CN113064326B - 一种用于晶圆片的去胶边机构 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种刮胶机构，具体是一种用于晶圆片的去胶边机构，旨在解决现有对方形晶圆片的去胶边技术存在的效率低、返修率高、一致性差的技术问题。采用如下技术方案：包括四轴机器人，四轴机器人固连有连接块，连接块上通过第一铰接轴铰接有连接板且配置有角度锁紧结构，连接板固连有安装板，安装板的下端通过第二铰接轴铰接有刀架且铰接点位于刀架中部，刀架前端固定有刀片，刀架后端固定有下卡销，下卡销的上方设有固上卡销，上卡销与下卡销之间通过拉伸弹簧连接，安装板上还固定有微分头，微分头的伸出端朝上且接触有顶块，顶块固连或一体成型有滑块，滑块可上下滑动安装在安装板上且配置有滑动锁紧结构，滑块的下端与刀架的前端钩接。

Description

一种用于晶圆片的去胶边机构

技术领域

本发明涉及一种刮胶机构，具体是一种用于晶圆片的去胶边机构。

背景技术

光刻胶涂胶机是一种采用高速旋涂的方式将光刻胶均匀涂覆在晶圆片表面的设备。涂胶机在高速旋涂时，由于液体表面张力的作用，滴在晶圆片表面的光刻胶在旋涂时会在晶圆片的边缘部分产生凸起部分（以下称为胶边）。胶边会对下一步光刻工序产生影响，所以需要将胶边去除。现有的去胶边机构大多为针对圆形晶圆片设计，无法对方形晶圆片进行去胶边。目前方形晶圆片的胶边去除多采用人工刮去的方式。其效率低，返修率高，一致性较差。

发明内容

本发明旨在解决现有对方形晶圆片的去胶边技术存在的效率低、返修率高、一致性差的技术问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种用于晶圆片的去胶边机构，包括四轴机器人，四轴机器人的输出轴端固连有连接块，连接块上通过第一铰接轴铰接有竖直布置的连接板且配置有角度锁紧结构，第一铰接轴水平布置，连接板固连有与其垂直的安装板，安装板的下端通过第二铰接轴铰接有刀架且铰接点位于刀架中部，第二铰接轴与安装板垂直，刀架前端固定有刀体，刀架后端固定有下卡销，下卡销的上方设有固定于安装板上的上卡销，上卡销与下卡销之间通过拉伸弹簧连接，安装板上还固定有微分头，微分头的伸出端朝上且接触有顶块，顶块固连或一体成型有滑块，滑块可上下滑动安装在安装板上且配置有滑动锁紧结构，滑块的下端与刀架的前端钩接（所谓钩接即滑块与刀架之间通过钩类结构相接触，但并没有完全固定死，通过滑块的上升能够驱动刀架绕第二铰接轴旋转）。

本发明的有益效果是：

1）本发明提供的用于晶圆片的去胶边机构，设有四轴机器人，通过控制四轴机器人的运行轨迹可实现对方形或圆形或其他形状的晶圆片的去胶边作业，适用范围广；

2）本发明提供的用于晶圆片的去胶边机构，采用机械代替现有的手工作业，，刮胶后的一致性好，并且可以较好的保护方形晶圆片的表面；

3）本发明提供的用于晶圆片的去胶边机构，设有第一铰接轴及相关铰接结构，可实现刀片刮胶时的角度调节，更能保证胶边去除的质量；

4）本发明提供的用于晶圆片的去胶边机构，设有第二铰接轴及相关铰接结构以及微分头相关结构，可实现刀片刮胶时刀刃的水平度调节，能够保证去胶边时刀刃与待加工面平行，进一步保证了胶边去除的质量。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明的整体结构示意图；

图2是本发明的去除四轴机器人后剩余结构示意图一；

图3是本发明的去除四轴机器人后剩余结构示意图二；

图4是本发明的去除四轴机器人后剩余结构示意图三；。

图中：

1┄四轴机器人；2┄连接块；3┄第一铰接轴；4┄连接板；5┄安装板；6┄第二铰接轴；7┄刀架；8┄刀片；9┄下卡销；10┄上卡销；11┄微分头；12┄顶块；13┄滑块；14┄卡销座；15┄第一滑孔；16┄凸棱；17┄凸块；18-第二滑孔；19┄第三滑孔。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

参照图1至图4，本发明的一种用于晶圆片的去胶边机构，包括四轴机器人1，四轴机器人1为本领域成熟结构，即SCARA机器人，其前两个关节可以在水平面上左右自由旋转，第三个关节由一个称为羽毛的金属杆和夹持器组成，该金属杆可以在垂直平面内向上和向下移动或围绕其垂直轴旋转，但不能倾斜；四轴机器人1的输出轴端固连有连接块2，连接块2上通过第一铰接轴3铰接有竖直布置的连接板4且配置有角度锁紧结构，角度锁紧结构的作用就是在连接板4旋转到一定角度时实现连接板4与连接块2的相对固定以保持该角度，具体结构采用本领域常用的螺栓、销、绑扎等皆可；第一铰接轴3水平布置，连接板4固连有与其垂直的安装板5，安装板5的下端通过第二铰接轴6铰接有刀架7且铰接点位于刀架7中部，第二铰接轴6与安装板5垂直，刀架7前端固定有刀片8，刀架7后端固定有下卡销9，下卡销9的上方设有固定于安装板5上的上卡销10，上卡销10与下卡销9之间通过拉伸弹簧连接，安装板5上还固定有微分头11，微分头11的伸出端朝上且接触有顶块12，顶块12固连或一体成型有滑块13，滑块13可上下滑动安装在安装板5上且配置有滑动锁紧结构，滑动锁紧结构的作用就是在滑块13滑动到一定位置时实现滑块13与安装板5的相对固定以保持该位置，具体结构采用本领域常用的螺栓、销、绑扎等皆可；滑块13的下端与刀架7的前端钩接，这里提供几种钩接的具体结构：第一种，在刀架7设置滑槽或滑孔，滑块13的下端固定一凸块，凸块滑动嵌于所述滑槽或滑孔中；第二种，刀架7上设置一通孔或凹槽，通孔或凹槽的大小能够为刀架7绕第二铰接轴6转动提供活动余量，滑块13的下端固定一钩子，钩子钩于所述通孔或凹槽中；或采用本领域人员容易设计的其他结构亦可。

