CN113073325A - 一种蚀刻清洗装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种蚀刻清洗装置，包括机架和蚀刻机构；所述蚀刻机构安装在所述机架上，蚀刻机构用于对电极进行蚀刻；箱体安装在机架上，托架布置在箱体内，支架布置在托架上，主动辊的两端均与支架转动连接，第一支撑辊的两端均与支架连接，第二支撑辊的两端均与支架连接；主动辊上设有多个环形放置槽，第一支撑辊上设有多个第一环形支撑槽，第二支撑辊上设有多个第二环形支撑槽；环形放置槽、第一环形支撑槽和第二环形支撑槽呈一一对应；驱动机构安装在箱体内，驱动机构与主动辊的一端连接，驱动机构用于驱动主动辊转动。本发明有效地提高了蚀刻速率，提高了生产效率，同时提高了电极工件的中心小孔和边缘小孔蚀刻的均匀性。

Description

一种蚀刻清洗装置
技术领域
本发明涉及电极蚀刻技术领域，具体涉及一种蚀刻清洗装置。
背景技术
电极是电子或电器装置、设备中的一种部件，用做导电介质(固体、气体、真空或电解质溶液)中输入或导出电流的两个端；输入电流的一极叫阳极或正极，放出电流的一极叫阴极或负极。在一些电极的制作工艺流程中，蚀刻制程是不可或缺的。蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类，目前常用的是湿蚀刻。然而，现有的湿蚀刻方法的蚀刻速率慢，降低了生产效率。
发明内容
针对上述问题，本发明提出一种蚀刻清洗装置，有效地提高了蚀刻速率，提高了生产效率。
本发明提供了一种蚀刻清洗装置，包括机架和蚀刻机构；所述蚀刻机构安装在所述机架上，蚀刻机构用于对电极进行蚀刻；所述蚀刻机构包括箱体、驱动机构、托架、支架以及呈平行布置的主动辊、第一支撑辊和第二支撑辊，箱体安装在机架上，托架布置在箱体内，支架布置在托架上，主动辊的两端均与支架转动连接，第一支撑辊的两端均与支架连接，第二支撑辊的两端均与支架连接，第一支撑辊和第二支撑辊位于主动辊的两侧；主动辊上设有多个环形放置槽，第一支撑辊上设有多个第一环形支撑槽，第二支撑辊上设有多个第二环形支撑槽；环形放置槽、第一环形支撑槽和第二环形支撑槽呈一一对应；驱动机构安装在箱体内，驱动机构与主动辊的一端连接，驱动机构用于驱动主动辊转动。
优选地，所述托架滑动配合在箱体内，托架在箱体上的滑动方向与主动辊的轴向平行。
优选地，蚀刻清洗装置还包括滤板；所述驱动机构包括动力机构、转动轴、第一轴承座、第二轴承座、主动齿轮和从动齿轮，滤板安装在箱体内，滤板位于托架的下方，第一轴承座和第二轴承座均安装在滤板上，转动轴的两端分别与第一轴承座和第二轴承座转动连接，转动轴的轴向与托架的滑动方向一致；转动轴的横截面外轮廓呈多边形或者齿轮状，主动齿轮设有与转动轴配合的异型孔，转动轴与主动齿轮的异型孔呈轴向活动配合；托架的靠转动轴侧设有用于对主动齿轮限位的第一拨板和第二拨板，主动齿轮位于第一拨板和第二拨板之间；主动辊的一端凸出支架与从动齿轮连接，主动齿轮和从动齿轮啮合；动力机构安装在箱体内，动力机构与转动轴连接，动力机构用于驱动转动轴转动。
优选地，所述动力机构包括动力电机、主动链轮、链条和从动链轮，动力电机安装在箱体外，动力电机的转轴穿过箱体的壁厚与主动链轮连接，从动链轮与转动轴凸出第一轴承座的一端连接，主动链轮通过链条与从动链轮传动连接。
优选地，所述托架的两侧设有向外水平翻折的第一翻折板和第二翻折板，箱体上设有带滑轨气缸，带滑轨气缸的直线移动端与第二翻折板连接，第一翻折板与箱体沿带滑轨气缸的直线移动方向滑动配合，带滑轨气缸的直线移动方向与转动轴的轴向一致。
