CN112859553B - 一种氧化钒缓蚀含氟剥离液 - Google Patents

一种氧化钒缓蚀含氟剥离液 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种氧化钒缓蚀含氟剥离液、其制备方法及应用。所述氧化钒缓蚀含氟剥离液，其原料包括下列组分：氟化物、烷醇胺、缓蚀剂、络合剂、直链酰胺类有机溶剂、砜类和/或亚砜有机溶剂、醇醚类有机溶剂、烷酮类有机溶剂、PO‑EO‑乙烯基二元胺共聚物和余量的水，各组分质量分数之和为100％，所述的PO‑EO‑乙烯基二元胺共聚物为Tetronic 901、Tetronic 904和Tetronic 908中的一种或多种。本发明的氧化钒缓蚀含氟剥离液能有效去除待剥离材料，且对例如VOX/PI/Ni等材料的光阻材料腐蚀性低。

Description

一种氧化钒缓蚀含氟剥离液
技术领域
本发明涉及一种氧化钒缓蚀含氟剥离液、其制备方法及应用。
背景技术
在红外传感芯片领域，芯片制备主要依赖MEMS工艺。目前此类工艺较为先进和前卫，国内技术并未落后于国外技术，几乎是同步发展。由于技术较新，其芯片制备相关的材料和设备的开发也需同步跟进，并没有成熟的国外技术可以学习。
在MEMS工艺中需要使用光刻胶剥离液对芯片进行剥离清洗。在MEMS工艺中涉及的光阻包括G-line/I-line及DUV光阻等。因此，在使用光刻胶剥离液对光阻进行剥离清洗时，除了能够有效去除光阻残余物，还需要特别针对光阻材料中的VOX/PI/Ni等材料进行严格的保护(即对光阻材料腐蚀性低)，这对光刻胶清洗液提出了更高的要求。
因此本领域亟需开发一种能有效去除光阻残余物且对光阻材料(例如VOX/PI/Ni等材料)腐蚀性低的剥离液。
发明内容
本发明提供了一种氧化钒缓蚀含氟剥离液、其制备方法及应用。本发明的氧化钒缓蚀含氟剥离液能有效去除待剥离材料，且对光阻材料，例如VOX/PI/Ni等材料，腐蚀性低。
本发明主要以下技术手段解决上述技术问题的。
本发明提供了一种氧化钒缓蚀含氟剥离液，其原料包括下列质量分数的组分：
0.05％-15％的氟化物、18％-40％的烷醇胺、0.5％-5％的缓蚀剂、0.5％-5％的络合剂、10％-20％的直链酰胺类有机溶剂、5％-15％的砜类和/或亚砜有机溶剂、5％-10％的醇醚类有机溶剂、5％-10％的烷酮类有机溶剂、0.05％-1.5％的PO-EO-乙烯基二元胺共聚物和余量的水，各组分质量分数之和为100％，所述的PO-EO-乙烯基二元胺共聚物为Tetronic 901、Tetronic 904和Tetronic908中的一种或多种。
在一些实施例中，所述氟化物的质量分数可为2.0％-10.00％。在一些优选实施例中，所述氟化物的质量分数可为2.0％-6.0％。在一些更优选的实施例中，所述氟化物的质量分数可为5.3％。
具体地，在一些实施例中，所述氟化物的质量分数可为0.05％、2.0％、5.3％、6.0％、9.0％、10.0％、13.0％或15％。
在一些实施例中，所述烷醇胺的质量分数可为18.0％-35.0。在一些优选实施例中，所述烷醇胺的质量分数可为20.0％-29.0％。在一些更优选的实施例中，所述烷醇胺的质量分数可为25.4％。
具体地，在一些实施例中，所述烷醇胺的质量分数可为18％、20.0％、25.0％、25.4％、29.0％、30.0％、35.0％或40％。
在一些实施例中，所述缓蚀剂的质量分数可为1.2％-4.3％。在一些优选实施例中，所述缓蚀剂的质量分数可为1.8％-3.5％。在一些更优选的实施例中，所述缓蚀剂的质量分数可为2.2％。
具体地，在一些实施例中，所述缓蚀剂的质量分数可为0.50％、1.20％、1.80％、2.00％、2.20％、3.50％、4.30％或5.00％。
在一些实施例中，所述络合剂的质量分数可为0.80％-4.5％。在一些优选实施例中，所述络合剂的质量分数可为1.10％-3.6％。在一些更优选的实施例中，所述络合剂的质量分数可为1.50％。
具体地，在一些实施例中，所述络合剂的质量分数可为0.50％、0.80％、1.10％、1.30％、1.50％、3.60％、4.50％或5.00％。
在一些实施例中，所述直链酰胺类有机溶剂的质量分数可为13％-18％。在一些优选实施例中，所述直链酰胺类有机溶剂的质量分数可为15％-18％。在一些更优选的实施例中，所述直链酰胺类有机溶剂的质量分数可为17.8％。
具体地，在一些实施例中，所述直链酰胺类有机溶剂的质量分数可为10％、13％、15％、16％、17.8％、18％或20％。
在一些实施例中，所述砜类和/或亚砜有机溶剂的质量分数可为6.70％-15％。在一些优选实施例中，所述砜类和/或亚砜有机溶剂的质量分数可为7.50％-12.4％。在一些更优选的实施例中，所述砜类和/或亚砜有机溶剂的质量分数可为12.4％。
具体地，在一些实施例中，所述砜类和/或亚砜有机溶剂的质量分数可为5.0％、6.70％、7.50％、10％、12.4％或15％。
在一些实施例中，所述醇醚类有机溶剂的质量分数可为6.70％-9.6％。在一些优选实施例中，所述醇醚类有机溶剂的质量分数可为7.50％-8.2％。在一些更优选的实施例中，所述醇醚类有机溶剂的质量分数可为7.8％。
具体地，在一些实施例中，所述醇醚类有机溶剂的质量分数可为5％、6.70％、7.50％、7.8％、8.2％、9.6％或10％。
在一些实施例中，所述烷酮类有机溶剂的质量分数可为6.70％-10％。在一些优选实施例中，所述烷酮类有机溶剂的质量分数可为7.50％-9.1％。在一些更优选的实施例中，所述烷酮类有机溶剂的质量分数可为9.1％。
具体地，在一些实施例中，所述烷酮类有机溶剂的质量分数可为5％、6.70％、7.50％、8.20％、9.1％或10％。
在一些实施例中，所述PO-EO-乙烯基二元胺共聚物可为0.56％-1.5％。在一些优选实施例中，所述PO-EO-乙烯基二元胺共聚物可为0.73％-1.2％。在一些更优选的实施例中，所述PO-EO-乙烯基二元胺共聚物可为1.2％。
具体地，在一些实施例中，所述PO-EO-乙烯基二元胺共聚物可为0.05％、0.10％、0.56％、0.73％、1.08％、1.2％或1.50％。
其中，所述的氟化物可选自氟化氢和氟化氢与碱形成的盐中的一种或多种；优选为氟化氢铵、氟化铵、氟化氢、四甲基氟化铵、四乙基氟化铵、四丙基氟化铵、四丁基氟化铵、苄基三甲基氟化铵和氟化胆碱中的一种或多种；更优选氟化氢铵、氟化铵、氟化氢、四甲基氟化铵、四乙基氟化铵、四丙基氟化铵、苄基三甲基氟化铵和氟化胆碱中的一种或多种；进一步优选为氟化铵。
所述的烷醇胺可为本领域的常规烷醇胺；优选为氨基乙基乙醇胺、二甲基氨基乙醇、单乙醇胺、N-甲基乙醇胺、N-乙基乙醇胺、N-丙基乙醇胺、N-丁基乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、N-乙基二乙醇胺、异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺、N-甲基异丙醇胺、N-乙基异丙醇胺、N-丙基异丙醇胺、2-氨基丙烷-1-醇、N-甲基-2-氨基丙烷-1-醇、N-乙基-2-氨基丙烷-1-醇、1-氨基丙烷-3-醇、N-甲基-1-氨基丙烷-3-醇、N-乙基-1-氨基丙烷-3-醇、1-氨基丁烷-2-醇、N-甲基-1-氨基丁烷-2-醇、N-乙基-1-氨基丁烷-2-醇、2-氨基丁烷-1-醇、N-甲基-2-氨基丁烷-1-醇、N-乙基-2-氨基丁烷-1-醇、3-氨基丁烷-1-醇、N-甲基-3-氨基丁烷-1-醇、N-乙基-3-氨基丁烷-1-醇、1-氨基丁烷-4-醇、N-甲基-1-氨基丁烷-4-醇、N-乙基-1-氨基丁烷-4-醇、1-氨基-2-甲基丙烷-2-醇、2-氨基-2-甲基丙烷-1-醇、1-氨基戊烷-4-醇、2-氨基-4-甲基戊烷-1-醇、2-氨基己烷-1-醇、3-氨基庚烷-4-醇、1-氨基辛烷-2-醇、5-氨基辛烷-4-醇、1-氨基丙烷-2,3-二醇、2-氨基丙烷-1,3-二醇、三(羟甲基)氨基甲烷、1,2-二氨基丙烷-3-醇、1,3-二氨基丙烷-2-醇和2-(2-氨基乙氧基)乙醇中的一种或多种；更优选为单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、N-甲基二乙醇胺、1-氨基丁烷-2-醇、N-乙基异丙醇胺、1-氨基辛烷-2-醇和三(羟甲基)氨基甲烷中的一种或多种；进一步优选为单乙醇胺。
当所述的烷醇胺为多种时，所述的多种优选为两种，例如，N-乙基异丙醇胺和三(羟甲基)氨基甲烷。当所述的烷醇胺为两种时，二者的质量比值可为0.5-2.0，例如，1:1。例如，N-乙基异丙醇胺与三(羟甲基)氨基甲烷的质量比值可为0.5-2.0，例如，1:1。
所述的缓蚀剂可为本领域的常规缓蚀剂，优选为1-硫代丙三醇、2-巯基丙酸、苯并三氮唑、邻苯二酚、没食子酸和连苯三酚中的一种或多种，更优选为1-硫代丙三醇。
当所述的缓蚀剂为多种时，所述的多种优选为两种，例如，没食子酸和连苯三酚。当所述的缓蚀剂为两种时，二者的质量比值可为0.5-2.0，例如，1:1。例如，没食子酸与连苯三酚的质量比值可为0.5-2.0，例如，1:1。
所述的络合剂可为乙醇酸、丙二酸、柠檬酸、亚氨基二乙酸、氨三乙酸、乙二胺四乙酸、水杨酸、五甲基二乙烯三胺、氨基磺酸和磺基水杨酸中的一种或多种；优选为乙醇酸、丙二酸、柠檬酸、亚氨基二乙酸、五甲基二乙烯三胺、氨基磺酸和磺基水杨酸中的一种或多种；更优选为乙醇胺。
当所述的缓蚀剂为多种时，所述的多种优选为两种，例如，丙二酸和柠檬酸。当所述的缓蚀剂为两种时，二者的质量比值可为0.5-2.0，例如，1:1。例如，丙二酸和柠檬酸的质量比值可为0.5-2.0，例如，1:1。
所述的直链酰胺类有机溶剂可为本领域的常规直链酰胺类有机溶剂，优选为N-甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-(2-羟基乙基)乙酰胺、N,N-二甲基丙酰胺、3-甲氧基-N,N-二甲基丙酰胺、3-(2-乙基己基氧基)-N,N-二甲基丙酰胺和3-丁氧基-N,N-二甲基丙酰胺中的一种或多种；更优选为N-甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、N-甲基乙酰胺、3-(2-乙基己基氧基)-N,N-二甲基丙酰胺和3-丁氧基-N,N-二甲基丙酰胺中的一种或多种；进一步优选为N-甲基甲酰胺。
当所述的直链酰胺类有机溶剂为多种时，所述的多种优选为三种，例如N-甲基甲酰胺、N-甲基乙酰胺和3-丁氧基-N,N-二甲基丙酰胺的混合溶剂。当所述的直链酰胺类有机溶剂为三种时，二者的质量比可为(0.5-2.0):(0.5-2.0)：(0.5-2.0)，例如，1:1。
所述的砜类有机溶剂可为本领域的常规砜类有机溶剂；优选为甲基砜、环丁砜和二丙砜中的一种或多种，更优选为环丁砜。所述的亚砜类有机溶剂可为本领域的常规亚砜类有机溶剂，优选为二甲基亚砜和甲乙基亚砜、二苯基亚砜、氯化亚砜和苄苯亚砜中的一种或多种。
当所述的砜类有机溶剂和所述的亚砜类有机溶剂混用时，所述的砜类有机溶剂与所述的亚砜类有机溶剂的质量比值可为0.5-2.0，例如，1:1。
所述的醇醚类有机溶剂可为本领域的常规醇醚类有机溶剂；优选为乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单异丙基醚、乙二醇单丁基醚、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇单异丙基醚、二乙二醇单丁基醚、三乙二醇单甲基醚、三乙二醇单乙基醚、三乙二醇单异丙基醚、三乙二醇单丁基醚、聚乙二醇、聚丙二醇、聚乙二醇单甲基醚、聚乙二醇单丁基醚、丙二醇单甲基醚、二丙二醇单甲基醚、三丙二醇单甲基醚、二丙二醇单甲基醚、二丙二醇单乙基醚、二丙二醇单丙基醚和二丙二醇单丁基醚中的一种或多种；更优选为乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单异丙基醚、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、丙二醇单甲基醚、三丙二醇单甲基醚和二丙二醇单丁基醚中的一种或多种；进一步优选为乙二醇单甲基醚。
当所述的醇醚类有机溶剂为多种时，所述的多种优选为两种，例如，乙二醇单甲基醚和二丙二醇单丁基醚。当所述的醇醚类有机溶剂为两种时，二者的质量比值可为0.5-2.0，例如，1:1。例如，乙二醇单甲基醚与二丙二醇单丁基醚的质量比值可为0.5-2.0，例如，1:1。
所述的烷酮类有机溶剂可为本领域的常规烷酮类有机溶剂；优选为咪唑烷酮类和/或吡咯烷酮类有机溶剂，更优选为咪唑烷酮类有机溶剂。所述的咪唑烷酮类有机溶剂优选为2-咪唑烷酮和/或1,3-二甲基-2-咪唑烷酮，更优选为2-咪唑烷酮。所述的吡咯烷酮类有机溶剂优选为N-乙基吡咯烷酮、N-甲基吡咯烷酮和N-环己基吡咯烷酮中的一种或多种。
当所述的烷酮类有机溶剂为咪唑烷酮类和吡咯烷酮类有机溶剂混用时，所述的咪唑烷酮类有机溶剂与所述的吡咯烷酮类有机溶剂的质量比值可为0.5-2.0，例如，1:1。例如，2-咪唑烷酮与N-乙基吡咯烷酮的质量比值可为0.5-2.0，例如，1:1。
所述的PO-EO-乙烯基二元胺共聚物优选为Tetronic908。
在本发明一些优选实施方案中，所述的氧化钒缓蚀含氟剥离液的原料组分由所述的氟化物、所述的烷醇胺、所述的缓蚀剂、所述的络合剂、所述的直链酰胺类有机溶剂、所述的砜类和/或亚砜有机溶剂、所述的醇醚类有机溶剂、所述的烷酮类有机溶剂、所述的PO-EO-乙烯基二元胺共聚物和余量的水组成，各组分质量分数之和为100％。
本发明还提供了一种所述的氧化钒缓蚀含氟剥离液的制备方法，其包括下列步骤：将所述的原料混合，即可。所述的混合优选为将所述的原料组分中的固体组分加入到液体组分中，搅拌均匀，即可。所述的混合的温度为室温。所述的混合后，较佳地还进一步包含振荡，过滤的操作。振荡的目的是为了使各原料组分充分混合，振荡速度和时间不限。过滤是为了除去不溶物。
本发明还提供了一种所述的氧化钒缓蚀含氟剥离液在半导体器件中对待剥离材料的剥离和清洗中的应用。其中所述的半导体器件优选为逻辑芯片、存储芯片、微机电芯片(即MEMS芯片)、光电芯片和功率芯片(如IGBT等)中的一种或多种。所述待剥离材料优选为：正性光阻、光阻残余物、硬化交联光阻和聚合物中的一种或多种。所述的光阻残余物可为干法刻蚀和/或干法去胶工艺后，光阻自身残余物。所述的硬化交联光阻可为干法刻蚀和/或干法去胶工艺后，光阻与等离子体或氧气等气体反应产物。所述的聚合物可为干法刻蚀和/或干法去胶工艺中，等离子体作用下，光与晶片上介质层及金属层等反应产物。所述待剥离材料具体可为：苏州瑞红公司的正性光刻胶RZJ-5701；AZ公司的AZ MIR 701。所述的应用优选包括下列步骤：将带有待剥离材料与剥离液接触，即可。所述的接触优选通过浸渍法。
所述接触的温度优选55-85℃，更优选60-75℃。
所述接触的时间优选10-65min，更优选30-60min。
本发明中室温是指10-30℃。
在符合本领域常识的基础上，上述各优选条件，可任意组合，即得本发明各较佳实例。
本发明所用试剂和原料均市售可得，其中选自Tetronic 908、Tetronic 904、Tetronic 901的PO-EO-乙烯基二元胺共聚物来源于上海泰今国际贸易有限公司。
具体实施方式
下面通过实施例的方式进一步说明本发明，但并不因此将本发明限制在所述的实施例范围之中。下列实施例中未注明具体条件的实验方法，按照常规方法和条件，或按照商品说明书选择。
下述实施例和对比例中，氧化钒缓蚀含氟剥离液的制备方法包括下列步骤：将对应的原料混合，即可。
下述实施例中，未限定具体操作温度的，均是指在室温条件下进行。
一、氧化钒缓蚀含氟剥离液的制备方法实施例
将表1的原料组分按表2中的质量分数混合均匀。其中，所述的混合一般为将所述的原料组分中的固体组分加入到液体组分中，搅拌均匀，即可。所述的混合一般为将所述的原料组分中的固体组分加入到液体组分中，搅拌均匀，即可。所述的混合的温度为室温。所述的混合后，一般还进一步包含振荡，过滤的操作。振荡的目的是为了使各原料组分充分混合，振荡速度和时间不限。过滤是为了除去不溶物。
表1各实施例中的组分种类
表2各原料组分的质量分数(％)
其中，对比例1是为了考察氟化物的质量分数边界值；
对比例2是为了考察烷醇胺的质量分数边界值；
对比例3是为了考察PO-EO-乙烯基二元胺共聚物的质量分数边界值；
对比例4-19是为了考察PO-EO-乙烯基二元胺共聚物的种类。
二、效果实施例
1.金属片腐蚀测试
将沉积有一定厚度的钛(Ti)片、铝片(Al片)、镍片，浸泡在剥离液中(60℃，30分钟)，进行腐蚀处理，然后用纯水进行漂洗处理。用四点探针仪器测腐蚀前后的电阻率的变化计算腐蚀速率。
2.介质层腐蚀测试
将沉积有一定厚度的氧化硅片、氮化硅片、氧化钒片、聚酰亚胺片，浸泡在剥离液中(60℃，30分钟)，进行腐蚀处理，然后用纯水进行漂洗处理。用膜厚仪测腐蚀前后的介质层厚度的变化。
3.光阻残余物清洗效果测试
将含有该种待剥离材料的显示主晶片在清洗液中浸泡(60℃，30分钟)，进行剥离处理，然后用纯水进行漂洗处理。随后SEM观察并评价，A级为清洗率达100％；B级为清洗掉50％-99.9％；C级为清洗掉20％-49.9％；D级为只清洗掉19.9％或更低。
4.硬化交联光阻清洗效果测试
将含有该种待剥离材料的显示主晶片在清洗液中浸泡(60℃，30分钟)，进行剥离处理，然后用纯水进行漂洗处理。随后SEM观察并评价，A级为清洗率达100％；B级为清洗掉50％-99.9％；C级为清洗掉20％-49.9％；D级为只清洗掉19.9％或更低
5.聚合物清洗效果测试
将含有该种待剥离材料的显示主晶片在清洗液中浸泡(60℃，30分钟)，进行剥离处理，然后用纯水进行漂洗处理。随后SEM观察并评价，A级为清洗率达100％；B级为清洗掉50％-99.9％；C级为清洗掉20％-49.9％；D级为只清洗掉19.9％或更低。
表3效果实施例结果
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根据实施例1和对比例1可以发现，本发明提供的氧化钒缓蚀含氟剥离液使用0.05％-15％的质量分数的氟化物，可以有效提高清洗效果，并有效降低VOX和PI腐蚀速率。
根据实施例1和对比例2可以发现，本发明提供的氧化钒缓蚀含氟剥离液使用18％-40％的质量分数的烷醇胺，可以有效降低Al、Ti、VOX、PI、Ni、SiO2和SiN腐蚀速率。
根据实施例1和对比例3可以发现，本发明提供的氧化钒缓蚀含氟剥离液使用0.05％-1.5％的质量分数的PO-EO-乙烯基二元胺共聚物，可以有效提高清洗效果，并有效降低Al、Ti、PI、Ni、SiO2和SiN腐蚀速率。
根据实施例1和对比例4-19可以发现，本发明提供的氧化钒缓蚀含氟剥离液选用Tetronic 901、Tetronic 904和Tetronic 908中的一种或多种作为PO-EO-乙烯基二元胺共聚物，可以有效提高清洗效果，或有效降低Al、Ti、VOX、PI、Ni、SiO2和SiN腐蚀速率。
综上所述，根据表3，本发明提供的氧化钒缓蚀含氟剥离液与对比例1-19中的剥离液相比，对多种材料的腐蚀性低，并且对光阻残余物、硬化交联光阻和聚合物具有较强的去除效果。

Claims (10)

1.一种氧化钒缓蚀含氟剥离液，其特征在于，所述氧化钒缓蚀含氟剥离液的原料包括下列质量分数的组分：0.05％-15％的氟化物、18％-40％的烷醇胺、0.5％-5％的缓蚀剂、0.5％-5％的络合剂、10％-20％的直链酰胺类有机溶剂、5％-15％的砜类和/或亚砜有机溶剂、5％-10％的醇醚类有机溶剂、5％-10％的烷酮类有机溶剂、0.05％-1.5％的PO-EO-乙烯基二元胺共聚物和余量的水，各组分质量分数之和为100％，所述的PO-EO-乙烯基二元胺共聚物为Tetronic 901、Tetronic 904和Tetronic 908中的一种或多种。
2.如权利要求1所述的氧化钒缓蚀含氟剥离液，其特征在于，
所述氟化物的质量分数为2.0％-10.00％；
和/或，所述络合剂的质量分数为0.80％-4.5％；
和/或，所述烷醇胺的质量分数为18.0％-35.0％；
和/或，所述PO-EO-乙烯基二元胺共聚物为0.56％-1.5％。
3.如权利要求2所述的氧化钒缓蚀含氟剥离液，其特征在于，
所述氟化物的质量分数为2.0％-6.0％；
和/或，所述络合剂的质量分数为1.10％-3.6％；
和/或，所述烷醇胺的质量分数为20.0％-29.0％；
和/或，所述PO-EO-乙烯基二元胺共聚物为0.73％-1.2％。
4.如权利要求3所述的氧化钒缓蚀含氟剥离液，其特征在于，
