CN112994519B - 一种轴向大应变压电驱动装置 - Google Patents
一种轴向大应变压电驱动装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112994519B CN112994519B CN202110210252.7A CN202110210252A CN112994519B CN 112994519 B CN112994519 B CN 112994519B CN 202110210252 A CN202110210252 A CN 202110210252A CN 112994519 B CN112994519 B CN 112994519B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- piezoelectric
- positive
- negative
- negative electrode
- positive electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 7
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 claims description 4
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N potassiosodium Chemical compound [Na].[K] BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 5
- 238000003466 welding Methods 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 10
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 8
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/04—Constructional details
- H02N2/043—Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
本发明公开了一种轴向大应变压电驱动装置，其主体是由多个压电单元堆叠组合而成的多层压电结构，每个压电单元本身就是一个压电驱动器，通过多个压电单元的堆叠，产生线性叠加的压电效应集合，从而实现轴向大应变压电驱动的特性，所述压电单元为薄片型，其相对两表面分别设有作为正负电极的面电极，相邻两压电单元叠加形成的缝隙宽度相较于传统机械焊接而言明显减小，能量传递的效率也会显著提升；本发明的轴向大应变压电驱动装置加工简捷，具有轴向大应变特性，解决了现有装置结构单元组合过程中需要焊接且组合不严密、能量采集效率偏低的问题。
Description
技术领域
本发明涉及压电能量采集技术领域，具体而言，涉及一种轴向大应变压电驱动装置。
背景技术
压电陶瓷具有响应速度快、线性度好、功耗低等优点，已被广泛应用于驱动、传感和抑振等诸多领域方面。压电式驱动装置是利用压电材料的逆压电效应来实现电能向机械能的转变装置。压电式驱动装置中压电结构件的构成形式多种多样，其中叠堆式压电驱动器可以直接用于精密微位移驱动元器件，并在精密机械电子领域得到了广泛的应用。
虽然叠堆式压电驱动器的驱动力较大，但是驱动位移较小，位移输出量普遍偏低。国内外研究主要集中在压电驱动器的位移放大机构的设计方面，对陶瓷本身的结构设计方面关注不足。并且，传统叠堆式压电驱动器结构中，螺栓作为连接模块的部件，经常会由于紧固性较差、受到的冲击力过大等原因而影响其连接件的振动模态。
基于单层压电陶瓷片驱动位移太小、抑振性能较差的现状，传统叠堆式压电驱动器结构已经没法满足当前低电压下大位移、大推力、大抑振百分比的需要。为了克服这一缺点，对叠堆式压电驱动器结构中单元压电片的结构设计和优化是一种具有可行性的新思路。然而，在实际应用中压电陶瓷环叠堆面临着电极引线困难、叠堆后单片电极之间存在缝隙和陶瓷环无法完全对齐等诸多问题。
鉴于此，本领域亟需提出一种新型结构的叠堆式压电驱动装置以解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种轴向大应变压电驱动装置，采用薄片型的压电单元，利用压电单元性能线性加和的特征，克服传统叠加装置需要通过焊接等粗放技术方案而产生大缝隙的不利因素，提高相邻压电单元之间的力学传导效率，改善能量的传导和利用效率，从而得到了轴向大应变的特性。
本发明是这样实现的：
本发明提供一种轴向大应变压电驱动装置，包括多层压电结构以及分别位于该多层压电结构两侧的正极导电薄膜和负极导电薄膜；
所述多层压电结构由多层压电单元堆叠构成；
所述压电单元为薄片型，包括相对的第一表面和第二表面以及与所述第一表面和第二表面均连接的侧面；
每一压电单元的第一表面和第二表面分别设有正电极和负电极，所述正电极和负电极分别延伸至压电单元相对两端的侧面上而分别形成正极引出端和负极引出端；
所述压电单元在多层压电结构中按照正电极与正电极贴合、负电极与负电极贴合的方式堆叠排列；
所述正极导电薄膜与每层压电单元的正极引出端接触连接，所述负极导电薄膜与每层压电单元的负极引出端接触连接。
具体地，每一压电单元的正电极和负电极通过溅射形成，所述正电极和负电极的材料可以选自金属导电材料、金属氧化物导电材料等导电材料，如金(Au)、银(Ag)、铜(Cu)、铂(Pt)、氧化铟锡(ITO)等可以用于溅射的良导体材料。
具体地，每一压电单元中，位于第一表面的正电极与位于侧面上的负极引出端之间具有间隙，间隙距离为d1；位于第二表面的负电极与位于侧面上的正极引出端之间具有间隙，间隙距离为d2；该间隙距离d1、d2可以为1mm-3mm。
具体地，每一压电单元上设有通孔，每层压电单元的通孔共同构成贯穿多层压电结构的安置孔。
具体地，所述多层压电结构整体呈棒状，其中相邻两压电单元在厚度方向上完全重叠。
具体地，所述压电单元的材料可以选自常用的压电陶瓷材料，例如锆钛酸铅(PTZ)、铌酸钾钠(KNN)、钛酸钡(BT)等系列陶瓷材料。
具体地，所述正极导电薄膜和负极导电薄膜分别覆盖每层压电单元的正极引出端接和每层压电单元的负极引出端，所述正极导电薄膜和负极导电薄膜的材料可以为导电胶材料，所述正极导电薄膜和负极导电薄膜通过涂布形成。
具体地，所述压电单元的厚度可以为0.1mm～3mm。
可选地，所述压电单元整体呈圆环形，其内圆半径R1为1cm～100cm，外圆半径R2为6cm～1000cm。
具体地，所述正极引出端的宽度W1为0.1cm～100cm；所述负极引出端的宽度W2为0.1cm～100cm。
具体地，所述多层压电结构外侧设有将所述多层压电单元固定在一起的紧固螺栓。
具体地，所述的一种轴向大应变压电驱动装置的轴向大应变能为30μm～100μm。
本发明具有以下有益效果：
(1)相较于传统压电装置简单堆叠方式，本发明着眼于材料问题源头，从微观视角对压电单元的本体结构进行了设计和优化，利用压电单元性能线性加和的特征，构建了一种轴向大应变压电驱动装置。
(2)压电单元的正负电极为面电极，其可采用溅射形式形成，电极精密度可以精确到原子级，保证了相邻结构单元之间的紧密贴合，阻止了宏观大间隙的产生，进一步提高了各压电单元的线性耦合程度，解决了现有技术中装置结构单元组合过程中需要焊接且组合不严密，能量采集效率偏低的问题。
(3)本发明的轴向大应变压电驱动装置加工简捷，简化了压电驱动器的器件组装程序，无需复杂且低可靠性的引线工艺，保证了整体装置中压电单元叠堆的对齐和外观美观。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1a-图1d示出本发明轴向大应变压电驱动装置中压电单元在不同视角下的正反面；
图2为本发明轴向大应变压电驱动装置中多层压电结构的示意图；
图3a-图3b为图2的多层压电结构中相邻4片压电单元在不同视角下的解构示意图；
图4为本发明轴向大应变压电驱动装置的示意图。
具体实施方式
以下结合实施例对本发明的特征和性能作进一步的详细描述。
如图4所示，本发明提供一种轴向大应变压电驱动装置，其主体是由多层压电单元10堆叠构成多层压电结构1，还包括分别位于该多层压电结构1两侧的正极导电薄膜31和负极导电薄膜32。
如图1所示，所述压电单元10为薄片型，包括相对的第一表面和第二表面以及与所述第一表面和第二表面均连接的侧面；每一压电单元10的第一表面和第二表面分别设有正电极11和负电极12，所述正电极11和负电极12分别延伸至压电单元10相对两端的侧面上而分别形成正极引出端21和负极引出端22。
具体地，每一压电单元中，位于第一表面的正电极11与位于侧面上的负极引出端22之间具有间隙，间隙距离为d1；位于第二表面的负电极12与位于侧面上的正极引出端21之间具有间隙，间隙距离为d2；该间隙距离d1、d2可以为1mm-3mm。
具体地，如图2、图3a、图3b所示，所述压电单元10在多层压电结构1中按照正电极11与正电极11贴合、负电极12与负电极12贴合的方式堆叠排列。
具体地，所述正极导电薄膜31与每层压电单元10的正极引出端21接触连接，所述负极导电薄膜32与每层压电单元10的负极引出端22接触连接，以将隔断的电极充分连接起来形成整体装置的总电极。
具体地，每一压电单元10的正电极11和负电极12是通过溅射形成，所述正电极11和负电极12的材料可以为金属导电材料、金属氧化物导电材料等导电材料；如金(Au)、银(Ag)、铜(Cu)、铂(Pt)、氧化铟锡(ITO)等可以用于溅射的良导体材料；该电极制备过程简单，正负电极11/12的厚度可为原子尺度级别，因此相邻两薄片的压电单元10叠加形成的缝隙宽度相较于传统机械焊接而言明显减小，因而能量传递的效率也会显著提升。
具体地，每一压电单元10上设有通孔15，每层压电单元10的通孔15共同构成贯穿多层压电结构的安置孔5，从而为驱动对象提供一个受力和安置空间。
具体地，所述多层压电结构1在组装过程中，要保证相邻压电单元10的几何形状完全重叠而形成一个棒状的整体装置结构。
具体地，为了确保装置整体结构的稳定性，还需要使用紧固螺栓(未图示)从棒状的多层压电结构1两端对其进行紧固夹持。
具体地，压电单元10的材料可选自常规压电材料，如锆钛酸铅、铌酸钾钠、钛酸钡等系列陶瓷材料。
具体地，所述正极导电薄膜31和负极导电薄膜32分别涂布形成在多层压电结构1两侧而分别覆盖每层压电单元10的正极引出端接21和每层压电单元10的负极引出端22，所述正极导电薄膜31和负极导电薄膜32可以为导电胶材料。
具体地，所述压电单元10的厚度t为0.1mm～3mm。
具体地，所述压电单元10整体呈圆环形，其内圆半径R1为1cm～100cm，外圆半径即通孔15的半径R2为6cm～1000cm。
具体地，所述正极引出端21的宽度W1为0.1cm～100cm；所述负极引出端22的宽度W2为0.1cm～100cm。
具体地，本发明的轴向大应变压电驱动装置的轴向大应变能可达到30μm～100μm。
实施例1
具体在本实施1中，选择锆钛酸铅陶瓷材料的压电单元10，正负电极11/12为溅射形成的银膜，其几何尺寸为R1＝10cm，R2＝20cm，W1＝0.1cm，W2＝0.1cm，d1＝2mm，d2＝2mm，t＝0.1cm，取20片该压电单元10线性堆叠后，得到轴向大应变压电驱动装置，经测量后其轴向大应变能达到50μm。
实施例2
在本实施2中，取40片该压电单元10线性堆叠得到轴向大应变压电驱动装置，其他技术特征均与实施例1相同，在此不再赘述，本实施例2的轴向大应变能达到100μm。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种轴向大应变压电驱动装置，其特征在于，包括多层压电结构以及分别位于该多层压电结构两侧的正极导电薄膜和负极导电薄膜；
所述多层压电结构由多层压电单元堆叠构成；
所述压电单元为薄片型，包括相对的第一表面和第二表面以及与所述第一表面和第二表面均连接的侧面；
每一压电单元的第一表面和第二表面分别设有正电极和负电极，所述正电极和负电极分别延伸至压电单元相对两端的侧面上而分别形成正极引出端和负极引出端；每一压电单元的侧面具有两相对的平整的切面，每一压电单元的正极引出端和负极引出端分别设置于该两相对切面上；
所述压电单元在多层压电结构中按照正电极与正电极贴合、负电极与负电极贴合的方式堆叠排列；
所述正极导电薄膜与每层压电单元的正极引出端接触连接，所述负极导电薄膜与每层压电单元的负极引出端接触连接；
每一压电单元中，位于第一表面的正电极与位于侧面上的负极引出端之间具有间隙，间隙距离为d1；位于第二表面的负电极与位于侧面上的正极引出端之间具有间隙，间隙距离为d2；该间隙距离d1、d2为1mm-3mm；
每一压电单元中，所述正电极完全覆盖第一表面上除去间隙之外的其他区域，所述负电极完全覆盖第二表面上除去间隙之外的其他区域。
2.根据权利要求1所述的一种轴向大应变压电驱动装置，其特征在于，每一压电单元的正电极和负电极通过溅射形成。
3.根据权利要求1所述的一种轴向大应变压电驱动装置，其特征在于，每一压电单元上设有通孔，每层压电单元的通孔共同构成贯穿多层压电结构的安置孔。
4.根据权利要求1所述的一种轴向大应变压电驱动装置，其特征在于，所述多层压电结构整体呈棒状，其中相邻两压电单元在厚度方向上完全重叠。
5.根据权利要求1所述的一种轴向大应变压电驱动装置，其特征在于，所述压电单元的材料为锆钛酸铅系列陶瓷材料、铌酸钾钠系列陶瓷材料或钛酸钡系列陶瓷材料。
6.根据权利要求1所述的一种轴向大应变压电驱动装置，其特征在于，所述正极导电薄膜和负极导电薄膜通过涂布形成，所述正极导电薄膜和负极导电薄膜分别覆盖多层压电结构中每层压电单元的正极引出端接和每层压电单元的负极引出端。
7.根据权利要求1所述的一种轴向大应变压电驱动装置，其特征在于，所述压电单元的厚度为0.1mm～3mm。
8.根据权利要求1所述的一种轴向大应变压电驱动装置，其特征在于，所述多层压电结构外侧设有将多层压电单元固定在一起的紧固螺栓。
9.根据权利要求3所述的一种轴向大应变压电驱动装置，其特征在于，所述压电单元整体呈圆环形，其内圆半径R1为1cm～100cm，外圆半径R2为6cm～1000cm；
所述正极引出端的宽度W1为0.1cm～100cm；所述负极引出端的宽度W2为0.1cm～100cm。
10.根据权利要求1所述的一种轴向大应变压电驱动装置，其特征在于，其轴向大应变能为30μm～100μm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110210252.7A CN112994519B (zh) | 2021-02-24 | 2021-02-24 | 一种轴向大应变压电驱动装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110210252.7A CN112994519B (zh) | 2021-02-24 | 2021-02-24 | 一种轴向大应变压电驱动装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN112994519A CN112994519A (zh) | 2021-06-18 |
| CN112994519B true CN112994519B (zh) | 2022-06-28 |
Family
ID=76350595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110210252.7A Active CN112994519B (zh) | 2021-02-24 | 2021-02-24 | 一种轴向大应变压电驱动装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN112994519B (zh) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10259949A1 (de) * | 2002-12-20 | 2004-07-01 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor |
| KR20080104785A (ko) * | 2007-05-29 | 2008-12-03 | 삼성전기주식회사 | 압전 엑츄에이터와 이를 갖는 렌즈이송장치 |
| CN100592543C (zh) * | 2008-06-13 | 2010-02-24 | 南京航空航天大学 | 部分涂布电极的含有金属芯的压电陶瓷纤维 |
| DE102010049574A1 (de) * | 2010-07-30 | 2012-02-02 | Epcos Ag | Piezoelektrischer Vielschichtaktor |
| CN210723093U (zh) * | 2019-10-17 | 2020-06-09 | 南昌欧菲生物识别技术有限公司 | 多层堆叠压电陶瓷、压电模组及电子设备 |
-
2021
- 2021-02-24 CN CN202110210252.7A patent/CN112994519B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN112994519A (zh) | 2021-06-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2965602B2 (ja) | 積層型変位素子 | |
| JP5605433B2 (ja) | 圧電振動装置 | |
| US6545395B2 (en) | Piezoelectric conversion element having an electroded surface with a non-electrode surface portion at an end thereof | |
| US7233096B2 (en) | Multilayer piezoelectric element and vibration-wave drive device | |
| EP1220338B1 (en) | A multi-output composite piezoelectric transformer with expansion vibration mode | |
| EP2487934A1 (en) | Piezoelectric film ultrasonic sensor electrode | |
| CN112994519B (zh) | 一种轴向大应变压电驱动装置 | |
| CN114361326B (zh) | 矩阵型叠层压电陶瓷微调元件电极结构及制造工艺 | |
| JP4725432B2 (ja) | 積層型圧電素子及び圧電装置 | |
| WO2013031715A1 (ja) | 積層圧電体 | |
| JPH05218519A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP4666578B2 (ja) | 超音波振動素子及びそれを用いた超音波アクチュエータ | |
| CN113066924B (zh) | 薄膜压电感应元件及其制造方法、感测装置以及终端 | |
| JPH034576A (ja) | 積層型圧電素子 | |
| CN210866241U (zh) | 一种新型压电陶瓷摆动致动器 | |
| JPS6388875A (ja) | 積層型圧電素子の製造方法 | |
| CN116171097B (zh) | 一种压电双晶片结构 | |
| JPH04264784A (ja) | 電歪効果素子およびその製造方法 | |
| JP3250918B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
| CN220457820U (zh) | 一种压电执行器 | |
| CN219850567U (zh) | 一种医用小型换能器 | |
| TWI422082B (zh) | 複合壓電換能裝置 | |
| JPH02251185A (ja) | 積層型変位素子 | |
| JPH11298056A (ja) | 圧電トランスとその駆動方法 | |
| JP2017161246A (ja) | 積層型圧力センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |