CN113126239A

CN113126239A - 一种用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台

Info

Publication number: CN113126239A
Application number: CN202110396912.5A
Authority: CN
Inventors: 李兵; 兰梦辉; 魏翔; 吴修远
Original assignee: XI'AN JIAOTONG UNIVERSITY SUZHOU ACADEMY; Xian Jiaotong University
Current assignee: XI'AN JIAOTONG UNIVERSITY SUZHOU ACADEMY; Xian Jiaotong University; Suzhou Academy of Xian Jiaotong University
Priority date: 2021-04-13
Filing date: 2021-04-13
Publication date: 2021-07-16

Abstract

本发明公开了一种用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，第一移动平台用于实现X、Y方向移动二自由度调整，第一移动平台的上方设置有第二移动平台，第二移动平台用于实现Z方向移动以及绕X、Y方向翻转运动三自由度调整，第二移动平台上设置有一块离轴非球面子镜，通过第一移动平台和第二移动平台实现离轴非球面子镜的五自由度位姿调整。本发明能够实时采集直线电机的运动位置信息，位置调整精度高、调整效率高，实现离轴非球面子镜位置姿态的微米级调整精度。

Description

一种用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台

技术领域

本发明属于大型非球面反射元件制造技术领域，具体涉及一种用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台。

背景技术

太赫兹雷达已经成为了未来高精度、反隐身雷达的发展方向之一。太赫兹天线系统通常需要口径3m以上的非球面阵列，在我国中期发展计划中，采用

口径的非球面作为太赫兹雷达的反射元件，在远期计划中，拟进一步将反射元件口径扩大至

以上。

鉴于目前大口径非球面镜片的制造能力有限，目前，我国所自行生产的非球面镜最大口径为4.03m，精度为微米级。为了实现更大口径的非球面元件的制造，可采用以小拼大的思想，先制造口径较小的离轴非球面子镜(非球面镜的一部分)，通过将各个子镜拼接在一起的方式实现。

大口径非球面的拼接装配，目前依靠有经验的工程技术人员，通过试错的方式进行手动调整，不仅效率低，而且缺乏统一的装配标准，这也从效率和精度两方面同时制约了大口径反射元件的制造技术。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，能够实现微米级的运动调整精度，完成离轴非球面子镜的自动化拼接装配，实现更大口径的非球面元件的制造。

本发明采用以下技术方案：

一种用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，包括第一移动平台，第一移动平台用于实现X、Y方向移动二自由度调整，第一移动平台的上方设置有第二移动平台，第二移动平台用于实现Z方向移动以及绕X、Y方向翻转运动三自由度调整，第二移动平台上设置有一块离轴非球面子镜，通过第一移动平台和第二移动平台实现离轴非球面子镜的五自由度位姿调整。

具体的，第一移动平台包括第一底座，第一底座的一侧通过第一挡板与第一直线电机连接，第一直线电机的输出端连接有第二底座，第二底座通过第三挡板与第二直线电机连接，第二直线电机的输出端连接第四挡板，第一直线电机和第二直线电机配合实现第四挡板在X、Y方向二自由度的精密直线运动。

进一步的，第一挡板竖直设置在第一底座的一侧，第一挡板与第一直线电机定子部分的一端连接，第一直线电机定子部分的另一端经第一直线电机动子部分与第二挡板的一侧连接；第二挡板另一侧连接有第二底座，第二底座上设置有第一光栅尺，第一底座上设置有第一读数头，第一底座与第一读数头之间设置有第一垫块。

更进一步的，第二底座上设置有第一导轨，第一导轨上设置有第一滑块，第一光栅尺设置在第一滑块上。

进一步的，第三挡板与第二直线电机定子部分的一端连接，第二直线电机定子部分的另一端经第二直线电机动子部分与第四挡板连接，第二直线电机动子部分推动第四挡板实现直线运动；第二底座上分别设置有第二读数头和第二光栅尺。

