CN112875291A - 检测设备的控制方法、检测设备及计算机可读存储介质 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种检测设备的控制方法，检测设备包括第一机械手和第二机械手，第一机械手和第二机械手通过同一个运动主体活动地安装于同一轨道，控制方法包括：在第一机械手空置，且第二机械手未接收到下料请求时，第一机械手运动至上料台并抓取位于上料台的待测工件；在至少一个送检台空置时，第一机械手运动至空置的一个送检台并放置待测工件至空置的一个送检台；在第二机械手空置，且第一机械手未接收到上料请求时，第二机械手运动至一个待下料的送检台，并抓取位于待下料的送检台上的已测工件；及第二机械手根据已测工件的检测结果放置已测工件于下料台或回收台。本申请还公开了检测设备及非易失性计算机可读存储介质。

Description

检测设备的控制方法、检测设备及计算机可读存储介质

技术领域

本申请涉及检测技术领域，特别涉及一种检测设备的控制方法、检测设备及计算机可读存储介质。

背景技术

在检测技术中，通常需要通过机械手将工件从上料工位转移到检测工位，也需要通过机械手将工件从检测工位转移到下料工位，完成这两个转移动作需要两个互不干涉的机械手分别完成。但是通过两个互不干涉的机械手进行转移时，则需要设置多一条轨道，增加了布局的难度及检测设备的体积。

发明内容

本申请实施方式提供了一种检测设备的控制方法、检测设备及计算机可读存储介质。

本申请实施方式的检测设备的控制方法，所述检测设备包括第一机械手和第二机械手，所述第一机械手和所述第二机械手通过同一个运动主体活动地安装于同一轨道，所述控制方法包括：在所述第一机械手空置，且所述第二机械手未接收到下料请求时，所述第一机械手运动至上料台并抓取位于所述上料台的待测工件；在至少一个送检台空置时，所述第一机械手运动至空置的一个送检台并放置所述待测工件至所述空置的一个送检台；在所述第二机械手空置，且所述第一机械手未接收到上料请求时，所述第二机械手运动至一个待下料的送检台，并抓取位于所述待下料的送检台上的已测工件；及所述第二机械手根据所述已测工件的检测结果放置所述已测工件于下料台或回收台。

在某些实施方式中，所述控制方法还包括：所述上料台发送上料请求至所述第一机械手；所述第一机械手运动至上料台并抓取位于上料台的所述待测工件，包括：所述第一机械手响应所述上料请求，运动至所述上料台并抓取位于所述上料台的所述待测工件。

在某些实施方式中，所述控制方法还包括：所述上料台发送上料请求至所述第一机械手；若所述第一机械手已抓取所述待测工件且所述第二机械手未接收到所述下料请求，在所述第一机械手放置已抓取的所述待测工件至所述送检台后，所述第一机械手响应所述上料请求；及若所述第二机械手已接收到所述下料请求且所述第一机械手空置，在所述第二机械手放置所述已测工件于所述下料台或所述回收台后，所述第一机械手响应所述上料请求。

在某些实施方式中，所述控制方法还包括：所述第一机械手发送放料请求至所述送检台；所述在至少一个送检台空置时，所述第一机械手运动至空置的一个送检台并放置所述待测工件至所述空置的一个送检台，包括：在至少一个所述送检台空置时，一个所述送检台响应所述放料请求；所述第一机械手运动至响应所述放料请求的送检台，并放置所述待测工件至响应所述放料请求的送检台。

在某些实施方式中，所述控制方法还包括：一个所述送检台发送所述下料请求至所述第二机械手；所述在所述第二机械手空置，且所述第一机械手未接收到上料请求时，所述第二机械手运动至一个待下料的送检台，并抓取位于所述待下料的送检台上的已测工件，包括：所述第二机械手响应所述下料请求，并运动至发送所述下料请求的送检台，抓取位于发送所述下料请求的送检台上的所述已测工件。

在某些实施方式中，所述控制方法还包括：一个所述送检台发送所述下料请求至所述第二机械手；若所述第二机械手已抓取所述已测工件且所述第一机械手未接收到所述上料请求，在所述第二机械手已放置所述已测工件于所述下料台或所述回收台后，所述第二机械手响应所述下料请求；若所述第一机械手接收到所述上料请求且所述第二机械手空置，在所述第一机械手已转运所述待测工件至所述送检台上后，所述第二机械手响应所述下料请求。

在某些实施方式中，所述第二机械手根据所述已测工件的检测结果放置所述已测工件于下料台或回收台，包括：在所述检测结果为检测合格时，所述第二机械手放置所述已测工件于所述下料台；及在所述检测结果为检测不合格时，所述第二机械手放置所述已测工件于所述回收台。

在某些实施方式中，所述在所述检测结果为检测合格时，所述第二机械手放置所述已测工件于所述下料台，包括：在所述检测结果为检测合格时，所述第二机械手发送卸料请求至所述下料台；在所述下料台空置时，所述下料台响应所述卸料请求；及所述第二机械手运动至所述下料台并放置所述已测工件至所述下料台。

本申请实施方式的检测设备包括第一机械手和第二机械手，所述第一机械手和所述第二机械手通过同一个运动主体能够运动地安装于同一轨道上；在所述第一机械手空置，且所述第二机械手未接收到下料请求时，所述第一机械手运动至上料台并抓取位于所述上料台的待测工件；在至少一个送检台空置时，所述第一机械手运动至空置的一个送检台并放置所述待测工件至所述空置的一个送检台；在所述第二机械手空置，且所述第一机械手未接收到上料请求时，所述第二机械手运动至一个待下料的送检台，并抓取位于所述待下料的送检台上的已测工件；及所述第二机械手根据所述已测工件的检测结果放置所述已测工件于下料台或回收台。