优选地，所述第一翻折板的远托架一端设有第一下翻折板，第一下翻折板的靠箱体侧设有滑块，滑块沿带滑轨气缸的直线移动方向设有贯穿的滑槽，箱体上对应滑块处设有滑轨，滑轨的长度方向与带滑轨气缸的直线移动方向一致，滑块的滑槽与滑轨滑动配合；第二翻折板的远托架一端设有第二下翻折板，带滑轨气缸布置在箱体与第二下翻折板之间。
优选地，所述支架包括两张支撑板、两根连接杆和两个条形支撑板，每根连接杆的两端分别与两张支撑板连接，每个条形支撑板的两端分别与两张支撑板连接，两张支撑板呈平行布置；主动辊、第一支撑辊和第二支撑辊位于两根连接杆之间，主动辊、第一支撑辊和第二支撑辊位于两张支撑板之间；支撑板上设有连接孔、第一条形孔和第二条形孔，第一条形孔和第二条形孔呈倒八字布置，连接孔位于第一条形孔和第二条形孔之间的下方；主动辊的两端分别与两张支撑板的连接孔转动连接，第一支撑辊的两端螺纹连接有紧固螺栓，第一支撑辊的两紧固螺栓分别配合在两张支撑板的第一条形孔内；第二支撑辊的两端螺纹连接有紧固螺栓，第二支撑辊的两紧固螺栓分别配合在两张支撑板的第二条形孔内；托架的底部设有环形沉槽，两张支撑板的下端与两个条形支撑板均活动配合在环形沉槽内。
优选地，所述托架的上端两侧均设有立板，每个立板上均安装有气缸，气缸的活塞杆与下方对应的连接杆链接；支撑板的两侧均设有限位块，托架对应限位块的纵向移动方向设有纵向限位槽，支撑板的限位块活动配合在托架上对应的纵向限位槽内。
优选地，所述箱体的底部设有超声波加热器，超声波加热器位于滤板下方。
优选地，蚀刻清洗装置还包括清洗机构；所述清洗机构安装在机架上，清洗机构所包括的部件及各部件的连接方式与蚀刻机构所包括的部件及各部件的连接方式相同。
本发明具有如下的有益效果：
1、该技术方案中相对应的环形放置槽、第一环形支撑槽和第二环形支撑槽内可放置一个电极工件，主动辊、第一支撑辊和第二支撑辊上可同时放置多个电极工件，在箱体内注入适量的蚀刻液，使电极工件全部浸泡在蚀刻液中，即可同时对多个电极工件同时进行蚀刻，有效地提高了蚀刻速率，提高了生产效率；其次，驱动机构通过驱动主动辊转动，从而带动主动辊上环形放置槽中的电极工件均匀缓慢转动，转动的电极工件便于使蚀刻中的化学反应附着物脱离，保证了电极工件的待蚀刻区域与蚀刻液充分接触，进一步地提高了电极工件的蚀刻速率。
2、驱动托架在箱体上往复滑动时，使得电机工件在转动的同时也可沿托架的滑动方向进行往复直线移动，使箱体内的蚀刻液可以均匀地从电极工件的中心小孔和边缘小孔通过，蚀刻过程中产生的气泡也可通过电极工件的往复直线移动流出其中心小孔和边缘小孔，最终使电极工件的中心小孔和边缘小孔得以蚀刻均匀。
3、动力机构驱动转动轴转动时，转动轴带动主动齿轮跟随转动，主动齿轮带动从动齿轮转动，从动齿轮带动主动辊转动；托架通过第一拨板和第二拨板拨动主动齿轮在转动轴上对应移动，使主动齿轮和从动齿轮始终保持啮合状态，以实现托架在沿箱体滑动的同时主动辊也在转动，进而实现电机工件在转动的同时也可沿托架的滑动方向进行往复直线移动。
附图说明
图1为本发明一实施例的结构示意图；
图2为本发明一实施例中蚀刻机构的结构示意图；
图3为本发明一实施例中驱动机构与托架配合的结构示意图；
图4为本发明一实施例中支架与气缸配合的结构示意图；
图5为本发明一实施例中托架的结构示意图；
图6为本发明一实施例中支架的结构示意图；
图7为本发明一实施例中支架的断面图。
附图标记：