更进一步的，第二底座上靠近第二挡板的一侧设置有第二导轨，第二导轨上设置有第二滑块，第二光栅尺设置在第二滑块上，第二底座和第二读数头之间设置有第二垫块。

具体的，第二移动平台包括第一承载盘和第二承载盘，第一承载盘的下侧与第一移动平台的第四挡板连接，第一承载盘和第二承载盘之间竖直间隔设置有三个直线电机，能够实现X、Y方向翻转运动的自由度位姿调整，第二承载盘的上方与离轴非球面子镜连接，通过第二移动平台带动第二承载盘在Z方向以及绕X、Y方向翻转的三自由度精密调整。

进一步的，三个直线电机结构相同，包括第三直线电机、第四直线电机和第五直线电机，三个直线电机的两端与第一承载盘和第二承载盘之间均采用虎克铰连接。

更进一步的，第三直线电机包括第三直线电机定子部分，第三直线电机定子部分的一端依次通过第一连接板和一个虎克铰与第一承载盘连接；第三直线电机定子部分的另一端经第三直线电机动子部分与第四连接板的一侧连接，第四连接板的另一侧通过另一个虎克铰与第二承载盘连接；第一连接板上设置有第三读数头，第四连接板上设置有第三光栅尺，第三直线电机动子部分驱动第三光栅尺实现直线运动；并配合第三读数头、第三光栅尺实时读取位置信息。

再进一步的，第一连接板上设置有第二连接板，第三读数头设置在第二连接板上，第四连接板上设置有第三连接板，第三光栅尺设置在第三连接板上。

与现有技术相比，本发明至少具有以下有益效果：

本发明一种用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，整个平台结构包括第一移动平台和第二移动平台，通过两个平台中直线电机的运动分别实现X、Y方向移动的二自由度调整和Z方向移动以及绕X、Y方向翻转运动的三自由度调整，从而实现离轴非球面子镜的五自由度位姿调整，另外，每个电机均配合光栅尺、读数头，实时采集直线电机运动位置，提高运动调整精度至微米级。

进一步的，第一移动平台中，在互相垂直的X、Y两个方向，分别设置第一直线电机和第二直线电机，第一底座作为第一移动平台的承载体，也是整个调整平台的承载体，并通过第一挡板、第二底座、第三挡板和第四挡板作为承接件，最终在第四挡板上实现X、Y方向的移动。

进一步的，第一直线电机定子部分通过第一挡板、第一底座、第一垫块承接，实现与第一读数头连接，第一直线电机动子部分通过第二挡板、第二底座、第一滑块承接，实现与第一光栅尺连接，第一底座上设置有第一导轨，则第一读数头与第一导轨相对固定，在第一导轨上设置有第一滑块，第一滑块与第一光栅尺连接，从而通过第一导轨与第一滑块之间的相对运动实现第一光栅尺与第一读数头的相对运动，实时采集运动位置信息。

进一步的，第二直线电机定子部分通过第三挡板、第二底座承接，实现与第二读数头连接，第二直线电机动子部分通过第四挡板、第二滑块承接，实现与第二光栅尺连接。第二底座上设置有第二导轨，则第二读数头与第二导轨相对固定，在第二导轨上设置有第二滑块，第二滑块与第二光栅尺连接，。

进一步的，第二移动平台中，在Z方向上分别设置三个结构相同直线电机，在直线电机运动的同时配合虎克铰实现角度偏转，从而实现Z方向移动以及绕X、Y方向翻转运动的三自由度调整。

进一步的，为满足绕X、Y方向翻转运动的角度偏转需要，在三个直线电机的两端与第一承载盘和第二承载盘之间均采用虎克铰连接，从而实现在三个直线电机在运动过程中第二承载盘的翻转。

进一步的，第二移动平台中三个直线电机结构相同，当三个直线电机同时向Z方向移动的距离相等时，则可实现中第二承载盘沿Z方向的移动，当三个直线电机配合移动的距离不等时，则可实现第二承载盘绕X、Y方向的运动。

进一步的，第三读数头通过第二连接板、第一连接板与第三直线电机定子部分连接，第三读数头通过第三连接板、第四连接板与第三直线电机动子部分连接，从而通过第三直线电机定子部分与动子部分之间的相对运动实现第三光栅尺与第三读数头的相对运动，实时采集运动位置信息。

综上所述，本发明通过第一直线电机、第二直线电机、三个相同的第三直线电机的运动，并配合虎克铰和承接件，实现离轴非球面子镜在调整平台上X、Y、Z向移动以及绕X、Y方向翻转运动的五自由度位置姿态调整，并通过电机与光栅尺、读数头配合，实时采集直线电机的运动位置信息，位置调整精度高、调整效率高，实现离轴非球面子镜位置姿态的微米级调整精度。

下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1为本发明整体外观结构示意图；

图2为本发明第一移动平台外观结构示意图；

图3为本发明第二移动平台外观结构示意图；

图4为本发明拼接调整平台拼接三块子镜的示意图；

图5为本发明拼接三块子镜与大口径非球面镜的示意图。

其中：1.第一移动平台；2.第二移动平台；101.第一挡板；102.第一直线电机定子部分；103.第一直线电机动子部分；104.第二挡板；105.第一底座；106.第一导轨；107.第一滑块；108.第一光栅尺；109.第一读数头；110.第一垫块；111.第二底座；112.第二垫块；113.第二读数头；114.第二光栅尺；115.第二导轨；116.第二滑块；117.第三挡板；118.第二直线电机定子部分；119.第二直线电机动子部分；120.第四挡板；201.第一承载盘；202.虎克铰；203.第一连接板；204.第二连接板；205.第三读数头；206.第三直线电机定子部分；207.第三光栅尺；208.第三连接板；209.第三直线电机动子部分；210.第四连接板；211.第二承载盘。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“一侧”、“一端”、“一边”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

应当理解，当在本说明书和所附权利要求书中使用时，术语“包括”和“包含”指示所描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或其集合的存在或添加。

还应当理解，在本发明说明书中所使用的术语仅仅是出于描述特定实施例的目的而并不意在限制本发明。如在本发明说明书和所附权利要求书中所使用的那样，除非上下文清楚地指明其它情况，否则单数形式的“一”、“一个”及“该”意在包括复数形式。

还应当进一步理解，在本发明说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。

在附图中示出了根据本发明公开实施例的各种结构示意图。这些图并非是按比例绘制的，其中为了清楚表达的目的，放大了某些细节，并且可能省略了某些细节。图中所示出的各种区域、层的形状及它们之间的相对大小、位置关系仅是示例性的，实际中可能由于制造公差或技术限制而有所偏差，并且本领域技术人员根据实际所需可以另外设计具有不同形状、大小、相对位置的区域/层。

本发明提供了一种用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，采用第一运动平台实现X、Y方向移动的二自由度调整，第二运动平台实现Z方向移动以及绕X、Y方向翻转运动的三自由度调整，从而使平台整体实现离轴非球面子镜完成在X、Y、Z向移动以及绕X、Y方向翻转运动的五自由度位姿调整，完成非球面反射元件的拼接装配；每个直线电机均配合使用光栅尺、读数头，对直线电机的位置状态进行实时反馈，能够实现微米级的调整精度，实现大口径非球面子镜的自动化拼接装配。优点在于：本发明调整精度高，实现离轴非球面位姿的微米级调整精度，减小了装配误差，满足目前大型非球面反射元件面型精度的制造要求；提高了离轴非球面子镜的自动化拼接装配的效率，可以有效地解决目前大型非球面反射元件装配制造面临的实际问题；采用以小拼大的思想，通过将各个离轴非球面子镜(非球面镜的一部分)拼接在一起的方式实现更大口径的非球面元件的制造，满足现代及未来光学工业的发展需求。

请参阅图1、图4和图5，本发明一种用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，包括实现X、Y方向移动二自由度调整的第一移动平台1和实现Z方向移动以及绕X、Y方向翻转运动三自由度调整的第二移动平台2，第二移动平台2上设置有一块离轴非球面子镜，结合第一移动平台1和第二移动平台2实现离轴非球面子镜在X、Y、Z向移动以及绕X、Y方向翻转运动的五自由度位姿调整，平台整体承载一块离轴非球面子镜(非球面镜的一部分)，通过将多块离轴非球面子镜拼接在一起的方式实现大口径非球面镜的拼接装配制造。

