧设置有安装环110。由于电极套1在工作时，以及EUV光工作时产生的高温，使得弧形冷却腔103内弧形冷却片快速受热，并且弧形冷却腔103内温度快速的上升，当冷却净水从进水管5进入弧形冷却腔103内后，冷却水迅速的与弧形冷却片接触，快速的将弧形冷却片上的温度进行降温处理，冷却水与弧形冷却片接触后，冷却水通过进水通道104进入圆柱形冷却腔105内与环形金属环106接触，再经过冷却板111内设置的冷却方槽112内，这样能够快速的将环形金属环106和冷却板111上的热量进行传导，这样使之降温的带有温度的冷却水从接水孔107和出水通道109进入弧形集水腔108内，此时弧形集水腔108内的水从出水管10内经过第二冷却套11的冷却进入净水箱6内，从而循环一次。

供冷机构包括安装套23，安装套23的上方设置有压力腔，压力管17与压力腔连通，压力腔内套设有滑块24，滑块24内套设有滑塞套25，滑塞套25的外壁与压力腔内壁搭接，安装套23的轴心处开设有进气槽35，进气槽35与多个中空方形套28内腔连通，进气槽35内套设有密闭环36，密闭环36内弹性设置有第一密封块37和第二密封块38，滑块24的底部固定连接有推杆26，推杆26上套设有复位弹簧27，推杆26的一端延伸至密闭环36内，密闭环36内设置有联动腔39，联动腔39内套设有第一密封块37和第二密封块38，第一密封块37上固定连接有第一弧形环40，第一弧形环40铰接有第二弧形环44，第一密封块37和第二密封块38两侧分别固定连接有第一齿条41和第二齿条42，第一齿条41和第二齿条42通过齿轴43传送连接，推杆26的一端与第二弧形环44的外侧固定连接，安装套23内套设有液氮瓶53，液氮瓶53的左端套设有固定安装环33，固定安装环33螺纹连接在安装套23内开设的螺纹槽32内，液氮瓶53出液端设置有电磁阀34。水冷板75包括两个环形金属板，两个环形金属板内套设有一个环形套。圆柱杆710上的导流槽711设置的方向与冷却水流通的方向具有一定夹角。

一种半导体光刻机的使用方法，包括以下步骤：

第一步，在光刻机使用的过程中，增压泵52启动，增压泵52将净水箱6内的净水从进水管5经过第一冷却套7进入电极套1内，当进水管5内收到水压时，进水管5内的很小部分的水从压力管17内分流进压力腔内，随着水压的增加，压力腔内的冷却水体积增加，此时水压使得滑块24在压力腔内向下移动，滑块24向下移动的过程中，推杆26移动至联动腔39内，这样在推杆26的作用下，推杆26推动第二弧形环44，第二弧形环44能够带动第一弧形环40向一侧移动，此时第一弧形环40上的第一密封块37能够移动，由于第一齿条41和第二齿条42通过齿轴43传动连接，此时第一齿条41和第二齿条42上的第一密封块37和第二密封块38能够朝向相背方向移动，此时，进气槽35口径增加，液氮瓶53内的液氮能够进入中空方形套28内；

第二步，当增压泵52将净水箱6内的净水从进水管5经过第一冷却套7进入电极套1内时，冷却水对电极套1降温后，带有温度的热水温水管12内进入冷却箱13内，这样温水与进入中空方形套28内的液氮接触后，使得液氮快速的气化，气化的冷气在中空竖板29内逐渐的降温，这样温水管12不断的为冷却箱13提供温水，从而保证液氮不会使得纯净的温水出现结冰的情况，而且流动的温水迅速降温后，冷却的水能够进入第一冷却套7和第二冷却套11，能够对进入的冷却水进行降温，而且将散热升温的冷却水进行降温，这样一来，能够快速的使冷却水处在冷却的温度下，进而增加了电极套1和EUV光发射端2的降温速度，而且保证了循环的净水能够快速的达到降温要求的温度；

第三步；当净水冷却水经过进水管5上设置的第一冷却套7时，增压的水流首先与圆柱杆710上开设的导流槽711接触后，在导流槽711的螺旋槽内经过，这样能够利用水压使得轴杆78在固定条77上转动，这样一来，净水冷却水能够使得散热环板712转动，而此时冷却箱13内冷却的水能够从输水管20内进入第二循环水管16内，这样第二循环水管16内的冷水被均匀的分散在圆柱水槽72内，这样冷却水能够从敞口环形块74内进入水冷板75内，而多个散热环板712位于两个水冷板75之间转动，这样能够增加水冷板75内的冷却水与散热环板712间接接触的面积，而用于电极套1的冷却水位于散热环板712和水冷板75之间，进而能够快速的进行热传导，使得进入电极套1和流出电极套1的冷却水均能进行降温处理，经过圆柱水槽72的冷却水能够从第一循环水管8内回流到净水箱6内；

