CN113061973A - 一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置 - Google Patents
一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113061973A CN113061973A CN202110457234.9A CN202110457234A CN113061973A CN 113061973 A CN113061973 A CN 113061973A CN 202110457234 A CN202110457234 A CN 202110457234A CN 113061973 A CN113061973 A CN 113061973A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- disc
- cavity
- fixing
- clamping
- rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/02—Elements
- C30B29/06—Silicon
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本发明公开了一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置,包括:弯形圆盘,弯形圆盘上设于若干弯形孔;固定柱,固定柱设于弯形圆盘顶端;直形圆盘,直形圆盘套接于固定柱上,直形圆盘上设有若干直形孔;夹紧杆,夹紧杆底端设有夹紧盘,夹紧杆顶端依次穿过弯形孔和直形孔;固定环,固定环固定套接于夹紧杆上,固定环位于弯形圆盘和夹紧盘之间;固定螺母,固定螺母套接于夹紧杆上,固定螺母与夹紧杆之间通过螺纹连接,固定螺母位于直形圆盘的上方。通过转动弯形圆盘来使多个夹紧杆向圆盘中心运动来使夹紧盘卡与多晶材料中,然后转动螺母完成对多晶材料的夹紧;同时,夹紧杆运动时可以对不同直径的多晶材料完成夹紧。
Description
技术领域
本发明涉及非金属晶体技术领域,更具体地说,本发明涉及一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置。
背景技术
硅材料是现代信息社会的基础,它不仅是光伏发电等产业的主要功能材料,也是半导体产业,特别是电力电子器件的基础材料。区熔法(FZ)生产单晶硅是区别于直拉炉(CZ)的一种新型的单晶生长方法,它利用高频感应加热线圈将高纯度的多晶料局部融化,熔区依靠熔硅的表面张力和加热线圈提供的磁托浮力而处于悬浮状态,然后从熔区的下方利用籽晶将熔硅拉制成单晶。由于没有坩埚污染,区熔炉生长的单晶硅纯度高,均匀性好,低微缺陷,其优良的电学性能非常适合制作高反压、大电流、大功率的电力电子器件。一般区熔单晶生产的过程是按照如下的顺序进行的:炉室清理——多晶料装炉——晶体生长——停炉冷却——取出单晶。其中炉室清理、装料等准备工作时间占整个生产周期比例较高,造成生产效率不高。同时由于区熔法生产单晶纯度、均匀性要求较高,且区熔生长法熔区呈悬浮状态,多晶硅料微小的震动都可能打破熔区的平衡状态。但是现有的固定装置无法根据硅材料的直径大小来进行对应的固定,需要根据硅材料的直径不同准备不同的固定装置。因此,有必要提出一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置,以至少部分地解决现有技术中存在的问题。
发明内容
在发明内容部分中引入了一系列简化形式的概念,这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本发明的发明内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征,更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。
为至少部分地解决上述问题,本发明提供了一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置,包括:
弯形圆盘,所述弯形圆盘上设于若干弯形孔;
固定柱,所述固定柱设于所述弯形圆盘顶端;
直形圆盘,所述直形圆盘套接于所述固定柱上,所述直形圆盘上设有若干直形孔;
夹紧杆,所述夹紧杆底端设有夹紧盘,所述夹紧杆顶端依次穿过所述弯形孔和直形孔;
固定环,所述固定环固定套接于所述夹紧杆上,所述固定环位于所述弯形圆盘和夹紧盘之间;
固定螺母,所述固定螺母套接于所述夹紧杆上,所述固定螺母与所述夹紧杆之间通过螺纹连接,所述固定螺母位于所述直形圆盘的上方。
优选的,固定球,所述固定球设于所述固定柱顶端;
所述夹紧杆上设有水平装置,所述水平装置包括:
水平圆盘,所述水平圆盘平行设于所述直形圆盘的上方,所述固定柱穿过所述水平圆盘;
