CN113054146A - 显示装置的制造方法 - Google Patents

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CN113054146A CN202010633156.9A CN202010633156A CN113054146A CN 113054146 A CN113054146 A CN 113054146A CN 202010633156 A CN202010633156 A CN 202010633156A CN 113054146 A CN113054146 A CN 113054146A
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Abstract

公开一种显示装置制造方法。一实施例的显示装置制造方法包括如下步骤：提供包括第一有机溶剂和第一功能层材料的第一功能层组合物；在被提供的第一功能层组合物上提供包括辅助溶剂的防干燥组合物；以及对第一有机溶剂和辅助溶剂进行干燥，其中，辅助溶剂的比重小于第一有机溶剂的比重，从而可以提供在整个显示装置具有均匀的膜厚度且具有均匀的表面轮廓的功能层，进而可以用于制造具有优异的显示品质的显示装置。

Description

显示装置的制造方法
技术领域
本发明涉及显示装置制造方法，涉及包括具有均匀的印刷特性的有机层的显示装置的制造方法。
背景技术
用于电视、便携电话、平板电脑、导航、游戏机等多媒体设备中的多种显示装置正在被开发。在制造这种显示装置所包括的显示元件时，目前使用喷墨印刷法等制造方法。
此外，随着显示装置的尺寸被大型化，在使用喷墨印刷法等涂覆方法时，工序时间变长，从而产生构成显示元件的有机层的膜特性根据位置不均匀的问题。据此，正在针对显示装置在整体上表现出均匀的元件品质的显示元件制造方法进行研究。
发明内容
本发明的目的在于提供一种改善了多个发光元件之间的膜特性的均匀度(uniformity)的显示装置的制造方法。
本发明的目的在于提供一种提供如下的显示装置的方法：通过防止以溶液状态提供的功能层材料被不均匀地干燥，从而表现出优异的显示品质。
一实施例提供一种显示装置制造方法，包括如下步骤：提供包括第一有机溶剂和第一功能层材料的第一功能层组合物；在被提供的所述第一功能层组合物上提供包括辅助溶剂的防干燥组合物；以及对所述第一有机溶剂和所述辅助溶剂进行干燥，其中，所述辅助溶剂的比重小于所述第一有机溶剂的比重。
所述辅助溶剂的沸(boiling point)可以在所述第一有机溶剂的沸点以下。
所述辅助溶剂的比重(specific gravity)可以小于1。
所述辅助溶剂的沸点可以在230℃以下。
所述辅助溶剂可以为乙醇类溶剂。
所述防干燥组合物还可以包括界面活性剂。
在对所述第一有机溶剂和所述辅助溶剂进行干燥的步骤之后还包括热处理步骤，所述热处理步骤可以在所述第一功能层材料的玻璃化转变温度以上的温度进行。
提供所述第一功能层组合物的步骤可以包括通过喷墨印刷法提供所述第一功能层组合物的步骤。
提供所述防干燥组合物的步骤可以包括以覆盖被提供的所述第一功能层组合物的方式涂覆所述防干燥组合物的步骤。
所述第一功能层材料可以为有机电致发光材料或者量子点材料。
在提供所述第一功能层组合物的步骤和提供所述防干燥组合物的步骤之间，还可以包括提供包含第二有机溶剂和第二功能层材料的第二功能层组合物的步骤。
所述第二有机溶剂的比重可以小于所述第一有机溶剂的比重，所述辅助溶剂的可以比重小于所述第二有机溶剂的比重。
所述辅助溶剂的沸点可以在所述第一有机溶剂和所述第二有机溶剂中的每一个的沸点以下。
一实施例提供一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：在被像素限定膜限定的开口部印刷至少一个预备功能层；在至少一个所述预备功能层上提供防干燥层；以及对至少一个所述预备功能层和所述防干燥层进行干燥，其中，至少一个所述预备功能层包括有机溶剂和功能层材料，所述防干燥层包括辅助溶剂，所述辅助溶剂的比重小于所述有机溶剂的比重。
所述辅助溶剂的沸点可以在所述有机溶剂的沸点以下。
所述辅助溶剂可以包括乙醇、甲醇以及异丙醇中的至少一个。
所述有机溶剂可以包括脂肪族烃系溶剂、芳香族烃系溶剂或者酮系溶剂，而不包括乙醇类溶剂。
提供所述防干燥层的步骤可以包括以覆盖至少一个所述预备功能层的方式涂覆所述防干燥层的步骤。
提供所述防干燥层的步骤可以包括以覆盖至少一个所述预备功能层和所述像素限定膜的方式涂覆所述防干燥层的步骤。
至少一个所述预备功能层包括预备发光层，所述功能层材料可以是有机电致发光材料或者量子点材料。
在一实施例中的显示装置制造方法中，包括在提供功能层组合物之后提供防干燥组合物的步骤，从而能够提供使位于彼此不同的位置的多个发光元件之间的膜特性均匀度得到改善的显示装置。
在一实施例中的显示装置制造方法中，包括提供防干燥组合物的步骤，从而能够防止干燥步骤之前的功能层组合物不均匀的干燥而提高用于制造大面积显示装置的工艺自由度。
附图说明
图1是一实施例中的电子装置的立体图。
图2是与图1的I-I'线对应的根据一实施例的显示装置的剖面图。
图3是根据一实施例的显示装置的平面图。
图4是示出与图3的II-II'线对应的根据一实施例的显示面板的一部分的剖面图。
图5是示出一实施例的显示装置的制造方法的流程图。
图6是示出一实施例的显示装置的制造方法的一步骤的立体图。
图7是示出一实施例的显示装置的制造方法的一步骤的剖面图。
图8a是示出一实施例的显示装置的制造方法的一步骤的剖面图。
图8b是示出一实施例的显示装置的制造方法的一步骤的剖面图。
图9是示出一实施例的显示装置的制造方法的一步骤的剖面图。
图10a是示出一实施例的显示装置的制造方法的流程图。
图10b是示出一实施例的显示装置的制造方法的流程图。
图11是示出一实施例的显示装置的制造方法的流程图。
图12是示出一实施例的显示装置的制造方法的一步骤的剖面图。
图13是示出一实施例的显示装置的制造方法的流程图。
图14是示出一实施例的显示装置的制造方法的流程图。
图15是示出一实施例的显示装置的制造方法的流程图。
符号说明
DD：显示装置 DP：显示面板
FC-1、FC-1a、FC-2a：功能层组合物 ADC：防干燥组合物
具体实施方式