1-机架，2-蚀刻机构，201-箱体，202-托架，203-主动辊，204-第一支撑辊，205-第二支撑辊，206-环形放置槽，207-第一环形支撑槽，208-第二环形支撑槽，209-转动轴，210-第一轴承座，211-第二轴承座，212-主动齿轮，213-从动齿轮，214-第一拨板，215-第二拨板，216-动力电机，217-主动链轮，219-从动链轮，220-第一翻折板，221-第二翻折板，222-带滑轨气缸，223-第一下翻折板，224-滑块，225-滑槽，226-滑轨，227-第二下翻折板，228-支撑板，229-连接杆，230-条形支撑板，231-连接孔，232-第一条形孔，233-第二条形孔，234-紧固螺栓，235-环形沉槽，236-立板，237-气缸，238-限位块，239-超声波加热器，240-滤板，241-纵向限位槽，3-清洗机构。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本发明的保护范围。
如图1至图7所示，本实施例提供的一种蚀刻清洗装置，包括机架1和蚀刻机构2；蚀刻机构2安装在机架1上，蚀刻机构2用于对电极进行蚀刻。
蚀刻机构2包括箱体201、驱动机构、托架202、支架以及呈平行布置的主动辊203、第一支撑辊204和第二支撑辊205，箱体201安装在机架1上，托架202布置在箱体201内，支架布置在托架202上，主动辊203的两端均与支架转动连接，第一支撑辊204的两端均与支架连接，第二支撑辊205的两端均与支架连接，第一支撑辊204和第二支撑辊205位于主动辊203的两侧。主动辊203上设有多个环形放置槽206，第一支撑辊204上设有多个第一环形支撑槽207，第二支撑辊205上设有多个第二环形支撑槽208；环形放置槽206、第一环形支撑槽207和第二环形支撑槽208呈一一对应。驱动机构安装在箱体1内，驱动机构与主动辊203的一端连接，驱动机构用于驱动主动辊203转动。
该技术方案中相对应的环形放置槽206、第一环形支撑槽207和第二环形支撑槽208内可放置一个电极工件，主动辊203、第一支撑辊204和第二支撑辊205上可同时放置多个电极工件，在箱体内注入适量的蚀刻液，使电极工件全部浸泡在蚀刻液中，即可同时对多个电极工件同时进行蚀刻，有效地提高了蚀刻速率，提高了生产效率；其次，驱动机构通过驱动主动辊203转动，从而带动主动辊203上环形放置槽206中的电极工件均匀缓慢转动，转动的电极工件便于使蚀刻中的化学反应附着物脱离，保证了电极工件的待蚀刻区域与蚀刻液充分接触，进一步地提高了电极工件的蚀刻速率。
为了提高电极工件中心小孔和边缘小孔蚀刻的均匀性，托架202滑动配合在箱体201内，托架202在箱体201上的滑动方向与主动辊203的轴向平行。当驱动托架202在箱体201上往复滑动时，使得电机工件在转动的同时也可沿托架202的滑动方向进行往复直线移动，使箱体201内的蚀刻液可以均匀地从电极工件的中心小孔和边缘小孔通过，蚀刻过程中产生的气泡也可通过电极工件的往复直线移动流出其中心小孔和边缘小孔，最终使电极工件的中心小孔和边缘小孔得以蚀刻均匀。同时，电极工件的中心小孔与边缘小孔转动时对应的线速度不同，蚀刻速率也不同，通过调节主动辊203处于较低的转速，使电极工件的中心小孔与边缘小孔蚀刻均匀；实践表明，电极工件的中心小孔与边缘小孔蚀刻后的尺寸偏差小于0.02mm，完全达到了后续加工或者使用要求。此外，电极工件浸泡在蚀刻液中，通过控制电极工件的中心小孔与边缘小孔中蚀刻液流动来控制蚀刻量，该方法解决了电极工件的中心小孔与边缘小孔蚀刻不均匀的问题。