请参阅图2，第一移动平台1包括第一挡板101、第一直线电机定子部分102、第一直线电机动子部分103、第二挡板104、第一底座105、第一导轨106、第一滑块107、第一光栅尺108、第一读数头109、第一垫块110、第二底座111、第二垫块112、第二读数头113、第二光栅尺114、第二导轨115、第二滑块116、第三挡板117、第二直线电机定子部分118、第二直线电机动子部分119和第四挡板120。

第一挡板101竖直设置在第一底座105的一侧，第一直线电机定子部分102的一端与第一挡板101连接，另一端经第一直线电机动子部分103与第二挡板104的一侧连接，第二挡板104另一侧的底部水平设置有第二底座111，第二挡板104使第一直线电机动子部分推动第二底座111实现直线运动；第二底座111上设置有第一导轨106，第一滑块107设置在第一导轨106上，第一光栅尺108设置在第一滑块107上，第一读数头109设置在第一底座105上，第一直线电机带动第二底座111实现直线运动，并配合第一读数头109、第一光栅尺108实时读取位置信息；

第三挡板117竖直设置在第二底座111上，第二直线电机定子部分118的一端与第三挡板117连接，另一端经第二直线电机动子部分119与第四挡板120连接，第二直线电机动子部分推动第四挡板120实现直线运动；第二直线电机定子部分118靠近第二挡板104的一侧设置有第二滑块116，第二滑块116设置在第二导轨115上，第二滑块116上设置有第二光栅尺114，第二滑块116在第二直线电机移动过程中带动第二光栅尺114移动，第二读数头113设置在第二底座111上，第二直线电机带动第四挡板120实现直线运动，并配合第二读数头113、第二光栅尺114实时读取位置信息；

通过两个直线电机带动第四挡板120在X、Y方向二自由度的精密直线运动。

其中，第一挡板101与第一直线电机定子部分102、第一底座105均通过螺栓固定，起到支撑固定第一直线电机的作用。

第二挡板104与第一直线电机动子部分103、第二底座111均通过螺栓固定，起到承接作用，使第一直线电机动子部分可推动第二底座111实现直线运动。

第一导轨106与第一底座105通过螺栓连接。

第一滑块107与第一光栅尺108、第二底座111均通过螺栓连接，在第一直线电机移动过程中带动第一光栅尺108移动。

第一垫块110与第一读数头109、第一底座105均通过螺栓固定，起到连接固定作用。

第一直线电机带动第二底座111实现直线运动，并配合第一读数头109、第一光栅尺108实时读取位置信息。

第三挡板117与第二直线电机定子部分118、第二底座111均通过螺栓固定，起到支撑固定第二直线电机的作用。

第四挡板120与第二直线电机动子部分119、第二滑块116均通过螺栓固定，起到承接作用，使第二直线电机动子部分可推动第四挡板120实现直线运动。

第二导轨115与第二底座111通过螺栓连接；第二滑块116与第二光栅尺114通过螺栓连接，在第二直线电机移动过程中带动第二光栅尺移动。

第二垫块112与第二读数头113、第二底座111均通过螺栓固定，起到连接固定作用；第二直线电机带动第四挡板120实现直线运动，并配合第二读数头113、第二光栅尺114实时读取位置信息。

请参阅图3，第二移动平台2包括第一承载盘201、虎克铰202、第一连接板203、第二连接板204、第三读数头205、第三直线电机定子部分206、第三光栅尺207、第三连接板208、第三直线电机动子部分209、第四连接板210和第二承载盘211。