本发明可以进行多种变更，并且可以具有多种形态，在附图中示出特定实施例并在本文中进行详细说明。然而，其并不旨在将本发明限定在特定的公开形态，应当理解为包含本发明的思想以及技术范围所包括的所有变更、等同物以及替代物的情形。
在本说明书中，当被提及为某构成要素(或者区域、层、部分等)位于另一构成要素“之上”、与另一构成要素“连接”或者与另一构成要素“结合”时，其表示可以直接布置/连接/结合于另一构成要素上，或者在它们之间还可以布置有第三构成要素。
此外，本申请中，提及为“直接布置”时可以表示在层、膜、区域、板等部分和其他部分之间没有附加的层、膜、区域、板等。例如，提及为“直接布置”时可以表示不在两个层或者两个部件之间使用诸如粘结部件等的附加部件而进行布置的情形。
相同的附图标记指代相同的构成要素。并且，为了针对技术内容进行有效的说明，在附图中，构成要素的厚度、比率以及尺寸被夸大示出。
当提及为“和/或”时，表示将相关构成可以定义的一个以上的组合全部都包括。
第一、第二等术语可以用于说明多种构成要素，但所述构成要素不应被所述术语限定。所述术语仅用于将一个构成要素与另一构成要素进行区分的目的。例如，在不脱离本发明的权利范围的情况下，第一构成要素可以被命名为第二构成要素，相似地，第二构成要素也可以被命名为第一构成要素。单数的表述只要在语境中没有明确表示出不同含义，便包括复数的表述。
并且，“下方”、“下侧”、“上方”、“上侧”等术语用于说明附图中示出的构成之间的相关关系。所述术语作为相对概念，以附图中表示的方向为基准而被说明。
只要没有被定义为不同，本说明书中所使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明所属技术领域的技术人员通常所理解的术语相同的含义。并且，诸如在通常使用的词典中被定义的术语之类的术语应当被解释为具有与在相关技术的境遇中的含义一致的含义，并且只要没有被解释为理想的或者过度地形式性的含义，则被解释为在此明示性地被定义的含义。
“包括”或者“具有”等术语应当被理解为旨在指定说明书上所记载的特征、数字、步骤、操作、构成要素、部件或者其组合的存在，而不是预先排除一个或者其以上的其他特征或者数字、步骤、操作、构成要素、部件或者其组合的存在或者附加的可能性。
以下，参照附图针对根据本发明的一实施例中的显示装置制造方法进行说明。
图1是示出电子装置ED的一实施例的立体图。图2是根据一实施例的显示装置DD的剖面图。图2是示出与图1的I-I'线对应的一部分的剖面图。
在一实施例中，电子装置ED可以是诸如电视、显示器或者外部广告板等的大型电子装置。并且，电子装置ED可以是诸如个人计算机、笔记本电脑、个人数码终端、汽车导航单元、游戏机、智能电话、平板电脑以及相机等中小型电子装置。并且，这些仅作为实施例而示出，只要不脱离本发明的概念，则也可以用作其他电子装置。
电子装置ED可以包括显示装置DD以及壳体HAU。显示装置DD可以通过显示面IS显示图像IM。图1中示出了显示面IS与第一方向轴DR1和与第一方向轴DR1交叉的第二方向轴DR2所定义的面平行的情形。然而，其仅为示例性的，在其他实施例中，显示装置DD的显示面IS可以具有弯曲的形状。
显示面IS的法线方向，即，显示装置DD的厚度方向中的显示图像IM的方向由第三方向轴DR3指代。各部件的前面(或者上面)和背面(或者下面)可以通过第三方向轴DR3进行区分。此外，第一方向轴至第三方向轴DR1、DR2、DR3所指代的方向为相对的概念，可以变换为其他方向。
壳体HAU可以是收纳显示装置DD的构成。壳体HAU可以以使作为显示装置DD的显示面IS的上部面暴露的方式覆盖显示装置DD而布置。壳体HAU可以覆盖显示装置DD的侧面和底面，并且暴露整个上部面。然而，实施例并不限于此，壳体HAU不仅可以覆盖显示装置DD的侧面和底面，还可以覆盖上部面的一部分。
显示装置DD可以包括显示面板DP和布置在显示面板DP上的光控制层PP。显示面板DP包括发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3(图4)。显示装置DD可以包括多个发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3(图4)。光控制层PP可以布置在显示面板DP上而控制由外部光在显示面板DP形成的反射光。光控制层PP例如可以包括偏光层或者包括滤色器层。此外，与图中所示不同地，在一实施例中的显示装置DD中，光控制层PP可以被省略。
图3是示出根据一实施例的显示装置DD的平面图。图4是一实施例的显示面板DP的剖面图。图4是与图3的II-II'线对应的部分，是示出包括于显示装置DD的显示面板DP的一部分的剖面图。
显示面板DP可以包括基底基板BS和提供在基底基板BS上的电路层DP-CL以及显示元件层DP-OEL。显示元件层DP-OEL可以包括：像素限定膜PDL；发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3，布置在像素限定膜PDL之间；以及封装层TFE，布置在发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3上。
基底基板BS可以是提供用于布置显示元件层DP-OEL的基底面的部件。基底基板BS可以是玻璃基板、金属基板、塑料基板等。然而，实施例并不限于此，基底基板BS可以是无机层、有机层或者复合材料层。
在一实施例中，电路层DP-CL布置在基底基板BS上，电路层DP-CL可以包括多个晶体管(未示出)。晶体管(未示出)可以分别包括控制电极、输入电极以及输出电极。例如，电路层DP-CL可以包括用于驱动显示元件层DP-OEL的发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3的开关晶体管和驱动晶体管。
各个发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3可以包括第一电极EL1、空穴传输区域HTR、发光层EML-R、EML-G、EML-B、电子传输区域ETR以及第二电极EL2。图4中示出了如下的实施例：在被像素限定膜PDL限定的开口部OH内布置有发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3的空穴传输区域HTR以及发光层EML-R、EML-G、EML-B，并且电子传输区域ETR以及第二电极EL2在整个发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3中被提供为公共层。然而，实施例并不限于此，与图4中所示不同地，在一实施例中，空穴传输区域HTR可以不被像素限定膜PDL划分，而是覆盖像素限定膜PDL并提供为一个公共层。并且，在一实施例中，电子传输区域ETR可以在被像素限定膜PDL限定的开口部OH内部被图案化而提供。