蚀刻清洗装置还包括滤板240。驱动机构包括动力机构、转动轴209、第一轴承座210、第二轴承座211、主动齿轮212和从动齿轮213，滤板240安装在箱体201内，滤板240位于托架202的下方，第一轴承座210和第二轴承座211均安装在滤板240上，转动轴209的两端分别与第一轴承座210和第二轴承座211转动连接，转动轴209的轴向与托架202的滑动方向一致。转动轴209的横截面外轮廓呈多边形或者齿轮状，主动齿轮212设有与转动轴209配合的异型孔，转动轴209与主动齿轮212的异型孔呈轴向活动配合。托架202的靠转动轴侧设有用于对主动齿轮212限位的第一拨板214和第二拨板215，主动齿轮212位于第一拨板214和第二拨板215之间；主动辊203的一端凸出支架与从动齿轮213连接，主动齿轮212和从动齿轮213啮合；动力机构安装在箱体1内，动力机构与转动轴209连接，动力机构用于驱动转动轴209转动。本实施例中，主动齿轮212位于第一轴承座210和第二轴承座211之间，位于第一轴承座210和第二轴承座211之间的转动轴209的横截面外轮廓呈多边形或者齿轮状。
动力机构驱动转动轴209转动时，转动轴209带动主动齿轮212跟随转动，主动齿轮212带动从动齿轮213转动，从动齿轮213带动主动辊203转动；托架202通过第一拨板214和第二拨板215拨动主动齿轮212在转动轴209上对应移动，使主动齿轮212和从动齿轮213始终保持啮合状态，以实现托架202在沿箱体201滑动的同时主动辊203也在转动，进而实现电机工件在转动的同时也可沿托架202的滑动方向进行往复直线移动。
为了便于在安装托架时202时便于将主动齿轮212导入第一拨板214和第二拨板215之间，第一拨板214的下端靠主动齿轮侧设有倒角，第二拨板215的下端靠主动齿轮侧设有倒角。
具体地，动力机构包括动力电机216、主动链轮217、链条和从动链轮219，动力电机216安装在箱体201外，动力电机216的转轴穿过箱体201的壁厚与主动链轮217连接，从动链轮219与转动轴209凸出第一轴承座210的一端连接，主动链轮219通过链条与从动链轮219传动连接。动力电机216通过主动链轮217、链条和从动链轮219带动转动轴209转动。
为了便于实现托架202沿箱体201滑动，托架202的两侧设有向外水平翻折的第一翻折板220和第二翻折板221，箱体201上设有带滑轨气缸222，带滑轨气缸222的直线移动端与第二翻折板221连接，第一翻折板220与箱体201沿带滑轨气缸的直线移动方向滑动配合，带滑轨气缸222的直线移动方向与转动轴209的轴向一致。通过带滑轨气缸222的设计，可带动托架202沿箱体201往复直线移动。
具体地，第一翻折板220的远托架一端设有第一下翻折板223，第一下翻折板223的靠箱体侧设有滑块224，滑块224沿带滑轨气缸的直线移动方向设有贯穿的滑槽225，箱体201上对应滑块处设有滑轨226，滑轨226的长度方向与带滑轨气缸222的直线移动方向一致，滑块224的滑槽225与滑轨226滑动配合；第二翻折板221的远托架一端设有第二下翻折板227，带滑轨气缸222布置在箱体201与第二下翻折板227之间。第二下翻折板227的设计可以有效地避免外物进入带滑轨气缸222的工作空间，保证了带滑轨气缸222良好的工作环境，同时提高了带滑轨气缸222运行时的安全性。
此外，支架包括两张支撑板228、两根连接杆229和两个条形支撑板230，每根连接杆229的两端分别与两张支撑板228连接，每个条形支撑板230的两端分别与两张支撑板228连接，两张支撑板228呈平行布置；主动辊203、第一支撑辊204和第二支撑辊205位于两根连接杆229之间，主动辊203、第一支撑辊204和第二支撑辊205位于两张支撑板之间；支撑板228上设有连接孔231、第一条形孔232和第二条形孔233，第一条形孔232和第二条形孔233呈倒八字布置，连接孔231位于第一条形孔232和第二条形孔233之间的下方。主动辊203的两端分别与两张支撑板228的连接孔转动连接，第一支撑辊204的两端螺纹连接有紧固螺栓234，第一支撑辊204的两紧固螺栓234分别配合在两张支撑板228的第一条形孔232内；第二支撑辊205的两端螺纹连接有紧固螺栓，第二支撑辊205的两紧固螺栓分别配合在两张支撑板228的第二条形孔233内。
托架202的底部设有环形沉槽235，两张支撑板228的下端与两个条形支撑板230均活动配合在环形沉槽235内；环形沉槽235的设计便于对支架进行定位和限位。第一条形孔232和第二条形孔233的设计，第一支撑辊204可根据需要调节其在第一条形孔232内的位置，第二支撑辊205可根据需要调节其在第二条形孔233内的位置，进而可满足主动辊203、第一支撑辊204和第二支撑辊205承载不同尺寸的电极工件，进一步提高了实用性。
同时，托架202的上端两侧均设有立板236，每个立板236上均安装有气缸237，气缸237的活塞杆与下方对应的连接杆229链接；支撑板228的两侧均设有限位块238，托架202对应限位块238的纵向移动方向设有纵向限位槽241，支撑板228的限位块238活动配合在托架202上对应的纵向限位槽241内。当箱体201的电极工件蚀刻完成后，通过气缸237的活塞杆收缩，可将支架上升至脱离蚀刻液面；支撑板228的限位块238和对应的纵向限位槽241配合，提高了支架在上升或者下降过程中的稳定性。本实施例中，一张立板236设在第一翻折板220上，另一张立板设在第二翻折板221上。
为了便于对蚀刻液进行加热，箱体201的底部设有超声波加热器239，超声波加热器239位于滤板240下方。
此外，蚀刻清洗装置还包括清洗机构3，清洗机构3用于对在蚀刻机构2内进行蚀刻后的电极工件进行清洗；清洗机构3安装在机架1上，清洗机构3所包括的部件及各部件的连接方式与蚀刻机构2所包括的部件及各部件的连接方式相同，所不同的是清洗机构3的箱体内装入的是清洗液。
需要说明的是，以上优选实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本发明的权利要求和说明书的范围当中。

Claims (10)

1.一种蚀刻清洗装置，其特征在于：包括机架和蚀刻机构；
所述蚀刻机构安装在所述机架上，蚀刻机构用于对电极进行蚀刻；
所述蚀刻机构包括箱体、驱动机构、托架、支架以及呈平行布置的主动辊、第一支撑辊和第二支撑辊，箱体安装在机架上，托架布置在箱体内，支架布置在托架上，主动辊的两端均与支架转动连接，第一支撑辊的两端均与支架连接，第二支撑辊的两端均与支架连接，第一支撑辊和第二支撑辊位于主动辊的两侧；主动辊上设有多个环形放置槽，第一支撑辊上设有多个第一环形支撑槽，第二支撑辊上设有多个第二环形支撑槽；环形放置槽、第一环形支撑槽和第二环形支撑槽呈一一对应；驱动机构安装在箱体内，驱动机构与主动辊的一端连接，驱动机构用于驱动主动辊转动。
2.根据权利要求1所述的蚀刻清洗装置，其特征在于：