所述氟化物的质量分数为5.3％；
和/或，所述络合剂的质量分数为1.50％；
和/或，所述烷醇胺的质量分数为25.4％；
和/或，所述PO-EO-乙烯基二元胺共聚物为1.2％。
5.如权利要求1所述的氧化钒缓蚀含氟剥离液，其特征在于，
所述缓蚀剂的质量分数为1.2％-4.3％；
和/或，所述直链酰胺类有机溶剂的质量分数为13％-18％；
和/或，所述砜类和/或亚砜有机溶剂的质量分数为6.70％-15％；
和/或，所述醇醚类有机溶剂的质量分数为6.70％-9.6％；
和/或，所述烷酮类有机溶剂的质量分数为6.70％-10％。
6.如权利要求5所述的氧化钒缓蚀含氟剥离液，其特征在于，
所述缓蚀剂的质量分数为1.8％-3.5％；
和/或，所述直链酰胺类有机溶剂的质量分数为15％-18％；
和/或，所述砜类和/或亚砜有机溶剂的质量分数为7.50％-12.4％；
和/或，所述醇醚类有机溶剂的质量分数为7.50％-8.2％；
和/或，所述烷酮类有机溶剂的质量分数为7.50％-9.1％。
7.如权利要求6所述的氧化钒缓蚀含氟剥离液，其特征在于，
所述缓蚀剂的质量分数为2.2％；
和/或，所述直链酰胺类有机溶剂的质量分数为17.8％；
和/或，所述砜类和/或亚砜有机溶剂的质量分数为12.4％；
和/或，所述醇醚类有机溶剂的质量分数为7.8％；
和/或，所述烷酮类有机溶剂的质量分数为9.1％。
8.如权利要求1所述的氧化钒缓蚀含氟剥离液，其特征在于，
所述的氟化物选自氟化氢和氟化氢与碱形成的盐中的一种或多种；
和/或，所述的烷醇胺为氨基乙基乙醇胺、二甲基氨基乙醇、单乙醇胺、N-甲基乙醇胺、N-乙基乙醇胺、N-丙基乙醇胺、N-丁基乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、N-乙基二乙醇胺、异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺、N-甲基异丙醇胺、N-乙基异丙醇胺、N-丙基异丙醇胺、2-氨基丙烷-1-醇、N-甲基-2-氨基丙烷-1-醇、N-乙基-2-氨基丙烷-1-醇、1-氨基丙烷-3-醇、N-甲基-1-氨基丙烷-3-醇、N-乙基-1-氨基丙烷-3-醇、1-氨基丁烷-2-醇、N-甲基-1-氨基丁烷-2-醇、N-乙基-1-氨基丁烷-2-醇、2-氨基丁烷-1-醇、N-甲基-2-氨基丁烷-1-醇、N-乙基-2-氨基丁烷-1-醇、3-氨基丁烷-1-醇、N-甲基-3-氨基丁烷-1-醇、N-乙基-3-氨基丁烷-1-醇、1-氨基丁烷-4-醇、N-甲基-1-氨基丁烷-4-醇、N-乙基-1-氨基丁烷-4-醇、1-氨基-2-甲基丙烷-2-醇、2-氨基-2-甲基丙烷-1-醇、1-氨基戊烷-4-醇、2-氨基-4-甲基戊烷-1-醇、2-氨基己烷-1-醇、3-氨基庚烷-4-醇、1-氨基辛烷-2-醇、5-氨基辛烷-4-醇、1-氨基丙烷-2,3-二醇、2-氨基丙烷-1,3-二醇、三(羟甲基)氨基甲烷、1,2-二氨基丙烷-3-醇、1,3-二氨基丙烷-2-醇和2-(2-氨基乙氧基)乙醇中的一种或多种；
和/或，所述的缓蚀剂为1-硫代丙三醇、2-巯基丙酸、苯并三氮唑、邻苯二酚、没食子酸和连苯三酚中的一种或多种；
和/或，所述的络合剂为乙醇酸、丙二酸、柠檬酸、亚氨基二乙酸、氨三乙酸、乙二胺四乙酸、水杨酸、五甲基二乙烯三胺、氨基磺酸和磺基水杨酸中的一种或多种；