例如，在一实施例中，发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3的空穴传输区域HTR、发光层EML-R、EML-G、EML-B以及电子传输区域ETR等可以通过喷墨印刷法被图案化而提供。并且，与此不同地，发光层EML-R、EML-G、EML-B可以通过喷墨印刷法图案化而被提供，空穴传输区域HTR以及电子传输区域ETR等可以提供为公共层。空穴传输区域HTR以及电子传输区域ETR等被提供为公共层的情形下，可以利用诸如真空沉积法、旋涂法、浇铸法、LB法(Langmuir-Blodgett)、喷墨印刷法、激光打印法、激光热转印法(LITI：Laser Induced ThermalImaging)等多种方法被提供。
封装层TFE可以覆盖发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3。封装层TFE可以密封显示元件层DP-OEL。封装层TFE可以是薄膜封装层。封装层TFE可以是单层或者层叠有多个层的构成。封装层TFE包括至少一个绝缘层。根据本发明的一实施例的封装层TFE可以包括至少一个无机膜(以下，称作封装无机膜)。根据本发明的一实施例的封装层TFE可以包括至少一个有机膜(以下，称作封装有机膜)以及至少一个封装无机膜。
封装无机膜保护显示元件层DP-OEL免受水分/氧气的影响，封装有机膜保护显示元件层DP-OEL免受诸如灰尘粒子等异物的影响。封装无机膜可以包括氮化硅层、氮氧化硅层、氧化硅层、氧化钛层或氧化铝层，并不特别限于此。封装有机膜可以包括丙烯酸系列有机膜，但并不特别限于此。
封装层TFE布置在第二电极EL2上，并且可以布置为填充开口部OH。
此外，虽然未在图中示出，但是在一实施例中，第二电极EL2上还可以布置有盖层(未示出)。即，在第二电极EL2和封装层TFE之间可以布置有盖层(未示出)。
参照图3和图4，显示装置DD可以包括非发光区域NPXA和发光区域PXA-R、PXA-G、PXA-B。各个发光区域PXA-R、PXA-G、PXA-B可以是发出从各个发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3产生的光的区域。发光区域PXA-R、PXA-G、PXA-B可以在平面上彼此相隔。
各个发光区域PXA-R、PXA-G、PXA-B可以是被像素限定膜PDL划分的区域。非发光区域NPXA作为相邻的发光区域PXA-R、PXA-G、PXA-B之间的区域，可以是与像素限定膜PDL对应的区域。此外，在本说明书中，各个发光区域PXA-R、PXA-G、PXA-B可以分别对应于像素(Pixel)。像素限定膜PDL可以划分发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3。发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3的发光层EML-R、EML-G、EML-B可以布置在被像素限定膜PDL限定的开口部OH而被划分。被像素限定膜PDL划分的发光层EML-R、EML-G、EML-B可以通过喷墨印刷法等方法而形成。
像素限定膜PDL可以由高分子树脂形成。例如，像素限定膜PDL可以包括聚丙烯酸酯(Polyacrylate)系树脂或者聚酰亚胺(Polyimide)系树脂而形成。并且，像素限定膜PDL除了高分子树脂以外还可以进一步包括无机物而形成。此外，像素限定膜PDL可以包括光吸收物质而形成，或者包括黑色颜料或黑色染料而形成。包括黑色颜料或者黑色染料而形成的像素限定膜PDL可以实现黑色像素限定膜。在形成像素限定膜PDL时，可以使用炭黑等而作为黑色颜料或者黑色染料，但实施例并不限于此。
并且，像素限定膜PDL可以由无机物形成。例如，像素限定膜PDL可以包括氮化硅(SiNx)、氧化硅(SiOx)、氮氧化硅(SiOxNy)等而形成。像素限定膜PDL可以限定发光区域PXA-R、PXA-G、PXA-B。发光区域PXA-R、PXA-G、PXA-B和非发光区域NPXA可以通过像素限定膜PDL而被划分。
根据从发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3产生的光的颜色，发光区域PXA-R、PXA-G、PXA-B可以被划分为多个组。在图3和图4示出的一实施例的显示装置DD中，示例性地示出了发出红色光、绿色光以及蓝色光的三个发光区域PXA-R、PXA-G、PXA-B。例如，一实施例中的显示装置DD可以包括彼此划分的红色发光区域PXA-R、绿色发光区域PXA-G以及蓝色发光区域PXA-B。
根据一实施例的显示面板DP包括多个发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3，多个发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3可以发出彼此不同的波段的光。例如，在一实施例中，显示装置DD可以包括发出红色光的第一发光元件OEL-1、发出绿色光的第二发光元件OEL-2以及发出蓝色光的第三发光元件OEL-3。然而，实施例并不限于此，第一发光元件至第三发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3可以发出相同波段的光，或者至少一个可以发出相异的波段的光。
例如，显示装置DD的红色发光区域PXA-R、绿色发光区域PXA-G以及蓝色发光区域PXA-B可以分别对应于第一发光元件OEL-1、第二发光元件OEL-2以及第三发光元件OEL-3。
根据一实施例的显示装置DD中的发光区域PXA-R、PXA-G、PXA-B可以排列成条形态。参照图3，多个红色发光区域PXA-R、多个绿色发光区域PXA-G以及多个蓝色发光区域PXA-B可以分别沿第一方向轴DR1排列。并且，可以沿第二方向轴DR2以红色发光区域PXA-R、绿色发光区域PXA-G以及蓝色发光区域PXA-B的顺序交替排列。