所述托架滑动配合在箱体内，托架在箱体上的滑动方向与主动辊的轴向平行。
3.根据权利要求2所述的蚀刻清洗装置，其特征在于：还包括滤板；
所述驱动机构包括动力机构、转动轴、第一轴承座、第二轴承座、主动齿轮和从动齿轮，滤板安装在箱体内，滤板位于托架的下方，第一轴承座和第二轴承座均安装在滤板上，转动轴的两端分别与第一轴承座和第二轴承座转动连接，转动轴的轴向与托架的滑动方向一致；转动轴的横截面外轮廓呈多边形或者齿轮状，主动齿轮设有与转动轴配合的异型孔，转动轴与主动齿轮的异型孔呈轴向活动配合；托架的靠转动轴侧设有用于对主动齿轮限位的第一拨板和第二拨板，主动齿轮位于第一拨板和第二拨板之间；主动辊的一端凸出支架与从动齿轮连接，主动齿轮和从动齿轮啮合；动力机构安装在箱体内，动力机构与转动轴连接，动力机构用于驱动转动轴转动。
4.根据权利要求3所述的蚀刻清洗装置，其特征在于：
所述动力机构包括动力电机、主动链轮、链条和从动链轮，动力电机安装在箱体外，动力电机的转轴穿过箱体的壁厚与主动链轮连接，从动链轮与转动轴凸出第一轴承座的一端连接，主动链轮通过链条与从动链轮传动连接。
5.根据权利要求3所述的蚀刻清洗装置，其特征在于：
所述托架的两侧设有向外水平翻折的第一翻折板和第二翻折板，箱体上设有带滑轨气缸，带滑轨气缸的直线移动端与第二翻折板连接，第一翻折板与箱体沿带滑轨气缸的直线移动方向滑动配合，带滑轨气缸的直线移动方向与转动轴的轴向一致。
6.根据权利要求5所述的蚀刻清洗装置，其特征在于：
所述第一翻折板的远托架一端设有第一下翻折板，第一下翻折板的靠箱体侧设有滑块，滑块沿带滑轨气缸的直线移动方向设有贯穿的滑槽，箱体上对应滑块处设有滑轨，滑轨的长度方向与带滑轨气缸的直线移动方向一致，滑块的滑槽与滑轨滑动配合；第二翻折板的远托架一端设有第二下翻折板，带滑轨气缸布置在箱体与第二下翻折板之间。
7.根据权利要求1所述的蚀刻清洗装置，其特征在于：
所述支架包括两张支撑板、两根连接杆和两个条形支撑板，每根连接杆的两端分别与两张支撑板连接，每个条形支撑板的两端分别与两张支撑板连接，两张支撑板呈平行布置；主动辊、第一支撑辊和第二支撑辊位于两根连接杆之间，主动辊、第一支撑辊和第二支撑辊位于两张支撑板之间；支撑板上设有连接孔、第一条形孔和第二条形孔，第一条形孔和第二条形孔呈倒八字布置，连接孔位于第一条形孔和第二条形孔之间的下方；主动辊的两端分别与两张支撑板的连接孔转动连接，第一支撑辊的两端螺纹连接有紧固螺栓，第一支撑辊的两紧固螺栓分别配合在两张支撑板的第一条形孔内；第二支撑辊的两端螺纹连接有紧固螺栓，第二支撑辊的两紧固螺栓分别配合在两张支撑板的第二条形孔内；托架的底部设有环形沉槽，两张支撑板的下端与两个条形支撑板均活动配合在环形沉槽内。
8.根据权利要求7所述的蚀刻清洗装置，其特征在于：
所述托架的上端两侧均设有立板，每个立板上均安装有气缸，气缸的活塞杆与下方对应的连接杆链接；支撑板的两侧均设有限位块，托架对应限位块的纵向移动方向设有纵向限位槽，支撑板的限位块活动配合在托架上对应的纵向限位槽内。
9.根据权利要求3所述的蚀刻清洗装置，其特征在于：
所述箱体的底部设有超声波加热器，超声波加热器位于滤板下方。
10.根据权利要求1至9任一项所述的蚀刻清洗装置，其特征在于：还包括清洗机构；
所述清洗机构安装在机架上，清洗机构所包括的部件及各部件的连接方式与蚀刻机构所包括的部件及各部件的连接方式相同。
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