CN112899622A - 一种两用双通道树脂滤光片的生产方法 - Google Patents

一种两用双通道树脂滤光片的生产方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，包括以下步骤：S1：基板材料的选择：选择树脂薄膜材料作为基板；S2：镀膜材料的选择：选择高纯度的石英硅环作为低折射率蒸镀物质，选择结晶态高纯度的氧化钛作为高折射率蒸镀物质；S3：将基板和镀膜材料进行表面惰性气体除静电吹淋；S4：镀膜工装夹具的处理：镀膜工装夹具在装夹镀膜基板前进行高温烘烤和离子除静电处理；S5：真空蒸镀处理：将基板一侧交替蒸镀石英硅环和氧化钛，交替蒸镀的层数为20‑40层，形成双通主膜系；将基板另一侧交替蒸镀石英硅环和氧化钛，交替蒸镀的层数为16‑26层，形成短波通。本发明，比玻璃双通滤光片更薄，柔性材料更容易加工成各种形状，且不易破碎。

Description

一种两用双通道树脂滤光片的生产方法
技术领域
本发明涉及树脂滤光片生产技术领域，具体是一种两用双通道树脂滤光片的生产方法。
背景技术
两用型双通道滤光片，由光学玻璃基体以及沉积在光学玻璃基体上的滤光膜组成，可阻断混合光源中的紫外线和红外线，有助于数码相机CCD或CMOS不再受紫外线和红外线的信号影响，得到更加鲜明清晰的影像；同时该滤光片还能根据红外灯的不同特性有选择性地通过部分红外光谱，起到增强摄像模组的夜视功能或感光的效果。两用型滤光片能通过可见光420nm-620nm和760-850nm左右的红外光，阻止近红外线950nm-1100nm的红外光，白天可以获得真彩色图像，晚上可以获得清晰的黑白图像。主要用于智能手机等移动终端摄像头、安防监控器摄像头等。目前由于行业内主要是使用玻璃基底，批量生产的厚度为0.21mm，由于玻璃本身的物理特性，中心波长随入射角度变化产生的漂移大成像效果差；摄像模组整体厚度无法再缩减、镜片存在易破裂等安全隐患。随着大众对摄像产品要求的精益求精，现有工艺不能有效解决这个问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，以解决现有技术中的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，包括以下步骤：
S1：基板材料的选择：选择树脂薄膜材料作为基板；
S2：镀膜材料的选择：选择高纯度的石英硅环作为低折射率蒸镀物质，选择结晶态高纯度的氧化钛作为高折射率蒸镀物质；
S3：将基板和镀膜材料进行表面惰性气体除静电吹淋；
S4：镀膜工装夹具的处理：镀膜工装夹具在装夹镀膜基板前进行高温烘烤和离子除静电处理；
S5：真空蒸镀处理：将基板一侧交替蒸镀石英硅环和氧化钛，交替蒸镀的层数为20-40层，形成双通主膜系；将基板另一侧交替蒸镀石英硅环和氧化钛，交替蒸镀的层数为16-26层，形成短波通。
优选的，所述步骤S1中基板的厚度小于0.11mm。
优选的，所述步骤S3是将基板以及镀膜材料放入洁净区，再由风机通过吹淋喷嘴喷出经过高效过滤的洁净惰性气体强风吹除基板表面吸附尘埃。
优选的，所述步骤S4中镀膜工装夹具采用对夹式装夹治具。
优选的，所述步骤S5中双通主膜系的厚度为2000-3500nm，所述短波通的总厚度约2000-3000nm。
优选的，所述真空蒸镀采用表面真空IAD辅助蒸镀。
优选的，所述真空蒸镀的温度为120-140℃。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：将基板以及镀膜材料放入洁净区，再由风机通过吹淋喷嘴喷出经过高效过滤的洁净惰性气体强风吹除基板表面吸附尘埃；镀膜工装夹具的处理：镀膜工装夹具在装夹镀膜基板前进行高温烘烤和离子除静电处理；使用0.11mm厚度以下树脂薄膜材料为基板来进行表面真空IAD辅助蒸镀多层膜；使用对夹式装夹治具在低温状态下进行蒸镀，保证基板在蒸镀过程中不发生形变，使用真空镀膜装置进行夹持镀膜，实现镀膜厚度均匀分布，保证滤光片镀膜一致性，使用离子源IAD在130±10℃低温条件下，辅助蒸镀两面的膜层，保证滤光片平面度满足要求，无形变产生；在350-1200nm波段存在2个透过波段、3个截止波段和4个过渡波段；在350-400nm、700-800nm和900-1200nm分别存在一个截止波段，透过率Tave<2%；在可见光波段400-700nm和800-900nm分别存在一个透过波段，Tave>80%；同时过渡波段，透过率介于1%-80%之间；比玻璃双通滤光片更薄，柔性材料更容易加工成各种形状，且不易破碎。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为本发明的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，本发明实施例中，一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，包括以下步骤：
S1：基板材料的选择：选择树脂薄膜材料作为基板；
S2：镀膜材料的选择：选择高纯度的石英硅环作为低折射率蒸镀物质，选择结晶态高纯度的氧化钛作为高折射率蒸镀物质；
S3：将基板和镀膜材料进行表面惰性气体除静电吹淋；
S4：镀膜工装夹具的处理：镀膜工装夹具在装夹镀膜基板前进行高温烘烤和离子除静电处理；