虽然图3示出了发光区域PXA-R、PXA-G、PXA-B的面积全部相似的情形，但实施例并不限于此，发光区域PXA-R、PXA-G、PXA-B的面积可以根据发出的光的波段而彼此不同。此外，发光区域PXA-R、PXA-G、PXA-B的面积可以表示从由第一方向轴DR1和第二方向轴DR2限定的平面上观察时的面积。
此外，发光区域PXA-R、PXA-G、PXA-B的排列形态并不限于图3中所示的形态，红色发光区域PXA-R、绿色发光区域PXA-G以及蓝色发光区域PXA-B排列的顺序可以根据显示装置DD所要求的显示品质的特性而被提供成多种组合。例如，发光区域PXA-R、PXA-G、PXA-B的排列形态可以具有pentile排列形态或者钻石排列形态。
并且，发光区域PXA-R、PXA-G、PXA-B的面积可以彼此不同。例如，在一实施例中，虽然绿色发光区域PXA-G的面积可以小于蓝色发光区域PXA-B的面积，但实施例并不限于此。
图5是示出一实施例的显示装置的制造方法的流程图。一实施例的显示装置的制造方法可以包括制造图2至图4中说明的发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3的步骤。图6是示出一实施例的显示装置的制造方法中的一步骤的立体图。图7是示出一实施例的显示装置的制造方法中的一步骤的剖面图。图7是示出与图6的III-III'线对应的部分的图。图8a和图8b分别是示出一实施例的制造方法的步骤中的一部分的剖面图。
一实施例的显示装置制造方法10可以包括如下步骤：提供第一功能层组合物(S10)；提供防干燥组合物(S20)；以及对有机溶剂和辅助溶剂进行干燥(S50)。并且，一实施例的显示装置制造方法10还可以包括在对有机溶剂和辅助溶剂进行干燥的步骤(S50)以后进行热处理的步骤(S70)。
第一功能层组合物FC-1可以包括第一有机溶剂SV-1以及第一功能层材料FM-1。第一功能层组合物FC-1可以是用于在图4中说明的发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3形成空穴传输区域HTR、发光层EML-R、EML-G、EML-B或者电子传输区域ETR的组合物。即，在发光元件OEL-1、OEL-2、OEL-3中，空穴传输区域HTR、发光层EML-R、EML-G、EML-B或者电子传输区域ETR可以为第一功能层，并且第一功能层组合物FC-1可以是用于形成空穴传输区域HTR、发光层EML-R、EML-G、EML-B或者电子传输区域ETR的液态组合物。
图6至图8b中示例性地示出并说明了作为第一功能层而形成发光层EML-R、EML-G、EML-B的方法。然而，实施例并不限于此，除了改变功能层材料之外，参照图6至图8b等而说明的内容也可以同样地应用于制造各个功能层的步骤。
用于形成作为第一功能层的发光层EML-R、EML-G、EML-B的第一功能层组合物FC-1可以包括有机发光材料或者量子点材料而作为第一功能层材料FM-1。然而，实施例并不限于此，在第一功能层为空穴传输区域HTR或者电子传输区域ETR的情形下，作为第一功能层材料，分别可以包括空穴传输材料或者电子传输材料。
第一有机溶剂SV-1可以包括脂肪族烃系溶剂、芳香族烃系溶剂以及酮系溶剂中的至少一个。例如，第一有机溶剂SV-1可以包括苯(benzene)、甲苯(toluene)、二甲苯(xylene)以及甲乙酮(methyl ethyl ketone)中的至少一个。然而，实施例并不限于此，也可以考虑使用的功能层材料的溶解度而混合多种有机溶剂而使用。
图6、图7、图8a以及图8b中示例性地示出了作为第一功能层提供发光层EML-R、EML-G、EML-B中的红色发光层EML-R的方法。然而，实施例并不限于此。参照图5至图8b所说明的一实施例的显示装置的制造方法同样也可以应用于提供空穴传输区域HTR、电子传输区域ETR以及发出其他颜色的光的发光层EML-G、EML-B的方法。
图6和图7中示例性地示出了利用喷墨印刷(inkjet printing)法提供第一功能层组合物FC-1以及防干燥组合物ADC的步骤。参照图6和图7，第一喷墨头IZ-H1和第二喷墨头IZ-H2可以沿与第一方向轴DR1的方向平行的工作方向MD移动的同时通过喷嘴NZ-1、NZ-2分别提供第一功能层组合物FC-1和防干燥组合物ADC。
图6和图7中示例性地示出了包括于一实施例的显示面板DP的发光元件OEL-1的制造步骤中的一部分。图6和图7中示出了向发光区域PXA-R、PXA-G、PXA-B中的红色发光区域PXA-R提供第一功能层组合物FC-1和防干燥组合物ADC的步骤。
第一喷墨头IZ-H1沿工作方向MD移动的同时首先提供第一功能层组合物FC-1，第二喷墨头IZ-H2沿工作方向MD移动的同时朝所提供的第一功能层组合物上部提供防干燥组合物ADC。防干燥组合物ADC可以以覆盖所提供的第一功能层组合物FC-1的方式被提供。参照图6，在第一喷墨头IZ-H1和第二喷墨头IZ-H2沿工作方向MD移动时，第一子发光区域PXA-R1是提供有第一功能层组合物FC-1以及防干燥组合物ADC这两者的状态，第二子发光区域PXA-R2相当于在被提供第一功能层组合物FC-1后正在被提供防干燥组合物ADC的状态，第三子发光区域PXA-R3相当于正在被提供第一功能层组合物FC-1的状态。
防干燥组合物ADC包括辅助溶剂，辅助溶剂的比重(specific gravity)可以小于包含在第一功能层组合物FC-1中的第一有机溶剂SV-1的比重。例如，辅助溶剂的比重可以小于1。因此，防干燥组合物ADC可以不与第一功能层组合物FC-1混合而被提供在已提供的第一功能层组合物FC-1的上部。
并且，辅助溶剂的沸点(boiling point)可以为第一有机溶剂SV-1的沸点以下。例如，辅助溶剂的沸点可以为230℃以下。
辅助溶剂可以为乙醇类溶剂。例如，辅助溶剂可以包括乙醇、甲醇以及异丙醇中的至少一个，但实施例并不限于此。辅助溶剂具有第一有机溶剂SV-1的沸点以下的沸点，只要不与第一功能层组合物FC-1混合或者发生化学反应，则可以不受限制而使用。
防干燥组合物ADC还可以包括界面活性剂。界面活性剂可以是氟类、胺类、醚类、醇类、酯类或者硫醇类化合物。例如，界面活性剂可以包括FC-4430(3MTM)、
