CN203639606U - 一种用于区熔炉多晶棒夹持机构 - Google Patents
一种用于区熔炉多晶棒夹持机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203639606U CN203639606U CN201320855792.1U CN201320855792U CN203639606U CN 203639606 U CN203639606 U CN 203639606U CN 201320855792 U CN201320855792 U CN 201320855792U CN 203639606 U CN203639606 U CN 203639606U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- polycrystalline
- dish
- hanging
- polycrystalline rod
- clamping mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种用于区熔炉多晶棒夹持机构,包括通水上轴、挂架与挂盘,所述通水上轴下方水平安装一个挂架并且该挂架中心部位设置一通孔,位于该挂架下方卡接一个挂盘并且该挂盘中心柱顶端卡接在通孔内,所述挂盘下表面贴合一个自定心盘并且此自定心盘两侧分别垂直安装一个多晶夹头,位于自定心盘与挂架之间安装两个摆动调节螺杆。本实用新型有益效果为:通过设置旋转自定心盘推动多晶夹头卡住多晶棒,多晶棒上端径向自定心,在操作摆动调节螺杆修正多晶棒下端的径向跳动,该结构利于简化夹持工序、更加快捷且牢固、有利于提高加工效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种用于区熔炉多晶棒夹持机构。
背景技术
近年来,各种晶体材料,特别是以单晶硅为代表的高科技附加值材料及其相关高技术产业的发展,成为当代信息技术产业的支柱,并使信息产业成为全球经济发展中增长最快的先导产业。采用区熔法单晶生长技术制备的半导体硅材料,是重要的硅单晶产品,利用硅表面张力大的特点,故采用悬浮区熔法,简称FZ法或FZ单晶,用于制作电力电子器件、光敏二极管、射线探测器、红外探测器等。现有产品缺乏针对调整保温环位置而达到对单晶调温的作用,无法降低晶体内部热应力,通常情况下,单晶因过冷、过热、而出现丢苞、开裂等状况。因此,针对以上方面,需要对现有技术进行合理的改进。
实用新型内容
针对以上缺陷,本实用新型提供一种利于简化夹持工序、更加快捷且牢固、有利于提高加工效率的用于区熔炉多晶棒夹持机构,以解决现有技术的诸多不足。
为实现上述目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种用于区熔炉多晶棒夹持机构,包括通水上轴、挂架与挂盘,所述通水上轴下方水平安装一个挂架并且该挂架中心部位设置一通孔,位于该挂架下方卡接一个挂盘并且该挂盘中心柱顶端卡接在通孔内,所述挂盘下表面贴合一个自定心盘并且此自定心盘两侧分别垂直安装一个多晶夹头,位于自定心盘与挂架之间安装两个摆动调节螺杆。每个摆动调节螺杆下端与自定心盘相接。
本实用新型所述的用于区熔炉多晶棒夹持机构的有益效果为:通过设置旋转自定心盘推动多晶夹头卡住多晶棒,多晶棒上端径向自定心,在操作摆动调节螺杆修正多晶棒下端的径向跳动,该结构利于简化夹持工序、更加快捷且牢固、有利于提高加工效率。
附图说明
下面根据附图对本实用新型作进一步详细说明。
图1是本实用新型实施例所述用于区熔炉多晶棒夹持机构示意图;
图2是本实用新型实施例所述用于区熔炉多晶棒夹持机构的挂架示意图;
图3是本实用新型实施例所述用于区熔炉多晶棒夹持机构挂架部分局部示意图;
图4是本实用新型实施例所述用于区熔炉多晶棒夹持机构的挂盘示意图;
图5是本实用新型实施例所述用于区熔炉多晶棒夹持机构的挂盘部分局部示意图;
图6是本实用新型实施例所述用于区熔炉多晶棒夹持机构的自定心盘部分示意图。
图中:
1、通水上轴;2、自定心盘;3、多晶夹头;4、挂架;5、摆动调节螺杆;6、挂盘;7、多晶部分。
具体实施方式
如图1-6所示,本实用新型实施例所述的用于区熔炉多晶棒夹持机构,包括通水上轴1、挂架4与挂盘6,所述通水上轴1下方水平安装一个挂架4并且该挂架4中心部位设置一通孔,位于该挂架4下方卡接一个挂盘6并且该挂盘6中心柱顶端卡接在通孔内,所述挂盘6下表面贴合一个自定心盘2并且此自定心盘2两侧分别垂直安装一个多晶夹头3,位于自定心盘2与挂架4之间安装两个摆动调节螺杆5并且每个摆动调节螺杆5下端与自定心盘2相接,其中的多晶夹头3下方为待操作的多晶部分7,使用时,通过设置旋转自定心盘2推动多晶夹头3卡住多晶棒,多晶棒上端径向自定心,在操作摆动调节螺杆5修正多晶棒下端的径向跳动。
以上实施例是本实用新型较优选具体实施方式的一种,本领域技术人员在本技术方案范围内进行的通常变化和替换应包含在本实用新型的保护范围内。
Claims (2)
1.一种用于区熔炉多晶棒夹持机构,包括通水上轴(1)、挂架(4)与挂盘(6),其特征在于:所述通水上轴(1)下方水平安装一个挂架(4)并且该挂架(4)中心部位设置一通孔,位于该挂架(4)下方卡接一个挂盘(6)并且该挂盘(6)中心柱顶端卡接在通孔内,所述挂盘(6)下表面贴合一个自定心盘(2)并且此自定心盘(2)两侧分别垂直安装一个多晶夹头(3),位于自定心盘(2)与挂架(4)之间安装两个摆动调节螺杆(5)。