调节螺杆,所述调节螺杆一端与调节螺母通过螺纹连接,所述调节螺杆的另一端穿过所述水平圆盘。
优选的,所述直形圆盘顶端还设有辅助固定装置,所述辅助固定装置包括:
壳体,所述壳体设于所述直形圆盘顶端;
传动腔,所述传动腔设于所述壳体内;
刻度腔,所述刻度腔设于所述壳体内,所述刻度腔位于所述传动腔的上方;
固定腔,所述固定腔设于所述壳体内,所述固定腔位于所述传动腔的一侧;
第一转动轮,所述第一转动轮套接于所述固定柱上,所述第一转动轮位于所述刻度腔内;
第一转动杆,所述第一转动杆的两端分别于所述刻度腔的内壁顶端和内壁底端转动连接;
第二转动轮,所述第二转动轮套接于所述第一转动杆上,所述第一转动轮与所述第二转动轮之间通过刻度带传动连接;
第一锥齿轮,所述第一锥齿轮套接于所述固定柱上,所述第一锥齿轮位于所述传动腔内;
第二转动杆,所述第二转动杆的一端伸入所述传动腔内与第二锥齿轮连连接,所述第二锥齿轮与所述第一锥齿轮啮合连接,所述第二转动杆的另一端伸入所述固定腔内与固定轮连接;
固定板,所述固定板滑动连接于所述固定腔的内侧壁上,所述固定板上设有凹槽,两个所述固定板的凹槽相对对称设置,相邻两个所述固定板之间通过若干第一弹簧连接;
固定框,所述固定框设于所述固定板的一端,相邻两个所述固定框对称设置;
固定垫,所述固定垫设于所述固定框的内侧壁上,所述固定轮位于所述固定垫内;
第三转动杆,所述第三转动杆的一端伸入所述凹槽内与椭圆形轮连接,所述第三转动杆的另一端与所述固定腔的内侧壁转动连接;
控制齿轮,所述控制齿轮套接于所述第三转动杆上;
控制块,所述控制块滑动设于所述固定腔的内侧壁上;
锯齿条,所述锯齿条设于所述控制块的一侧,所述锯齿条与所述控制齿轮啮合;
启动块,所述启动块的一端与所述控制块连接,所述启动块的另一端穿过所述壳体;
第二弹簧,所述第二弹簧设于所述控制块底端与所述固定腔的内壁底端之间。
优选的,所述壳体内还设有卡夹装置,所述卡夹装置包括:
第一传动腔,所述第一传动腔设于所述壳体内,所述第一传动腔位于所述传动腔远离固定腔一侧;
卷线腔,所述卷线腔设于所述壳体内,所述卷线腔位于所述第一传动腔的下方;
第四转动杆,所述第四转动杆的一端伸入传动腔内与第三锥齿轮连接,所述第三锥齿轮与所述第一锥齿轮啮合连接,所述第四锥齿轮的另一端伸入所述第一传动腔内与第四锥齿轮连接;
第五转动杆,所述第五转动杆的一端伸入所述第一传动腔内与第五锥齿轮连接,所述第五锥齿轮与所述第四锥齿轮啮合,所述第五转动杆的另一端伸入所述卷线腔内与卷线轮连接;
扭转弹簧,所述扭转弹簧套接于所述第五转动杆上,所述扭转弹簧位于所述卷线腔内部顶端与所述卷线轮之间;
卡夹杆,所述卡夹杆设于所述壳体上,所述卡夹杆位于所述所述卷线腔的一侧,相邻两个所述卡夹杆对称设置,所述卡夹杆内设有推杆槽;
转动部,所述壳体的两侧均设有转动部,所述转动部位于所述卡夹杆远离所述卷线腔的一侧;
L形夹杆,所述L形夹杆的一端与所述连接部铰接,所述L形夹杆的另一端设有卡块;
推杆,所述推杆的一端滑动连接于所述推杆槽内,所述推杆的另一端与所述L形夹杆的中部铰接;
连接绳,所述连接绳的一端与所述推杆连接,所述连接绳的另一端与所述卷线轮连接;
弹槽,所述推杆槽的两侧均设有所述弹槽;
弹块,所述推杆的两端均设有所述弹块,所述弹块滑动连接于所述弹槽内;
第三弹簧,所述第三弹簧位于所述弹槽内壁与所述弹块之间。
优选的,所述刻度腔的侧壁上设有玻璃板。
优选的,所述卡块和卡盘均由材料钨制成。
优选的,所述直形圆盘顶端侧面设有防滑纹;
优选的,所述固定垫为橡胶材料制成。
相比现有技术,本发明至少包括以下有益效果:
本发明所述的一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置。通过转动弯形圆盘来使多个夹紧杆向圆盘中心运动来使夹紧盘卡与多晶材料中,然后转动螺母完成对多晶材料的夹紧;同时,夹紧杆运动时可以对不同直径的多晶材料完成夹紧。
本发明所述的是一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置,本发明的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现,部分还将通过对本发明的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本发明的实施例一起用于解释本发明,并不构成对本发明的限制。在附图中:
图1为本发明一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置的结构示意图。
图2为本发明一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置的俯视图。
图3为本发明一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置的直形圆盘的俯视图。