Figure BDA0002566572850000111
(3-氨基丙基)三甲氧基硅烷((3-Aminpropyl)trimethoxysilane)、(3-氨基丙基)三乙氧基硅烷((3-Aminpropyl)triethoxysilane)、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷(N-(2-Aminoethyl)-3-aminpropyltrimethoxysilane)、(3-缩水甘油氧基丙基)三甲氧基硅烷((3-Glycidyloxy propyl)trimethoxysilane)、3-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷(3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane)、(1-羟基烯丙基)-三甲基硅烷((1-Hydroxy-allyl)-tri-methyl-silane)、乙酰氧基乙基三乙氧基硅烷(acetoxyethyltriethoxysilane)以及(3-巯基丙基)三甲氧基硅烷((3-Mercaptopropyl)trimethoxysilane)中的至少一个。然而，实施例并不限于此，只要是用于改善在提供防干燥组合物ADC后提供的功能层组合物的印刷性的物质，则可以不受限制地使用。
在对有机溶剂和辅助溶剂进行干燥的步骤(S50)以后，界面活性剂仍可以被包含在已制造的发光元件的功能层。界面活性剂可以被包含在相邻的功能层之间的界面或者被包含在至少一个功能层。例如，如图8a和图8b中示例性地示出，在界面活性剂被包含在提供到用于形成发光层的第一功能层组合物FC-1上部的防干燥组合物ADC中的情形下，界面活性剂可以主要包括于与电子传输区域ETR相邻的发光层EML-R的上部面。并且，界面活性剂可以以分布在发光层EML-R与电子传输区域ETR的边界面的方式被包含，或者以与相邻于发光层EML-R的电子传输区域ETR的下部面相邻的方式被包含。
防干燥组合物ADC可以是具有如下的功能的物质：直到进行用于对第一功能层组合物FC-1所包括的第一有机溶剂SV-1进行干燥的干燥步骤(S50)之前为止，防止被提供的第一功能层组合物FC-1在常温/常压下被干燥。
一实施例的显示装置制造方法10包括提供防干燥组合物的步骤(S30)，从而通过在利用印刷方法提供的第一功能层组合物FC-1上部提供防干燥组合物ADC而使防干燥组合物ADC覆盖第一功能层组合物FC-1上部，从而防止被提供到多个发光元件的第一功能层组合物FC-1在进行干燥的步骤(S50)之前被不均匀地干燥。即，一实施例的显示装置制造方法10包括提供防干燥组合物的步骤(S30)，从而防干燥层ADL在第一功能层组合物FC-1被提供至整个显示装置DD的期间内能够防止优先印刷的部分的第一功能层组合物FC-1被干燥。据此，作为防干燥组合物ADC的印刷层的防干燥层ADL可以使被提供到整个显示装置DD的第一功能层组合物FC-1和由此形成的预备功能层P-EML的厚度均匀地维持。
对于通过一实施例的显示装置制造方法10制造的各功能层而言，可以在显示装置所包括的多个发光元件中表现出均匀的膜特性。例如，在多个第一发光元件OEL-1中，发光层EML-R的厚度的偏差可以为10％以下。即，对通过一实施例的显示装置制造方法10制造的多个发光层EML-R而言，整个显示装置DD中具有最厚的厚度的发光层EML-R和具有最薄的厚度的发光层EML-R的厚度差异可以为平均厚度的10％以下。并且，从多个第一发光元件OEL-1发出的光的辉度偏差也可以为10％以下。即，在通过一实施例的显示装置制造方法10制造出的包括多个发光层EML-R的多个第一发光元件OEL-1中，表现出最高的辉度的发光元件OEL-1和表现出最低的辉度的发光元件OEL-1的辉度差异可以为发光元件OEL-1的平均辉度的10％以下。
图8a是示出提供包括第一有机溶剂SV-1和第一功能层材料FM-1的第一功能层组合物FC-1的步骤(S10)的图，图8b是示出在被提供的第一功能层组合物FC-1上提供包括辅助溶剂的防干燥组合物ADC的步骤(S30)。图8b示例性地示出了进行干燥的步骤(S50)之前的预备显示面板P-DP的状态。
包括第一有机溶剂SV-1和第一功能层材料FM-1的第一功能层组合物FC-1可以被提供到被像素限定膜PDL限定的开口部OH内。第一功能层组合物FC-1可以被提供到空穴传输区域HTR上。虽然示出了空穴传输区域HTR被提供到开口部OH内的情形，但实施例并不限于此。布置在开口部OH内的空穴传输区域HTR可以通过喷墨印刷法提供。并且，在空穴传输区域HTR覆盖像素限定膜PDL而被提供为公共层的情形下，空穴传输区域HTR可以利用诸如真空沉积法、旋涂法、浇铸法、LB法(Langmuir-Blodgett)、喷墨印刷法、激光打印法、激光热转印法(LITI：Laser Induced Thermal Imaging)等多种方法提供。
参照图8b，防干燥组合物ADC可以被提供在被像素限定膜PDL限定的开口部OH内。防干燥组合物ADC可以通过喷墨印刷法而被提供，但实施例并不限于此。
对有机溶剂和辅助溶剂进行干燥的步骤(S50)可以是对有机溶剂和辅助溶剂进行真空干燥的步骤。在对有机溶剂和辅助溶剂进行干燥的步骤(S50)中，第一功能层组合物的第一有机溶剂SV-1和防干燥组合物ADC的辅助溶剂可以蒸发而被去除。对有机溶剂和辅助溶剂进行干燥的步骤(S50)可以在真空腔内进行。
在对有机溶剂和辅助溶剂进行干燥的步骤(S50)之后可以进行热处理步骤(S70)。热处理步骤(S70)中可以进一步去除在干燥步骤(S50)中没有被去除的有机溶剂。并且，在热处理步骤(S70)中，功能层材料可以被重新排列而最终形成功能层。
热处理步骤(S70)可以在功能层材料的玻璃化转变温度(Glass Transitiontemperature)以上的温度进行。例如，热处理步骤(S70)可以在140℃至160℃温度范围内进行。然而，实施例并不限于此，温度范围可以根据被使用为功能层材料的化合物而被调整。
