KR20210083447A - 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
일 실시예의 표시 장치 제조 방법은 제1 유기 용매 및 제1 기능층 재료를 포함하는 제1 기능층 조성물을 제공하는 단계, 제공된 제1 기능층 조성물 상에 보조 용매를 포함하는 건조 방지 조성물을 제공하는 단계, 및 제1 유기 용매 및 보조 용매를 건조시키는 단계를 포함하고, 보조 용매의 비중은 제1 유기 용매의 비중보다 작은 것으로 하여, 표시 장치 전체적으로 균일한 막 두께 및 균일한 표면 프로파일을 갖는 기능층들을 제공함으로써 우수한 표시 품질을 갖는 표시 장치 제조에 사용될 수 있다.
Description
본 발명은 표시 장치 제조 방법에 대한 것으로, 균일한 인쇄 특성을 갖는 유기층들을 포함한 표시 장치의 제조 방법에 대한 것이다.
텔레비전, 휴대 전화, 태블릿 컴퓨터, 내비게이션, 게임기 등과 같은 멀티 미디어 장치에 사용되는 다양한 표시 장치들이 개발되고 있다. 이러한 표시 장치에 포함된 표시 소자의 제작에 있어서 잉크젯 프린팅법 등의 제조 방법이 사용되고 있다.
한편, 표시 장치의 크기가 대형화되면서 잉크젯 프린팅법 등의 코팅 방법을 사용할 경우 공정 시간이 길어짐에 따라 위치에 따라 표시 소자를 구성하는 유기층들의 막 특성이 균일하지 않은 문제가 발생한다. 이에 따라, 표시 장치 전체적으로 균일한 소자 품질을 나타내는 표시 소자 제작 방법에 대한 연구가 진행되고 있다.
본 발명의 목적은 복수 개의 발광 소자들 간의 막 특성의 균일도(uniformity)가 개선된 표시 장치를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 목적은 용액 상태로 제공되는 기능층 재료가 불균일하게 건조되는 것을 방지하여 우수한 표시 품질을 나타내는 표시 장치를 제공하는 방법을 제공하는 것이다.
일 실시예는 제1 유기 용매 및 제1 기능층 재료를 포함하는 제1 기능층 조성물을 제공하는 단계; 제공된 상기 제1 기능층 조성물 상에 보조 용매를 포함하는 건조 방지 조성물을 제공하는 단계; 및 상기 제1 유기 용매 및 상기 보조 용매를 건조시키는 단계; 를 포함하고, 상기 보조 용매의 비중은 상기 제1 유기 용매의 비중보다 작은 표시 장치 제조 방법을 제공한다.
상기 보조 용매의 비점(boiling point)은 상기 제1 유기 용매의 비점 이하일 수 있다.
상기 보조 용매의 비중(specific gravity)은 1 보다 작은 것일 수 있다.
상기 보조 용매의 비점은 230℃ 이하일 수 있다.
상기 보조 용매는 알코올계 용매일 수 있다.
상기 건조 방지 조성물은 계면 활성제를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 유기 용매 및 상기 보조 용매를 건조시키는 단계 이후에 열 처리하는 단계를 더 포함하고, 상기 열 처리하는 단계는 상기 제1 기능층 재료의 유리 전이 온도 이상의 온도 이상에서 수행될 수 있다.
상기 제1 기능층 조성물을 제공하는 단계는 상기 제1 기능층 조성물을 잉크젯 프린팅법으로 제공하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 건조 방지 조성물을 제공하는 단계는 상기 건조 방지 조성물을 상기 제공된 제1 기능층 조성물을 커버하도록 코팅하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 기능층 재료는 유기 전계 발광 재료 또는 양자점 재료일 수 있다.
상기 제1 기능층 조성물을 제공하는 단계와 상기 건조 방지 조성물을 제공하는 단계 사이에, 제2 유기 용매 및 제2 기능층 재료를 포함하는 제2 기능층 조성물을 제공하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 제2 유기 용매의 비중은 상기 제1 유기 용매의 비중보다 작고, 상기 보조 용매의 비중은 상기 제2 유기 용매의 비중보다 작을 수 있다.
상기 보조 용매의 비점은 상기 제1 유기 용매 및 상기 제2 유기 용매 각각의 비점 이하일 수 있다.
일 실시예는 화소 정의막에 정의된 개구부에 적어도 하나의 예비 기능층을 인쇄하는 단계; 상기 적어도 하나의 예비 기능층 상에 건조 방지층을 제공하는 단계; 및 상기 적어도 하나의 예비 기능층 및 상기 건조 방지층을 건조시키는 단계; 를 포함하고, 상기 적어도 하나의 예비 기능층은 유기 용매 및 기능층 재료를 포함하고, 상기 건조 방지층은 보조 용매를 포함하며, 상기 보조 용매의 비중은 상기 유기 용매의 비중보다 작은 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
상기 보조 용매의 비점은 상기 유기 용매의 비점 이하일 수 있다.
상기 보조 용매는 에탄올, 메탄올, 및 이소프로필알코올 중에 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 유기 용매는 지방족 탄화수소계 용매, 방향족 탄화수소계 용매, 또는 케톤계 용매를 포함하며, 알코올계 용매는 미포함할 수 있다.
상기 건조 방지층을 제공하는 단계는 상기 적어도 하나의 예비 기능층을 커버하도록 상기 건조 방지층을 코팅하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 건조 방지층을 제공하는 단계는 상기 적어도 하나의 예비 기능층 및 상기 화소 정의막을 커버하도록 상기 건조 방지층을 코팅하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 적어도 하나의 예비 기능층은 예비 발광층을 포함하고, 상기 기능층 재료는 유기 전계 발광 재료 또는 양자점 재료일 수 있다.
일 실시예의 표시 장치 제조 방법은 기능층 조성물을 제공한 이후 건조 방지 조성물을 제공하는 단계를 포함하여, 서로 다른 위치에 있는 복수 개의 발광 소자들 간의 막 특성 균일도가 개선된 표시 장치를 제공할 수 있다.
일 실시예의 표시 장치 제조 방법은 건조 방지 조성물을 제공하는 단계를 포함하여, 건조 단계 이전의 기능층 조성물의 불균일한 건조를 방지하여 대면적 표시 장치 제조를 위한 공정 자유도를 높일 수 있다.
도 1은 일 실시예의 전자 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 I-I'선에 대응하는 일 실시예에 따른 표시 장치의 단면도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 표시 장치의 평면도이다.
도 4는 도 3의 II-II'선에 대응하는 일 실시예에 따른 표시 패널의 일부를 나타낸 단면도이다.
도 5는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 6은 일시예의 표시 장치의 제조 방법의 일 단계를 나타낸 사시도이다.
도 7은 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법의 일 단계를 나타낸 단면도이다.
도 8a는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법의 일 단계를 나타낸 단면도이다.
도 8b는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법의 일 단계를 나타낸 단면도이다.
도 9는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법의 일 단계를 나타낸 단면도이다.
도 10a는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 10b는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 11은 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 12는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법의 일 단계를 나타낸 단면도이다.
도 13은 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 14는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 15는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 2는 도 1의 I-I'선에 대응하는 일 실시예에 따른 표시 장치의 단면도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 표시 장치의 평면도이다.
도 4는 도 3의 II-II'선에 대응하는 일 실시예에 따른 표시 패널의 일부를 나타낸 단면도이다.
도 5는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 6은 일시예의 표시 장치의 제조 방법의 일 단계를 나타낸 사시도이다.
도 7은 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법의 일 단계를 나타낸 단면도이다.
도 8a는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법의 일 단계를 나타낸 단면도이다.
도 8b는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법의 일 단계를 나타낸 단면도이다.
도 9는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법의 일 단계를 나타낸 단면도이다.
도 10a는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 10b는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 11은 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 12는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법의 일 단계를 나타낸 단면도이다.
도 13은 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 14는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 15는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결 된다", 또는 "결합된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
한편, 본 출원에서 "직접 배치"된다는 것은 층, 막, 영역, 판 등의 부분과 다른 부분 사이에 추가되는 층, 막, 영역, 판 등이 없는 것을 의미하는 것일 수 있다. 예를 들어, "직접 배치"된다는 것은 두 개의 층 또는 두 개의 부재들 사이에 접착 부재 등의 추가 부재를 사용하지 않고 배치하는 것을 의미하는 것일 수 있다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
"및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 이상적인 또는 지나치게 형식적인 의미로 해석되지 않는 한, 명시적으로 여기에서 정의된 것으로 해석된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법에 대하여 설명한다.
도 1은 전자 장치(ED)의 일 실시예를 나타낸 사시도이다. 도 2는 일 실시예에 따른 표시 장치(DD)의 단면도이다. 도 2는 도 1의 I-I선에 대응하는 일부를 나타낸 단면도이다.
일 실시예에서 전자 장치(ED)는 텔레비전, 모니터, 또는 외부 광고판과 같은 대형 전자 장치일 수 있다. 또한, 전자 장치(ED)는 퍼스널 컴퓨터, 노트북 컴퓨터, 개인 디지털 단말기, 자동차 내비게이션 유닛, 게임기, 스마트폰, 태블릿, 및 카메라와 같은 중소형 전자 장치일 수 있다. 또한, 이것들은 단지 실시예로서 제시된 것들로서, 본 발명의 개념에서 벗어나지 않은 이상 다른 전자 장치로도 채용될 수 있다.
전자 장치(ED)는 표시 장치(DD) 및 하우징(HAU)을 포함하는 것일 수 있다. 표시 장치(DD)는 표시면(IS)을 통해 영상(IM)을 표시할 수 있다. 도 1에서는 표시면(IS)이 제1 방향축(DR1) 및 제1 방향축(DR1)과 교차하는 제2 방향축(DR2)이 정의하는 면과 평행한 것으로 도시하였다. 하지만, 이는 예시적인 것으로, 다른 실시예에서 표시 장치(DD)의 표시면(IS)은 휘어진 형상을 가질 수 있다.
표시면(IS)의 법선 방향, 즉 표시 장치(DD)의 두께 방향 중 영상(IM)이 표시되는 방향은 제3 방향축(DR3)이 지시한다. 각 부재들의 전면(또는 상면)과 배면(또는 하면)은 제3 방향축(DR3)에 의해 구분될 수 있다. 한편, 제1 내지 제3 방향축들(DR1, DR2, DR3)이 지시하는 방향은 상대적인 개념으로서 다른 방향으로 변환될 수 있다.
하우징(HAU)은 표시 장치(DD)를 수납하는 것일 수 있다. 하우징(HAU)은 표시 장치(DD)의 표시면(IS)인 상부면이 노출되도록 표시 장치(DD)를 커버하며 배치될 수 있다. 하우징(HAU)은 표시 장치(DD)의 측면과 바닥면을 커버하며, 상부면 전체를 노출시키는 것일 수 있다. 다만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 하우징(HAU)은 표시 장치(DD)의 측면과 바닥면뿐 아니라 상부면의 일부를 커버하는 것일 수 있다.
표시 장치(DD)는 표시 패널(DP) 및 표시 패널(DP) 상에 배치된 광제어층(PP)을 포함할 수 있다. 표시 패널(DP)은 발광 소자(OEL, 도 4)를 포함한다. 표시 장치(DD)는 복수 개의 발광 소자들(OEL, 도 4)을 포함할 수 있다. 광제어층(PP)은 표시 패널(DP) 상에 배치되어 외부광에 의한 표시 패널(DP)에서의 반사광을 제어할 수 있다. 광제어층(PP)은 예를 들어, 편광층을 포함하는 것이거나 또는 컬러필터층을 포함하는 것일 수 있다. 한편, 도면에 도시된 바와 달리 일 실시예의 표시 장치(DD)에서 광제어층(PP)은 생략될 수 있다.
도 3은 일 실시예에 따른 표시 장치(DD)를 나타낸 평면도이다. 도 4는 일 실시예의 표시 패널(DP)의 단면도이다. 도 4는 도 3의 II-II'선에 대응하는 부분으로 표시 장치(DD)에 포함된 표시 패널(DP)읠 일부를 나타낸 단면도이다.
표시 패널(DP)은 베이스 기판(BS), 베이스 기판(BS) 상에 제공된 회로층(DP-CL) 및 표시 소자층(DP-OEL)을 포함하는 것일 수 있다. 표시 소자층(DP-OEL)은 화소 정의막(PDL), 화소 정의막(PDL) 사이에 배치된 발광 소자들(OEL-1, OEL-2, OEL-3), 및 발광 소자들(OEL-1, OEL-2, OEL-3) 상에 배치된 봉지층(TFE)을 포함할 수 있다.
베이스 기판(BS)은 표시 소자층(DP-OEL)이 배치되는 베이스 면을 제공하는 부재일 수 있다. 베이스 기판(BS)은 유리기판, 금속기판, 플라스틱기판 등일 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 베이스 기판(BS)은 무기층, 유기층 또는 복합재료층일 수 있다.
일 실시예에서 회로층(DP-CL)은 베이스 기판(BS) 상에 배치되고, 회로층(DP-CL)은 복수의 트랜지스터들(미도시)을 포함하는 것일 수 있다. 트랜지스터들(미도시)은 각각 제어 전극, 입력 전극, 및 출력 전극을 포함하는 것일 수 있다. 예를 들어, 회로층(DP-CL)은 표시 소자층(DP-OEL)의 발광 소자들(OEL-1, OEL-2, OEL-3)을 구동하기 위한 스위칭 트랜지스터 및 구동 트랜지스터를 포함하는 것일 수 있다.
발광 소자들(OEL-1, OEL-2, OEL-3) 각각은 제1 전극(EL1), 정공 수송 영역(HTR), 발광층(EML-R, EML-G, EML-B), 전자 수송 영역(ETR), 및 제2 전극(EL2)을 포함할 수 있다. 도 4에서는 화소 정의막(PDL)에 정의된 개구부(OH) 내에 발광 소자들(OEL-1, OEL-2, OEL-3)의 정공 수송 영역(HTR) 및 발광층(EML-R, EML-G, EML-B)이 배치되며, 전자 수송 영역(ETR) 및 제2 전극(EL2)은 발광 소자들(OEL-1, OEL-2, OEL-3) 전체에서 공통층으로 제공되는 실시예를 도시하였다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 도 4에 도시된 것과 달리 일 실시예에서 정공 수송 영역(HTR)은 화소 정의막(PDL)으로 구분되지 않고 화소 정의막(PDL)을 커버하며 하나의 공통층으로 제공될 수 있다. 또한, 일 실시예에서 전자 수송 영역(ETR)은 화소 정의막(PDL)에 정의된 개구부(OH) 내부에 패턴닝 되어 제공되는 것일 수 있다.
예를 들어, 일 실시예에서 발광 소자(OEL-1, OEL-2, OEL-3)의 정공 수송 영역(HTR), 발광층(EML-R, EML-G, EML-B), 및 전자 수송 영역(ETR) 등은 잉크젯 프린팅법으로 패턴닝되어 제공되는 것일 수 있다. 또한, 이와 달리 발광층(EML-R, EML-G, EML-B)은 잉크젯 프린팅법으로 패턴닝되어 제공되고, 정공 수송 영역(HTR) 및 전자 수송 영역(ETR) 등은 공통층으로 제공될 수 있다. 정공 수송 영역(HTR) 및 전자 수송 영역(ETR) 등이 공통층으로 제공되는 경우 진공 증착법, 스핀 코팅법, 캐스트법, LB법(Langmuir-Blodgett), 잉크젯 프린팅법, 레이저 프린팅법, 레이저 열전사법(Laser Induced Thermal Imaging, LITI) 등과 같은 다양한 방법을 이용하여 제공될 수 있다.
봉지층(TFE)은 발광 소자들(OEL-1, OEL-2, OEL-3)을 커버하는 것일 수 있다. 봉지층(TFE)은 표시 소자층(DP-OEL)을 밀봉하는 것일 수 있다. 봉지층(TFE)은 박막 봉지층일 수 있다. 봉지층(TFE)은 하나의 층 또는 복수의 층들이 적층된 것일 수 있다. 봉지층(TFE)은 적어도 하나의 절연층을 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 봉지층(TFE)은 적어도 하나의 무기막(이하, 봉지 무기막)을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 봉지층(TFE)은 적어도 하나의 유기막(이하, 봉지 유기막) 및 적어도 하나의 봉지 무기막을 포함할 수 있다.
봉지 무기막은 수분/산소로부터 표시 소자층(DP-OEL)을 보호하고, 봉지 유기막은 먼지 입자와 같은 이물질로부터 표시 소자층(DP-OEL)을 보호한다. 봉지 무기막은 실리콘 나이트라이드층, 실리콘 옥시 나이트라이드층, 실리콘 옥사이드층, 티타늄옥사이드층, 또는 알루미늄옥사이드층 등을 포함할 수 있고, 이에 특별히 제한되지 않는다. 봉지 유기막은 아크릴 계열 유기막을 포함할 수 있고, 특별히 제한되지 않는다.
봉지층(TFE)은 제2 전극(EL2) 상에 배치되고, 개구부(OH)를 채우고 배치될 수 있다.
한편, 도면에 도시되지는 않았으나 일 실시예에서 제2 전극(EL2) 상에는 캡핑층(미도시)이 더 배치될 수 있다. 즉, 제2 전극(EL2)과 봉지층(TFE) 사이에 캡핑층(미도시)이 배치될 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 표시 장치(DD)는 비발광 영역(NPXA) 및 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)을 포함할 수 있다. 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B) 각각은 발광 소자들(OEL-1, OEL-2, OEL-3) 각각에서 생성된 광이 방출되는 영역일 수 있다. 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)은 평면 상에서 서로 이격된 것일 수 있다.
발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B) 각각은 화소 정의막(PDL)으로 구분되는 영역일 수 있다. 비발광 영역들(NPXA)은 이웃하는 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B) 사이의 영역들로 화소 정의막(PDL)과 대응하는 영역일 수 있다. 한편, 본 명세서에서 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B) 각각은 화소(Pixel)에 대응하는 것일 수 있다. 화소 정의막(PDL)은 발광 소자들(OEL-1, OEL-2, OEL-3)을 구분하는 것일 수 있다. 발광 소자들(OEL-1, OEL-2, OEL-3)의 발광층(EML-R, EML-G, EML-B)은 화소 정의막(PDL)에 정의된 개구부(OH)에 배치되어 구분될 수 있다. 화소 정의막(PDL)으로 구분되는 발광층들(EML-R, EML-G, EML-B)은 잉크젯 프린팅법 등의 방법으로 형성된 것일 수 있다.
화소 정의막(PDL)은 고분자 수지로 형성될 수 있다. 예를 들어, 화소 정의막(PDL)은 폴리아크릴레이트(Polyacrylate)계 수지 또는 폴리이미드(Polyimide)계 수지를 포함하여 형성될 수 있다. 또한, 화소 정의막(PDL)은 고분자 수지 이외에 무기물을 더 포함하여 형성될 수 있다. 한편, 화소 정의막(PDL)은 광흡수 물질을 포함하여 형성되거나, 블랙 안료 또는 블랙 염료를 포함하여 형성될 수 있다. 블랙 안료 또는 블랙 염료를 포함하여 형성된 화소 정의막(PDL)은 블랙화소정의막을 구현할 수 있다. 화소 정의막(PDL) 형성 시 블랙 안료 또는 블랙 염료로는 카본 블랙 등이 사용될 수 있으나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.
또한, 화소 정의막(PDL)은 무기물로 형성될 수 있다. 예를 들어, 화소 정의막(PDL)은 질화규소(SiNx), 산화규소(SiOx), 질산화규소(SiOxNy) 등을 포함하여 형성되는 것일 수 있다. 화소 정의막(PDL)은 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)을 정의하는 것일 수 있다. 화소 정의막(PDL)에 의해 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B) 과 비발광 영역(NPXA)이 구분될 수 있다.
발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)은 발광 소자들(OEL-1, OEL-2, OEL-3)에서 생성되는 광의 컬러에 따라 복수 개의 그룹으로 구분될 수 있다. 도 3 및 도 4에 도시된 일 실시예의 표시 장치(DD)에는 적색광, 녹색광, 및 청색광을 발광하는 3개의 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)을 예시적으로 도시하였다. 예를 들어, 일 실시예의 표시 장치(DD)는 서로 구분되는 적색 발광 영역(PXA-R), 녹색 발광 영역(PXA-G), 및 청색 발광 영역(PXA-B)을 포함할 수 있다.
일 실시예에 따른 표시 패널(DP)은 복수 개의 발광 소자들(OEL-1, OEL-2, OEL-3)을 포함하고, 복수 개의 발광 소자들(OEL-1, OEL-2, OEL-3)은 서로 상이한 파장 영역의 광을 방출하는 것일 수 있다. 예를 들어, 일 실시예에서 표시 장치(DD)는 적색광을 방출하는 제1 발광 소자(OEL-1), 녹색광을 방출하는 제2 발광 소자(OEL-2), 및 청색광을 방출하는 제3 발광 소자(OEL-3)를 포함할 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 제1 내지 제3 발광 소자들(OEL-1, OEL-2, OEL-3)은 동일한 파장 영역의 광을 방출하는 것이거나 적어도 하나가 상이한 파장 영역의 광을 방출하는 것일 수 있다.
예를 들어, 표시 장치(DD)의 적색 발광 영역(PXA-R), 녹색 발광 영역(PXA-G), 및 청색 발광 영역(PXA-B)은 각각 제1 발광 소자(OEL-1), 제2 발광 소자(OEL-2), 및 제3 발광 소자(OEL-3)에 대응할 수 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치(DD)에서의 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)은 스트라이프 형태로 배열된 것일 수 있다. 도 3을 참조하면, 복수 개의 적색 발광 영역들(PXA-R), 복수 개의 녹색 발광 영역들(PXA-G), 및 복수 개의 청색 발광 영역들(PXA-B)이 각각 제1 방향축(DR1)을 따라 정렬된 것일 수 있다. 또한, 제2 방향축(DR2)을 따라 적색 발광 영역(PXA-R), 녹색 발광 영역(PXA-G), 및 청색 발광 영역(PXA-B)의 순서로 번갈아 가며 배열된 것일 수 있다.
도 3에서는 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)의 면적이 모두 유사한 것으로 도시하였으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 발광 영역들(PXA-R PXA-G, PXA-B)의 면적은 방출하는 광의 파장 영역에 따라 서로 상이할 수 있다. 한편, 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)의 면적은 제1 방향축(DR1)과 제2 방향축(DR2)이 정의하는 평면 상에서 보았을 때의 면적을 의미할 수 있다.
한편, 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)의 배열 형태는 도 3에 도시된 것에 한정되지 않으며, 적색 발광 영역(PXA-R), 녹색 발광 영역(PXA-G), 및 청색 발광 영역(PXA-B)이 배열되는 순서는 표시 장치(DD)에서 요구되는 표시 품질의 특성에 따라 다양하게 조합되어 제공될 수 있다. 예를 들어, 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)의 배열 형태는 펜타일(pentile) 배열 형태이거나, 다이아몬드 배열 형태를 갖는 것일 수 있다.
또한, 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)의 면적은 서로 상이한 것일 수 있다. 예를 들어, 일 실시예에서 녹색 발광 영역(PXA-G)의 면적이 청색 발광 영역(PXA-B)의 면적 보다 작을 수 있으나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.
도 5는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다. 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법은 도 2 내지 도 4에서 설명한 발광 소자(OEL-1, OEL-2, OEL-3)를 제작하는 단계를 포함할 수 있다. 도 6은 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법 중 일 단계를 나타낸 사시도이다. 도 7은 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법 중 일 단계를 나타낸 단면도이다. 도 7은 도 6의 III-III'선에 대응하는 부분을 나타낸 것이다. 도 8a 및 도 8b는 각각 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법의 단계 중 일부를 나타낸 단면도이다.
일 실시예의 표시 장치 제조 방법(10)은 제1 기능층 조성물을 제공하는 단계(S10), 건조 방지 조성물을 제공하는 단계(S20), 및 유기 용매 및 보조 용매를 건조시키는 단계(S50)를 포함할 수 있다. 또한, 일 실시예의 표시 장치 제조 방법(10)은 유기 용매 및 보조 용매를 건조시키는 단계(S50) 이후에 열 처리하는 단계(S70)를 더 포함할 수 있다.
