CN113102202A - 仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法 - Google Patents

仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，方法包括步骤：提供基板；在所述基板上沉积至少一层微米球；采用成膜溶液在所述微米球上成膜以固定所述微米球；去除第一层所述微米球背离所述基板一侧的膜层；在所述第一层所述微米球背离所述基板一侧制作纳米柱阵列，得到所述仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜。在基板上沉积微米球，并在第一层微米球上形成纳米柱阵列，得到仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜，凸起的微米球能够抑制表面的镜面反射，微米球能够产生渐变折射率效果，实现对光的增透效果。

Description

仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法
技术领域
本发明涉及薄膜技术领域，尤其涉及的是一种仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法。
背景技术
在生产生活中，太阳光作为一种可再生能源一直被人们研究并加以利用。太阳光在古代乃至近代时期是重要的照明工具，日出而作，日落而息，是自古以来的法则。但由于传播介质的存在，导致光在经过不同介质时会发生反射与折射，反射光的存在降低了光的强度，不利于光的利用和吸收。对于太阳能电池表面，阳光在表面产生的反射降低了光线的吸收，降低了太阳能电池板的转化效率；在高精密仪器的光学镜头表面，光线在表面产生的反射使达到镜头内部的光线变弱，成像不清晰，视线模糊。现有技术中，电池板、镜头等透明件的反射率较高。
因此，现有技术还有待于改进和发展。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，旨在解决现有技术中透明件的反射率较高的问题。
本发明解决技术问题所采用的技术方案如下：
一种仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，其中，包括步骤：
提供基板；
在所述基板上沉积至少一层微米球；
采用成膜溶液在所述微米球上成膜以固定所述微米球；
去除第一层所述微米球背离所述基板一侧的膜层；
在所述第一层所述微米球背离所述基板一侧制作纳米柱阵列，得到所述仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜。
所述的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，其中，
所述在所述基板上沉积至少一层微米球，包括：
提供微米球溶液；其中，所述微米球溶液包括若干个微米球和第一溶剂；
在所述基板上旋涂所述微米球溶液，以沉积至少一层微米球。
所述的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，其中，所述微米球选自二氧化硅球、聚苯乙烯球中的至少一种；所述微米球的半径为6-15微米；所述第一溶剂选自乙醇、水中的至少一种。
所述的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，其中，所述采用成膜溶液在所述微米球上成膜以固定所述微米球，包括：
在所述微米球上旋涂成膜溶液，并进行固化处理，以固定所述微米球。
所述的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，其中，所述成膜溶液选自环氧树脂溶液、聚二甲基硅氧烷溶液中的一种；所述固化处理为加热固化处理，所述加热固化处理的温度为75-90℃。
所述的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，其中，所述成膜溶液为聚氨酯丙烯酸溶液，所述固化处理为紫外固化处理，所述紫外固化处理的时间为12-15分钟。
所述的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，其中，所述去除第一层所述微米球背离所述基板一侧的膜层，包括：
在第一层所述微米球背离所述基板一侧旋涂溶解溶液，以去除第一层所述微米球背离所述基板一侧的膜层；其中，所述溶解溶液为丙酮、乙酸乙酯以及乙酸丁酯的混合溶液。
所述的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，其中，所述在所述第一层所述微米球背离所述基板一侧制作纳米柱阵列，得到所述仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜，包括：