图9是示出一实施例的显示装置制造方法的步骤中的一部分的剖面图。图9是示出与图8b对应的进行到在第一功能层组合物上提供包括辅助溶剂的防干燥组合物的步骤(S30)的预备显示面板P-DP-a的状态的图。图9的情形与图8b所示的实施例不同地，属于防干燥组合物ADC以不仅覆盖被印刷的第一功能层组合物FC-1上部还覆盖像素限定膜PDL的方式全面地提供的实施例。图9中提供的防干燥组合物ADC可以以多种涂覆方式被提供。图9中提供的防干燥组合物ADC可以通过喷墨印刷法、狭缝涂布法、喷涂法、旋涂法、辊涂法等方法被提供，并且实施例并不限于此。
图10a至图15是示出根据一实施例的显示装置制造方法的流程图。以下，在针对参照图10a至图15进行说明的根据一实施例的显示装置制造方法进行说明时，不再说明与在上述图1至图9等中说明的内容重复的内容，以差异点为主进行说明。
图10a和图10b是示出根据一实施例的显示装置制造方法的流程图。图10a和图10b所示的根据一实施例的显示装置制造方法10-1可以是表示包括多个功能层的显示装置的制造方法的显示装置制造方法。多个功能层分别可以通过参照图5至图9进行说明的功能层制造方法被提供。根据一实施例的显示装置制造方法10-1可以包括如下步骤：形成第一预备功能层(S110)；形成第二预备功能层(S130)。
本说明书中，第一预备功能层和第二预备功能层分别表示热处理前的第一功能层和第二功能层。例如，在通过一实施例的显示装置制造方法10-1制造的显示装置中，第一功能层可以是空穴传输区域HTR(图4)，第二功能层可以是发光层EML-R、EML-G、EML-B(图4)。并且，在一实施例中，第一功能层可以为发光层EML-R、EMLG、EML-B(图4)，第二功能层可以是电子传输区域ETR(图4)。然而，实施例并不限于此，在制造依次层叠而提供的多个功能层时，可以使用图10a和图10b所示的一实施例的显示装置的制造方法10-1。
在根据一实施例的显示装置制造方法10-1中，第一预备功能层步骤(S110)可以包括如下步骤：提供第一功能层组合物(S10)；提供第一防干燥组合物(S30)；对第一有机溶剂和第一辅助溶剂进行干燥(S50)。第一功能层组合物可以包括第一有机溶剂和第一功能层材料，第一防干燥组合物可以包括第一辅助溶剂。第一辅助溶剂的比重可以小于第一有机溶剂的比重，并且第一辅助溶剂可以具有第一有机溶剂的沸点以下的沸点。对第一有机溶剂和第一辅助溶剂进行干燥的步骤(S50)可以包括对第一有机溶剂和第一辅助溶剂进行真空干燥的步骤。对第一有机溶剂和第一辅助溶剂进行真空干燥而可以形成第一预备功能层。
可以在形成第一预备功能层之后依序进行形成第二预备功能层的步骤(S130)。第二预备功能层形成步骤(S130)可以包括如下步骤：提供第二功能层组合物(S10-1)；提供第二防干燥组合物(S30-1)；以及对第二有机溶剂和第二辅助溶剂进行干燥(S50-1)。第二功能层组合物可以包括第二有机溶剂和第二功能层材料，第二防干燥组合物可以包括第二辅助溶剂。第二辅助溶剂的比重可以小于第二有机溶剂的比重，并且可以具有第二有机溶剂的沸点以下的沸点。第二辅助溶剂可以与第一辅助溶剂相同或者彼此相异。第一辅助溶剂和第二辅助溶剂可以是乙醇类有机溶剂。针对第一辅助溶剂和第二辅助溶剂，可以适用与在参照图5至图9说明的一实施例的显示装置制造方法中说明的内容相同的内容。
对第二有机溶剂和第二辅助溶剂进行干燥的步骤(S50-1)可以包括对第二有机溶剂和第二辅助溶剂进行真空干燥的步骤。可以通过对第二有机溶剂和第二辅助溶剂进行真空干燥而形成第二预备功能层。
在依次形成第一预备功能层和第二预备功能层之后，可以进行热处理步骤(S70)。虽然在图10a和图10b所示的一实施例的显示装置制造方法10-1中示出了热处理步骤(S70)在第二预备功能层形成步骤(S130)之后进行的情形，但实施例并不限于此，在形成第一预备功能层的步骤(S110)之后也可以追加进行热处理步骤(S70)。
图11是示出一实施例的显示装置制造方法的流程图。图12是示出图11所示的一实施例的显示装置制造方法的一步骤的图。
参照图11，根据一实施例的显示装置制造方法10-2可以包括如下步骤：提供第一功能层组合物(S10)；提供第二功能层组合物(S10-1)；提供防干燥组合物(S30)；对有机溶剂和辅助溶剂进行干燥(S50-2)。相比于参照图5说明的一实施例的显示装置制造方法10，图11所示的一实施例的显示装置制造方法10-2在第一功能层组合物提供步骤(S10)和防干燥组合物提供步骤(S30)之间还包括第二功能层组合物提供步骤(S10-1)，在这方面具有差异。并且，图11所示的一实施例的显示装置制造方法10-2在第一功能层组合物提供步骤(S10)之后进行第二功能层组合物提供步骤(S10-1)，然后进行防干燥组合物提供步骤(S30)，这与参照图10a和图10b说明的一实施例的显示装置制造方法10-1中在第一功能层组合物提供步骤(S10)和第二功能层组合物提供步骤(S10-1)之间追加有第一防干燥组合物提供步骤(S30)和使第一有机溶剂和第一辅助溶剂干燥的步骤(S50)的情形存在差异。
即，参照图11说明的一实施例的显示装置制造方法10-2是形成连续层叠的多个功能层的方法，可以包括依次进行的第一功能层组合物提供步骤(S10)；第二功能层组合物提供步骤(S10-1)以及防干燥组合物提供步骤(S30)。
图12示出了图11所示的流程图中进行到防干燥组合物提供步骤(S30)的状态的情形。在被像素限定膜PDL限定的开口部OH内的第一电极EL1上提供有第一功能层组合物FC-1a，在被提供的第一功能层组合物FC-1a上提供有第二功能层组合物FC-2a，并且在第二功能层组合物FC-2a上提供有防干燥组合物ADC。印刷有第一功能层组合物FC-1a的部分为第一预备功能层P-HTR，印刷有第二功能层组合物FC-2a的部分为第二预备功能层P-EML，印刷有防干燥组合物ADC的部分相当于防干燥层ADL。
在图12所示的一实施例中，第一功能层组合物FC-1a可以包括用于形成空穴传输区域HTR(图4)的功能层材料。即，第一功能层组合物FC-1a可以包括第一有机溶剂SV-1a和第一功能层材料FM-1a，第一功能层材料FM-1a可以包括公知的空穴注入材料或者公知的空穴传输材料。
并且，第二功能层组合物FC-2a可以包括用于形成发光层EML-R、EML-G、EML-B(图4)的功能层材料。即，第二功能层组合物FC-2a可以包括第二有机溶剂SV-2a和第二功能层材料FM-2a，第二功能层材料FM-2a可以包括公知的发光材料。例如，第二功能层材料FM-2a可以包括荧光发光材料、磷光发光材料或者量子点等。