S5：真空蒸镀处理：将基板一侧交替蒸镀石英硅环和氧化钛，交替蒸镀的层数为20-40层，形成双通主膜系；将基板另一侧交替蒸镀石英硅环和氧化钛，交替蒸镀的层数为16-26层，形成短波通。
优选的，所述步骤S1中基板的厚度小于0.11mm。
优选的，所述步骤S3是将基板以及镀膜材料放入洁净区，再由风机通过吹淋喷嘴喷出经过高效过滤的洁净惰性气体强风吹除基板表面吸附尘埃。
优选的，所述步骤S4中镀膜工装夹具采用对夹式装夹治具。
优选的，所述步骤S5中双通主膜系的厚度为2000-3500nm，所述短波通的总厚度约2000-3000nm。
优选的，所述真空蒸镀采用表面真空IAD辅助蒸镀。
优选的，所述真空蒸镀的温度为120-140℃。
基板材料的选择：使用0.11mm厚度以下树脂薄膜材料作为基板；镀膜材料的选择：使用高纯度的石英硅环作为低折射率蒸镀物质，使用结晶态高纯度的氧化钛作为高折射率蒸镀物质；基板的两侧面上分别镀有由高折射率材料膜层和低折射率材料膜层交替形成的复合膜层，一侧双通主膜系是高、低折射率材料交替合计20-40层，总厚度约2000-3500nm，另一侧短波通是高、低折射率材料交替合计16-26层，总厚度约2000-3000nm；表面惰性气体除静电吹淋：将基板以及镀膜材料放入洁净区，再由风机通过吹淋喷嘴喷出经过高效过滤的洁净惰性气体强风吹除基板表面吸附尘埃；镀膜工装夹具的处理：镀膜工装夹具在装夹镀膜基板前进行高温烘烤和离子除静电处理；真空蒸镀处理：使用0.11mm厚度以下树脂薄膜材料为基板来进行表面真空IAD辅助蒸镀多层膜；使用对夹式装夹治具在低温状态下进行蒸镀，保证基板在蒸镀过程中不发生形变，使用真空镀膜装置进行夹持镀膜，实现镀膜厚度均匀分布，保证滤光片镀膜一致性，使用离子源IAD在130±10℃低温条件下，辅助蒸镀两面的膜层，保证滤光片平面度满足要求，无形变产生（以137*110mm尺寸为例，翘曲<10mm）。
本发明的工作原理是：基板材料的选择：使用0.11mm厚度以下树脂薄膜材料作为基板；镀膜材料的选择：使用高纯度的石英硅环作为低折射率蒸镀物质，使用结晶态高纯度的氧化钛作为高折射率蒸镀物质；基板的两侧面上分别镀有由高折射率材料膜层和低折射率材料膜层交替形成的复合膜层，一侧双通主膜系是高、低折射率材料交替合计20-40层，总厚度约2000-3500nm，另一侧短波通是高、低折射率材料交替合计16-26层，总厚度约2000-3000nm；表面惰性气体除静电吹淋：将基板以及镀膜材料放入洁净区，再由风机通过吹淋喷嘴喷出经过高效过滤的洁净惰性气体强风吹除基板表面吸附尘埃；镀膜工装夹具的处理：镀膜工装夹具在装夹镀膜基板前进行高温烘烤和离子除静电处理；真空蒸镀处理：使用0.11mm厚度以下树脂薄膜材料为基板来进行表面真空IAD辅助蒸镀多层膜；使用对夹式装夹治具在低温状态下进行蒸镀，保证基板在蒸镀过程中不发生形变，使用真空镀膜装置进行夹持镀膜，实现镀膜厚度均匀分布，保证滤光片镀膜一致性，使用离子源IAD在130±10℃低温条件下，辅助蒸镀两面的膜层，保证滤光片平面度满足要求，无形变产生（以137*110mm尺寸为例，翘曲<10mm）。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，其特征在于：包括以下步骤：
S1：基板材料的选择：选择树脂薄膜材料作为基板；
S2：镀膜材料的选择：选择高纯度的石英硅环作为低折射率蒸镀物质，选择结晶态高纯度的氧化钛作为高折射率蒸镀物质；
S3：将基板和镀膜材料进行表面惰性气体除静电吹淋；
S4：镀膜工装夹具的处理：镀膜工装夹具在装夹镀膜基板前进行高温烘烤和离子除静电处理；
S5：真空蒸镀处理：将基板一侧交替蒸镀石英硅环和氧化钛，交替蒸镀的层数为20-40层，形成双通主膜系；将基板另一侧交替蒸镀石英硅环和氧化钛，交替蒸镀的层数为16-26层，形成短波通。
2.根据权利要求1所述的一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，其特征在于：所述步骤S1中基板的厚度小于0.11mm。
3.根据权利要求1所述的一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，其特征在于：所述步骤S3是将基板以及镀膜材料放入洁净区，再由风机通过吹淋喷嘴喷出经过高效过滤的洁净惰性气体强风吹除基板表面吸附尘埃。
4.根据权利要求1所述的一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，其特征在于：所述步骤S4中镀膜工装夹具采用对夹式装夹治具。
5.根据权利要求1所述的一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，其特征在于：所述步骤S5中双通主膜系的厚度为2000-3500nm，所述短波通的总厚度约2000-3000nm。
6.根据权利要求1或5所述的一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，其特征在于：所述真空蒸镀采用表面真空IAD辅助蒸镀。
7.根据权利要求6所述的一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，其特征在于：所述真空蒸镀的温度为120-140℃。
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