使用时，首先调节微分头11，微分头11的伸出端向上伸出，驱动顶块12向上运动，从而驱动刀架7绕着第二铰接轴6旋转，实现刀刃水平度的调节，直至安装在刀片8尖端的刀刃部分与待加工的晶圆片平行接触，此时通过滑动锁紧结构将滑块13固定于安装板5上；然后调节连接板4，驱动连接板4绕第一铰接轴3旋转，直至刀片8去胶边的角度调节至合适位置，此时通过角度锁紧结构将连接板4固定在连接块2上；最后通过四轴机器人1的运动轨迹使刀片8的尖端刀刃部分沿着晶圆片的外沿运动，从而刮去凸起部分的光刻胶。

为提高整个结构的稳定性，连接块2的一组相对表面皆铰接有连接板4，两个连接板4正对分布且分别与安装板5的一组相对边固连。

作为上述技术方案的进一步改进，上卡销10固定于卡销座14上，卡销座14开设有沿上下方向布置的第一滑孔15，卡销座14通过穿置于第一滑孔15内的螺栓压紧于安装板5上。通过调节卡销座14在安装板5上的位置来实现上卡销10与下卡销9之间距离的调节，从而实现拉伸弹簧预设力的调节。

这里提供一种钩接的优选结构：刀架7的上边缘设有凸棱16，滑块13的下端固定有凸块17，凸块17卡于凸棱16的下方且可沿凸棱16移动。结构简单，性能可靠。

为便于刀片8的更换，刀片8可拆卸固定于刀架7上。具体可拆用螺栓或卡扣或其他常用固定手段皆可。

这里提供一种滑动锁紧结构的优选结构：滑动锁紧结构包括第二滑孔18和穿置于第二滑孔18内的螺栓，第二滑孔18开设于滑块13上且沿上下方向布置。结构简单，固定可靠。

这里提供一种角度锁紧结构的优选结构：角度锁紧结构包括第三滑孔19和穿置于第三滑孔19内的螺栓，第三滑孔19开设于连接板4上且为与第一铰接轴3同轴的圆弧状。结构简单，固定可靠。

本发明中，默认以下逻辑关系：连接分为固定连接和活动连接；固定连接分为可拆卸连接和不可拆卸连接；固定包括固定连接和一体成型。

实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本申请的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种用于晶圆片的去胶边机构，其特征在于：包括四轴机器人（1），四轴机器人（1）的输出轴端固连有连接块（2），连接块（2）上通过第一铰接轴（3）铰接有竖直布置的连接板（4）且配置有角度锁紧结构，第一铰接轴（3）水平布置，连接板（4）固连有与其垂直的安装板（5），安装板（5）的下端通过第二铰接轴（6）铰接有刀架（7）且铰接点位于刀架（7）中部，第二铰接轴（6）与安装板（5）垂直，刀架（7）前端固定有刀片（8），刀架（7）后端固定有下卡销（9），下卡销（9）的上方设有固定于安装板（5）上的上卡销（10），上卡销（10）与下卡销（9）之间通过拉伸弹簧连接，安装板（5）上还固定有微分头（11），微分头（11）的伸出端朝上且接触有顶块（12），顶块（12）固连或一体成型有滑块（13），滑块（13）可上下滑动安装在安装板（5）上且配置有滑动锁紧结构，滑块（13）的下端与刀架（7）的前端钩接，刀架（7）的上边缘设有凸棱（16），滑块（13）的下端固定有凸块（17），凸块（17）卡于凸棱（16）的下方且可沿凸棱（16）移动。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片的去胶边机构，其特征在于：连接块（2）的一组相对表面皆铰接有连接板（4），两个连接板（4）正对分布且分别与安装板（5）的一组相对边固连。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆片的去胶边机构，其特征在于：上卡销（10）固定于卡销座（14）上，卡销座（14）开设有沿上下方向布置的第一滑孔（15），卡销座（14）通过穿置于第一滑孔（15）内的螺栓压紧于安装板（5）上。

4.根据权利要求2所述的一种用于晶圆片的去胶边机构，其特征在于：刀片（8）可拆卸固定于刀架（7）上。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种用于晶圆片的去胶边机构，其特征在于：滑动锁紧结构包括第二滑孔（18）和穿置于第二滑孔（18）内的螺栓，第二滑孔（18）开设于滑块（13）上且沿上下方向布置。

6.根据权利要求1-4任一项所述的一种用于晶圆片的去胶边机构，其特征在于：角度锁紧结构包括第三滑孔（19）和穿置于第三滑孔（19）内的螺栓，第三滑孔（19）开设于连接板（4）上且为与第一铰接轴（3）同轴的圆弧状。