提供的第二功能层组合物FC-2a上可以提供有防干燥组合物ADC。防干燥组合物ADC可以以覆盖被印刷的第二功能层组合物FC-2a的方式提供。虽然图12示出了覆盖印刷有防干燥组合物ADC的第二功能层组合物FC-2a的上部并且涂覆在被像素限定膜PDL限定的开口部OH内的情形，但实施例不限于此。防干燥组合物ADC可以被提供为不仅覆盖被印刷的第二功能层组合物FC-2a上部，还覆盖像素限定膜PDL。
在图11和图12所示的根据一实施例的显示装置制造方法10-2中，第二有机溶剂SV-2a的比重可以小于第一有机溶剂SV-1a的比重。因此，第二功能层组合物FC-2a可以在不与布置在下部的第一功能层组合物FC-1a混合的状态下覆盖第一功能层组合物FC-1a并维持。
第一功能层组合物FC-1a和第二功能层组合物FC-2a可以通过喷墨印刷法依次被提供。第二功能层组合物FC-2a以覆盖被印刷的第一功能层组合物FC-1a的方式提供，因此，第二功能层组合物FC-2a可以防止被印刷的第一功能层组合物FC-1a干燥。即，在提供第一功能层组合物FC-1a之后连续地提供第二功能层组合物FC-2a，从而直到第一功能层组合物FC-1a全部被印刷在整个显示面板为止可以防止在先印刷的第一功能层组合物FC-1a的第一有机溶剂SV-1a优先发生干燥，从而在整个显示面板使第一功能层组合物FC-1a的提供厚度、印刷有第一功能层组合物FC-1a的轮廓等印刷品质维持均匀。
防干燥组合物ADC被提供到第二功能层组合物FC-2a上，从而可以防止第一功能层组合物FC-1a和第二功能层组合物FC-2a的干燥。防干燥组合物ADC包括的辅助溶剂的比重可以小于第二有机溶剂SV-2a的比重。并且，辅助溶剂的沸点可以为第一有机溶剂SV-1a和第二有机溶剂SV-2a的沸点以下。
在防干燥组合物提供步骤(S30)之后可以进行对有机溶剂和辅助溶剂进行干燥的步骤(S50-2)。在对有机溶剂和辅助溶剂进行干燥的步骤(S50-2)中，第一有机溶剂SV-1a、第二有机溶剂SV-2a以及辅助溶剂可以被去除。对有机溶剂和辅助溶剂进行干燥的步骤(S50-2)可以在真空腔中进行。
在对有机溶剂和辅助溶剂进行干燥的步骤(S50-2)之后可以进行热处理步骤(S70)。可以经过热处理步骤(S70)形成第一功能层和第二功能层。例如，通过图12所示的根据一实施例的显示装置制造方法而形成的第一功能层可以是空穴传输区域HTR(图4)，第二功能层可以是发光层EML-R、EML-G、EML-B(图4)。
在形成第一功能层和第二功能层之后可以进行用于形成布置在第二功能层上的第三功能层的步骤。例如，第三功能层可以利用上述的图5至图9等中说明的功能层制造方法而提供。即，用喷墨印刷法提供用于形成第三功能层的第三功能层组合物，在被提供的第三功能层组合物上提供防干燥组合物，此后，对包含在第三功能层组合物中的第三有机溶剂和包含在防干燥组合物中的辅助溶剂进行干燥，此后可以进行热处理工序而形成第三功能层。并且，与此不同地，第三功能层可以利用真空沉积法等而形成，而并非利用上述的根据一实施例的功能层制造方法而形成。
然而，实施例并不限于此，一实施例的显示装置制造方法10-2可以在第二功能层组合物提供步骤(S10-1)和防干燥组合物提供步骤(S30)之间进一步包括至少一个功能层组合物提供步骤。例如，一实施例中还可以包括第三功能层组合物提供步骤。在一实施例中，第三功能层组合物可以包括用于形成电子传输区域ETR(图4)的功能层材料。即，第三功能层组合物可以包括第三有机溶剂和第三功能层材料，第三功能层材料可以包括公知的电子注入材料或者公知的电子传输材料。
图13至图15是示出制造图3和图4等中说明的根据一实施例的显示装置的一实施例的显示装置制造方法的流程图。
参照图3和图4，一实施例的显示装置DD包括包含多个发光元件的显示面板DP。显示面板DP所包括的多个发光元件各自可以包括第一电极EL1、与第一电极EL1相向的第二电极EL2以及布置在第一电极EL1和第二电极EL2之间的多个功能层。多个功能层可以包括空穴传输区域HTR、发光层EML-R、EML-G、EML-B以及电子传输区域ETR。此外，虽然在如4中示出了空穴传输区域HTR、发光层EML-R、EML-G、EML-B以及电子传输区域ETR分别为一个层的情形，但实施例并不限于此，空穴传输区域HTR、发光层EML-R、EML-G、EML-B以及电子传输区域ETR可以分别包括多个子功能层。例如，空穴传输区域HTR可以包括空穴注入层、空穴传输层、电子阻挡层等，电子传输区域ETR可以包括电子注入层、电子传输层、空穴阻挡层等。发光层EML-R、EML-G、EML-B可以包括层叠的多个子发光层。
参照图13，根据一实施例的显示装置制造方法可以包括如下步骤：形成空穴传输区域(S100)；形成发光层(S300)；以及形成电子传输区域(S500)。即，根据一实施例的显示装置制造方法可以包括在第一电极EL1上形成空穴传输区域HTR、发光层EML-R、EML-G、EML-B以及电子传输区域ETR等至少一个功能层的步骤。根据一实施例的显示装置制造方法可以包括如下步骤：在第一电极EL1上形成空穴传输区域HTR；在空穴传输区域HTR上分别形成发光层EML-R、EML-G、EML-B；在发光层EML-R、EML-G、EML-B上形成电子传输区域ETR。
相当于功能层的空穴传输区域HTR、发光层EML-R、EML-G、EML-B以及电子传输区域ETR分别可以利用图14所示的根据一实施例的显示装置制造方法而被提供。
一实施例的显示装置制造方法10-a可以包括如下步骤：印刷预备功能层(S10-a)；提供防干燥层(S30-a)；对预备功能层和防干燥层进行干燥(S50-a)。并且，一实施例的显示装置制造方法10-a还可以在对预备功能层和防干燥层进行干燥的步骤(S50-a)之后进一步包括热处理步骤(S70-a)。
预备功能层印刷步骤(S10-a)相当于在被像素限定膜PDL限定的开口部OH印刷至少一个预备功能层的步骤。预备功能层印刷步骤(S10-a)可以包括如5中说明的第一功能层组合物提供步骤(S10)。防干燥层提供步骤(S30-a)相当于在被印刷的至少一个预备功能层上提供防干燥层的步骤，防干燥层提供步骤(S30-a)可以包括图5中说明的防干燥组合物提供步骤(S30)。并且，对预备功能层和防干燥层进行干燥的步骤(S50-a)相当于对至少一个预备功能层和预备防干燥层进行干燥的步骤。对预备功能层和防干燥层进行干燥的步骤(S50-a)可以包括图5中说明的对有机溶剂和辅助溶剂进行干燥的步骤(S50)。