第四步；由于电极套1在工作时，以及EUV光工作时产生的高温，使得弧形冷却腔103内弧形冷却片快速受热，并且弧形冷却腔103内温度快速的上升，当冷却净水从进水管5进入弧形冷却腔103内后，冷却水迅速的与弧形冷却片接触，快速的将弧形冷却片上的温度进行降温处理，冷却水与弧形冷却片接触后，冷却水通过进水通道104进入圆柱形冷却腔105内与环形金属环106接触，再经过冷却板111内设置的冷却方槽112内，这样能够快速的将环形金属环106和冷却板111上的热量进行传导，这样使之降温的带有温度的冷却水从接水孔107和出水通道109进入弧形集水腔108内，此时弧形集水腔108内的水从出水管10内经过第二冷却套11的冷却进入净水箱6内，从而循环一次；

第五步；当光刻机闲置情况下，抽水泵18将净水箱6内的使用的水进行抽吸，使用的净水经过回水管19进入蒸发箱45内，并在分水槽47内进行均匀的分配，这样分配后的净水在分水套49内聚集，并经过PP棉板过滤和渗漏，使得净水均匀的分布在蒸发板48上，蒸发板48通电产生高温能够将渗漏的使用的冷却水蒸发产生蒸馏水在连通管51内冷却逐渐进入净水箱6内，这样能够保证冷却水的纯净，在使用时作为制冷剂时不会出现结冰的情况，而且保证了电极套1的安全，不会出现锈蚀问题。

如在说明书及权利要求当中使用了某些词汇来指称特定组件。本领域技术人员应可理解，硬件制造商可能会用不同名词来称呼同一个组件。本说明书及权利要求并不以名称的差异来作为区分组件的方式，而是以组件在功能上的差异来作为区分的准则。如在通篇说明书及权利要求当中所提及的“包含”为一开放式用语，故应解释成“包含但不限定于”。“大致”是指在可接收的误差范围内，本领域技术人员能够在一定误差范围内解决技术问题，基本达到技术效果。

需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的商品或者系统不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种商品或者系统所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的商品或者系统中还存在另外的相同要素。

上述说明示出并描述了本发明的若干优选实施例，但如前，应当理解本发明并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本发明的精神和范围，则都应在本发明所附权利要求的保护范围内。

Claims (1)