第一承载盘201与第一移动平台1中的第四挡板120通过螺栓连接，使第一移动平台1带动第二移动平台2整体移动，第一承载盘201和第二承载盘211之间间隔设置有三个直线电机，三个直线电机安装方式均一致，三个直线电机上下均采用虎克铰202连接，为直线电机上下移动的同时提供偏摆条件，实现X、Y方向翻转运动的自由度位姿调整，第二移动平台2最终实现带动第二承载盘211在Z方向以及绕X、Y方向翻转的三自由度精密调整；第一运动平台1和第二运动平台2的直线电机运动的同时，均配合读数头、光栅尺实时读取位置信息，通过闭环控制实现微米级的运动调整精度，从而实现非球面反射元件的拼接装配，每个第二承载盘211上设置有一块离轴非球面子镜，多块离轴非球面子镜拼接组成大口径非球面镜。

三个直线电机间隔设置在第一承载盘201和第二承载盘211之间，每个直线电机的连接方式相同，下面以第三直线电机为例进行说明，具体如下：

第三直线电机包括第三直线电机定子部分206，第三直线电机定子部分206的一端通过第一连接板203和虎克铰202与第一承载盘201连接，第三直线电机定子部分206的另一端经第三直线电机动子部分209与第四连接板210的一侧连接，第四连接板210的另一侧通过另一个虎克铰202与第二承载盘211连接；第一连接板203上设置有第二连接板204，第二连接板204上设置有第三读数头205，第四连接板210上设置有第三连接板208，第三连接板208上设置有第三光栅尺207，第三直线电机动子部分209推动第三连接板208与第三光栅尺207实现直线运动；第三直线电机带动第三连接板208实现直线运动，并配合第三读数头205、第三光栅尺207实时读取位置信息。

其中，虎克铰202与第一承载盘201、第一连接板203、第二承载盘211和第四连接板210通过螺栓连接。

第一连接板203与第二连接板204、第三直线电机定子部分206均通过螺栓固定；第三读数头205与第一连接板204通过螺栓连接。

第四连接板210与第三直线电机动子部分209、第三连接板208均通过螺栓固定；第三光栅尺207与第三连接板208通过螺栓连接。

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中的描述和所示的本发明实施例的组件可以通过各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明一种用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台的工作过程如下：

用于拼接的离轴非球面子镜放置于第二运动平台的第二承载盘上，第二移动平台中三个直线电机结构相同，在三个直线电机的两端与第一承载盘和第二承载盘之间均采用虎克铰连接，满足绕X、Y方向翻转运动的角度偏转需要，从而实现在三个直线电机在运动过程中第二承载盘的翻转，当三个直线电机同时向Z方向移动的距离相等时，可实现中第二承载盘沿Z方向的移动；

当三个直线电机移动的距离不等时，则可实现第二承载盘绕X、Y方向的翻转运动，从而实现离轴非球面子镜在第二运动平台上Z向移动以及绕X、Y方向翻转运动的三自由度位置姿态调整。

同时，第二运动平台中的第一承载盘与第一移动平台中的第四挡板通过螺栓连接，使第一移动平台带动第二运动平台实现X、Y方向移动的二自由度调整，从而使平台整体实现离轴非球面子镜在X、Y、Z向移动以及绕X、Y方向翻转运动的五自由度位姿调整，平台中的直线电机均配合读数头、光栅尺实时读取位置信息，通过闭环控制实现微米级的运动调整精度，从而实现非球面反射元件的拼接装配。

综上所述，本发明一种用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，通过直线电机与光栅尺、读数头配合，位置调整精度高、调整效率高，实现离轴非球面位姿的微米级调整精度，减小了装配误差，满足目前大型非球面反射元件面型精度的制造要求；提高离轴非球面子镜的自动化拼接装配的效率同时，可以有效解决目前大型非球面反射元件装配制造面临的实际问题；采用以小拼大的思想，通过将各个离轴非球面子镜(非球面镜的一部分)拼接在一起的方式实现更大口径的非球面元件的制造，满足现代及未来光学工业的发展需求。

以上内容仅为说明本发明的技术思想，不能以此限定本发明的保护范围，凡是按照本发明提出的技术思想，在技术方案基础上所做的任何改动，均落入本发明权利要求书的保护范围之内。