参照图3和图4说明的根据一实施例的显示装置DD包括多个发光区域，在包括多个发光区域的显示装置DD中，可以以图15中所示的制造步骤进行发光层形成步骤(S300)。
发光层形成步骤(S300)可以通过反复进行发光组合物提供步骤和防干燥组合物提供步骤而进行。发光层形成步骤(S300)可以包括依次进行的第一色发光组合物提供步骤(S310)、第一防干燥组合物提供步骤(S320)、第二色发光组合物提供步骤(S330)、第二防干燥组合物提供步骤(S340)、第三色发光组合物提供步骤(S350)、第三防干燥组合物提供步骤(S360)以及对有机溶剂和辅助溶剂进行干燥的步骤(S370)。并且，发光层形成步骤(S300)可以在对有机溶剂和辅助溶剂干燥的步骤(S370)之后包括热处理步骤(S380)。
在对有机溶剂和辅助溶剂进行干燥的步骤(S370)中，第一色发光组合物至第三色发光组合物所包括的有机溶剂和第一防干燥组合物至第三防干燥组合物所包括的辅助溶剂均可以被真空干燥。并且，在热处理步骤(S380)中，在对有机溶剂和辅助溶剂进行干燥的步骤(S370)中未被去除的残留的有机溶剂和辅助溶剂将全部被去除，并且发光材料可以被重新排列而形成发光层。
第一色发光组合物可以包括有机溶剂以及第一色发光材料，第二色发光组合物可以包括有机溶剂以及第二色发光材料，第三色发光组合物可以包括有机溶剂以及第三色发光材料。第一色至第三色可以是不同波段的色。例如，第一色可以是红色，第二色可以是绿色，第三色可以是蓝色，但实施例并不限于此。
例如，在根据一实施例的显示装置制造方法中，发光层形成步骤(S300)包括在提供各自的不同颜色的发光组合物之后提供防干燥组合物的步骤，从而能够防止在印刷有发光组合物的预备发光层P-EML(图7)形成于整个显示面板之前，在先印刷的预备发光层P-EML(图7)中的有机溶剂优先被干燥的现象。因此，根据一实施例的显示装置制造方法可以改善由于形成预备发光层P-EML(图7)的时间差导致的膜均匀度降低的问题。
在一实施例的显示装置制造方法中，为了在印刷利用有机溶剂而以液态提供的功能层组合物之后到进行干燥步骤之前为止均匀地维持印刷品质，可以在功能层组合物提供步骤之后包括防干燥组合物提供步骤。据此，通过根据一实施例的显示装置制造方法制造出的根据一实施例的显示装置能够改善构成发光元件的功能层的膜均匀度，从而可以表现出优异的显示品质。
以上，虽然参照本发明的优选实施例进行了说明，但只要是在本技术领域的熟练的技术人员或者在本技术领域中具有普通知识水平的人员，便可以理解在不脱离权利要求书中记载的本发明的思想和技术领域的范围内，可以对本发明进行多种修改和变更。
因此，本发明的技术范围并不应该局限于说明书的详细说明中记载的内容，而应当通过权利要求书所记载的范围来确定。

Claims (20)

1.一种显示装置制造方法，包括如下步骤：
提供包括第一有机溶剂和第一功能层材料的第一功能层组合物；
在被提供的所述第一功能层组合物上提供包括辅助溶剂的防干燥组合物；以及
对所述第一有机溶剂和所述辅助溶剂进行干燥，
其中，所述辅助溶剂的比重小于所述第一有机溶剂的比重。
2.如权利要求1所述的显示装置制造方法，其中，
所述辅助溶剂的沸点在所述第一有机溶剂的沸点以下。
3.如权利要求1所述的显示装置制造方法，其中，
所述辅助溶剂的比重小于1。
4.如权利要求1所述的显示装置制造方法，其中，
所述辅助溶剂的沸点在230℃以下。
5.如权利要求1所述的显示装置制造方法，其中，
所述辅助溶剂为乙醇类溶剂。
6.如权利要求1所述的显示装置制造方法，其中，
所述防干燥组合物还包括界面活性剂。
7.如权利要求1所述的显示装置制造方法，其中，
在对所述第一有机溶剂和所述辅助溶剂进行干燥的步骤之后还包括热处理步骤，
所述热处理步骤在所述第一功能层材料的玻璃化转变温度以上的温度进行。
8.如权利要求1所述的显示装置制造方法，其中，
提供所述第一功能层组合物的步骤包括通过喷墨印刷法提供所述第一功能层组合物的步骤。
9.如权利要求1所述的显示装置制造方法，其中，
提供所述防干燥组合物的步骤包括以覆盖被提供的所述第一功能层组合物的方式涂覆所述防干燥组合物的步骤。
10.如权利要求1所述的显示装置制造方法，其中，
所述第一功能层材料为有机电致发光材料或者量子点材料。
11.如权利要求1所述的显示装置制造方法，其中，
在提供所述第一功能层组合物的步骤和提供所述防干燥组合物的步骤之间，还包括提供包含第二有机溶剂和第二功能层材料的第二功能层组合物的步骤。
12.如权利要求11所述的显示装置制造方法，其中，
所述第二有机溶剂的比重小于所述第一有机溶剂的比重，
所述辅助溶剂的比重小于所述第二有机溶剂的比重。
13.如权利要求11所述的显示装置制造方法，其中，
所述辅助溶剂的沸点在所述第一有机溶剂和所述第二有机溶剂中的每一个的沸点以下。
14.一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：
在被像素限定膜限定的开口部印刷至少一个预备功能层；
在至少一个所述预备功能层上提供防干燥层；以及
对至少一个所述预备功能层和所述防干燥层进行干燥，
其中，至少一个所述预备功能层包括有机溶剂和功能层材料，
所述防干燥层包括辅助溶剂，
所述辅助溶剂的比重小于所述有机溶剂的比重。
15.如权利要求14所述的显示装置制造方法，其中，
所述辅助溶剂的沸点在所述有机溶剂的沸点以下。
16.如权利要求14所述的显示装置制造方法，其中，
所述辅助溶剂包括乙醇、甲醇以及异丙醇中的至少一个。
17.如权利要求14所述的显示装置制造方法，其中，
所述有机溶剂包括脂肪族烃系溶剂、芳香族烃系溶剂或者酮系溶剂，而不包括乙醇类溶剂。
18.如权利要求14所述的显示装置制造方法，其中，
提供所述防干燥层的步骤包括以覆盖至少一个所述预备功能层的方式涂覆所述防干燥层的步骤。
19.如权利要求14所述的显示装置制造方法，其中，
提供所述防干燥层的步骤包括以覆盖至少一个所述预备功能层和所述像素限定膜的方式涂覆所述防干燥层的步骤。
20.如权利要求14所述的显示装置制造方法，其中，
至少一个所述预备功能层包括预备发光层，
所述功能层材料是有机电致发光材料或者量子点材料。
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