图4为本发明一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置的弯形圆盘的俯视图。
图5为本发明一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置的辅助固定装置的结构示意图。
图6为本发明一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置的固定腔的侧面示意图。
图7为本发明一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置的固定腔的侧面示意图。
图8为本发明一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置的卡夹装置的部分结构示意图。
图9为本发明一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置的的俯视示意图。
图10为本发明一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置的图9中A处的发的示意图。
附图标记说明:水平圆盘1;直形圆盘2;弯形圆盘3;夹紧杆4;夹紧盘5;固定环6;固定螺母7;调节螺杆8;调节螺母9;直形孔10;固定柱11;固定球12;弯形孔13;壳体14;刻度腔15;传动腔16;固定腔17;第一锥齿轮18;第二锥齿轮19;第二转动杆20;第一转动轮21;刻度带22;第一转动杆23;第二转动轮24;固定轮25;固定框26;第三转动杆27;固定垫28;固定板29;椭圆形轮30;第一弹簧31;控制齿轮32;锯齿条33;控制块34;启动块35;第二弹簧36;凹槽37;第三锥齿轮38;第四转动杆39;第一传动腔40;第四锥齿轮41;第五锥齿轮42;第五转动杆43;卷线轮44;连接绳45;卡夹杆46;弹槽47;推杆槽48;推杆49;弹块50;第三弹簧51;转动部52;L形夹杆53;卡块54;卷线腔55。
具体实施方式
下面结合附图以及实施例对本发明做进一步的详细说明,以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
应当理解,本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不排除一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。
如图1-图10所示,本发明提供了一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置,包括:
弯形圆盘3,所述弯形圆盘3上设于若干弯形孔13;
固定柱11,所述固定柱11设于所述弯形圆盘3顶端;
直形圆盘2,所述直形圆盘2套接于所述固定柱11上,所述直形圆盘2上设有若干直形孔10;
夹紧杆4,所述夹紧杆4底端设有夹紧盘5,所述夹紧杆4顶端依次穿过所述弯形孔13和直形孔10;
固定环6,所述固定环固定套接于所述夹紧杆4上,所述固定环位于所述弯形圆盘3和夹紧盘5之间;
固定螺母7,所述固定螺母7套接于所述夹紧杆4上,所述固定螺母7与所述夹紧杆4之间通过螺纹连接,所述固定螺母7位于所述直形圆盘2的上方。
上述技术方案的工作原理:在实际使用过程中,在需要进行夹持的多晶圆柱材料开设一个环形凹槽,然后将该材料置于夹持装置的下方,固定直形圆盘2,转动弯形圆盘3,由于夹紧杆4穿过直形孔10和弯形孔13,所以在弯形圆盘3转动过程中,弯形孔13会使得多个夹紧杆4向圆盘中心运动,使得夹紧盘5卡与多晶材料的环形凹槽中,此时,夹紧装置完成对多晶材料的夹持,然后转动固定螺母7,将弯形圆盘3和直形圆盘2夹紧,使得弯形圆盘3和直形圆盘2不能发生相对转动,完成夹紧装置对多晶材料夹持后的固定,完成对多晶材料的夹紧。
上述技术方案的有益效果:通过上述结构的设计,通过转动弯形圆盘3来使多个夹紧杆4向圆盘中心运动来使夹紧盘卡与多晶材料中,然后转动螺母完成对多晶材料的夹紧;同时,夹紧杆4运动时可以对不同直径的多晶材料完成夹紧。
在一个实施例中,固定球12,所述固定球12设于所述固定柱11顶端;
所述夹紧杆4上设有水平装置,所述水平装置包括:
水平圆盘1,所述水平圆盘1平行设于所述直形圆盘2的上方,所述固定柱11穿过所述水平圆盘1;
调节螺杆8,所述调节螺杆8一端与调节螺母9通过螺纹连接,所述调节螺杆8的另一端穿过所述水平圆盘1。
上述技术方案的工作原理:在实际使用过程中,当夹紧装置完成对多晶材料的夹紧后,将水平圆盘1进行固定,然后通过水平尺等工具将直形圆盘2调成水平,然后转动调节螺母9来使水平圆盘1与直形圆盘2完成固定。
上述技术方案的有益效果:通过上述结构的设计,通过设计的调节螺杆8可以调节水平圆盘1与直形圆盘2的相对角度,使得水平圆盘1安装在倾斜的地方依然可以使得多晶材料保持水平,避免了对后续加工的影响。