1.一种半导体光刻机，其特征在于，包括：电极套（1），所述电极套（1）内轴心处贯穿设置有EUV光发射端（2），所述EUV光发射端（2）的左端延伸至所述电极套（1）的左侧，所述电极套（1）的左端固定连接有光源镜头（3），所述光源镜头（3）左侧的中部设置有EUV光源孔（4），所述电极套（1）的右侧上下两侧分别连通有进水管（5）和出水管（10），所述进水管（5）上设置有增压泵（52），所述增压泵（52）的进水端连通有净水箱（6），所述出水管（10）的一端与所述净水箱（6）连通，所述净水箱（6）的左侧固定连接有蒸发箱（45），所述蒸发箱（45）内套设有固定座（46），所述蒸发箱（45）内腔的上方套设有分水槽（47），所述分水槽（47）内等距离设置有多个分水套（49），所述分水套（49）内套设有蒸发板（48），所述蒸发板（48）固定连接在所述固定座（46）的顶部，所述分水套（49）内套设有PP棉板（50），所述蒸发箱（45）与所述净水箱（6）相对一侧连通有连通管（51），所述净水箱（6）的下方通过回水管（19）与所述分水槽（47）连通，所述回水管（19）上设置有抽水泵（18），所述进水管（5）和出水管（10）上分别套设有第一冷却套（7）和第二冷却套（11），所述第一冷却套（7）和第二冷却套（11）内均同时设置有第一循环水管（8）和第二循环水管（16），所述第一循环水管（8）与第二循环水管（16）连通，所述第一循环水管（8）和第二循环水管（16）相对一侧分别等距离连通有第一分支管（9）和第二分支管（22），所述第一冷却套（7）和第二冷却套（11）内腔结构相同，两组所述第一分支管（9）和第二分支管（22）的相对一端分别与所述第一冷却套（7）和所述第二冷却套（11）的内腔相通，且所述第一冷却套（7）和所述第二冷却套（11）相反设置，所述第一冷却套（7）和第二冷却套（11）的相对一侧通过安装螺栓固定连接有冷却机构（21），所述冷却机构（21）右侧设置有供冷机构，所述进水管（5）上设置有压力管（17），所述压力管（17）的一端连通所述供冷机构，所述出水管（10）上连通有温水管（12），所述温水管（12）与所述冷却机构（21）连通，所述第一冷却套（7）和所述第二冷却套（11）均通过输水管（20）与所述冷却机构（21）连通；所述第一冷却套（7）包括圆柱套（71），所述圆柱套（71）内壁等距离设置的多个圆柱水槽（72），所述进水管（5）的一端套设在所述圆柱套（71）内，所述圆柱水槽（72）内套设有中空圆套（73），所述中空圆套（73）的侧表面等距离开设有环形槽（76），所述环形槽（76）内壁的两侧均固定连接有敞口环形块（74），相邻的两个所述敞口环形块（74）内壁固定连接有水冷板（75），所述第一冷却套（7）还包括固定条（77），所述固定条（77）的右侧转动连接有轴杆（78），所述轴杆（78）的一端固定连接有圆台柱（79），所述圆台柱（79）右侧固定连接有圆柱杆（710），所述圆柱杆（710）右侧开设有导流槽（711），所述轴杆（78）上等距离套设有多个散热环板（712）；所述冷却机构（21）包括冷却箱（13），所述冷却箱（13）内设置有冷却槽（14），所述冷却槽（14）内等距离设置有速冷板（15），两个所述速冷板（15）相对一侧通过多个导热板（31）固定连接，所述速冷板（15）包括中空方形套（28），所述中空方形套（28）内等距离固定连接有中空竖板（29），所述中空竖板（29）内壁的上下两侧均设置有微孔（30）；所述电极套（1）包括套环（101），所述套环（101）右侧上下两侧均开设有安装孔（102），所述进水管（5）和出水管（10）的 一端安装在所述安装孔（102）内，所述套环（101）内设置有弧形冷却腔（103）和弧形集水腔（108），所述弧形冷却腔（103）内套设有弧形冷却片，所述套环（101）左端开设有圆柱形冷却腔（105），所述弧形冷却腔（103）通过设置的进水通道（104）与所述圆柱形冷却腔（105）连通，所述圆柱形冷却腔（105）内等距离设置环形金属环（106），所述圆柱形冷却腔（105）通过设置的出水通道（109）与所述弧形集水腔（108）内腔连通，所述弧形集水腔（108）通过接水孔（107）与所述圆柱形冷却腔（105）内腔连通，所述圆柱形冷却腔（105）内壁右侧等距离连通有冷却板（111），所述冷却板（111）的一侧设置有冷却方槽（112），所述套环（101）的左侧设置有安装环（110）；所述供冷机构包括安装套（23），所述安装套（23）的上方设置有压力腔，所述压力管（17）与所述压力腔连通，所述压力腔内套设有滑块（24），所述滑块（24）内套设有滑塞套（25），所述滑塞套（25）的外壁与所述压力腔内壁搭接，所述安装套（23）的轴心处开设有进气槽（35），所述进气槽（35）与多个所述中空方形套（28）内腔连通，所述进气槽（35）内套设有密闭环（36），所述密闭环（36）内弹性设置有第一密封块（37）和第二密封块（38），所述滑块（24）的底部固定连接有推杆（26），所述推杆（26）上套设有复位弹簧（27），所述推杆（26）的一端延伸至所述密闭环（36）内，所述密闭环（36）内设置有联动腔（39），所述联动腔（39）内套设有所述第一密封块（37）和第二密封块（38），所述第一密封块（37）上固定连接有第一弧形环（40），第一弧形环（40）铰接有第二弧形环（44），所述第一密封块（37）和第二密封块（38）两侧分别固定连接有第一齿条（41）和第二齿条（42），所述第一齿条（41）和第二齿条（42）通过齿轴（43）传送连接，所述推杆（26）的一端与所述第二弧形环（44）的外侧固定连接，所述安装套（23）内套设有液氮瓶（53），所述液氮瓶（53）的左端套设有固定安装环（33），所述固定安装环（33）螺纹连接在安装套（23）内开设的螺纹槽（32）内，所述液氮瓶（53）出液端设置有电磁阀（34）；所述水冷板（75）包括两个环形金属板，两个所述环形金属板内套设有一个环形套；第一步，在光刻机使用的过程中，增压泵（52）启动，增压泵（52）将净水箱（6）内的净水从进水管（5）经过第一冷却套（7）进入电极套（1）内，当进水管（5）内收到水压时，进水管（5）内的很小部分的水从压力管（17）内分流进压力腔内，随着水压的增加，压力腔内的冷却水体积增加，此时水压使得滑块（24）在压力腔内向下移动，滑块（24）向下移动的过程中，推杆（26）移动至联动腔（39）内，这样在推杆（26）的作用下，推杆（26）推动第二弧形环（44），第二弧形环（44）能够带动第一弧形环（40）向一侧移动，此时第一弧形环（40）上的第一密封块（37）能够移动，由于所述第一齿条（41）和第二齿条（42）通过齿轴（43）传动连接，此时所述第一齿条（41）和第二齿条（42）上的第一密封块（37）和第二密封块（38）能够朝向相背方向移动，此时，进气槽（35）口径增加，液氮瓶（53）内的液氮能够进入中空方形套（28）内；第二步，当增压泵（52）将净水箱（6）内的净水从进水管（5）经过第一冷却套（7）进入电极套（1）内时，冷却水对电极套（1）降温后，带有温度的热水从温水管（12）内进入冷却箱（13）内，这样温水与进入中空方形套（28）内的液氮接触后，使得液氮快速的气化，气化的冷气在中空竖板（29）内逐渐的降温，这样温水管（12）不断的为冷却箱（13）提供温水，从而保证液氮不会使得纯净的温水出现结冰的情况，而且流动的温水迅速降温后，冷却的水能够进入第一冷却套（7）和第二冷却套（11），能够对进入的冷却水进行降温，而且将散热升温的冷却水进行降温，这样一来，能够快速的使冷却水处在冷却的温度下，进而增加了电极套（1）和EUV光发射端（2）的降温速度，而且保证了循环的净水能够快速的达到降温要求的温度；第三步；当净水冷却水经过进水管（5）上设置的第一冷却套（7）时，增压的水流首先与圆柱杆（710）上开设的导流槽（711）接触后，在导流槽（711）的螺旋槽内经过，这样能够利用水压使得轴杆（78）在固定条（77）上转动，这样一来，净水冷却水能够使得散热环板（712）转动，而此时冷却箱（13）内冷却的水能够从输水管（20）内进入第二循环水管（16）内，这样第二循环水管（16）内的冷水被均匀的分散在圆柱水槽（72）内，这样冷却水能够从敞口环形块（74）内进入水冷板（75）内，而多个散热环板（712）位于两个水冷板（75）之间转动，这样能够增加水冷板（75）内的冷却水与散热环板（712）间接接触的面积，而用于电极套（1）的冷却水位于散热环板（712）和水冷板（75）之间，进而能够快速的进行热传导，使得进入电极套（1）和流出电极套（1）的冷却水均能进行降温处理，经过圆柱水槽（72）的冷却水能够从第一循环水管（8）内回流到净水箱（6）内；第四步；由于电极套（1）在工作时，以及EUV光工作时产生的高温，使得弧形冷却腔（103）内弧形冷却片快速受热，并且弧形冷却腔（103）内温度快速的上升，当冷却净水从进水管（5）进入弧形冷却腔（103）内后，冷却水迅速的与弧形冷却片接触，快速的将弧形冷却片上的温度进行降温处理，冷却水与弧形冷却片接触后，冷却水通过进水通道（104）进入圆柱形冷却腔（105）内与环形金属环（106）接触，再经过冷却板（111）内设置的冷却方槽（112）内，这样能够快速的将环形金属环（106）和冷却板（111）上的热量进行传导，这样使之降温的带有温度的冷却水从接水孔（107）和出水通道（109）进入弧形集水腔（108）内，此时弧形集水腔（108）内的水从出水管（10）内经过第二冷却套（11）的冷却进入净水箱（6）内，从而循环一次；第五步；当光刻机闲置情况下，抽水泵（18）将净水箱（6）内的使用的水进行抽吸，使用的净水经过回水管（19）进入蒸发箱（45）内，并在分水槽（47）内进行均匀的分配，这样分配后的净水在分水套（49）内聚集，并经过PP棉板过滤和渗漏，使得净水均匀的分布在蒸发板（48）上，蒸发板（48）通电产生高温能够将渗漏的使用的冷却水蒸发产生蒸馏水在连通管（51）内冷却逐渐进入净水箱（6）内，这样能够保证冷却水的纯净，在使用时作为制冷剂时不会出现结冰的情况，而且保证了电极套（1）的安全，不会出现锈蚀问题。

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