在所述第一层所述微米球背离所述基板一侧采用激光刻蚀形成纳米柱阵列，得到所述仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜。
所述的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，其中，所述激光刻蚀的参数为功率5～10瓦，光斑120-150纳米，频率50～80赫兹，在微米球阵列表面扫描，每列扫描2次，列与列之间间隔20～50nm。
一种仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜，其中，
采用如上述任意一项所述的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法制备得到。
有益效果：在基板上沉积微米球，并在第一层微米球上形成纳米柱阵列，得到仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜，凸起的微米球能够抑制表面的镜面反射，微米球能够产生渐变折射率效果，实现对光的增透效果。
附图说明
图1是本发明实施例中蝴蝶复眼的扫描电镜照片。
图2是本发明实施例中仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法的流程图。
图3是本发明实施例中蝴蝶复眼的一级结构模型。
图4是本发明实施例中蝴蝶复眼的二级结构模型。
图5是本发明中仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
请同时参阅图1-图5，本发明提供了一种仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法的一些实施例。
自从人们意识到高透过率光线的重要性后，开始从多种角度来实现光线的高透过。在高精密仪器表面制作均匀的单层膜或者多层膜结构能够有效的减少反射光的强度，这种原理运用光的半波损失原理，制作出特定厚度以及特定材料的减反射薄膜，实现在镜头表面的减反射效果。但由于这种薄膜在原理上所具有的缺陷，即半波损失公式计算应用的光波长度和空气折射率都是固定的，使得所作出的薄膜只能对一种光或某几种光达到良好的减反射目的，并不能实现宽频的减反射效果。在这之后人们开始涉足微-纳结构来实现减反射目的，这种技术在现今也一直处于发展之中。
在微-纳减反射结构发展中，如图1所示，昆虫的复眼结构在减反射效果表现上具有突出的优势，并且昆虫的复眼结构具有良好的动态视力。很多学者以及科学工作者对昆虫复眼做出了研究揭示了昆虫复眼的生物结构，包括表面的突起结构和其内部的感光束结构。如图1和图3所示，昆虫的复眼主要呈现半球形，如图1所示，在微米级尺度下观察其上存在很多六边形块状区域，面积从25平方微米到35平方微米之间，根据物种的不同，其六边形块状区域也有所区别；如图1和图4所示，进入纳米尺度后，可以看见块状区域上存在许多纳米柱阵列结构，这种二级复合机构在减反射上具有优秀的能力。
虽然昆虫复眼具有优秀的减反射能力，但对于其微观结构的复制和应用仍旧存在很多问题。
如图2和图5所示，本发明的一种仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，包括以下步骤：
步骤S100、提供基板。
具体地，基板可以是透明的基板，可以是任意的需要增加透光减少反射的基板，例如，基板采用硅基基板或者玻璃基板，采用硅基基板时，可以应用于硅基薄膜太阳电池，更多的光透过薄膜到达太阳电池内并转化成电能。本发明实施例中为了增加基板的透过率，减少基板的反射率，任意其他需要增加透过率，降低反射率的基板，都可以采用本发明中的方法在该基板上形成微米球和纳米柱阵列，以增加透过率，并降低反射率。
步骤S200、在所述基板上沉积至少一层微米球。
具体地，微米球是指直径在微米级别的球体，微米球的直径为1-1000微米，在基板上沉积至少一层微米球，形成微米球层。为了提高透过率和降低反射率，如图5所示，基板上微米球紧密排列，例如，在微米球层中微米球呈六方堆积分布，在六方堆积的每个六边形重复单元中六个微米球分别位于六边形的角上，还有一个微米球位于六个微米球中间。阵列中有若干个六边形重复单元排列形成微米球层。
蝴蝶复眼表面具有微纳结合的复合结构，这种结构有利于光线的捕捉和动态视野的增强。微米球形成的复合结构中的一级结构，由于一级结构的存在增加与光线的接触面积，实现更大面积光线的吸收。微米球呈六方堆积分布能够增加稳定性，增加光线的接触面积。
当光线经过微米球时，微米球可以抑制表面的镜面反射，微米级凸起能够产生渐变折射率效果，实现对光的增透效果。
可以根据需要设置微米球层的数量，例如，设置2层微米球层或3层微米球层。采用至少2层微米球层时，相邻两个微米球层中微米球错开设置，在微米球层中每3个微米球中两两相邻形成下凹结构，该下凹结构可以放置上一层微米球层的一个微米球，也就是说，相邻两个微米球层也是紧密排列的。这样当光线穿过薄膜时，至少要穿过一个微米球，从而可以增加透过率和降低反射率。
较佳的，采用2层微米球，光线至少穿过一个微米球，并不会直接照射到基板上，因此，可以减少光线在基板上的反射。
可以理解的是，微米球可在目标表面直接制作，多层微米球结构增加薄膜的厚度，增强了薄膜的韧性等机械性能，不易被破坏。
步骤S200包括：
步骤S210、提供微米球溶液；其中，所述微米球溶液包括若干个微米球和第一溶剂。
步骤S220、在所述基板上旋涂所述微米球溶液，以沉积至少一层微米球。
具体地，为了实现微米球紧密排列，采用旋涂微米球溶液的方式，将微米球沉积在基板上，在旋涂过程中，第一溶剂挥发后只剩下微米球排列在基板上，则完成了微米球的沉积。
微米球为表面带同种电荷的胶体颗粒，微米球分散在第一溶剂中后，由于微米球表面之间的电荷相互作用，随着第一溶剂的蒸发，微米球自动排列成六方堆积的胶体晶体。
需要说明的是，多层微米球可以采用多次旋涂的方式得到，也可以采用依次旋涂的方式得到。当然，采用多次旋涂的方式时，可以充分使各层微米球层中的微米球紧密排列。
具体地，所述微米球选自二氧化硅球、聚苯乙烯球中的至少一种。所述微米球的半径为6-15微米；所述第一溶剂选自乙醇、水中的至少一种。第一溶剂可以采用乙醇和水的混合溶剂，例如，微米球溶液中微米球、乙醇以及水的质量比为微米球：乙醇：水＝0.05:34～36：4～6。
举例说明，将微米球加入到第一溶剂中后，采用磁力搅拌10～15分钟，旋涂在玻璃基底或硅基底上，旋涂速度100～120转/分钟，旋涂一分钟，加速时间10秒，减速时间10秒。通风出放置8～10分钟，重复操作3～5次。
步骤S300、采用成膜溶液在所述微米球上成膜以固定所述微米球。
具体地，由于微米球层中微米球之间并没有连接，而是整齐排列在一起，微米球并不是固定的，可以移动，因此，为了固定微米球，采用成膜溶液在微米球上进行成膜。由于微米球层中两个微米球之间存在空隙，成膜溶液可以进入到微米球层的空隙中并成膜，则微米球嵌设在薄膜中。
成膜溶液是指用于成膜的溶液，成膜溶液包括主剂和成膜溶剂。成膜溶液在成膜过程中成膜溶剂逐渐挥发，从而主剂形成薄膜。主剂可以是环氧树脂、聚二甲基硅氧烷、聚氨酯丙烯酸中的一种或多种，也就是说，成膜溶液可以是环氧树脂溶液、聚二甲基硅氧烷溶液、聚氨酯丙烯酸溶液中的一种或多种，成膜溶剂是根据主剂进行选取的，可以是单一成分的溶剂，也可以是多个成分形成的混合溶剂。
为了加快成膜溶液的成膜效率，成膜溶液还可以包括固化剂，固化剂在成膜过程中有利于主剂的固化，加快成膜效率。为了进一步加快成膜效率，在成膜过程中，当成膜溶液覆盖在微米球上后，可以对成膜溶液进行加热，加热处理可以加快成膜溶剂的挥发。可以理解的是，固化剂可以是热固化剂，在加热时，固化剂固化效率提高。
环氧树脂溶液中环氧树脂和固化剂的摩尔比为2.8～3.2：1，固化温度80～90℃，固化时间4～8小时，采用鼓风干燥箱内固化。聚二甲基硅氧烷溶液中聚二甲基硅氧烷和固化剂的摩尔比为9.0～11.0：1，固化温度75～80℃，固化时间90～120分钟，鼓风干燥箱内固化。聚氨酯丙烯酸溶液采用紫外光固化12～15分钟。
成膜溶液的成膜方式可以是旋涂或者喷涂，具体根据需要采用相应的成膜方式。将成膜溶液覆盖在微米球上后，需要使成膜溶液没过微米球。将成膜溶液覆盖再模板上后，进行固化处理，例如可以采用加热的方式，加速成膜溶剂的挥发。固化完成后，则得到固定微米球的薄膜。
步骤S300包括：
步骤S310、在所述微米球上旋涂成膜溶液，并进行固化处理，以固定所述微米球。
所述成膜溶液选自环氧树脂溶液、聚二甲基硅氧烷溶液中的一种；所述固化处理为加热固化处理，所述加热固化处理的温度为75-90℃。成膜溶液采用环氧树脂溶液时，旋涂速度700～900转/分钟，旋涂1分钟，包含加速时间10秒钟，减速时间10秒钟，固化温度80～90℃，固化时间4～8小时，鼓风干燥箱内固化。成膜溶液采用聚二甲基硅氧烷溶液时，旋涂速度800～900转/分钟，旋涂一分钟，包含加速时间10秒，减速时间10秒，固化温度75～80℃，固化时间90～120分钟，鼓风干燥箱内固化。
所述成膜溶液为聚氨酯丙烯酸，所述固化处理为紫外固化处理，所述紫外固化处理的时间为12-15分钟。
微米球固定之后，则得到仿蝴蝶复眼的一级结构，每个微米球代表一个小单眼，多个微米球形成仿蝴蝶复眼。
膜的作用在于，固定微米球，增加柔韧性，使薄膜微米球结构不被破坏。成膜溶液涂敷之后，露出微米球部分大致成六边形，这与蝴蝶复眼的一级结构相同，随后利用激光刻蚀手段制作纳米柱阵列，完成增透减反射薄膜的制作。
步骤S400、去除第一层所述微米球背离所述基板一侧的膜层。
具体地，为了进一步提高薄膜的透过率，降低薄膜的反射率，在第一层微米球上设置纳米柱阵列，由于成膜之后，微米球嵌设在薄膜内，需要去除第一层微米球上的膜层，露出第一层微米球，再在第一层微米球上形成纳米柱阵列。需要说明的是，在去除第一层微米球背离基板一侧的膜层时，需要保留第一层微米球朝向基板一侧的膜层，确保微米球固定牢靠。
步骤S400包括：
步骤S410、在第一层所述微米球背离所述基板一侧旋涂溶解溶液，以去除第一层所述微米球背离所述基板一侧的膜层；其中，所述溶解溶液为丙酮、乙酸乙酯以及乙酸丁酯的混合溶液。
具体地，采用溶解溶液去除第一层微米球背离基板一侧的膜层，由于成膜溶液中主剂选自环氧树脂、聚二甲基硅氧烷、聚氨酯丙烯酸，溶解溶液可以是丙酮、乙酸乙酯以及乙酸丁酯的混合溶液，通过溶解溶液溶解第一层微米球背离基板一侧的膜层。当然，还可以根据需要采用其它溶解溶液，对成膜溶液中的主剂进行溶解。
溶解溶液中丙酮、乙酸乙酯和乙酸丁酯按照4～6：2～4：1配比，旋涂速度60～90转/分钟，旋涂30～40秒，加速时间10秒，减速时间10秒，清除微米球上的膜层。
步骤S500、在所述第一层所述微米球背离所述基板一侧制作纳米柱阵列，得到所述仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜。
具体地，在第一层微米球上每个微米球上形成纳米柱阵列，纳米柱阵列是指由若干个纳米柱形成的阵列，纳米柱是指直径在纳米级别的柱，纳米柱的直径小于1000纳米，纳米柱均匀分布在第一层微米球上，纳米柱指向纳米球的球心，由于微米球的直径大于纳米柱的直径，每个微米球上可以至少有一个纳米柱，纳米柱的直径为120-150纳米。
可以理解的是，本发明一级结构与二级结构采用二氧化硅球和聚苯乙烯球，能够在激光刻蚀过程中制备完整的二级结构，从而实现更好的增透减反的目的。
本发明利用的减反射原理是渐变折射率原理，渐变折射率实现折射率的逐渐变化，让光在微凸起中传播，而不发生反射，从而实现减反射目的。
纳米柱阵列可以采用激光刻蚀或金属离子刻蚀形成，本发明实施例以激光刻蚀形成纳米柱阵列为例进行说明。
步骤S500包括：
步骤S510、在所述第一层所述微米球背离所述基板一侧采用激光刻蚀形成纳米柱阵列，得到所述仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜。
具体地，在第一层微米球上形成纳米柱阵列后，则得到仿蝴蝶复眼的二级结构，也就得到了仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜。纳米柱阵列中纳米柱相互紧密排列。
所述激光刻蚀的参数为功率5～10瓦，光斑120-150纳米，频率50～80赫兹，在微米球阵列表面扫描，每列扫描2次，列与列之间间隔20～50nm。
具体实施例一
1、微米球溶解于乙醇和水的混合溶液中，微米球选择二氧化硅球，半径尺寸在3-4微米之间，微米球，乙醇和水的配比＝0.05：35：5，旋涂速度110转/分钟，旋涂一分钟，加速时间10秒钟，减速时间10秒钟，通风处放置9分钟，蒸发溶剂后再次旋涂，重复4次。
2、配置成膜溶液，溶液固化成膜。成膜溶液选择环氧树脂。成膜溶液选择环氧树脂溶液，其主剂和固化剂质量配比3：1，旋涂速度800转/分钟，旋涂1分钟，包含加速时间10秒钟，减速时间10秒钟，固化温度85℃，固化时间6小时，鼓风干燥箱内固化。
3、配置溶解溶液，丙酮、乙酸乙酯和乙酸丁酯按照5：3：1配比，旋涂速度75转/分钟，旋涂35秒，加速时间10秒，减速时间10秒，清除微米球结构上的表层膜。
4、利用激光刻蚀技术在顶层微米球阵列上刻蚀纳米柱，利用激光功率7.5瓦，光斑135纳米，频率65赫兹，在微米球阵列表面扫描，每列扫描2次，列与列之间间隔35nm，扫描200列。刻蚀结束后得到仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构的高透减反射薄膜。
具体实施例二
1、微米球溶解于乙醇和水的混合溶液中，微米球选择聚苯乙烯球，半径尺寸在3-4微米之间，微米球，乙醇和水的配比＝0.05：36：6，旋涂速度120转/分钟，旋涂一分钟，加速时间10秒钟，减速时间10秒钟，通风处放置10分钟，蒸发溶剂后再次旋涂，重复5次。
2、配置成膜溶液，溶液固化成膜。成膜溶液选择聚二甲基硅氧烷，其主剂和固化剂配比11：1，旋涂速度900转/分钟，旋涂一分钟，包含加速时间10秒，减速时间10秒，固化温度80℃，固化时间120分钟，鼓风干燥箱内固化。
3、配置溶解溶液，丙酮、乙酸乙酯和乙酸丁酯按照6：4：1配比，旋涂速度90转/分钟，旋涂40秒，加速时间10秒，减速时间10秒，清除微米球结构上的表层膜。
4、利用激光刻蚀技术在顶层微米球阵列上刻蚀纳米柱，利用激光功率10瓦，光斑150纳米，频率80赫兹，在微米球阵列表面扫描，每列扫描2次，列与列之间间隔50nm，扫描200列。刻蚀结束后得到仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构的高透减反射薄膜。
基于上述实施例仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，本发明还提供了一种仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的实施例。