本申请实施方式的检测设备包括第一机械手和第二机械手，所述第一机械手和所述第二机械手通过同一个运动主体能够运动地安装于同一轨道上，所述检测设备还包括：一个或多个处理器、存储器；和一个或多个程序，其中所述一个或多个程序被存储在所述存储器中，并且被所述一个或多个处理器执行，所述程序包括用于执行上述任意一项实施方式所述的控制方法的指令。

本申请实施方式的一种包含计算机程序的非易失性计算机可读存储介质，当所述计算机程序被一个或多个处理器执行时，使得所述处理器执行上述任意一项实施方式的控制方法。

本申请实施方式的控制方法、检测设备及计算机可读存储介质中，第一机械手和第二机械手通过同一个运动主体安装在同一轨道上，通过根据第一机械手和第二机械手的实际情况，对第一机械手和第二机械手进行合理地联动控制，实现了将工件由上料台转运至送检台，由送检台转运至下料台或回收台，转运的效率较高且不需要设置多条轨道，避免了设置多条轨道导致检测设备的布局难度及体积增加的情况。

本申请实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点可以从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请实施方式的检测设备的控制方法的流程示意图；

图2是本申请实施方式的检测设备的模块示意图；

图3是本申请实施方式的检测设备的模块示意图；

图4是本申请实施方式检测设备的控制方法的流程示意图；

图5是本申请实施方式检测设备的控制方法的流程示意图；

图6是本申请实施方式检测设备的控制方法的流程示意图；

图7是本申请实施方式检测设备的控制方法的流程示意图；

图8是本申请实施方式检测设备的控制方法的流程示意图；

图9是本申请实施方式检测设备的控制方法的流程示意图；

图10是本申请实施方式检测设备的控制方法的流程示意图；

图11是本申请实施方式检测设备的控制方法的流程示意图；

图12是本申请实施方式检测设备的控制方法的流程示意图；

图13是本申请实施方式检测设备的控制方法的流程示意图；

图14是本申请实施方式计算机可读存储介质与处理器的连接关系示意图。

具体实施方式

下面详细描述本申请的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中，相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的实施方式的限制。

请参阅图1至图3，本申请实施方式的检测设备100包括第一机械手10和第二机械手20，第一机械手10和第二机械手20通过同一个运动主体30活动地安装于同一轨道40，控制方法包括以下步骤：

010：在第一机械手10空置，且第二机械手20未接收到下料请求时，第一机械手10运动至上料台51并抓取位于上料台51的待测工件；

020：在至少一个送检台52空置时，第一机械手10运动至空置的一个送检台52并放置待测工件至空置的一个送检台52；

030：在第二机械手20空置，且第一机械手10未接收到上料请求时，第二机械手20运动至一个待下料的送检台52，并抓取位于待下料的送检台52上的已测工件；

040：第二机械手20根据已测工件的检测结果放置已测工件于下料台53或回收台54。

请参阅图2，在某些实施方式中的检测设备100，在第一机械手10空置，且第二机械手20未接收到下料请求时，第一机械手10运动至上料台51并抓取位于上料台51的待测工件；在至少一个送检台52空置时，第一机械手10运动至空置的一个送检台52并放置待测工件至空置的一个送检台52；在第二机械手20空置，且第一机械手10未接收到上料请求时，第二机械手20运动至一个待下料的送检台52，并抓取位于待下料的送检台52上的已测工件；第二机械手20根据已测工件的检测结果放置已测工件于下料台53或回收台54。即，第一机械手10可以实现步骤010和步骤020，第二机械手20可以实现步骤030和步骤040。

请参阅图3，在某些实施方式中，检测设备100还包括一个或多个处理器60、存储器70；和一个或多个程序，其中一个或多个程序被存储在存储器70中，并且被一个或多个处理器60执行，程序包括用于执行本申请实施方式的控制方法的指令。处理器60执行程序时，处理器60可以用于实现步骤010、步骤020、步骤030和步骤040。即，处理器60可以用于在第一机械手10空置，且第二机械手20未接收到下料请求时，控制第一机械手10运动至上料台51并抓取位于上料台51的待测工件；在至少一个送检台52空置时，控制第一机械手10运动至空置的一个送检台52并放置待测工件至空置的一个送检台52；在第二机械手20空置，且第一机械手10未接收到上料请求时，控制第二机械手20运动至一个待下料的送检台52并抓取位于待下料的送检台52上的已测工件；控制第二机械手20根据已测工件的检测结果放置已测工件于下料台53或回收台54。可以理解，处理器60可以与第一机械手10和第二机械手20连接，并控制第一机械手10和第二机械手20。

本申请的控制方法及检测设备100中，第一机械手10和第二机械手20通过同一个运动主体30安装在同一轨道40上，通过根据第一机械手10和第二机械手20的实际情况，对第一机械手10和第二机械手20进行合理地联动控制，实现了将工件由上料台51转运至送检台52，由送检台52转运至下料台53或回收台54，转运的效率较高且不需要设置多条轨道40，避免了设置多条轨道40导致检测设备100的布局难度及体积增加的情况。

现有技术中，检测设备只设置一个机械手，如果送检台上放置有工件，机械手将无法继续将工件放置在送检台上，如果此时机械手已经抓取了工件的话，必须将工件放回上料台才能够将送检台上的工件放置在下料台，然后才能去上料台重新抓取工件，这将严重降低检测设备的转运效率。然而，本申请的检测设备100中，如果没有送检台52空置的话，第一机械手10可以先抓着待测工件不放，待第二机械手20将送检台52上的已测工件取走后，第一机械手10可以将抓取到的待测工件放置在送检台52上，如此，通过第一机械手10和第二机械手20联动设置，可以有效地提高检测设备100的工作效率。

具体地，待测工件可以是面板(例如LCD屏、OLED屏等)、晶圆、背壳等元件，在此一一列举。检测设备100可以是面板检测设备，可以检测面板是否存在缺陷；检测设备100也可以是晶圆检测设备，可以检测晶圆是否存在缺陷；检测设备100也可以是背壳检测设备，可以检测背板是否存在缺陷。当然，检测设备100还可以是其他类型的检测设备100，在此不一一列举。

请参阅图2，检测设备100可以包括第一机械手10和第二机械手20，第一机械手10和第二机械手20可以固定连接在同一运动主体30上，运动主体30可以活动地安装在轨道40上，且运动主体30可以在轨道40上运动，运动主体30在轨道40上运动时将带动第一机械手10和第二机械手20一起运动。运动主体30可以是自驱动型，也可以是被驱动型，在此不做限制。在一个例子中，运动主体30可以设置有滑槽，轨道40上可以设置有导轨，滑槽可以与导轨配合，使得运动主体30活动安装在轨道40上。在另一个例子中，运动主体30可以设置有滑轮，轨道40上可以设置有导轨，滑轮可以与导轨配合，使得运动主体30活动安装在轨道40上。

其中，第一机械手10可以独立抓取工件，即，第一机械手10抓取工件时不需要第二机械手20的协助。例如，第一机械手10可以从上料台51抓取待测工件，并可以将待测工件放置在送检台52上。第二机械手20可以独立抓取工件，即，第二机械手20抓取工件时不需要第一机械手10的协助。第一机械手10和第二机械手20通过同一个运动主体30活动安装于同一轨道40上，减少了一条轨道40，降低了检测设备100的布局难度，减小了检测设备100的体积。

在一个例子中，第一机械手10和第二机械手20可以分别自运动主体30的两侧延伸，从而轨道40可以设置的较短便可以实现第一机械手10在上料台51至送检台52之间运动、和第二机械手20在送检台52和下料台53及回收台54之间运动。

第一机械手10可以包括多个小吸盘，多个小吸盘可以共同吸附工件，多个小吸盘可以分别吸附工件的不同位置。第一机械手10也可以包括一个大吸盘，大吸盘可以吸附工件的较多区域。第二机械手20可以包括多个小吸盘，多个小吸盘可以共同吸附工件，多个小吸盘可以分别吸附工件的不同位置。第二机械手20也可以包括一个大吸盘，大吸盘可以吸附工件的较多区域。其中，大吸盘与小吸盘是相对于工件的体积而言，例如吸盘的吸附面积小于工件的表面面积的20％，可以认为是小吸盘；吸盘的吸附面积大于或等于工件的表面面积的20％可，以认为是大吸盘。当然，本实施例中的20％只是示例性说明，实际应用中还可以是其他值，例如15％、18％、22％、25％、27％、30％、32％、35％、38％、40％等数值，在此不一一列举，也不做限制。

进一步地，请参阅图2，检测设备100还包括上料台51、送检台52、下料台53及回收台54。待测工件经上游工序或者上游设备放置在上料台51上，上料台51可以用于承载待测工件。送检台52可以用于承载经第一机械手10转运的待测工件，送检台52还可以将待测工件运输至检测工位进行检测，在待测工件经检测工位检测后变成已测工件。其中，送检台52的数量可以是至少一个，即，送检台52可以是一个、两个、三个、四个、五个、六个或更多数量，在此不一一列举。本申请实施例中，以送检台52的数量为两个进行示例性说明，分别为第一送检台521和第二送检台522，可以理解，送检台52的数量并不限于两个，还可以是其他，在此不做限制。

下料台53可以用于承载检测合格的工件，例如没有缺陷或者缺陷数量小于预定数值的工件。回收台54可以用于承载检测不合格的工件，例如存在缺陷或者缺陷数量大于或等于预定数值的工件。通过将合格的工件和不合格的工件分别放置在下料台53和回收台54，可以避免合格的工件和不合格的工件混杂在一起。

需要说明的是，第二机械手20未接收到下料请求可以指的是第二机械手20处于空置状态，或者第二机械手20未响应下料请求，或者第二机械手20已经抓取有已测工件，但下料台53暂时无法放置已测工件。第一机械手10未接收到上料请求可以指的是第一机械手10处于空置状态，或者第一机械手10未响应上料请求，或者第一机械手10抓取了待测工件，但送检台52暂时无法放置待测工件。

请参阅图2、图3及图4，在某些实施方式中，控制方法还包括以下步骤：

001：上料台51发送上料请求至第一机械手10。

步骤010包括步骤：

011：第一机械手10响应上料请求，运动至上料台51并抓取位于上料台51的待测工件。

在某些实施方式中，上料台51可以实现步骤001，第一机械手10还可以实现步骤011。也即是说，上料台51可以发送上料请求至第一机械手10，第一机械手10可以响应上料请求，运动至上料台51并抓取位于上料台51的待测工件。

在某些实施方式中，处理器60可以用于控制上料台51发送上料请求至第一机械手10；及控制第一机械手10响应上料请求，运动至上料台51并抓取位于上料台51的待测工件。也即是说，处理器60可以用于实现步骤001和步骤011。

具体地，上料台51检测到其表面放置有待测工件，且待测工件需要取走时，上料台51可以给第一机械手10发送上料请求，第一机械手10接收到上料请求时，第一机械手10或者处理器60可以判断此时(即，第一机械手10接收到上料请求的时刻)第二机械手20是否接收了下料请求，以及判断第一机械手10是否空置。如果第一机械手10空置且第二机械手20未接收到下料请求，则第一机械手10可以响应上料请求，然后运动主体30可以在轨道40上运动，使得第一机械手10可以运动至上料台51或者与上料台51相对的位置，进而第一机械手10可以抓取位于上料台51上的待测工件。由此，可以避免第一机械手10重复抓取待测工件而导致无法抓取到位于上料台51上的待测工件甚至导致待测工件损坏的情况，也可以避免运动主体30无法同时满足第一机械手10和第二机械手20的需求而导致降低转运效率。

其中，上料台51上可以只承载有一个待测工件，以避免待测工件之间相互摩擦导致待测工件损坏，同时第一机械手10抓取时也只抓取到一个待测工件。上料台51可以与第一机械手10电连接或者无线通信连接，使得上料台51可以发送上料请求至第一机械手10。

进一步地，请参阅图2、图3、图5及图6，在某些实施方式中，控制方法还包括以下步骤：

001：上料台51发送上料请求至第一机械手10；

002：若第一机械手10已抓取待测工件且第二机械手20未接收到下料请求，在第一机械手10放置已抓取的待测工件至送检台52后，第一机械手10响应上料请求；及

003：若第二机械手20已接收到下料请求且第一机械手10空置，在第二机械手20放置已测工件于下料台53或回收台54后，第一机械手10响应上料请求。

在某些实施方式中，上料台51可以用于实现步骤001，第一机械手10还可以用于实现步骤002和步骤003。

在某些实施方式中，处理器60可以用于：控制上料台51发送上料请求至第一机械手10；若第一机械手10已抓取待测工件且第二机械手20未接收到下料请求，在第一机械手10放置已抓取的待测工件至送检台52后，控制第一机械手10响应上料请求；若第二机械手20已接收到下料请求且第一机械手10空置，在第二机械手20放置已测工件于下料台53或回收台54后，控制第一机械手10响应上料请求。

具体地，上料台51发送上料请求至第一机械手10后，若第一机械手10或者处理器60识别到第一机械手10已经抓取了待测工件但第二机械手20未接收到下料请求时，运动主体30可以在导轨上运动，进而带动第一机械手10运动至送检台52，在第一机械手10将已抓取的待测工件放置至送检台52上后，第一机械手10空置，第一机械手10可以响应上料请求，运动至上料台51并抓取位于上料台51的待测工件，如此，在第一机械手10已经抓取了待测工件时，第一机械手10能够及时响应上料台51的上料请求，提升了待测工件的转运效率。

然而，在某些实施方式中，在第一机械手10将已抓取的待测工件转运至送检台52的过程中，可能存在两个送检台52均未处于空置状态，第一机械手10将无法放置待测工件于送检台52，第一机械手10可以抓取着待测工件进行等待直至存在送检台52空置。此时，第二机械手20可以接收下料请求，如果在第一机械手10的等待期间第二机械手20接收到下料请求，第二机械手20可以先将送检台52上的已测工件转运至下料台53或者回收台54，然后第一机械手10可以运动并将抓取的待测工件放置在空闲的送检台52上。由此，可以提高检测设备100的转运效率，充分使用了第一机械手10和第二机械手20。

进一步地，上料台51发送上料请求至第一机械手10后，如果此时第一机械手10或者处理器60识别到第一机械手10空置但第二机械手20已经接收到下料请求，如果第二机械手20还未抓取到已测工件，则运动主体30可以运动至发送了下料请求的送检台52，第二机械手20可以从送检台52上抓取已测工件，然后放置已测工件于下料台53或者回收台54；如果第二机械手20已经抓取了已测工件，则第二机械手20可以放置已测工件于下料台53或者回收台54。在第二机械手20已经放置已测工件于下料台53或者回收台54后，第一机械手10可以响应上料请求，进而运动至上料台51并转运上料台51上的待测工件至送检台52。如此，第一机械手10和第二机械手20可以相互协调，可以较好地完成工件的转运工作。

在某些实施方式中，上料台51发送上料请求至第一机械手10后，可能存在第一机械手10已抓取待测工件且第二机械手20已经接收了下料请求的情况，则可以判断是否存在送检台52空置及下料台53是否空置，如果存在送检台52空置且下料台53未空置，则先第一机械手10放置已抓取待测工件于送检台52，然后判断此时下料台53是否空置，如果下料台53空置，则第二机械手20响应下料请求并转运已测工件至下料台53，然后第一机械手10响应上料请求；如果下料台53未空置，则第一机械手10可以先响应上料请求，然后第二机械手20完成下料请求。如果存在送检台52未空置且下料台53空置时，则先第二机械手20响应下料请求，然后判断送检台52是否空置，在送检台52空置时第一机械手10将已抓取的工件放置于空置的送检台52，然后第一机械手10可以响应上料请求。如果送检台52及下料台53均未空置，则可进行等待，直至送检台52及下料台53中的一个空置。

请参阅图2、图3及图7，在某些实施方式中，控制方法还包括以下步骤：

004：第一机械手10发送放料请求至送检台52。

步骤020包括步骤：

021：在至少一个送检台52空置时，一个送检台52响应放料请求；

022：第一机械手10运动至响应放料请求的送检台52，并放置待测工件至响应放料请求的送检台52。

在某些实施方式中，第一机械手10还可以用于实现步骤004，送检台52可以用于实现步骤021，在送检台52实现步骤021后，第一机械手10还可以用于实现步骤022。

在某些实施方式中，处理器60还可以用于：第一机械手10发送放料请求至送检台52；在至少一个送检台52空置时，控制一个送检台52响应放料请求；控制第一机械手10运动至响应放料请求的送检台52，并放置待测工件至响应放料请求的送检台52。也即是说，处理器60还可以用于实现步骤004、步骤021和步骤022。

具体地，在第一机械手10从上料台51上抓取了待测工件后，第一机械手10可以发送放料请求至每一个送检台52，以告知每一个送检台52其需要放置待测工件。如果有一个送检台52空置时，该空闲的送检台52可以响应放料请求。如果有多个送检台52空置时，多个送检台52可以按照预设规则选择一个送检台52响应放料请求。可以理解，空置的送检台52的数量可以是一个、两个，在送检台52的数量大于两个时，也可以是多个送检台52空置，在此不做限制。预设规则可以是靠近上料台51的送检台52响应放料请求，预设规则也可以是按照时间顺序先空置的送检台52响应放料请求，或者预设规则也可以是默认某个送检台52响应放料请求。

例如，如果第一送检台521空置而第二送检台522未空置，则第一送检台521可以响应放料请求；如果第一送检台521未空置而第二送检台522空置，则第二送检台522可以响应放料请求；如果第一送检台521和第二送检台522均空置，则可以默认第一送检台521或第二送检台522响应放料请求，或者第一送检台521和第二送检台522中先空置的响应放料请求。