2.根据权利要求1所述的用于区熔炉多晶棒夹持机构,其特征在于:每个摆动调节螺杆(5)下端与自定心盘(2)相接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201320855792.1U CN203639606U (zh) | 2013-12-24 | 2013-12-24 | 一种用于区熔炉多晶棒夹持机构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201320855792.1U CN203639606U (zh) | 2013-12-24 | 2013-12-24 | 一种用于区熔炉多晶棒夹持机构 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN203639606U true CN203639606U (zh) | 2014-06-11 |
Family
ID=50870866
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201320855792.1U Expired - Fee Related CN203639606U (zh) | 2013-12-24 | 2013-12-24 | 一种用于区熔炉多晶棒夹持机构 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN203639606U (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105014536A (zh) * | 2015-08-14 | 2015-11-04 | 麦斯克电子材料有限公司 | 一种晶棒滚磨前对中装置 |
CN113061973A (zh) * | 2021-04-27 | 2021-07-02 | 曲靖阳光能源硅材料有限公司 | 一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置 |
-
2013
- 2013-12-24 CN CN201320855792.1U patent/CN203639606U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105014536A (zh) * | 2015-08-14 | 2015-11-04 | 麦斯克电子材料有限公司 | 一种晶棒滚磨前对中装置 |
CN105014536B (zh) * | 2015-08-14 | 2017-06-16 | 麦斯克电子材料有限公司 | 一种晶棒滚磨前对中装置 |
CN113061973A (zh) * | 2021-04-27 | 2021-07-02 | 曲靖阳光能源硅材料有限公司 | 一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102358951B (zh) | 一种生产φ6英寸区熔气掺硅单晶的热系统及工艺 | |
CN203639606U (zh) | 一种用于区熔炉多晶棒夹持机构 | |
CN103668441A (zh) | 单晶硅棒直拉方法及其制备的单晶硅棒 | |
CN105239150A (zh) | 单晶硅生长炉用导流筒及其应用 | |
CN102605419B (zh) | 用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置 | |
CN201762481U (zh) | 单晶炉籽晶夹头机构 | |
CN207294190U (zh) | 切割精度高的多晶硅棒 | |
CN107555437A (zh) | 切割精度高的多晶硅棒 | |
CN108179463A (zh) | 直拉法中大直径单晶拉制工艺的导流结构及导流方法 | |
CN104708721A (zh) | 可调切割偏角的硅棒粘接装置及其调节方法 | |
CN204277160U (zh) | 一种钻头加工装置 | |
CN202658262U (zh) | 一种用于拉制5寸区熔单晶硅加热线圈 | |
CN202428576U (zh) | 一种硅单晶棒截断用夹持装置 | |
CN202658263U (zh) | 一种用于拉制6寸区熔单晶硅加热线圈 | |
CN104475907B (zh) | 一种用于钻头加工的装置 | |
CN203904500U (zh) | 一种区熔用原料晶棒夹持装置 | |
CN203639597U (zh) | 一种可实现区熔炉保温环二维调节机构 | |
CN203471438U (zh) | 车床上加工薄壁长孔件的工装 | |
CN203683718U (zh) | 一种用于固定区熔多晶硅棒卡盘的软连接螺钉 | |
CN103556216A (zh) | 可降低单晶头部漩涡缺陷的直拉单晶生产工艺及检测方法 | |
CN203738451U (zh) | 铣中线蝶阀转轴定位装置 | |
Huang et al. | Electrical resistivity distribution of silicon ingot grown by cold crucible continuous melting and directional solidification | |
CN103894854A (zh) | 铣中线蝶阀转轴定位装置 | |
CN203887588U (zh) | 数控立车高位卡具 | |
CN210012925U (zh) | 一种多晶硅铸锭用熔化长晶测量棒 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140611 Termination date: 20171224 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |