CN112902649B - 一种干燥方法及干燥装置 - Google Patents

Abstract

本发明属于面板干燥技术领域，公开一种干燥方法及干燥装置，先将待干燥物料置于干燥室中，所述干燥方法包括：将干燥溶剂涂覆至物料的表面，进而在第一时间段内，向干燥室内通入氮气，同时从干燥室向外部抽风，利用氮气对物料干燥，而后在第二时间段内停止向干燥室通入氮气，继续从干燥室向外部抽风，利用负压对物料干燥，进而实现了对物料的干燥；所述干燥装置用于执行上述的干燥方法。上述干燥方法结合了氮气干燥和负压干燥，提高了干燥效果，并且提高了安全性和经济性。

Description

一种干燥方法及干燥装置

技术领域

本发明涉及面板干燥技术领域，尤其涉及一种干燥方法及干燥装置。

背景技术

面板领域的玻璃基板、掩膜板或者半导体领域的晶圆通常都要经过清洗工序来去除脏污，一般需要通过去离子水浸泡或通过喷洒进行漂洗,但是漂洗后在物料表面就会存在过量的去离子水，进而需要经过干燥工序来去除水渍。现有技术的干燥方案一般有以下几种：(1)先将物料浸没于盛有干燥溶剂的容器中，再经过空气吹扫使物料表面的溶剂蒸发，但是存在干燥溶剂使用量大、需要厂房防爆设计、运营成本高昂的问题；(2)先将物料浸没于盛有干燥溶剂的容器中，再利用氮气经加热吹扫，但是存在氮气用量巨大，能耗高的问题；(3)先将物料浸没于盛有干燥溶剂的容器中，再采用减压干燥的方式，但是存在配套设备投入成本巨大的问题。

基于上述问题，亟待我们设计一种干燥方法及干燥装置来解决上述问题。

发明内容

本发明的一个目的在于：提供一种干燥方法，结合了氮气干燥和负压干燥，进而提高了干燥效果，并且提高了安全性和经济性。

本发明的另一个目的在于:提供一种干燥装置，用于执行上述的干燥方法。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一方面，公开一种干燥方法，待干燥物料置于干燥室中，包括：

将干燥溶剂涂覆至物料的表面；

在第一时间段内，向干燥室内通入氮气，同时从干燥室向外部抽风；

在第二时间段内，停止向干燥室通入氮气，继续从干燥室向外部抽风。

可选的，沿平行于物料涂覆有干燥溶剂的表面的延伸方向抽风。

作为一种优选方案，在第二时间段之后，包括：

向干燥室内通入氮气，同时从干燥室向外部抽风。

可选的，抽风的流量小于通入氮气的流量。

作为一种优选方案，在第二时间段之后，包括：

从干燥室内抽风并排入干燥室内，同时冷凝处理从干燥室抽出的气体。

作为一种优选方案，从干燥室向外部抽风之后，包括:

冷凝处理从干燥室向外部抽出的气体。

作为一种优选方案，在将干燥溶剂涂覆至物料的表面之前，包括:

超声震荡处理干燥溶剂。

作为一种优选方案，在向干燥室内通入氮气之前，包括：

加热并且静电消除处理氮气。

作为一种优选方案，在将干燥溶剂涂覆至物料的表面之后，包括:

将涂覆过干燥溶剂的物料静置一段时间。

作为一种优选方案，所述第一时间段为10s-20s，所述第二时间段为10s-20s。

另一方面，还公开一种干燥装置，用于执行上述的干燥方法，包括：

干燥室，用于放置待干燥物料；

干燥溶剂输入机构，与所述干燥室连通，所述干燥溶剂输入机构用于提供干燥溶剂；

氮气输入机构，与所述干燥室连通，所述氮气输入机构用于提供氮气；

抽风机构，与所述干燥室连通，所述氮气输入机构用于抽取所述干燥室内的气体。

作为一种优选方案，所述抽风机构包括：

抽风件，所述抽风件的进风口与所述干燥室连通；

换向阀，与所述抽风件的出风口连通；

排风组件，包括第一排风管和第二排风管，所述第一排风管通向所述干燥室的外部并与所述换向阀连接，所述第二排风管通向所述干燥室的内部并与所述换向阀连接。

本发明的有益效果为：提供一种干燥方法及干燥装置，将干燥溶剂涂覆至物料的表面，在第一时间段内，向干燥室内通入氮气，同时从干燥室向外部抽风，利用氮气对物料干燥，而后在第二时间段内停止向干燥室通入氮气，继续从干燥室向外部抽风，利用负压对物料干燥，结合了氮气干燥和负压干燥，提高了干燥效果、安全性和经济性，所述干燥装置用于执行上述的干燥方法。

附图说明

下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

图1为实施例一所述的干燥方法的流程图；

图2为实施例二所述的干燥装置的结构示意图。

图1至图2中：

1、干燥室；

2、干燥溶剂输入机构；

3、氮气输入机构；

4、抽风机构；41、抽风件；42、换向阀；43、排风组件；431、第一排风管；432、第二排风管；

5、冷凝机构。

具体实施方式

为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本发明实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

实施例一：

如图1所示，本实施例提供了一种干燥方法，所述干燥方法用于将通过去离子水漂洗过的物料进行干燥，进而去除物料上面的水渍，本发明实施例的干燥方法结合了氮气干燥和负压干燥两种干燥手段，提高了干燥效果，同时提高了干燥工序的安全性和经济性。本发明实施例的干燥方法的具体流程如下：

S101：超声震荡处理干燥溶剂。

由于干燥溶剂与去离子水具有表面张力差，干燥溶剂能够剥离物料表面的去离子水，本实施例中的干燥溶剂为异丙醇，当然在其它实施例中，干燥溶剂也可以是其它试剂，只要能够实现剥离物料表面的去离子水这一功能即可。超声震荡处理干燥溶剂，能够细化干燥溶剂粒子，使干燥溶剂均匀分散。

S102：将干燥溶剂涂覆至物料的表面。

具体地，待干燥物料已经置于干燥室1中，将干燥溶剂喷涂到物料表面60-120s，进而有足够的干燥溶剂剥离物料表面的去离子水。

S103：将涂覆过干燥溶剂的物料静置一段时间。

作为一种优选的实施例，物料静置时间为120s-240s，使干燥溶剂能够充分剥离物料表面的去离子水，这里的剥离原理为马兰戈尼效应，具体为公知常识，这里不作赘述。

S201：加热并静电消除处理氮气。

加热氮气以使氮气的温度达到45摄氏度-50摄氏度，进而高温的氮气能够加快剥离后的干燥溶剂和去离子水的蒸发速度，并且静电消除后的氮气能够避免发生氧化爆炸，提高了安全性。

S202：在第一时间段内，向干燥室1内通入氮气，同时向干燥室1外抽风。

作为一种优选的实施例，沿平行于物料涂覆有干燥溶剂的表面的延伸方向抽风，提高了氮气的吹扫效率，第一时间段为10s-20s，在第一时间段内，加热处理后的氮气能够高效地蒸发物料表面的液体，进而通过外循环的方式将蒸汽带到干燥室1的外部。

S203：冷凝处理从干燥室1向外部抽出的气体。

具体地，冷凝处理抽出的气体，一方面，防止了蒸汽损坏抽风机构的抽风件；另一方面，防止了蒸汽回流到干燥室1内，造成重复污染。

S301：在第二时间段内，停止向干燥室1内通入氮气，继续从干燥室1向外部抽风。

作为一种优选的实施例，第二时间段为10s-20s，在第二时间段内，继续从干燥室1向外部抽风，使干燥室1为负压环境，加快物料表面剩余液体的蒸发，避免了继续通入氮气的低效浪费和水痕缺陷。

S302：冷凝处理从干燥室1向外部抽出的气体。

S302的效果与S203一致，这里不作赘述。

S303：向干燥室1内通入氮气，同时从干燥室1向外部抽风。

可选的，这里的氮气经过加热和静电消除处理，抽风的流量小于通入氮气的流量，一方面，氮气能够带走干燥室1内蒸发的液体；另一方面，氮气能够提升干燥室1内的气压，防止气压持续过低造成后续工步的气体回流和液化。当然S303的执行时间优选为10s-20s，防止氮气浪费。

S304：从干燥室1内抽风并排入干燥室1内，同时冷凝处理从干燥室1抽出的气体。

具体地，执行时间优选为360s-480s，内循环干燥室1内的气流，利用空气吹扫干燥的原理，并且冷凝处理从干燥室1内抽出的气体，进而排出冷凝液，避免无效干燥，S304能够充分挥发干燥室1内物料表面的残余液体，提高了干燥效果，经济性良好。

当然，在本发明的其它实施例中，可以将S303和S304调换顺序，都能够达到相应的干燥效果，这里不做赘述。干燥工序结束，将干燥后的物料取出干燥室1即可。

实施例二：

如图2所示，本实施例提供了一种干燥装置，用于执行实施例一所述的干燥方法，包括干燥室1、干燥溶剂输入机构2、氮气输入机构3和抽风机构4，干燥室1用于放置待干燥物料，干燥溶剂输入机构2与干燥室1连通，干燥溶剂输入机构2用于提供干燥溶剂，氮气输入机构3与干燥室1连通，氮气输入机构3用于提供氮气，抽风机构4与干燥室1连通，氮气输入机构3用于抽取干燥室1内的气体。

具体地，抽风机构4包括抽风件41、换向阀42和排风组件43，抽风件41的进风口与干燥室1连通，换向阀42与抽风件41的出风口连通，排风组件43包括第一排风管431和第二排风管432，第一排风管431通向干燥室1的外部并与换向阀42连接，第二排风管432通向干燥室1的内部并与换向阀42连接。抽风件41可以设置为鼓风机或者风扇，本实施例中的抽风件41为鼓风机，并且在连接鼓风机的进风口和干燥室1的管道上设置有冷凝机构5，冷凝机构5能够冷凝干燥室1内抽出的气流并且排出干燥室1的外部，鼓风机的出风口设置有换向阀42，换向阀42能够选择性地控制气流向干燥室1的外部或者干燥室1的内部流通，结构紧凑。在实施例一中的S202、S301和S303中，换向阀42控制气流流经第一排风管431；在实施例一中的S304，换向阀42控制气流流经第二排风管432，操作简单。

于本文的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”，仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一实施例”、“示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。

此外，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (7)

1.一种干燥方法，待干燥物料置于干燥室(1)中，其特征在于，包括：

将干燥溶剂涂覆至物料的表面；

在第一时间段内，向干燥室(1)内通入氮气，同时从干燥室(1)向外部抽风；

在第二时间段内，停止向干燥室(1)通入氮气，继续从干燥室(1)向外部抽风；

在第二时间段后，向干燥室(1)内通入氮气，同时从干燥室(1)向外部抽风，抽风的流量小于通入氮气的流量；从干燥室(1)内抽风并排入干燥室(1)内，同时冷凝处理从干燥室(1)抽出的气体，以内循环气流来干燥干燥室(1)内的物料。

2.根据权利要求1所述的干燥方法，其特征在于，从干燥室(1)向外部抽风之后，包括:

冷凝处理从干燥室(1)向外部抽出的气体。

3.根据权利要求1所述的干燥方法，其特征在于，在将干燥溶剂涂覆至物料的表面之前，包括:

超声震荡处理干燥溶剂。

4.根据权利要求1所述的干燥方法，其特征在于，在向干燥室(1)内通入氮气之前，包括：

加热并且静电消除处理氮气。

5.根据权利要求1所述的干燥方法，其特征在于，在将干燥溶剂涂覆至物料的表面之后，包括:

将涂覆过干燥溶剂的物料静置一段时间。

6.根据权利要求1所述的干燥方法，其特征在于，所述第一时间段为10s-20s，所述第二时间段为10s-20s。

7.一种干燥装置，用于执行权利要求1-6任一项所述的干燥方法，其特征在于，包括：

干燥室(1)，用于放置待干燥物料；

干燥溶剂输入机构(2)，与所述干燥室(1)连通，所述干燥溶剂输入机构(2)用于提供干燥溶剂；

氮气输入机构(3)，与所述干燥室(1)连通，所述氮气输入机构(3)用于提供氮气；

抽风机构(4)，与所述干燥室(1)连通，所述氮气输入机构(3)用于抽取所述干燥室(1)内的气体；

所述抽风机构(4)包括：抽风件(41)、换向阀(42)及排风组件(43)，所述抽风件(41)的进风口与所述干燥室(1)连通；所述换向阀(42)与所述抽风件(41)的出风口连通；所述排风组件(43)包括第一排风管(431)和第二排风管(432)，所述第一排风管(431)通向所述干燥室(1)的外部并与所述换向阀(42)连接，所述第二排风管(432)通向所述干燥室(1)的内部并与所述换向阀(42)连接。

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