在一个实施例中,所述直形圆盘2顶端还设有辅助固定装置,所述辅助固定装置包括:
壳体14,所述壳体14设于所述直形圆盘2顶端;
传动腔16,所述传动腔16设于所述壳体14内;
刻度腔15,所述刻度腔15设于所述壳体14内,所述刻度腔15位于所述传动腔16的上方;
固定腔17,所述固定腔17设于所述壳体14内,所述固定腔17位于所述传动腔16的一侧;
第一转动轮21,所述第一转动轮21套接于所述固定柱11上,所述第一转动轮21位于所述刻度腔15内;
第一转动杆23,所述第一转动杆23的两端分别于所述刻度腔15的内壁顶端和内壁底端转动连接;
第二转动轮24,所述第二转动轮24套接于所述第一转动杆26上,所述第一转动轮21与所述第二转动轮24之间通过刻度带22传动连接;
第一锥齿轮18,所述第一锥齿轮18套接于所述固定柱11上,所述第一锥齿轮18位于所述传动腔16内;
第二转动杆20,所述第二转动杆20的一端伸入所述传动腔16内与第二锥齿轮19连连接,所述第二锥齿轮19与所述第一锥齿轮18啮合连接,所述第二转动杆20的另一端伸入所述固定腔17内与固定轮25连接;
固定板29,所述固定板29滑动连接于所述固定腔17的内侧壁上,所述固定板29上设有凹槽37,两个所述固定板29的凹槽37相对对称设置,相邻两个所述固定板29之间通过若干第一弹簧31连接;
固定框26,所述固定框26设于所述固定板29的一端,相邻两个所述固定框26对称设置;
固定垫28,所述固定垫28设于所述固定框26的内侧壁上,所述固定轮25位于所述固定垫28内;
第三转动杆27,所述第三转动杆27的一端伸入所述凹槽37内与椭圆形轮30连接,所述第三转动杆27的另一端与所述固定腔17的内侧壁转动连接;
控制齿轮32,所述控制齿轮32套接于所述第三转动杆27上;
控制块34,所述控制块34滑动设于所述固定腔17的内侧壁上;
锯齿条33,所述锯齿条33设于所述控制块34的一侧,所述锯齿条33与所述控制齿轮32啮合;
启动块35,所述启动块35的一端与所述控制块34连接,所述启动块35的另一端穿过所述壳体14;
第二弹簧36,所述第二弹簧36设于所述控制块34底端与所述固定腔17的内壁底端之间。
上述技术方案的工作原理:在实际使用过程中,当对多晶材料进行夹紧时,按下启动块35,启动块35带动控制块34向下运动,控制块34向下运动通过锯齿条33带动控制齿轮32转动,控制齿轮32通过第三转动杆27带动椭圆形轮30转动,椭圆形轮30转动将相邻两个固定板29之间的距离变得,使得相邻两个固定框26之间的距离变大,使得固定垫28松开固定轮25,使得固定轮25可以转动,固定轮25可以转动使得第二锥齿轮19可以转动,第二锥齿轮可以转动,使得固定柱11可以转动;然后转动弯形圆盘3,弯形圆盘3通过固定柱11带动第一转动轮21转动,第一转动轮21转动带动刻度条22转动,使刻度条22上设好的多晶体的直径运动到对应的指针处,完成对多晶体直径的测量;完成夹持工作后,松开启动块35,固定框26会将固定轮25夹紧,使得弯形圆盘3无法相对直形圆盘2发生相对运动,然后通过固定螺母9完成固定。
上述技术方案的有益效果:通过上述结构的设计,通过辅助固定装置使得夹紧装置完成夹持后,可以简单的对多晶体完成一个固定,避免了直接转动螺母固定使得弯形圆盘3发生转动,使得夹紧盘5与多晶体之间出现缝隙影响夹紧效果;同时夹紧装置在完成夹紧工作时还可以测量出多晶体的直径大小,极大的方便了工作人员对多晶体进行加工。
在一个实施例中,所述壳体14内还设有卡夹装置,所述卡夹装置包括:
第一传动腔40,所述第一传动腔40设于所述壳体14内,所述第一传动腔40位于所述传动腔16远离固定腔17一侧;
卷线腔55,所述卷线腔55设于所述壳体14内,所述卷线腔55位于所述第一传动腔40的下方;
第四转动杆39,所述第四转动杆39的一端伸入传动腔16内与第三锥齿轮38连接,所述第三锥齿轮38与所述第一锥齿轮18啮合连接,所述第四锥齿轮39的另一端伸入所述第一传动腔40内与第四锥齿轮41连接;
第五转动杆43,所述第五转动杆43的一端伸入所述第一传动腔40内与第五锥齿轮42连接,所述第五锥齿轮43与所述第四锥齿轮41啮合,所述第五转动杆43的另一端伸入所述卷线腔55内与卷线轮44连接;
扭转弹簧47,所述扭转弹簧47套接于所述第五转动杆43上,所述扭转弹簧47位于所述卷线腔55内部顶端与所述卷线轮44之间;
卡夹杆46,所述卡夹杆46设于所述壳体上,所述卡夹杆46位于所述所述卷线腔55的一侧,相邻两个所述卡夹杆46对称设置,所述卡夹杆46内设有推杆槽48;
转动部52,所述壳体14的两侧均设有转动部52,所述转动部52位于所述卡夹杆46远离所述卷线腔55的一侧;
L形夹杆53,所述L形夹杆53的一端与所述连接部52铰接,所述L形夹杆53的另一端设有卡块54;
推杆49,所述推杆49的一端滑动连接于所述推杆槽48内,所述推杆49的另一端与所述L形夹杆53的中部铰接;
连接绳45,所述连接绳45的一端与所述推杆49连接,所述连接绳45的另一端与所述卷线轮44连接;
弹槽47,所述推杆槽48的两侧均设有所述弹槽47;
弹块50,所述推杆49的两端均设有所述弹块50,所述弹块50滑动连接于所述弹槽47内;
第三弹簧51,所述第三弹簧51位于所述弹槽47内壁与所述弹块50之间。
上述技术方案的工作原理:在实际使用过程中,转动弯形圆盘3对多晶材料进行夹紧时,固定柱11转动,固定柱11通过第一锥齿轮18带动第三锥齿轮38转动,第三锥齿轮38通过第四转动杆39带动第四锥齿轮41转动,第四锥齿轮41通过第五锥齿轮42带动第五转动杆43转动动,第五转动杆43带动卷线轮44转动,卷线轮44转动,将卷线轮44缠绕的连接绳45放出,使得弹块50在被压缩的弹簧51的作用下移动,使得推杆49在弹块50的作用下弹出卡夹杆46,推杆49弹出时,会推动L形夹杆53绕着转动部52转动,且相邻的两个L形夹杆53相向运动,两个相邻的L形夹杆53将多晶材料夹紧固定。
上述技术方案的有益效果:通过上述结构的设计,通过设计的卡夹装置对多晶材料进行夹紧,避免了夹紧盘5损坏导致夹紧装置无法工作;同时使用卡夹装置对多晶材料进行夹紧固定,避免了在多晶材料上开设环形凹槽,保护了多晶材料;同时卡夹装置可以对夹紧装置起一个辅助作用,使得多晶材料被固定的更紧。
在一个实施例中,所述刻度腔15的侧壁上设有玻璃板。
上述技术方案的工作原理:在实际使用过程中,玻璃板可以保护刻度腔15内的器件,同时带有偏光属性的玻璃板可以在强光环境中依然可以看见刻度。
上述技术方案的有益效果:通过上述结构的设计,玻璃板可以避免在强光环境下看不见刻度的情况。
在一个实施例中,所述卡块54和卡盘5均由材料钨制成。
上述技术方案的工作原理:在实际使用过程中,材料钨极其耐高温,且不易发生变形。
上述技术方案的有益效果:通过上述结构的设计,在加工过程中,多晶材料有些部位会被加工到1000摄氏度以上,材料钨制成的卡块54和卡盘5不会在高温中变形和融化;避免了卡块54和卡盘5发生变形影响夹紧效果。
在一个实施例中,所述直形圆盘2顶端侧面设有防滑纹。
上述技术方案的工作原理:防滑纹可以防止滑动。
上述技术方案的有益效果:通过上述结构的设计,直形圆盘2顶端的防滑纹在水平装置调节水平后,可以使调节螺杆8底端不易发生滑动,避免了调节螺杆8滑动影响多晶材料的水平,而导致加工效果减弱。
在一个实施例中,所述固定垫28为橡胶材料制成。
上述技术方案的工作原理:橡胶材料具有一定的弹性,且摩擦系数高。
上述技术方案的有益效果:通过上述结构的设计,具有弹性的固定垫28可以避免固定轮25发生变形;摩擦系数更高可以使固定垫28能更好的将固定轮25进行固定,从而减少弯形圆盘3的滑动,提高夹紧的效果。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接或彼此可通讯;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
尽管本发明的实施方案已公开如上,但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用,它完全可以被适用于各种适合本发明的领域,对于熟悉本领域的人员而言,可容易地实现另外的修改,因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下,本发明并不限于特定的细节与这里示出与描述的图例。
Claims (8)
1.一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置,其特征在于,包括:
弯形圆盘(3),所述弯形圆盘(3)上设于若干弯形孔(13);
固定柱(11),所述固定柱(11)设于所述弯形圆盘(3)顶端;
直形圆盘(2),所述直形圆盘(2)套接于所述固定柱(11)上,所述直形圆盘(2)上设有若干直形孔(10);
夹紧杆(4),所述夹紧杆(4)底端设有夹紧盘(5),所述夹紧杆(4)顶端依次穿过所述弯形孔(13)和直形孔(10);
固定环(6),所述固定环固定套接于所述夹紧杆(4)上,所述固定环位于所述弯形圆盘(3)和夹紧盘(5)之间;
固定螺母(7),所述固定螺母(7)套接于所述夹紧杆(4)上,所述固定螺母(7)与所述夹紧杆(4)之间通过螺纹连接,所述固定螺母(7)位于所述直形圆盘(2)的上方。
2.根据权利要求1所述的一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置,其特征在于,
固定球(12),所述固定球(12)设于所述固定柱(11)顶端;
所述夹紧杆(4)上还设有水平装置,所述水平装置包括:
水平圆盘(1),所述水平圆盘(1)平行设于所述直形圆盘(2)的上方,所述固定柱(11)穿过所述水平圆盘(1);
调节螺杆(8),所述调节螺杆(8)一端与调节螺母(9)通过螺纹连接,所述调节螺杆(8)的另一端穿过所述水平圆盘(1)。