제1 기능층 조성물(FC-1)은 제1 유기 용매(SV-1) 및 제1 기능층 재료(FM-1)를 포함하는 것일 수 있다. 제1 기능층 조성물(FC-1)은 도 4에서 설명한 발광 소자(OEL-1, OEL-2, OEL-3)에서 정공 수송 영역(HTR), 발광층(EML-R, EML-G, EML-B), 또는 전자 수송 영역(ETR)을 형성하기 위한 조성물일 수 있다. 즉, 발광 소자(OEL-1, OEL-2, OEL-3)에서 정공 수송 영역(HTR), 발광층(EML-R, EML-G, EML-B), 또는 전자 수송 영역(ETR)이 제1 기능층이고 제1 기능층 조성물은 정공 수송 영역(HTR), 발광층(EML-R, EML-G, EML-B), 또는 전자 수송 영역(ETR)을 형성하기 위한 액상의 조성물일 수 있다.
도 6 내지 도 8b에서는 제1 기능층으로 발광층(EML-R, EML-G, EML-B)을 형성하는 방법을 예시적으로 도시하여 설명하였다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 도 6 내지 도 8b 등을 참조하여 설명하는 내용은 기능층 재료를 달리한 것을 제외하고는 각각의 기능층을 제작하는 단계에도 동일하게 적용될 수 있다.
제1 기능층인 발광층(EML-R, EML-G, EML-B)을 형성하기 위한 제1 기능층 조성물(FC-1)은 제1 기능층 재료(FM-1)로 유기 발광 재료 또는 양자점 재료를 포함하는 것일 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 제1 기능층이 정공 수송 영역(HTR) 또는 전자 수송 영역(ETR)인 경우 제1 기능층 재료로는 각각 정공 수송 재료 또는 전자 수송 재료가 포함될 수 있다.
제1 유기 용매(SV-1)는 지방족 탄화수소계 용매, 방향족 탄화수소계 용매, 및 케톤계 용매 중 적어도 하나를 포함하는 것일 수 있다. 예를 들어, 제1 유기 용매(SV-1)는 벤젠(benzene), 톨루엔(toluene), 자일렌(xylene), 및 메틸에틸케톤(methyl ethyl ketone) 중 적어도 하나를 포함하는 것일 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 사용되는 기능층 재료의 용해도를 고려하여 다양한 종류의 유기 용매들이 혼합되어 사용될 수도 있다.
도 6, 도 7, 도 8a, 및 도 8b에서는 제1 기능층으로 발광층(EML-R, EML-G, EML-B) 중 적색 발광층(EML-R)을 제공하는 방법을 예시적으로 도시하였다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 도 5 내지 도 8b를 참조하여 설명하는 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법은 정공 수송 영역(HTR), 전자 수송 영역(ETR) 및 다른 색의 광을 방출하는 발광층(EML-G, EML-B)을 제공하는 방법에도 동일하게 적용될 수 있다.
도 6 및 도 7에서는 잉크젯 프린팅법을 이용하여 제1 기능층 조성물(FC-1) 및 건조 방지 조성물(ADC)을 제공하는 단계를 예시적으로 나타내었다. 도 6 및 도 7을 참조하면 제1 잉크젯 헤드(IZ-H1)와 제2 잉크젯 헤드(IZ-H2)는 제1 방향축(DR1) 방향과 나란한 동작 방향(MD)으로 이동하면서 노즐(NZ-1, NZ-2)을 통해 각각 제1 기능층 조성물(FC-1) 및 건조 방지 조성물(ADC)을 제공하는 것일 수 있다.
도 6 및 도 7에서는 일 실시예의 표시 패널(DP)에 포함된 발광 소자(OEL-1)의 제조 단계 중 일부를 예시적으로 나타내었다. 도 6 및 도 7에서는 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B) 중 적색 발광 영역(PXA-R)에 제1 기능층 조성물(FC-1)과 건조 방지 조성물(ADC)을 제공하는 단계를 도시하였다.
제1 잉크젯 헤드(IZ-H1)가 동작 방향(MD)으로 이동하면서 제1 기능층 조성물(FC-1)을 먼저 제공하고, 제공된 제1 기능층 조성물 상부로 제2 잉크젯 헤드(IZ-H2)가 동작 방향(MD)으로 이동하면서 건조 방지 조성물(ADC)을 제공하는 것일 수 있다. 건조 방지 조성물(ADC)은 제공된 제1 기능층 조성물(FC-1)을 커버하도록 제공되는 것일 수 있다. 도 6을 참조하면, 제1 잉크젯 헤드(IZ-H1) 및 제2 잉크젯 헤드(IZ-H2)가 동작 방향(MD)으로 이동할 때, 제1 서브 발광 영역(PXA-R1)은 제1 기능층 조성물(FC-1) 및 건조 방지 조성물(ADC)이 모두 제공된 상태이고, 제2 서브 발광 영역(PXA-R2)은 제1 기능층 조성물(FC-1)이 제공된 이후 건조 방지 조성물(ADC)이 제공되고 있는 상태에 해당하며, 제3 서브 발광 영역(PXA-R3)은 제1 기능층 조성물(FC-1)이 제공되는 상태에 해당한다.
건조 방지 조성물(ADC)은 보조 용매를 포함하며, 보조 용매의 비중(specific gravity)은 제1 기능층 조성물(FC-1)에 포함된 제1 유기 용매(SV-1)의 비중보다 작은 것일 수 있다. 예를 들어, 보조 용매의 비중은 1 보다 작은 것일 수 있다. 따라서, 건조 방지 조성물(ADC)은 제1 기능층 조성물(FC-1)과 혼합되지 않고 제공된 제1 기능층 조성물(FC-1) 상부에 제공될 수 있다.
또한, 보조 용매의 비점(boiling point)은 제1 유기 용매(SV-1)의 비점 이하일 수 있다. 예를 들어, 보조 용매의 비점은 230℃ 이하일 수 있다.
보조 용매는 알코올계 용매일 수 있다. 예를 들어, 보조 용매는 에탄올, 메탄올, 및 이소프로필알코올 중에 적어도 하나를 포함하는 것일 수 있으나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 보조 용매는 제1 유기 용매(SV-1)보다 낮은 비점을 가지며 제1 유기 용매(SV-1)의 비점 이하의 비점을 가지며, 제1 기능층 조성물(FC-1)과 혼합되거나 화학적 반응이 일어나는 것이 아니면 제한 없이 사용될 수 있다.
건조 방지 조성물(ADC)은 계면 활성제를 더 포함하는 것일 수 있다. 계면 활성제는 불소계, 아민계, 에테르계, 알코올계, 에스테르계, 또는 티올계 화합물일 수 있다. 예를 들어, 계면 활성제는 FC-4430(3MTM), Zonyl®, (3-Aminpropyl)trimethoxysilane, (3-Aminpropyl)triethoxysilane, N-(2-Aminoethyl)-3-aminpropyltrimethoxysilane, (3-Glycidyloxy propyl)trimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, (1-Hydroxy-allyl)-tri-methyl-silane, acetoxyethyltriethoxysilane, 및 (3-Mercaptopropyl)trimethoxysilane 중 적어도 하나를 포함하는 것일 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 건조 방지 조성물(ADC) 제공 이후에 제공되는 기능층 조성물의 인쇄성을 개선하기 위한 것이면 제한 없이 사용될 수 있다.
계면 활성제는 유기 용매 및 보조 용매를 건조시키는 단계(S50) 이후에도 제작된 발광 소자의 기능층에 포함되어 있을 수 있다. 계면 활성제는 이웃하는 기능층들 사이의 계면에 포함되거나, 적어도 하나의 기능층에 포함되어 있을 수 있다. 예를 들어, 도 8a 및 도 8b에 예시적으로 도시한 것과 같이 발광층 형성을 위한 제1 기능층 조성물(FC-1) 상부에 제공되는 건조 방지 조성물(ADC)에 계면 활성제가 포함될 경우 계면 활성제는 전자 수송 영역(ETR)에 인접한 발광층(EML-R) 상부면에 주로 포함될 수 있다. 또한, 계면 활성제는 발광층(EML-R)과 전자 수송 영역(ETR)의 경계면에 분포되거나 또는 발광층(EML-R)에 인접한 전자 수송 영역(ETR)의 하부면에 인접하여 포함될 수 있다.
건조 방지 조성물(ADC)은 제1 기능층 조성물(FC-1)에 포함된 제1 유기 용매(SV-1)를 건조하기 위한 건조 단계(S50)를 진행하기 전까지, 제공된 제1 기능층 조성물(FC-1)의 상온/상압에서의 건조를 방지하는 기능을 하는 것일 수 있다.
일 실시예의 표시 장치 제조 방법(10)은 건조 방지 조성물을 제공하는 단계(S30)를 포함하여, 인쇄 방법으로 제공된 제1 기능층 조성물(FC-1) 상부에 건조 방지 조성물(ADC)을 제공함으로써 제1 기능층 조성물(FC-1) 상부를 건조 방지 조성물(ADC)이 커버하도록 하여, 건조시키는 단계(S50) 이전에 복수 개의 발광 소자들에 제공된 제1 기능층 조성물(FC-1)이 불균일하게 건조되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 일 실시예의 표시 장치 제조 방법(10)은 건조 방지 조성물을 제공하는 단계(S30)를 포함하여, 건조 방지층(ADL)이 표시 장치(DD) 전체에 제1 기능층 조성물(FC-1)이 제공되는 동안 우선적으로 인쇄된 부분의 제1 기능층 조성물(FC-1)이 건조되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 건조 방지 조성물(ADC)의 인쇄층인 건조 방지층(ADL)이 표시 장치(DD) 전체에 제공된 제1 기능층 조성물(FC-1) 및 이로부터 형성된 예비 기능층(P-EML)의 두께가 균일하게 유지되도록 할 수 있다.
일 실시예의 표시 장치 제조 방법(10)으로 제작된 각 기능층들의 경우 표시 장치에 포함된 복수 개의 발광 소자들에서 균일한 막 특성을 나타낼 수 있다. 예를 들어, 복수 개의 제1 발광 소자들(OEL-1)에서 발광층들(EML-R)의 두께의 편차는 10% 이하일 수 있다. 즉, 일 실시예의 표시 장치 제조 방법(10)으로 제작된 복수 개의 발광층들(EML-R)의 경우 표시 장치(DD) 전체에서 가장 두꺼운 두께를 갖는 발광층(EML-R)과 가장 얇은 두께를 갖는 발광층(EML-R)의 두께의 차이는 평균 두께의 10% 이하일 수 있다. 또한, 복수 개의 제1 발광 소자들(OEL-1)에서 방출되는 광의 휘도 편차도 10% 이하일 수 있다. 즉, 일 실시예의 표시 장치 제조 방법(10)으로 제작된 복수 개의 발광층들(EML-R)을 포함하는 복수 개의 제1 발광 소자들(OEL-1)에서 가장 높은 휘도를 나타내는 발광 소자(OEL-1)와 가장 낮은 휘도를 나타내는 발광 소자(OEL-1)의 휘도 차이는 발광 소자들(OEL-1)의 평균 휘도의 10%이하일 수 있다.
도 8a는 제1 유기 용매(SV-1) 및 제1 기능층 재료(FM-1)를 포함하는 제1 기능층 조성물(FC-1)을 제공하는 단계(S10)를 나타낸 것이고, 도 8b는 제공된 제1 기능층 조성물(FC-1) 상에 보조 용매를 포함하는 건조 방지 조성물(ADC)을 제공하는 단계(S30)를 나타낸 것이다. 도 8b에서는 건조시키는 단계(S50) 이전의 예비 표시 패널(P-DP) 상태를 예시적으로 나타내었다.
제1 유기 용매(SV-1) 및 제1 기능층 재료(FM-1)를 포함하는 제1 기능층 조성물(FC-1)은 화소 정의막(PDL)에 정의된 개구부(OH) 내에 제공될 수 있다. 제1 기능층 조성물(FC-1)은 정공 수송 영역(HTR) 상에 제공될 수 있다. 정공 수송 영역(HTR)은 개구부(OH) 내에 배치되는 것으로 도시되었으나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 개구부(OH) 내에 배치된 정공 수송 영역(HTR)은 잉크젯 프린팅법으로 제공된 것일 수 있다. 또한, 정공 수송 영역(HTR)이 화소 정의막(PDL)을 커버하며 공통층으로 제공될 경우, 정공 수송 영역(HTR)은 진공 증착법, 스핀 코팅법, 캐스트법, LB법(Langmuir-Blodgett), 잉크젯 프린팅법, 레이저 프린팅법, 레이저 열전사법(Laser Induced Thermal Imaging, LITI) 등과 같은 다양한 방법을 이용하여 제공될 수 있다.
도 8b를 참조하면, 건조 방지 조성물(ADC)은 화소 정의막(PDL)에 정의된 개구부(OH) 내에 제공되는 것일 수 있다. 건조 방지 조성물(ADC)은 잉크젯 프린팅법으로 제공될 수 있으나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.
유기 용매 및 보조 용매를 건조시키는 단계(S50)는 유기 용매 및 보조 용매를 진공 건조시키는 단계일 수 있다. 유기 용매 및 보조 용매를 건조시키는 단계(S50)에서 제1 기능층 조성물의 제1 유기 용매(SV-1) 및 건조 방지 조성물(ADC)의 보조 용매가 증발되어 제거될 수 있다. 유기 용매 및 보조 용매를 건조시키는 단계(S50)는 진공 챔버 내에서 진행될 수 있다.
유기 용매 및 보조 용매를 건조시키는 단계(S50) 이후에 열 처리하는 단계(S70)가 수행될 수 있다. 열 처리하는 단계(S70)에서는 건조시키는 단계(S50)에서 제거되지 않은 유기 용매가 추가적으로 제거될 수 있다. 또한, 열 처리하는 단계(S70)에서 기능층 재료들이 재배열되어 최종적으로 기능층을 형성하는 것일 수 있다.
열 처리하는 단계(S70)는 기능층 재료의 유리 전이 온도(Glass Transition temperature) 이상에서 수행되는 것일 수 있다. 예를 들어, 열 처리하는 단계(S70)는 140℃ 내지 160℃의 온도 범위에서 수행될 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 기능층 재료로 사용되는 화합물에 따라 온도 범위가 조정될 수 있다.
도 9는 일 실시예의 표시 장치 제조 방법의 단계 중 일부를 나타낸 단면도이다. 도 9는 도 8b에 대응하는 제1 기능층 조성물 상에 보조 용매를 포함하는 건조 방지 조성물을 제공하는 단계(S30)까지 진행된 예비 표시 패널(P-DP-a) 상태를 나타낸 것이다. 도 9의 경우 도 8b에 도시된 실시예와 달리 건조 방지 조성물(ADC)이 인쇄된 제1 기능층 조성물(FC-1) 상부뿐 아니라 화소 정의막(PDL)을 커버하도록 전면적으로 제공된 실시예에 해당한다. 도 9에서 제공된 건조 방지 조성물(ADC)은 다양한 코팅 방법으로 제공될 수 있다. 건조 방지 조성물(ADC)은 잉크젯 프링팅법, 슬릿 코팅법, 스프레이 코팅법, 스핀 코팅법, 롤 코팅법 등의 방법으로 제공될 수 있으며, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.
도 10a 내지 도 15는 일 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법을 나타낸 순서도이다. 이하 도 10a 내지 도 15를 참조하여 설명하는 일 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법에 대한 설명에 있어서 상술한 도 1 내지 도 9 등에서 설명한 내용과 중복되는 내용은 다시 설명하지 않으며 차이점을 위주로 설명한다.
도 10a 및 도 10b는 일 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법을 나타낸 순서도이다. 도 10a 및 도 10b에 도시된 일 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법(10-1)은 복수 개의 기능층들을 포함하는 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 것일 수 있다. 복수 개의 기능층들은 각각 도 5 내지 도 9를 참조하여 설명한 기능층 제조 방법으로 제공되는 것일 수 있다. 일 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법(10-1)은 제1 예비 기능층 형성 단계(S110)와 제2 예비 기능층 형성 단계(S130)를 포함하는 것일 수 있다.
본 명세서에서, 제1 예비 기능층 및 제2 예비 기능층은 각각 열 처리전의 제1기능층 및 제2 기능층을 나타낸다. 예를 들어, 일 실시예의 표시 장치 제조 방법(10-1)으로 제조되는 표시 장치에서 제1 기능층은 정공 수송 영역(HTR, 도 4)이고 제2 기능층은 발광층(EML-R, EMLG, EML-B, 도 4)일 수 있다. 또한, 일 실시예에서는 제1 기능층은 발광층(EML-R, EMLG, EML-B, 도 4)이고 제2 기능층은 전자 수송 영역(ETR, 도 4)일 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 순차적으로 적층되어 제공되는 복수 개의 기능층들의 제조에 있어서 도 10a 및 도 10b에 도시된 일 실시예의 표시 장치의 제조 방법(10-1)이 사용될 수 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법(10-1)에서 제1 예비 기능층 형성 단계(S110)는 제1 기능층 조성물 제공 단계(S10), 제1 건조 방지 조성물 제공 단계(S30), 제1 유기 용매 및 제1 보조 용매 건조시키는 단계(S50)를 포함하는 것일 수 있다. 제1 기능층 조성물은 제1 유기 용매 및 제1 기능층 재료를 포함하는 것이고, 제1 건조 방지 조성물은 제1 보조 용매를 포함하는 것일 수 있다. 제1 보조 용매는 제1 유기 용매의 비중보다 작고 제1 유기 용매의 비점 이하의 비점을 갖는 것일 수 있다. 제1 유기 용매 및 제1 보조 용매 건조시키는 단계(S50)는 제1 유기 용매 및 제1 보조 용매를 진공 건조하는 단계를 포함하는 것일 수 있다. 제1 유기 용매 및 제1 보조 용매를 진공 건조하여 제1 예비 기능층을 형성할 수 있다.
제1 예비 기능층이 형성된 이후에 순차적으로 제2 예비 기능층을 형성하는 단계(S130)가 수행될 수 있다. 제2 예비 기능층 형성 단계(S130)는 제2 기능층 조성물 제공 단계(S10-1), 제2 건조 방지 조성물 제공하는 단계(S30-1), 및 제2 유기 용매 및 제2 보조 용매 건조시키는 단계(S50-1)를 포함하는 것일 수 있다. 제2 기능층 조성물은 제2 유기 용매 및 제2 기능층 재료를 포함하는 것이고, 제2 건조 방지 조성물은 제2 보조 용매를 포함하는 것일 수 있다. 제2 보조 용매는 제2 유기 용매의 비중보다 작고 제2 유기 용매의 비점 이하의 비점을 갖는 것일 수 있다. 제2 보조 용매는 제1 보조 용매와 동일하거나 서로 상이한 것일 수 있다. 제1 보조 용매 및 제2 보조 용매는 알코올계 유기 용매일 수 있다. 제1 보조 용매 및 제2 보조 용매에 대하여는 도 5 내지 도 9를 참조하여 설명한 일 실시예의 표시 장치 제조 방법에서 설명한 내용과 동일한 내용이 적용될 수 있다.
제2 유기 용매 및 제2 보조 용매 건조시키는 단계(S50-1)는 제2 유기 용매 및 제2 보조 용매를 진공 건조하는 단계를 포함하는 것일 수 있다. 제2 유기 용매 및 제2 보조 용매를 진공 건조하여 제2 예비 기능층을 형성할 수 있다.
제1 예비 기능층과 제2 예비 기능층을 순차적으로 형성한 이후 열 처리하는 단계(S70)가 수행될 수 있다. 도 10a 및 도 10b에 도시된 일 실시예의 표시 장치 제조 방법(10-1)에서는 열 처리하는 단계(S70)가 제2 예비 기능층 형성 단계(S130) 이후에 진행되는 것으로 도시되었으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 열 처리하는 단계(S70)는 제1 예비 기능층 형성하는 단계(S110) 이후에도 추가될 수 있다.
도 11은 일 실시예의 표시 장치 제조 방법을 나타낸 순서도이다. 도 12는 도 11에 도시된 일 실시예의 표시 장치 제조 방법의 일 단계를 나타낸 도면이다.
도 11을 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법(10-2)은 제1 기능층 조성물 제공 단계(S10), 제2 기능층 조성물 제공 단계(S10-1), 건조 방지 조성물 제공 단계(S30), 유기 용매 및 보조 용매 건조시키는 단계(S50-2)를 포함하는 것일 수 있다. 도 11에 도시된 일 실시예의 표시 장치 제조 방법(10-2)은 도 5를 참조하여 설명한 일 실시예의 표시 장치 제조 방법(10)과 비교하여 제1 기능층 조성물 제공 단계(S10)와 건조 방지 조성물 제공 단계(S30) 사이에 제2 기능층 조성물 제공 단계(S10-1)를 더 포함하는 것에 있어서 차이가 있다. 또한, 도 11에 도시된 일 실시예의 표시 장치 제조 방법(10-2)은 제1 기능층 조성물 제공 단계(S10) 이후에 제2 기능층 조성물 제공 단계(S10-1)가 수행되고 이후 건조 방지 조성물 제공 단계(S30)가 수행되는 것으로 도 10a 및 도 10b를 참조하여 설명한 일 실시예의 표시 장치 제조 방법(10-1)에서 제1 기능층 조성물 제공 단계(S10)와 제2 기능층 조성물 제공 단계(S10-1) 사이에 제1 건조 방지 조성물 제공 단계(S30) 및 제1 유기 용매 및 제1 보조 용매 건조시키는 단계(S50)가 추가된 것과 차이가 있다.
즉, 도 11을 참조하여 설명하는 일 실시예의 표시 장치 제조 방법(10-2)은 연속하여 적층되는 복수 개의 기능층들을 형성하는 방법으로, 순차적으로 수행되는 제1 기능층 조성물 제공 단계(S10), 제2 기능층 조성물 제공 단계(S10-1), 및 건조 방지 조성물 제공 단계(S30)를 포함하는 것일 수 있다.
도 12는 도 11에 도시된 순서도에서 건조 방지 조성물 제공 단계(S30)까지 수행된 상태를 나타낸 것이다. 화소 정의막(PDL)에 정의된 개구부(OH) 내의 제1 전극(EL1) 상에 제1 기능층 조성물(FC-1a)이 제공되었고, 제공된 제1 기능층 조성물(FC-1a) 상에 제2 기능층 조성물(FC-2a)이 제공되고, 제2 기능층 조성물(FC-2a) 상에 건조 방지 조성물(ADC)이 제공되었다. 제1 기능층 조성물(FC-1a)이 인쇄된 부분은 제1 예비 기능층(P-HTR)이고, 제2 기능층 조성물(FC-2a)이 인쇄된 부분은 제2 예비 기능층(P-EML)이며, 건조 방지 조성물(ADC)이 인쇄된 부분은 건조 방지층(ADL)A에 해당한다.
도 12에 도시된 일 실시예에서 제1 기능층 조성물(FC-1a)은 정공 수송 영역(HTR, 도 4)을 형성하기 위한 기능층 재료를 포함한 것일 수 있다. 즉, 제1 기능층 조성물(FC-1a)은 제1 유기 용매(SV-1a) 및 제1 기능층 재료(FM-1a)를 포함하며, 제1 기능층 재료(FM-1a)는 공지의 정공 주입 재료, 또는 공지의 정공 수송 재료를 포함하는 것일 수 있다.
또한, 제2 기능층 조성물(FC-2a)은 발광층(EML-R, EML-G, EML-B, 도 4)을 형성하기 위한 기능층 재료를 포함한 것일 수 있다. 즉, 제2 기능층 조성물(FC-2a)은 제2 유기 용매(SV-2a) 및 제2 기능층 재료(FM-2a)를 포함하며, 제2 기능층 재료(FM-2a)는 공지의 발광 재료를 포함하는 것일 수 있다. 예를 들어, 제2 기능층 재료(FM-2a)는 형광 발광 재료, 인광 발광 재료 또는 양자점 등을 포함하는 것일 수 있다.
제공된 제2 기능층 조성물(FC-2a) 상에 건조 방지 조성물(ADC)이 제공될 수 있다. 건조 방지 조성물(ADC)은 인쇄된 제2 기능층 조성물(FC-2a)을 커버하도록 제공되는 것일 수 있다. 도 12에서는 건조 방지 조성물(ADC)이 인쇄된 제2 기능층 조성물(FC-2a) 상부를 커버하며 화소 정의막(PDL)에 정의된 개구부(OH) 내에 코팅된 것으로 도시되었으나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 건조 방지 조성물(ADC)은 인쇄된 제2 기능층 조성물(FC-2a) 상부뿐 아니라 화소 정의막(PDL)을 커버하도록 제공될 수 있다.
도 11 및 도 12에서 도시된 일 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법(10-2)에서 제2 유기 용매(SV-2a)의 비중은 제1 유기 용매(SV-1a)의 비중보다 작은 것일 수 있다. 따라서, 제2 기능층 조성물(FC-2a)은 하부에 배치된 제1 기능층 조성물(FC-1a)과 혼합되지 않은 상태로 제1 기능층 조성물(FC-1a)을 커버하며 유지될 수 있다.
제1 기능층 조성물(FC-1a) 및 제2 기능층 조성물(FC-2a)은 잉크젯 프린팅법으로 순차적으로 제공되는 것일 수 있다. 제2 기능층 조성물(FC-2a)은 인쇄된 제1 기능층 조성물(FC-1a)을 커버하도록 제공되어, 제2 기능층 조성물(FC-2a)은 인쇄된 제1 기능층 조성물(FC-1a)의 건조를 방지할 수 있다. 즉, 제1 기능층 조성물(FC-1a) 제공 이후에 연속적으로 제2 기능층 조성물(FC-2a)을 제공하여, 표시 패널 전체에서 제1 기능층 조성물(FC-1a)이 모두 인쇄될 때까지 먼저 인쇄된 제1 기능층 조성물(FC-1a)의 제1 유기 용매(SV-1a)가 우선적으로 건조되는 것을 방지하여 표시 패널 전체에서 제1 기능층 조성물(FC-1a)이 제공된 두께, 제1 기능층 조성물(FC-1a)이 인쇄된 프로파일 등과 같은 인쇄 품질이 균일하게 유지되도록 할 수 있다.
건조 방지 조성물(ADC)은 제2 기능층 조성물(FC-2a) 상에 제공되어 제1 기능층 조성물(FC-1a) 및 제2 기능층 조성물(FC-2a)의 건조를 방지할 수 있다. 건조 방지 조성물(ADC)에 포함된 보조 용매의 비중은 제2 유기 용매(SV-2a)의 비중보다 작은 것일 수 있다. 또한, 보조 용매의 비점은 제1 유기 용매(SV-1a) 및 제2 유기 용매(SV-2a)의 비점 이하일 수 있다.
건조 방지 조성물 제공 단계(S30) 이후에 유기 용매 및 보조 용매를 건조시키는 단계(S50-2)가 수행될 수 있다. 유기 용매 및 보조 용매를 건조시키는 단계(S50-2)에서 제1 유기 용매(SV-1a), 제2 유기 용매(SV-2a), 및 보조 용매 제거될 수 있다. 유기 용매 및 보조 용매를 건조시키는 단계(S50-2)는 진공 챔버에서 수행될 수 있다.
유기 용매 및 보조 용매를 건조시키는 단계(S50-2) 이후에 열 처리 단계(S70)가 수행될 수 있다. 열 처리 단계(S70)를 거치면서 제1 기능층 및 제2 기능층이 형성될 수 있다. 예를 들어, 도 12에 도시된 일 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법에 의해 형성된 제1 기능층은 정공 수송 영역(HTR, 도 4)이고 제2 기능층은 발광층(EML-R, EML-G, EML-B, 도 4)일 수 있다.
제1 기능층 및 제2 기능층이 형성된 이후에 제2 기능층 상에 배치된 제3 기능층을 형성하기 위한 단계가 진행될 수 있다. 예를 들어, 제3 기능층은 상술한 도 5 내지 도 9 등에서 설명한 기능층 제조 방법을 이용하여 제공될 수 있다. 즉, 제3 기능층 형성을 위한 제3 기능층 조성물은 잉크젯 프린팅법으로 제공하고, 제공된 제3 기능층 조성물 상에 건조 방지 조성물을 제공하며, 이후 제3 기능층 조성물에 포함된 제3 유기 용매와 건조 방지 조성물에 포함된 보조 용매를 건조시키고, 이후 열 처리하는 공정을 진행하여 제3 기능층이 형성될 수 있다. 또한, 이와 달리 제3 기능층은 상술한 일 실시예에 따른 기능층 제조 방법이 아닌 진공 증착법 등을 이용하여 형성될 수 있다.
하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 일 실시예의 표시 장치 제조 방법(10-2)은 제2 기능층 조성물 제공 단계(S10-1)와 건조 방지 조성물 제공 단계(S30) 사이에 적어도 하나의 기능층 조성물 제공 단계를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 일 실시예는 제3 기능층 조성물 제공 단계를 더 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 제3 기능층 조성물은 전자 수송 영역(ETR, 도 4)을 형성하기 위한 기능층 재료를 포함한 것일 수 있다. 즉, 제3 기능층 조성물은 제3 유기 용매 및 제3 기능층 재료를 포함하며, 제3 기능층 재료는 공지의 전자 주입 재료, 또는 공지의 전자 수송 재료를 포함하는 것일 수 있다.
도 13 내지 도 15는 도 3 및 도 4 등에서 설명한 일 실시예에 따른 표시 장치를 제조하는 일 실시예의 표시 장치 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 일 실시예의 표시 장치(DD)는 복수 개의 발광 소자들을 포함하는 표시 패널(DP)을 포함한다. 표시 패널(DP)에 포함된 복수 개의 발광 소자들 각각은 제1 전극(EL1), 제1 전극(EL1)과 마주하는 제2 전극(EL2), 및 제1 전극(EL1)과 제2 전극(EL2) 사이에 배치된 복수 개의 기능층들을 포함하는 것일 수 있다. 복수 개의 기능층들은 정공 수송 영역(HTR), 발광층(EML-R, EML-G, EML-B), 및 전자 수송 영역(ETR)을 포함하는 것일 수 있다. 한편, 도 4에서는 정공 수송 영역(HTR), 발광층(EML-R, EML-G, EML-B), 및 전자 수송 영역(ETR)이 각각 하나의 층으로 도시되었으나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 정공 수송 영역(HTR), 발광층(EML-R, EML-G, EML-B), 및 전자 수송 영역(ETR) 각각은 복수 개의 서브 기능층들을 포함하는 것일 수 있다. 예를 들어, 정공 수송 영역(HTR)은 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 저지층 등을 포함하고, 전자 수송 영역(ETR)은 전자 주입층, 전자 수송층, 정공 저지층들을 포함할 수 있다. 발광층(EML-R, EML-G, EML-B)은 적층된 복수 개의 서브 발광층들을 포함할 수도 있다.
도 13을 참조하면 일 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법은 정공 수송 영역 형성 단계(S100), 발광층 형성 단계(S300), 및 전자 수송 영역 형성 단계(S500)를 포함할 수 있다. 즉, 일 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법은 제1 전극(EL1) 상에 정공 수송 영역(HTR), 발광층(EML-R, EML-G, EML-B), 및 전자 수송 영역(ETR) 등의 적어도 하나의 기능층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 일 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법은 제1 전극(EL1) 상에 정공 수송 영역(HTR)을 형성하고, 정공 수송 영역(HTR) 상에 발광층들(EML-R, EML-G, EML-B)을 각각 형성하고, 발광층(EML-R, EML-G, EML-B) 상에 전자 수송 영역(ETR)을 형성하는 단계들을 포함하는 것일 수 있다.
기능층에 해당하는 정공 수송 영역(HTR), 발광층(EML-R, EML-G, EML-B), 및 전자 수송 영역(ETR) 각각은 도 14에 도시된 일 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법을 이용하여 제공될 수 있다.
일 실시예의 표시 장치 제조 방법(10-a)은 예비 기능층 인쇄 단계(S10-a), 건조 방지층 제공 단계(S30-a), 예비 기능층 및 건조 방지층을 건조시키는 단계(S50-a)를 포함하는 것일 수 있다. 또한, 일 실시예의 표시 장치 제조 방법(10-a)은 예비 기능층 및 건조 방지층을 건조시키는 단계(S50-a) 이후에 열 처리 단계(S70-a)를 더 포함할 수 있다.
예비 기능층 인쇄 단계(S10-a)는 화소 정의막(PDL)에 정의된 개구부(OH)에 적어도 하나의 예비 기능층을 인쇄하는 단계에 해당한다. 예비 기능층 인쇄 단계(S10-a)는 도 5에서 설명한 제1 기능층 조성물 제공 단계(S10)를 포함하는 것일 수 있다. 건조 방지층 제공 단계(S30-a)는 인쇄된 적어도 하나의 예비 기능층 상에 건조 방지층을 제공하는 단계에 해당하며, 건조 방지층 제공 단계(S30-a)는 도 5에서 설명한 건조 방지 조성물 제공 단계(S30)를 포함하는 것일 수 있다. 또한, 예비 기능층 및 건조 방지층을 건조시키는 단계(S50-a)는 적어도 하나의 예비 기능층 및 예비 건조 방지층을 건조시키는 단계에 해당한다. 예비 기능층 및 건조 방지층을 건조시키는 단계(S50-a)는 도 5에서 설명한 유기 용매 및 보조 용매를 건조시키는 단계(S50)를 포함하는 것일 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하여 설명한 일 실시예에 따른 표시 장치(DD)는 복수 개의 발광 영역들을 포함하며, 복수 개의 발광 영역들을 포함하는 표시 장치(DD)에서 발광층 형성 단계(S300)는 도 15에 도시된 제조 단계로 수행되는 것일 수 있다.
발광층 형성 단계(S300)는 발광 조성물 제공 단계와 건조 방지 조성물 제공 단계가 반복되어 수행되는 것일 수 있다. 발광층 형성 단계(S300)는 순차적으로 진행되는 제1 색 발광 조성물 제공 단계(S310), 제1 건조 방지 조성물 제공 단계(S320), 제2 색 발광 조성물 제공 단계(S330), 제2 건조 방지 조성물 제공 단계(S340), 제3 색 발광 조성물 제공 단계(S350), 제3 건조 방지 조성물 제공 단계(S360), 및 유기 용매 및 보조 용매를 건조시키는 단계(S370)를 포함하는 것일 수 있다. 또한, 발광층 형성 단계(S300)는 유기 용매 및 보조 용매를 건조시키는 단계(S370) 이후에 열 처리 단계(S380)를 포함할 수 있다.
유기 용매 및 보조 용매를 건조시키는 단계(S370) 에서는 제1 색 내지 제3 색 발광 조성물에 포함된 유기 용매 및 제1 내지 제3 건조 방지 조성물에 포함된 보조 용매가 모두 진공 건조될 수 있다. 또한, 열 처리 단계(S380)에서는 유기 용매 및 보조 용매를 건조시키는 단계(S370)에서 제거되지 못한 잔류의 유기 용매들 및 보조 용매가 모두 제거되고 발광 재료들이 재배열되어 발광층을 형성할 수 있다.
제1 색 발광 조성물은 유기 용매 및 제1 색 발광 재료를 포함하는 것이고, 제2 색 발광 조성물은 유기 용매 및 제2 색 발광 재료를 포함하는 것이며, 제3 색 발광 조성물은 유기 용매 및 제3 색 발광 재료를 포함하는 것일 수 있다. 제1 색 내지 제3 색은 다른 파장 영역의 색일 수 있다. 예를 들어, 제1 색은 적색, 제2 색은 녹색, 제3 색은 청색일 수 있으나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 일 실시예의 표시 장치 제조 방법에서 발광층 형성 단계(S300)는 각각의 상이한 색의 발광 조성물을 제공한 이후에 건조 방지 조성물을 제공하는 단계를 포함하여, 발광 조성물을 인쇄한 예비 발광층(P-EML, 도 7)이 표시 패널 전체에 형성되기 이전에 먼저 인쇄된 예비 발광층(P-EML, 도 7)에서 유기 용매가 우선적으로 건조되는 현상을 방지할 수 있다. 이에 따라, 일 실시예의 표시 장치 제조 방법은 예비 발광층(P-EML, 도 7) 형성의 시간차에 따른 막 균일도가 저하되는 문제를 개선할 수 있다.
일 실시예의 표시 장치 제조 방법은 유기 용매를 이용하여 액상으로 제공된 기능층 조성물을 인쇄한 이후 건조 단계 진행 전까지 인쇄 품질을 균일하게 유지하기 위하여 기능층 조성물 제공 단계 이후에 건조 방지 조성물 제공 단계를 포함할 수 있다. 이에 따라 일 실시예의 표시 장치 제조 방법으로 제조된 일 실시예에 따른 표시 장치는 발광 소자를 구성하는 기능층들의 막 균일도가 개선되어 우수한 표시 품질을 나타낼 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
DD : 표시 장치 DP : 표시 패널
FC-1, FC-1a, FC-2a : 기능층 조성물
ADC : 건조 방지 조성물
FC-1, FC-1a, FC-2a : 기능층 조성물
ADC : 건조 방지 조성물
Claims (20)
- 제1 유기 용매 및 제1 기능층 재료를 포함하는 제1 기능층 조성물을 제공하는 단계;
제공된 상기 제1 기능층 조성물 상에 보조 용매를 포함하는 건조 방지 조성물을 제공하는 단계; 및
상기 제1 유기 용매 및 상기 보조 용매를 건조시키는 단계; 를 포함하고,
상기 보조 용매의 비중은 상기 제1 유기 용매의 비중보다 작은 표시 장치 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 보조 용매의 비점(boiling point)은 상기 제1 유기 용매의 비점 이하인 표시 장치 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 보조 용매의 비중(specific gravity)은 1 보다 작은 표시 장치 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 보조 용매의 비점은 230℃ 이하인 표시 장치 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 보조 용매는 알코올계 용매인 표시 장치 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 건조 방지 조성물은 계면 활성제를 더 포함하는 표시 장치 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 제1 유기 용매 및 상기 보조 용매를 건조시키는 단계 이후에 열 처리하는 단계를 더 포함하고,
상기 열 처리하는 단계는 상기 제1 기능층 재료의 유리 전이 온도 이상의 온도 이상에서 수행되는 표시 장치 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 제1 기능층 조성물을 제공하는 단계는 상기 제1 기능층 조성물을 잉크젯 프린팅법으로 제공하는 단계를 포함하는 표시 장치 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 건조 방지 조성물을 제공하는 단계는 상기 건조 방지 조성물을 상기 제공된 제1 기능층 조성물을 커버하도록 코팅하는 단계를 포함하는 표시 장치 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 제1 기능층 재료는 유기 전계 발광 재료 또는 양자점 재료인 표시 장치의 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 제1 기능층 조성물을 제공하는 단계와 상기 건조 방지 조성물을 제공하는 단계 사이에, 제2 유기 용매 및 제2 기능층 재료를 포함하는 제2 기능층 조성물을 제공하는 단계를 더 포함하는 표시 장치 제조 방법. - 제 11항에 있어서,
상기 제2 유기 용매의 비중은 상기 제1 유기 용매의 비중보다 작고,
상기 보조 용매의 비중은 상기 제2 유기 용매의 비중보다 작은 표시 장치 제조 방법. - 제 11항에 있어서,
상기 보조 용매의 비점은 상기 제1 유기 용매 및 상기 제2 유기 용매 각각의 비점 이하인 표시 장치 제조 방법. - 화소 정의막에 정의된 개구부에 적어도 하나의 예비 기능층을 인쇄하는 단계;
상기 적어도 하나의 예비 기능층 상에 건조 방지층을 제공하는 단계; 및
상기 적어도 하나의 예비 기능층 및 상기 건조 방지층을 건조시키는 단계; 를 포함하고,
상기 적어도 하나의 예비 기능층은 유기 용매 및 기능층 재료를 포함하고,
상기 건조 방지층은 보조 용매를 포함하며,
상기 보조 용매의 비중은 상기 유기 용매의 비중보다 작은 표시 장치의 제조 방법. - 제 14항에 있어서,
상기 보조 용매의 비점은 상기 유기 용매의 비점 이하인 표시 장치 제조 방법. - 제 14항에 있어서,
상기 보조 용매는 에탄올, 메탄올, 및 이소프로필알코올 중에 적어도 하나를 포함하는 표시 장치 제조 방법. - 제 14항에 있어서,
상기 유기 용매는 지방족 탄화수소계 용매, 방향족 탄화수소계 용매, 또는 케톤계 용매를 포함하며, 알코올계 용매는 미포함하는 표시 장치 제조 방법. - 제 14항에 있어서,
상기 건조 방지층을 제공하는 단계는 상기 적어도 하나의 예비 기능층을 커버하도록 상기 건조 방지층을 코팅하는 단계를 포함하는 표시 장치 제조 방법. - 제 14항에 있어서,
상기 건조 방지층을 제공하는 단계는 상기 적어도 하나의 예비 기능층 및 상기 화소 정의막을 커버하도록 상기 건조 방지층을 코팅하는 단계를 포함하는 표시 장치 제조 방법. - 제 14항에 있어서,
상기 적어도 하나의 예비 기능층은 예비 발광층을 포함하고,
상기 기능층 재료는 유기 전계 발광 재료 또는 양자점 재료인 표시 장치 제조 방법.
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