和/或，所述的直链酰胺类有机溶剂为N-甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-(2-羟基乙基)乙酰胺、N,N-二甲基丙酰胺、3-甲氧基-N,N-二甲基丙酰胺、3-(2-乙基己基氧基)-N,N-二甲基丙酰胺和3-丁氧基-N,N-二甲基丙酰胺中的一种或多种；
和/或，所述的砜类有机溶剂为甲基砜、环丁砜和二丙砜中的一种或多种；
和/或，所述的亚砜类有机溶剂为二甲基亚砜和甲乙基亚砜、二苯基亚砜、氯化亚砜和苄苯亚砜中的一种或多种；
和/或，所述的醇醚类有机溶剂为乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单异丙基醚、乙二醇单丁基醚、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇单异丙基醚、二乙二醇单丁基醚、三乙二醇单甲基醚、三乙二醇单乙基醚、三乙二醇单异丙基醚、三乙二醇单丁基醚、聚乙二醇、聚丙二醇、聚乙二醇单甲基醚、聚乙二醇单丁基醚、丙二醇单甲基醚、二丙二醇单甲基醚、三丙二醇单甲基醚、二丙二醇单甲基醚、二丙二醇单乙基醚、二丙二醇单丙基醚和二丙二醇单丁基醚中的一种或多种；
和/或，所述的烷酮类有机溶剂为咪唑烷酮类和/或吡咯烷酮类有机溶剂。
9.如权利要求8所述的氧化钒缓蚀含氟剥离液，其特征在于，
所述的氟化物为氟化氢铵、氟化铵、氟化氢、四甲基氟化铵、四乙基氟化铵、四丙基氟化铵、苄基三甲基氟化铵和氟化胆碱中的一种或多种；
和/或，所述的烷醇胺为单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、N-甲基二乙醇胺、1-氨基丁烷-2-醇、N-乙基异丙醇胺、1-氨基辛烷-2-醇和三(羟甲基)氨基甲烷中的一种或多种；
和/或，所述的络合剂为乙醇酸、丙二酸、柠檬酸、亚氨基二乙酸、五甲基二乙烯三胺、氨基磺酸和磺基水杨酸中的一种或多种；
和/或，所述的直链酰胺类有机溶剂为N-甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、N-甲基乙酰胺、3-(2-乙基己基氧基)-N,N-二甲基丙酰胺和3-丁氧基-N,N-二甲基丙酰胺中的一种或多种；
和/或，所述的醇醚类有机溶剂为乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单异丙基醚、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、丙二醇单甲基醚、三丙二醇单甲基醚和二丙二醇单丁基醚中的一种或多种；
和/或，所述的咪唑烷酮类有机溶剂为2-咪唑烷酮和/或1,3-二甲基-2-咪唑烷酮；
和/或，所述的吡咯烷酮类有机溶剂为N-乙基吡咯烷酮、N-甲基吡咯烷酮和N-环己基吡咯烷酮中的一种或多种。
10.如权利要求9所述的氧化钒缓蚀含氟剥离液，其特征在于，
所述的氟化物为氟化铵；
和/或，所述的烷醇胺为单乙醇胺；
和/或，所述的缓蚀剂为1-硫代丙三醇；
和/或，所述的络合剂为乙醇胺；
和/或，所述的直链酰胺类有机溶剂为N-甲基甲酰胺；
和/或，所述砜类和/或亚砜有机溶剂为环丁砜；
和/或，所述的醇醚类有机溶剂为乙二醇单甲基醚；
和/或，所述的烷酮类有机溶剂为2-咪唑烷酮；
和/或，所述的PO-EO-乙烯基二元胺共聚物为Tetronic908。
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