本发明的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜，采用如上述任意一实施例仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法制备得到。
本发明仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜包括：
基板；
薄膜，设置于基板；
至少一层微米球，嵌设在所述薄膜中；
其中，第一层微米球位于所述薄膜外，第一层微米球背离所述基板一侧设置有纳米柱阵列。
复眼上凸起的微米球能够抑制表面的镜面反射，微米球能够产生渐变折射率效果，实现对光的增透效果。当光线经过仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜时，先到达第一层微米球上的纳米柱阵列，至少部分光线会进入到纳米柱阵列的纳米柱中，这些光线不管是折射还是反射都是朝向微米球下方传播，提高了透过率并降低了反射率。
应当理解的是，本发明的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，其特征在于，包括步骤：
提供基板；
在所述基板上沉积至少一层微米球；
采用成膜溶液在所述微米球上成膜以固定所述微米球；
去除第一层所述微米球背离所述基板一侧的膜层；
在所述第一层所述微米球背离所述基板一侧制作纳米柱阵列，得到所述仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜。
2.根据权利要求1所述的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，其特征在于，
所述在所述基板上沉积至少一层微米球，包括：
提供微米球溶液；其中，所述微米球溶液包括若干个微米球和第一溶剂；
在所述基板上旋涂所述微米球溶液，以沉积至少一层微米球。
3.根据权利要求2所述的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，其特征在于，所述微米球选自二氧化硅球、聚苯乙烯球中的至少一种；所述微米球的半径为6-15微米；所述第一溶剂选自乙醇、水中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，其特征在于，所述采用成膜溶液在所述微米球上成膜以固定所述微米球，包括：
在所述微米球上旋涂成膜溶液，并进行固化处理，以固定所述微米球。
5.根据权利要求4所述的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，其特征在于，所述成膜溶液选自环氧树脂溶液、聚二甲基硅氧烷溶液中的一种；所述固化处理为加热固化处理，所述加热固化处理的温度为75-90℃。
6.根据权利要求4所述的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，其特征在于，所述成膜溶液为聚氨酯丙烯酸溶液，所述固化处理为紫外固化处理，所述紫外固化处理的时间为12-15分钟。
7.根据权利要求5或6所述的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，其特征在于，所述去除第一层所述微米球背离所述基板一侧的膜层，包括：
在第一层所述微米球背离所述基板一侧旋涂溶解溶液，以去除第一层所述微米球背离所述基板一侧的膜层；其中，所述溶解溶液为丙酮、乙酸乙酯以及乙酸丁酯的混合溶液。
8.根据权利要求1所述的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，其特征在于，所述在所述第一层所述微米球背离所述基板一侧制作纳米柱阵列，得到所述仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜，包括：
在所述第一层所述微米球背离所述基板一侧采用激光刻蚀形成纳米柱阵列，得到所述仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜。
9.根据权利要求8所述的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法，其特征在于，所述激光刻蚀的参数为功率5～10瓦，光斑120-150纳米，频率50～80赫兹，在微米球阵列表面扫描，每列扫描2次，列与列之间间隔20～50nm。
10.一种仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜，其特征在于，
采用如权利要求1-9任意一项所述的仿蝴蝶复眼反蛋白石二级结构高透减反射薄膜的制备方法制备得到。
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