Claims

1.一种用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，其特征在于，包括第一移动平台(1)，第一移动平台(1)用于实现X、Y方向移动二自由度调整，第一移动平台(1)的上方设置有第二移动平台(2)，第二移动平台(2)用于实现Z方向移动以及绕X、Y方向翻转运动三自由度调整，第二移动平台(2)上设置有一块离轴非球面子镜，通过第一移动平台(1)和第二移动平台(2)实现离轴非球面子镜的五自由度位姿调整。

2.根据权利要求1所述的用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，其特征在于，第一移动平台(1)包括第一底座(105)，第一底座(105)的一侧通过第一挡板(101)与第一直线电机连接，第一直线电机的输出端连接有第二底座(111)，第二底座(111)通过第三挡板(117)与第二直线电机连接，第二直线电机的输出端连接第四挡板(120)，第一直线电机和第二直线电机配合实现第四挡板(120)在X、Y方向二自由度的精密直线运动。

3.根据权利要求2所述的用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，其特征在于，第一挡板(101)竖直设置在第一底座(105)的一侧，第一挡板(101)与第一直线电机定子部分(102)的一端连接，第一直线电机定子部分(102)的另一端经第一直线电机动子部分(103)与第二挡板(104)的一侧连接；第二挡板(104)另一侧连接有第二底座(111)，第二底座(111)上设置有第一光栅尺(108)，第一底座(105)上设置有第一读数头(109)，第一底座(105)与第一读数头(109)之间设置有第一垫块(110)。

4.根据权利要求3所述的用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，其特征在于，第二底座(111)上设置有第一导轨(106)，第一导轨(106)上设置有第一滑块(107)，第一光栅尺(108)设置在第一滑块(107)上。

5.根据权利要求2所述的用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，其特征在于，第三挡板(117)与第二直线电机定子部分(118)的一端连接，第二直线电机定子部分(118)的另一端经第二直线电机动子部分(119)与第四挡板(120)连接，第二直线电机动子部分(119)推动第四挡板(120)实现直线运动；第二底座(111)上分别设置有第二读数头(113)和第二光栅尺(114)。

6.根据权利要求5所述的用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，其特征在于，第二底座(111)上靠近第二挡板(104)的一侧设置有第二导轨(115)，第二导轨(115)上设置有第二滑块(116)，第二光栅尺(114)设置在第二滑块(116)上，第二底座(111)和第二读数头(113)之间设置有第二垫块(112)。

7.根据权利要求1所述的用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，其特征在于，第二移动平台(2)包括第一承载盘(201)和第二承载盘(211)，第一承载盘(201)的下侧与第一移动平台(1)的第四挡板(120)连接，第一承载盘(201)和第二承载盘(211)之间竖直间隔设置有三个直线电机，能够实现X、Y方向翻转运动的自由度位姿调整，第二承载盘(211)的上方与离轴非球面子镜连接，通过第二移动平台(2)带动第二承载盘(211)在Z方向以及绕X、Y方向翻转的三自由度精密调整。

8.根据权利要求7所述的用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，其特征在于，三个直线电机结构相同，包括第三直线电机、第四直线电机和第五直线电机，三个直线电机的两端与第一承载盘(201)和第二承载盘(211)之间均采用虎克铰(202)连接。

9.根据权利要求8所述的用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，其特征在于，第三直线电机包括第三直线电机定子部分(206)，第三直线电机定子部分(206)的一端依次通过第一连接板(203)和一个虎克铰(202)与第一承载盘(201)连接；第三直线电机定子部分(206)的另一端经第三直线电机动子部分(209)与第四连接板(210)的一侧连接，第四连接板(210)的另一侧通过另一个虎克铰(202)与第二承载盘(211)连接；第一连接板(203)上设置有第三读数头(205)，第四连接板(210)上设置有第三光栅尺(207)，第三直线电机动子部分(209)驱动第三光栅尺(207)实现直线运动；并配合第三读数头(205)、第三光栅尺(207)实时读取位置信息。

10.根据权利要求9所述的用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，其特征在于，第一连接板(203)上设置有第二连接板(204)，第三读数头(205)设置在第二连接板(204)上，第四连接板(210)上设置有第三连接板(208)，第三光栅尺(207)设置在第三连接板(208)上。