在有送检台52响应了放料请求时，该送检台52将回复第一机械手10，第一机械手10接收到送检台52的响应后，第一机械手10将运动至响应放料请求的送检台52，然后放置抓取的待测工件至该送检台52上，以使该待测工件可以被送检台52运输至检测工位进行检测。由此，第一机械手10可以较准确地将待测工件放置在空置的送检台52上，避免了第一机械手10将待测工件放置在非空置的送检台52上。其中，第一机械手10可以将送检台52的位置信息传输至运动主体30，以使运动主体30可以带动第一机械手10准确地运动至第一机械手10。

在没有送检台52空置时，则没有送检台52可以响应第一机械手10发出的放料请求，第一机械手10先抓取待测工件不运动，直至有送检台52空置出来并且响应放料请求。在第一机械手10的等待期间，第二机械手20可以接收送检台52的下料请求，并进行相应的运动。例如，在第一机械手10的等待期间，存在有送检台52上的待测工件检测完毕后，需要第二机械手20将其转运至下料台53或者回收台54，在第二机械手20抓取了送检台52上的已测工件时，则送检台52可以响应第一机械手10的放料请求，在这时可以是第二机械手20将抓取到的已测工件放置于下料台53或者回收台54后，第一机械手10将抓取到的待测工件放置于送检台52；也可以是第一机械手10将抓取到的待测工件放置在送检台52后，第二机械手20再将抓取到的已测工件放置于下料台53或者回收台54。

请参阅图2、图3及图8，在某些实施方式中，控制方法还包括以下步骤：

005：一个送检台52发送下料请求至第二机械手20。

步骤030还包括步骤：

031：第二机械手20响应下料请求，并运动至发送下料请求的送检台52，抓取位于发送下料请求的送检台52上的已测工件。

在某些实施方式中，送检台52还可以用于实现步骤005，第二机械手20还可以用于实现步骤031。

在某些实施方式中，处理器60还可以用于：控制一个送检台52发送下料请求至第二机械手20；及控制第二机械手20响应下料请求，并运动至发送下料请求的送检台52，抓取位于发送下料请求的送检台52上的已测工件。也即是说，处理器60还可以用于实现步骤005和步骤031。

具体地，以第一送检台521为例进行示例性说明，可以理解，第二送检台522的情况与第一送检台521类似，在此不做详细说明。在第一送检台521上的待测工件经检测工位检测完毕后，第一送检台521可以发送下料请求至第二机械手20，以希望第二机械手20可以前来抓取已测工件。第二机械手20在接收到下料请求时，第二机械手20或处理器60可以判断此时(即，第二机械手20接收到下料请求时)第二机械手20上是否抓取有已测工件及第一机械手10是否有接收了上料请求，如果第二机械手20空置(即，第二机械手20没有抓取已测工件)且第一机械手10未接收上料请求，则第二机械手20可以运动至第一送检台521(即，发送了下料请求的送检台52)，并且抓取位于第一送检台521上的已测工件。

更具体地，在第二机械手20需要运动至第一送检台521时，运动主体30可以运动以带动第二机械手20运动至第一送检台521。通过对第二机械手20及第一机械手10进行判断，可以避免因第二机械手20上已经抓取有已测工件而使第二机械手20无法抓取到位于送检台52上的已测工件，还可以避免第一机械手10已经响应了上料请求导致影响第一机械手10的工作，提高了第二机械手20工作的有效性。

当然，也存在有第一送检台521和第二送检台522(即，多个送检台52)均发送下料请求至第二机械手20的情况，此时第二机械手20可以根据接收到的下料请求的时间先后顺序，依次将多个送检台52上的已测工件转运至下料台53或者回收台54。

进一步地，请参阅图2、图3及图9，在某些实施方式中，控制方法还包括以下步骤：

005：一个送检台52发送下料请求至第二机械手20；

006：若第二机械手20已抓取已测工件且第一机械手10未接收到上料请求，在第二机械手20已放置已测工件于下料台53或回收台54后，第二机械手20响应下料请求；

007：若第一机械手10接收到上料请求且第二机械手20空置，在第一机械手10已转运待测工件至送检台52上后，第二机械手20响应下料请求。

在某些实施方式中，送检台52还可以用于实现步骤005，第二机械手20还可以用于实现步骤006和步骤007。

在某些实施方式中，处理器60还可以用于：控制一个送检台52发送下料请求至第二机械手20；若第二机械手20已抓取已测工件且第一机械手10未接收到上料请求，在第二机械手20已放置已测工件于下料台53或回收台54后，控制第二机械手20响应下料请求；若第一机械手10接收到上料请求且第二机械手20空置，在第一机械手10已转运待测工件至送检台52上后，控制第二机械手20响应下料请求。也即是说，处理器60还可以用于实现步骤005、步骤006和步骤007。

具体地，在送检台52上的待测工件经检测工位检测完毕后，送检台52可以发送下料请求至第二机械手20。如果第二机械手20接收到下料请求时已经抓取了已测工件，且第一机械手10没有接收到上料请求，则第二机械手20可以先放置已抓取的已测工件于下料台53或者回收台54，然后响应下料请求，运动至发送下料请求的送检台52，抓取位于该送检台52上的已测工件，进而将抓取到的已测工件放置于下料台53或者回收台54。

如果第二机械手20空置(即，未抓取已测工件)且第一机械手10已经接收到上料请求时，则第二机械手20暂时不响应下料请求，待第一机械手10将待测工件转运至送检台52上后，第二机械手20才响应下料请求，以避免第二机械手20的干预导致第一机械手10不能将待测工件转运至送检台52。如果第一机械手10转运待测工件至送检台52的过程中，没有送检台52空置时，则第二机械手20可以响应下料请求，将送检台52上的工件转运至下料台53或者回收台54。

如果第二机械手20已抓取已测工件且第一机械手10已经接收到上料请求时，第二机械手20及第一机械手10可以根据送检台52及下料台53或回收台54的情况，选择是将已测工件放置至下料台53或回收台54，还是第一机械手10将上料台51的待测工件转运至送检台52，在第二机械手20空闲且第一机械手10未接收上料请求时，第二机械手20响应下料请求。

具体地，如果没有送检台52空置且下料台53或回收台54可以接收已测工件时，则第二机械手20可以放置已抓取的已测工件至下料台53或回收台54，然后第二机械手20响应下料请求；如果存在送检台52空闲且下料台53或回收台54无法接收已测工件时，则第一机械手10可以响应上料请求并放置待测工件至送检台52，然后第二机械手20响应下料请求；如果存在送检台52空闲且下料台53或回收台54可以接收已测工件时，则第二机械手20先放置已抓取的已测工件至下料台53或回收台54，然后第一机械手10响应上料请求并放置待测工件至送检台52，然后第二机械手20响应下料请求；或者，先第一机械手10响应上料请求并放置待测工件至送检台52，然后第二机械手20放置已抓取的已测工件至下料台53或回收台54，然后第二机械手20响应下料请求。由此，第一机械手10及第二机械手20可以根据送检台52及下料台53或回收台54的实际情况选择性地工作，进而提高转运的效率。

请参阅图2、图3、图11及图12，在某些实施方式中，步骤040包括以下步骤：

041：在检测结果为检测合格时，第二机械手20放置已测工件于下料台53；和

042：在检测结果为检测不合格时，第二机械手20放置已测工件于回收台54。

在某些实施方式中，第二机械手20可以用于实现步骤041和步骤042。

在某些实施方式中，处理器60还可以用于：在检测结果为检测合格时，控制第二机械手20放置已测工件于下料台53；在检测结果为检测不合格时，控制第二机械手20放置已测工件于回收台54。也即是说，处理器60还可以用于实现步骤041和步骤042。

具体地，第二机械手20可以与位于检测设备100的检测工位的检测元件电连接或者无线通信连接，第二机械手20可以接收到检测元件传输的检测结果，以便于第二机械手20可以根据检测结果选择性地放置已测工件与下料台53或回收台54。在检测结果为检测合格时，表明第二机械手20抓取到的已测工件为合格品，则第二机械手20可以放置已测工件于下料台53，以进行更深入的检测或者出厂；在检测结果为检测不合格时，表明第二机械手20抓取到的已测工件为不合格品，则第二机械手20可以放置已测工件于回收台54，以便于回收不合格的工件以对不合格的工件进行舍弃或者修复。本实施例中，第二机械手20根据检测结果将合格的已测工件放置于下料台53、及将不合格的已测工件放置与回收台54，使得合格的工件和不合格的工件可以较好地区分开。

其中，第二机械手20需要放置已测工件于下料台53时，第二机械手20可以告知运动主体30运动第一距离，以使第二机械手20可以较准确地运动至下料台53。第二机械手20需要放置已测工件于回收台54时，第二机械手20可以告知运动主体30运动第二距离，以使第二机械手20可以较准确地运动至回收台54。

进一步地，请参阅图1、图2及图13，在某些实施方式中，步骤041包括以下步骤：

0411：在检测结果为检测合格时，第二机械手20发送卸料请求至下料台53；

0412：在下料台53空置时，下料台53响应卸料请求；及

0413：第二机械手20运动至下料台53并放置已测工件至下料台53。

在某些实施方式中，第二机械手20还可以用于实现步骤0411及步骤0413，下料台53还可以用于实现步骤0412。

在某些实施方式中，处理器60还可以用于：在检测结果为检测合格时，控制第二机械手20发送卸料请求至下料台53；在下料台53空置时，控制下料台53响应卸料请求；及控制第二机械手20运动至下料台53并放置已测工件至下料台53。也即是说，处理器60还可以用于实现步骤0411、步骤0412和步骤0413。

具体地，下料台53上只可以放置有一个已测工件，如果下料台53上已经放置有已测工件时，则无法放置其它的已测工件至下料台53。因此，在第二机械手20需要将抓取的已测工件放置于下料台53时，第二机械手20需要确定下料台53是否已经放置有已测工件，则第二机械手20可以发送卸料请求至下料台53，下料台53接收到卸料请求时可以判断下料台53上是否放置有已测工件。可以理解，第二机械手20可以与下料台53电连接或者无线通信连接，以使第二机械手20可以发送卸料请求至下料台53。

在下料台53空置时(即，下料台53上未放置有已测工件)，下料台53可以响应下料请求，然后第二机械手20可以运动至下料台53并放置抓取到的已测工件至下料台53。在下料台53未空置时(即，下料台53上放置有已测工件)，下料台53将不会响应下料请求，此时第二机械手20可以抓取着已测工件不运动，直至下料台53响应了下料请求，即，下料台53上的已测工件被抓走使得下料台53处于空置，第二机械手20运动至下料台53并放置抓取到的已测工件至下料台53。由此，可以避免下料台53上有已测工件时第二机械手20继续放置已测工件于下料台53而导致两个已测工件相互摩擦的现象。

在第二机械手20等待下料台53响应下料请求的过程中，第一机械手10可以接收上料请求，并且可以响应上料请求及运动至上料台51转运上料台51上的已测工件至送检台52。如果在第一机械手10响应了上料请求且前往上料台51抓取待测工件或者将由上料台51运动至送检台52的过程中时，下料台53响应了卸料请求时，此时有两种工作方式，一是第一机械手10完成转运待测工件至送检台52的工作，然后第二第二机械手20将抓取到的已测工件放置在下料台53后；二是第一机械手10暂时停止转运待测工件的任务，第二机械手20将抓取到的已测工件放置在下料台53后，第一机械手10继续完成转运待测工件的任务。

在一个实施例中，如果下料台53响应了卸料请求时，第一机械手10响应了上料请求且前往上料台51抓取待测工件，第一机械手10停止前往上料台51抓取工件，第二机械手20运动至下料台53并放置抓取到的已测工件于下料台53，然后第一机械手10前往上料台51抓取工件；如果下料台53响应了卸料请求时，第一机械手10抓取待测工件由上料台51运动至送检台52的过程中，若存在送检台52空置，则第一机械手10运动至送检台52并将抓取到的待测工件放置于送检台52后，然后第二机械手20前往下料台53并将抓取到的已测工件放置于下料台53；如果没有送检台52空置，则第二机械手20前往下料台53并将抓取到的已测工件放置于下料台53。

请参阅图2，在一个实施例中，回收台54可以同时放置有多个不合格的已测工件，第二机械手20需要放置不合格的已测工件于回收台54时，不需要给回收台54发送卸料请求。在另一个实施例中，需要防止不合格的已测工件之间相互摩擦时，回收台54只能放置一个已测工件时，第二机械手20需要放置不合格的已测工件于回收台54时，需要给回收台54发送卸料请求。具体如上述实施例中，第二机械手20给下料台53发送卸料请求相似或者相同，在此不做详细描述。

请再次参阅图1及图2，存储器70用于存放可在处理器60上运行的计算机程序，处理器60执行程序时实现上述任一实施方式中的检测设备100的控制方法。

存储器70可能包含高速RAM存储器，也可能还包括非易失性存储器(non-volatilememory)，例如至少一个磁盘存储器。进一步地，检测设备100还可包括通信接口80，通信接口80用于存储器70和处理器60之间的通信。

如果存储器70、处理器60和通信接口80独立实现，则通信接口80、存储器70和处理器60可以通过总线相互连接并完成相互间的通信。总线可以是工业标准体系结构(Industry Standard Architecture，简称为ISA)总线、外部设备互连(PeripheralComponent，简称为PCI)总线或扩展工业标准体系结构(Extended Industry StandardArchitecture，简称为EISA)总线等。总线可以分为地址总线、数据总线、控制总线等。为便于表示，图3中仅用一条粗线表示，但并不表示仅有一根总线或一种类型的总线。

可选的，在具体实现上，如果存储器70、处理器60及通信接口80，集成在一块芯片上实现，则存储器70、处理器60及通信接口80可以通过内部接口完成相互间的通信。

处理器60可能是一个中央处理器(Central Processing Unit，简称为CPU)，或者是特定集成电路(Application Specific Integrated Circuit，简称为ASIC)，或者是被配置成实施本申请实施例的一个或多个集成电路。

进一步地，请结合图3、处理器60可以与第一机械手10、第二机械手20、上料台51、送检台52(第一送检台521、第二送检台522)、下料台53及回收台54电连接或者通信连接，使得处理器60可以发送控制指令至第一机械手10、第二机械手20、上料台51、送检台52、下料台53及回收台54，以便于处理器60可以控制第一机械手10、第二机械手20、上料台51、送检台52、下料台53及回收台54。即，处理器60可以控制第一机械手10、第二机械手20、上料台51、送检台52、下料台53及回收台54分别实施上述任一实施方式中相应的步骤。

请参阅图14，本申请实施方式的非易失性计算机可读存储介质200包括计算机程序201，当计算机程序201被一个或多个处理器300执行时，使得处理器300执行本申请任一实施方式的检测设备100的控制方法。

例如，请结合图1，计算机程序201被处理器300执行时，处理器300用于实施以下步骤：

010：在第一机械手10空置，且第二机械手20未接收到下料请求时，控制第一机械手10运动至上料台51并抓取位于上料台51的待测工件；

020：在至少一个送检台52空置时，控制第一机械手10运动至空置的一个送检台52并放置待测工件至空置的一个送检台52；

030：在第二机械手20空置，且第一机械手10未接收到上料请求时，控制第二机械手20运动至一个待下料的送检台52，并抓取位于待下料的送检台52上的已测工件；

040：控制第二机械手20根据已测工件的检测结果放置已测工件于下料台53或回收台54。

再例如，请结合图9及图10，计算机程序201被处理器300执行时，处理器300用于实施以下步骤：

005：控制一个送检台52发送下料请求至第二机械手20。

006：若第二机械手20已抓取已测工件且第一机械手10未接收到上料请求，在第二机械手20已放置已测工件于下料台53或回收台54后，控制第二机械手20响应下料请求；

007：若第一机械手10接收到上料请求且第二机械手20空置，在第一机械手10已转运待测工件至送检台52上后，控制第二机械手20响应下料请求。

流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现定制逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本申请的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本申请的实施例所属技术领域的技术人员所理解。

在流程图中表示或在此以其他方式描述的逻辑和/或步骤，例如，可以被认为是用于实现逻辑功能的可执行指令的定序列表，可以具体实现在任何计算机可读介质中，以供指令执行系统、装置或设备(如基于计算机的系统、包括处理器的系统或其他可以从指令执行系统、装置或设备取指令并执行指令的系统)使用，或结合这些指令执行系统、装置或设备而使用。就本说明书而言，"计算机可读介质"可以是任何可以包含、存储、通信、传播或传输程序以供指令执行系统、装置或设备或结合这些指令执行系统、装置或设备而使用的装置。计算机可读介质的更具体的示例(非穷尽性列表)包括以下：具有一个或多个布线的电连接部(电子装置)，便携式计算机盘盒(磁装置)，随机存取存储器(RAM)，只读存储器(ROM)，可擦除可编辑只读存储器(EPROM或闪速存储器)，光纤装置，以及便携式光盘只读存储器(CDROM)。另外，计算机可读介质甚至可以是可在其上打印所述程序的纸或其他合适的介质，因为可以例如通过对纸或其他介质进行光学扫描，接着进行编辑、解译或必要时以其他合适方式进行处理来以电子方式获得所述程序，然后将其存储在计算机存储器中。