3.根据权利要求1所述的一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置,其特征在于,
所述直形圆盘(2)顶端还设有辅助固定装置,所述辅助固定装置包括:
壳体(14),所述壳体(14)设于所述直形圆盘(2)顶端;
传动腔(16),所述传动腔(16)设于所述壳体(14)内;
刻度腔(15),所述刻度腔(15)设于所述壳体(14)内,所述刻度腔(15)位于所述传动腔(16)的上方;
固定腔(17),所述固定腔(17)设于所述壳体(14)内,所述固定腔(17)位于所述传动腔(16)的一侧;
第一转动轮(21),所述第一转动轮(21)套接于所述固定柱(11)上,所述第一转动轮(21)位于所述刻度腔(15)内;
第一转动杆(23),所述第一转动杆(23)的两端分别于所述刻度腔(15)的内壁顶端和内壁底端转动连接;
第二转动轮(24),所述第二转动轮(24)套接于所述第一转动杆(26)上,所述第一转动轮(21)与所述第二转动轮(24)之间通过刻度带(22)传动连接;
第一锥齿轮(18),所述第一锥齿轮(18)套接于所述固定柱(11)上,所述第一锥齿轮(18)位于所述传动腔(16)内;
第二转动杆(20),所述第二转动杆(20)的一端伸入所述传动腔(16)内与第二锥齿轮(19)连接,所述第二锥齿轮(19)与所述第一锥齿轮(18)啮合连接,所述第二转动杆(20)的另一端伸入所述固定腔(17)内与固定轮(25)连接;
固定板(29),所述固定板(29)滑动连接于所述固定腔(17)的内侧壁上,所述固定板(29)上设有凹槽(37),两个所述固定板(29)的凹槽(37)相对对称设置,相邻两个所述固定板(29)之间通过若干第一弹簧(31)连接;
固定框(26),所述固定框(26)设于所述固定板(29)的一端,相邻两个所述固定框(26)对称设置;
固定垫(28),所述固定垫(28)设于所述固定框(26)的内侧壁上,所述固定轮(25)位于所述固定垫(28)内;
第三转动杆(27),所述第三转动杆(27)的一端伸入所述凹槽(37)内与椭圆形轮(30)连接,所述第三转动杆(27)的另一端与所述固定腔(17)的内侧壁转动连接;
控制齿轮(32),所述控制齿轮(32)套接于所述第三转动杆(27)上;
控制块(34),所述控制块(34)滑动设于所述固定腔(17)的内侧壁上;
锯齿条(33),所述锯齿条(33)设于所述控制块(34)的一侧,所述锯齿条(33)与所述控制齿轮(32)啮合;
启动块(35),所述启动块(35)的一端与所述控制块(34)连接,所述启动块(35)的另一端穿过所述壳体(14);
第二弹簧(36),所述第二弹簧(36)设于所述控制块(34)底端与所述固定腔(17)的内壁底端之间。
4.根据权利要求1所述的一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置,其特征在于,
所述壳体(14)内还设有卡夹装置,所述卡夹装置包括:
第一传动腔(40),所述第一传动腔(40)设于所述壳体(14)内,所述第一传动腔(40)位于所述传动腔(16)远离固定腔(17)一侧;
卷线腔(55),所述卷线腔(55)设于所述壳体(14)内,所述卷线腔(55)位于所述第一传动腔(40)的下方;
第四转动杆(39),所述第四转动杆(39)的一端伸入传动腔(16)内与第三锥齿轮(38)连接,所述第三锥齿轮(38)与所述第一锥齿轮(18)啮合连接,所述第四锥齿轮(39)的另一端伸入所述第一传动腔(40)内与第四锥齿轮(41)连接;
第五转动杆(43),所述第五转动杆(43)的一端伸入所述第一传动腔(40)内与第五锥齿轮(42)连接,所述第五锥齿轮(43)与所述第四锥齿轮(41)啮合,所述第五转动杆(43)的另一端伸入所述卷线腔(55)内与卷线轮(44)连接;
扭转弹簧(47),所述扭转弹簧(47)套接于所述第五转动杆(43)上,所述扭转弹簧(47)位于所述卷线腔(55)内部顶端与所述卷线轮(44)之间;
卡夹杆(46),所述卡夹杆(46)设于所述壳体上,所述卡夹杆(46)位于所述所述卷线腔(55)的一侧,相邻两个所述卡夹杆(46)对称设置,所述卡夹杆(46)内设有推杆槽(48);
转动部(52),所述壳体(14)的两侧均设有转动部(52),所述转动部(52)位于所述卡夹杆(46)远离所述卷线腔(55)的一侧;
L形夹杆(53),所述L形夹杆(53)的一端与所述连接部(52)铰接,所述L形夹杆(53)的另一端设有卡块(54);
推杆(49),所述推杆(49)的一端滑动连接于所述推杆槽(48)内,所述推杆(49)的另一端与所述L形夹杆(53)的中部铰接;
连接绳(45),所述连接绳(45)的一端与所述推杆(49)连接,所述连接绳(45)的另一端与所述卷线轮(44)连接;
弹槽(47),所述推杆槽(48)的两侧均设有所述弹槽(47);
弹块(50),所述推杆(49)的两端均设有所述弹块(50),所述弹块(50)滑动连接于所述弹槽(47)内;
第三弹簧(51),所述第三弹簧(51)位于所述弹槽(47)内壁与所述弹块(50)之间。
5.根据权利要求3所述的一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置,其特征在于,
所述刻度腔(15)的侧壁上设有玻璃板。
6.根据权利要求4所述的一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置,其特征在于,
所述卡块(54)和卡盘(5)均由材料钨制成。
7.根据权利要求1所述的一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置,其特征在于,
所述直形圆盘(2)顶端侧面设有防滑纹。
8.根据权利要求1所述的一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置,其特征在于,
所述固定垫(28)为橡胶材料制成。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110457234.9A CN113061973B (zh) | 2021-04-27 | 2021-04-27 | 一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110457234.9A CN113061973B (zh) | 2021-04-27 | 2021-04-27 | 一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN113061973A true CN113061973A (zh) | 2021-07-02 |
CN113061973B CN113061973B (zh) | 2021-12-14 |
Family
ID=76567775
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202110457234.9A Active CN113061973B (zh) | 2021-04-27 | 2021-04-27 | 一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN113061973B (zh) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10139585A (ja) * | 1996-11-11 | 1998-05-26 | Sumitomo Sitix Corp | 単結晶引上装置 |
CN102605419A (zh) * | 2012-03-25 | 2012-07-25 | 杭州慧翔电液技术开发有限公司 | 用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置 |
CN203639606U (zh) * | 2013-12-24 | 2014-06-11 | 刘剑 | 一种用于区熔炉多晶棒夹持机构 |
CN103981567A (zh) * | 2014-01-07 | 2014-08-13 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 一种用于区熔炉的载料装置及其自动载料方法 |
-
2021
- 2021-04-27 CN CN202110457234.9A patent/CN113061973B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10139585A (ja) * | 1996-11-11 | 1998-05-26 | Sumitomo Sitix Corp | 単結晶引上装置 |
CN102605419A (zh) * | 2012-03-25 | 2012-07-25 | 杭州慧翔电液技术开发有限公司 | 用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置 |
CN203639606U (zh) * | 2013-12-24 | 2014-06-11 | 刘剑 | 一种用于区熔炉多晶棒夹持机构 |
CN103981567A (zh) * | 2014-01-07 | 2014-08-13 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 一种用于区熔炉的载料装置及其自动载料方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113061973B (zh) | 2021-12-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW522456B (en) | Silicon single crystal wafer and method for manufacturing the same | |
EP0745706B1 (en) | Manufacturing method of single crystal | |
CN216179005U (zh) | 一种晶圆棒外壁打磨装置 | |
US8795432B2 (en) | Apparatus for pulling silicon single crystal | |
EP0781876B1 (en) | Method and apparatus for production of single crystal | |
SG172582A1 (en) | Silicon wafer and method for producing the same | |
CN102605419B (zh) | 用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置 | |
CN113061973B (zh) | 一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置 | |
JP2000191399A (ja) | 炭化珪素単結晶およびその製造方法 | |
EP1908861A1 (en) | Silicon single crystal pulling apparatus and method thereof | |
JPH07172981A (ja) | 半導体単結晶の製造装置および製造方法 | |
US8801854B2 (en) | Method for evaluating metal contamination of silicon single crystal | |
TW575696B (en) | Methods for producing epitaxial wafer and silicon wafer and epitaxial wafer | |
JP2004315289A (ja) | 単結晶の製造方法 | |
US6068699A (en) | Apparatus for fabricating semiconductor single crystal | |
WO2011067894A1 (ja) | 単結晶製造装置及び単結晶製造方法 | |
JP2004189559A (ja) | 単結晶成長方法 | |
US20090293801A1 (en) | Production method of silicon single crystal | |
JP5304206B2 (ja) | 単結晶の製造方法および単結晶の製造装置 | |
TW422896B (en) | Method of holding a monocrystal, and method of growing the same | |
US5611857A (en) | Apparatus for producing single crystals | |
TW444070B (en) | Apparatus for pulling up single crystals and single crystal clamping device | |
CN216485354U (zh) | 一种晶圆测试装置 | |
EP3584219B1 (en) | Core wire for use in silicon deposition, method for producing said core wire, and method for producing polycrystalline silicon | |
JP4345585B2 (ja) | シリコン単結晶の製造方法、およびこれに用いる覗き窓ガラス、結晶観察用窓ガラス、シリコン単結晶製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 655000 No.83 Cuifeng Road, Qujing Development Zone, Qujing City, Yunnan Province Patentee after: Qujing sunshine new energy Co.,Ltd. Address before: 655000 No.83 Cuifeng Road, Qujing Development Zone, Qujing City, Yunnan Province Patentee before: Qujing sunshine energy silicon material Co.,Ltd. |