应当理解，本申请的各部分可以用硬件、软件、固件或它们的组合来实现。在上述实施方式中，多个步骤或方法可以用存储在存储器中且由合适的指令执行系统执行的软件或固件来实现。如，如果用硬件来实现和在另一实施方式中一样，可用本领域公知的下列技术中的任一项或他们的组合来实现：具有用于对数据信号实现逻辑功能的逻辑门电路的离散逻辑电路，具有合适的组合逻辑门电路的专用集成电路，可编程门阵列(PGA)，现场可编程门阵列(FPGA)等。

本技术领域的普通技术人员可以理解实现上述实施例方法携带的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件完成，所述的程序可以存储于一种计算机可读存储介质中，该程序在执行时，包括方法实施例的步骤之一或其组合。

此外，在本申请各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理模块中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个模块中。上述集成的模块既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能模块的形式实现。所述集成的模块如果以软件功能模块的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，也可以存储在一个计算机可读取存储介质中。上述提到的存储介质可以是只读存储器，磁盘或光盘等。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本申请的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本申请的实施例所属技术领域的技术人员所理解。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施方式，可以理解的是，上述实施方式是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施方式进行变化、修改、替换和变型。

Claims (11)

1.一种检测设备的控制方法，其特征在于，所述检测设备包括第一机械手和第二机械手，所述第一机械手和所述第二机械手通过同一个运动主体活动地安装于同一轨道，所述控制方法包括：

在所述第一机械手空置，且所述第二机械手未接收到下料请求时，所述第一机械手运动至上料台并抓取位于所述上料台的待测工件；

在至少一个送检台空置时，所述第一机械手运动至空置的一个送检台并放置所述待测工件至所述空置的一个送检台；

在所述第二机械手空置，且所述第一机械手未接收到上料请求时，所述第二机械手运动至一个待下料的送检台，并抓取位于所述待下料的送检台上的已测工件；及

所述第二机械手根据所述已测工件的检测结果放置所述已测工件于下料台或回收台。

2.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：

所述上料台发送上料请求至所述第一机械手；

所述第一机械手运动至上料台并抓取位于上料台的所述待测工件，包括：

所述第一机械手响应所述上料请求，运动至所述上料台并抓取位于所述上料台的所述待测工件。

3.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：

所述上料台发送上料请求至所述第一机械手；

若所述第一机械手已抓取所述待测工件且所述第二机械手未接收到所述下料请求，在所述第一机械手放置已抓取的所述待测工件至所述送检台后，所述第一机械手响应所述上料请求；及

若所述第二机械手已接收到所述下料请求且所述第一机械手空置，在所述第二机械手放置所述已测工件于所述下料台或所述回收台后，所述第一机械手响应所述上料请求。

4.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：

所述第一机械手发送放料请求至所述送检台；

所述在至少一个送检台空置时，所述第一机械手运动至空置的一个送检台并放置所述待测工件至所述空置的一个送检台，包括：

在至少一个所述送检台空置时，一个所述送检台响应所述放料请求；

所述第一机械手运动至响应所述放料请求的送检台，并放置所述待测工件至响应所述放料请求的送检台。

5.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：

一个所述送检台发送所述下料请求至所述第二机械手；

所述在所述第二机械手空置，且所述第一机械手未接收到上料请求时，所述第二机械手运动至一个待下料的送检台，并抓取位于所述待下料的送检台上的已测工件，包括：

所述第二机械手响应所述下料请求，并运动至发送所述下料请求的送检台，抓取位于发送所述下料请求的送检台上的所述已测工件。

6.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：

一个所述送检台发送所述下料请求至所述第二机械手；

若所述第二机械手已抓取所述已测工件且所述第一机械手未接收到所述上料请求，在所述第二机械手已放置所述已测工件于所述下料台或所述回收台后，所述第二机械手响应所述下料请求；

若所述第一机械手接收到所述上料请求且所述第二机械手空置，在所述第一机械手已转运所述待测工件至所述送检台上后，所述第二机械手响应所述下料请求。

7.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述第二机械手根据所述已测工件的检测结果放置所述已测工件于下料台或回收台，包括：

在所述检测结果为检测合格时，所述第二机械手放置所述已测工件于所述下料台；及

在所述检测结果为检测不合格时，所述第二机械手放置所述已测工件于所述回收台。

8.根据权利要求7所述的控制方法，其特征在于，所述在所述检测结果为检测合格时，所述第二机械手放置所述已测工件于所述下料台，包括：

在所述检测结果为检测合格时，所述第二机械手发送卸料请求至所述下料台；

在所述下料台空置时，所述下料台响应所述卸料请求；及

所述第二机械手运动至所述下料台并放置所述已测工件至所述下料台。

9.一种检测设备，其特征在于，所述检测设备包括第一机械手和第二机械手，所述第一机械手和所述第二机械手通过同一个运动主体能够运动地安装于同一轨道上；

在所述第一机械手空置，且所述第二机械手未接收到下料请求时，所述第一机械手运动至上料台并抓取位于所述上料台的待测工件；

在至少一个送检台空置时，所述第一机械手运动至空置的一个送检台并放置所述待测工件至所述空置的一个送检台；

在所述第二机械手空置，且所述第一机械手未接收到上料请求时，所述第二机械手运动至一个待下料的送检台，并抓取位于所述待下料的送检台上的已测工件；及

所述第二机械手根据所述已测工件的检测结果放置所述已测工件于下料台或回收台。

10.一种检测设备，其特征在于，所述检测设备包括第一机械手和第二机械手，所述第一机械手和所述第二机械手通过同一个运动主体能够运动地安装于同一轨道上，所述检测设备还包括：

一个或多个处理器、存储器；和

一个或多个程序，其中所述一个或多个程序被存储在所述存储器中，并且被所述一个或多个处理器执行，所述程序包括用于执行权利要求1至8任意一项所述的控制方法的指令。

11.一种包含计算机程序的非易失性计算机可读存储介质，当所述计算机程序被一个或多个处理器执行时，使得所述处理器执行权利要求1至8中任意一项所述的控制方法。

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