CN112845392A - 核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法 - Google Patents

核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法 Download PDF

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CN112845392A CN202110364548.4A CN202110364548A CN112845392A CN 112845392 A CN112845392 A CN 112845392A CN 202110364548 A CN202110364548 A CN 202110364548A CN 112845392 A CN112845392 A CN 112845392A
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汪倩
陈辉
王非森
艾思飞
文婷
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Abstract

本发明涉及核设施表面污染金属部件去污技术领域，公开了一种核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法，按照以下步骤进行：S1、将激光器对准待去污部件的污染区域，然后使用纳秒激光按照预设的扫描路径进行纳秒激光处理，除去待去污金属部件表面的放射性污染物；S2、将激光器对准纳秒激光处理过的区域，然后按照预设的扫描路径进行皮秒激光复合处理，以修复纳秒激光去污后形成的熔池坑表面，降低金属部件表面的粗糙度，使表面结构和性能得到优化。皮秒激光复合处理是指纳秒激光处理一定时间后在相同位置上进行皮秒激光处理，即纳秒激光在前，皮秒激光在后，两个步骤协同作用。

Description

核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法
技术领域
本发明涉及核设施表面污染金属部件去污技术领域，特别是涉及一种核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法。
背景技术
核电站反应堆内金属零部件在运行的过程中，放射性污染物沉积在其表面，金属表面的放射性物质主要是指含有60Co，137Cs，132Sb，95Nb这些放射性核素的氧化物和腐蚀产物，不是放射线照射零部件本身产生的放射性物质。而是反应堆在运行过程中，燃料组件中释放的裂变产物、一回路冷却水中的杂质受中子照射活化形成的活化产物、结构材料腐蚀产物的活化产物等随着冷却水的循环日积月累的沉积在金属部件(管道、阀门和水泵)的表面。需要定期进行简易的表面去污，去除金属表面的放射性核素使其达到解控水平，有利于工作人员在保证安全的条件下对核设施进行在役检查、定期试验、预防性维修，并保障核电站的运行安全。
目前通常采用的放射性去污方法为机械物理法和化学法，前者包括机械擦拭、高压水冲洗等，后者主要以强酸、强碱溶液溶解表层氧化污染物。现有的机械物理法和化学法都是针对表面松散的污染物，如风管表面的污染物，较易去除，去污效率可达95％以上。针对沉积渗透到氧化层和腐蚀层中的污染物，这两种方法去污效率差，仅为30％～50％。且均易产生大量放射性废液，二次废物量大，可能存在放射性废物残留；同时，多为人工近距离操作，威胁操作人员健康。激光去污作为新兴表面去污的技术，无污染物沉积、二次废物产生量少、易于实现自动化，在放射性金属表面去污领域具有广阔的应用前景。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：现有的放射性去污方法对沉积渗透到氧化层和腐蚀层中的污染物去除效果差，且会造成大量二次废物。
为了解决上述技术问题，本发明提供了一种核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法，按照以下步骤进行：
S1、将激光器对准待去污部件的污染区域，然后使用纳秒激光按照预设的扫描路径进行纳秒激光处理，除去待去污金属部件表面的放射性污染物；
S2、将激光器对准纳秒激光处理完成的区域，然后按照预设的扫描路径进行皮秒激光复合处理，以修复纳秒激光去污后形成的熔池坑表面，降低金属部件表面的粗糙度，使表面结构和性能得到优化。皮秒激光复合处理是指纳秒激光处理一定时间后在相同位置上进行皮秒激光处理，即纳秒激光在前，皮秒激光在后，两个步骤协同作用。
优选的，所述纳秒激光的激光器为Nd：YAG脉冲激光器，波长1064nm，光斑直径200μm，焦距为148mm；所述皮秒激光的激光器为Nd：YAG脉冲激光器，波长1064nm，光斑直径50μm，焦距为148mm。
优选的，所述预设的扫描路径是“S”型扫描、单向扫描、“回”字形扫描中的至少一种或者两种的组合，扫描搭接率40％～80％，脉冲搭接率30％～80％，所述纳秒激光处里和所述皮秒激光复合处理的扫描搭接率和脉冲搭接率均可为上述值，纳秒激光的扫描宽度为10～100mm，皮秒激光的扫描宽度为10～100mm。扫描搭接率为光斑在扫描方向的重叠率；脉冲搭接率为光斑在脉冲方向的重叠率。
优选的，所述纳秒激光的能量密度为22.7～31.8J/cm2，纳秒激光去污后在金属表面形成多个熔池坑叠加的激光加工区域，所述每个熔池坑的直径为130～180μm，深度为0.52～0.68μm；所述皮秒激光的能量密度为2.54～3.05J/cm2，皮秒激光处理后金属表面的熔池坑消失，形成平滑的表面，粗糙度降低，并形成明显的奥氏体和δ－Fe区。
优选的，所述纳秒激光的脉冲宽度为50～160ns，扫描速度为4000～6000mm/s，脉冲频率50～100kHz，相邻扫描线之间的间隔为0.08～0.1mm。
优选的，所述皮秒激光的脉冲宽度为150ps～5ns，扫描速度为5000～6000mm/s，脉冲频率500～600kHz，相邻扫描线之间的间隔为0.01～0.02mm，皮秒激光的去污厚度为1～3μm。
优选的，所述激光器上设有激光头，所述激光头内设有扫描振镜系统，所述激光头设于密封箱上且朝向密封箱内的待去污金属部件，所述密封箱上设有镜片窗口，即激光头设于密封箱的镜片窗口外侧，以免去污过程中产生的放射性气溶胶污染激光头。激光头发出的激光束穿过镜片窗口到达待去污金属部件需要去污的区域；所述密封箱的一端设有进气口，所述进气口连接直流风机，所述通过调节直流风机进入所述进气口的风量控制密封箱内的压力；所述密封箱上连接有真空泵，所述真空泵用于调节密封箱内的气压，使密封箱内的气压小于大气压，防止激光去污过程中产生的放射性污染微粒泄露到环境中。
所述密封箱远离所述进气口的另一端设有吸尘回收装置，所述吸尘回收装置是一高效过滤器，所述高效过滤器内设有滤芯，所述滤芯上设有过滤孔，高效过滤器主要是由外部金属框架和内部超细聚丙烯纤维滤芯组成，用于过滤、收集放射性微粒。扫描振镜系统是集成在激光头里面的一个元器件，通过扫描振镜系统的X、Y轴镜片的旋转、摆动使光束实现二维的扫描，扫描振镜系统的主要功能是控制激光输出频率以及激光扫描线的宽度和方向。
当气溶胶粒子运动到滤芯处时，过滤器中的纤维滤芯形成无数道屏障，放射性微粒与滤芯碰撞，将气溶胶微粒、悬浮物等粘附到纤维滤芯上，粒径大于滤芯过滤孔尺寸的放射性微粒沉积附着在滤芯上，而过滤之后的洁净空气则顺利的通过。高效过滤器通过内部的滤芯可以过滤掉高达99.9～99.99％的放射性气溶胶微粒。将待去污的金属部件作为去污对象放置于激光器的激光头正对的区域，调节激光器激光头的高度使去污对象的表面置于激光焦平面上，通过激光器的扫描振镜系统中X、Y轴镜片的旋转、摆动将激光束的光斑有序的作用于待去污部件上，从而去除其表面的放射性污染物。
与现有技术相比，本发明具有以下优点：
1、本发明的核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法，采用多脉宽复合的方法精准无损去污，首先在纳秒脉冲激光的情况下，质量去除主要是由热效应引起的，电子吸收激光能量在金属晶格中转化为热量，由此产生的热传导导致表面快速加热、熔化和汽化，纳秒脉宽的激光热穿透深度大，可以有效去除核设施表面的污染物，当激光能量密度足够大，在去除金属表面污染层、氧化层的同时会对金属基体产生一定影响，激光去污过后金属部件表面形成熔池坑，影响金属部件的性能，这时采用超高频率、超窄脉宽的皮秒激光对去纳秒激光污后的待去污金属部件表面进行一次激光修复，皮秒激光修复后的表面粗糙度显著降低，表面结构和性能得到优化；
2、本发明的核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法，工艺简单，达到90～99.9％的高去污效率，无污染物沉积、二次废物产生量少、易于实现自动化，为放射性金属表面去污提供新的方法；且采用多脉宽复合的加工的方法对核设施表面污染的金属部件进行激光去污，实现特定位置、特定区域以及去污深度(厚度)的精准去污，复合去污后金属表面组织为奥氏体和δ－Fe相，δ－Fe相其表面的耐腐蚀性增大，对去污后金属部件正常运行没有影响；本发明的核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法能够通过机械臂实现远程控制，减少工作人员暴露在辐射环境中，更加安全，在放射性金属表面去污领域具有广阔的应用前景。
附图说明
图1是本发明实施例1纳秒激光去污后不锈钢表面的SEM图。
图2为本发明实施例1皮秒激光处理后不锈钢表面的SEM图，图中，1、奥氏体区域；2、δ－Fe区。
图3为本发明实施例1的“S”型激光扫描路径示意图。
图4为本发明实施例1的激光光斑搭接率定义图，图中，a方向为扫描搭接方向，b方向为脉冲搭接方向。
图5为实施例1的金属部件在多脉宽复合激光去污前后金属表面的耐腐蚀性的极化曲线，图中，曲线3、激光去污前的耐腐蚀性极化曲线；曲线4、激光去污后的耐腐蚀性极化曲线。
图6为本发明实施例2的单相激光扫描路径示意图。
图7为本发明实施例4的“回”字形激光扫描路径示意图。
图8为本发明的密封箱与激光器的工作结构示意图。
图9为本发明的扫描振镜系统的示意图，图中右下角方框内为待去污金属部件上光斑轨迹的放大图。
图中，5、待去污金属部件；6、吸尘回收装置，实施例中为高效过滤器；7、气溶胶微粒；8、镜片窗口；9、真空泵；10、激光头；11、密封箱；12、进气口，进气口与直流风机连接；13、激光束；14、X轴镜片；15、Y轴镜片；16、激光源；17、聚焦透镜；18、光斑轨迹；箭头方向为进气口处的直流风机带动的空气流向。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明的保护范围。
以下实施例中所使用的纳秒激光和皮秒激光均为Nd：YAG脉冲激光器，其中，纳秒激光波长1064nm，光斑直径200μm，焦距为148mm；所述皮秒激光的激光器为Nd：YAG脉冲激光器，波长1064nm，光斑直径50μm，焦距为148mm。Nd：YAG脉冲激光器能够实现皮秒脉宽激光和纳秒脉宽激光的复合，即皮秒和纳秒的两束光路同时作业，通过在纳秒激光启动一定时间后皮秒激光也启动，一定时间是指0.0025～0.025s的时间间隔，纳秒激光在前皮秒激光在后，协同作用。纳秒激光和皮秒激光的扫描宽度均为10～100mm，即纳秒皮秒激光扫描的区域大小是一样的。
如附图8所示，所述激光器上设有激光头，所述激光头内设有扫描振镜系统，所述激光头设于密封箱上方的镜片窗口外侧，且向下朝向密封箱内的待去污金属部件；所述密封箱的左端设有进气口，所述进气口连接直流风机；所述密封箱上连接有用于调节密封箱内的气压的真空泵；所述密封箱远离所述进气口的右端设有吸尘回收装置，所述吸尘回收装置是一高效过滤器，所述高效过滤器内设有滤芯，所述滤芯上设有过滤孔，真空泵设于吸尘回收装置的下方。
当然，所述镜片窗口也可以设置于密封箱的侧壁，相对应的待去污金属部件设于与镜片窗口相对的侧面，以便镜片窗口外侧的激光头正对待去污金属部件需要去污的区域。进气口和吸尘回收装置也可以根据具体情景调整其设置位置，便于吸尘回收即可。
扫描振镜系统中X、Y轴镜片分别与X、Y轴摆动电机相连，摆动电机通过通电线圈在磁场中产生的力矩作用而发生摆动，由于其转子通过机械纽簧加有复位力矩，且复位力矩的大小与转子偏离平衡位置的角度成正比，当线圈通以一定的电流而转子发生偏转到一定的角度时，电磁力矩与回复力矩大小相等，实现往复的摆动。
当激光器的激光源发射的激光依次经扫描振镜系统的Y轴镜片、X轴镜片偏转，然后经聚焦透镜照射到待去污金属部件上，对待去污金属部件分别进行纳秒激光和皮秒激光处理，在去污过程中形成光斑轨迹，也即熔池坑的轨迹。具体的，当X轴镜片绕X轴摆动电机摆动时，激光束的聚焦光斑在X轴方向上进行规则扫描，当Y轴镜片绕Y轴摆动电机摆动时，激光束的聚焦光斑在Y轴方向上进行规则扫描。
实施例1：本实施例提供一种核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法，包括以下步骤：
S1、本实施例选用不锈钢部件作为待去污的金属部件，如附图8所示，将激光器的激光头设于密封箱上方的镜片窗口外，以免去污过程中产生的放射性气溶胶污染激光头，激光束通过镜片窗口入射到待去污金属部件的待去污区域。
将待去污的不锈钢部件作为去污对象放置于激光器的激光头正对的区域，调节激光头的高度使不锈钢部件的表面置于激光焦平面上，使激光器对准不锈钢部件的污染区域，然后使用纳秒激光按照如图3和4所示的“S”型扫描路径进行纳秒激光处理，即通过激光器的扫描振镜系统中X、Y轴的摆动将激光光斑有序的作用于待去污部件上，去除不锈钢部件表面的放射性污染物，其中，纳秒激光的扫描搭接率62.5％，脉冲搭接率60％，所述纳秒激光的能量密度为25.48J/cm2，所述纳秒激光的脉冲宽度为50ns，扫描速度为6000mm/s，脉冲频率80kHz，相邻扫描线之间的间隔为0.08mm，扫描宽度为100mm。
如附图1所示，使用纳秒激光去污后，在不锈钢金属部件表面形成多个熔池坑叠加的激光加工区域，所述每个熔池坑的直径为130μm，深度为0.52μm。由于纳秒脉冲的情况下，质量去除主要是由热效应引起的，电子吸收纳秒激光的能量，在金属晶格中转化为热量，由此产生的热传导导致表面快速加热、熔化和汽化。
S2、将激光器对准纳秒激光处理过的区域，皮秒激光在纳秒激光开启0.017s后即开启进行去污，然后按照预设的扫描路径进行皮秒激光复合处理，皮秒激光的路径与纳秒激光的扫描路径一致，均呈“S”型，以修复纳秒激光去污后形成的熔池坑表面，降低金属部件表面的粗糙度，使表面结构和性能得到优化。所述皮秒激光的能量密度为2.548J/cm2，所述皮秒激光的脉冲宽度为150ps，纳秒激光的扫描搭接率80％，脉冲搭接率60％，扫描速度为6000mm/s，脉冲频率600kHz，相邻扫描线之间的间隔为0.02mm，扫描宽度为100mm，即皮秒激光与纳秒激光扫描处理的区域相同。皮秒激光处理后金属表面的熔池坑消失，形成平滑的表面，粗糙度降低，并形成明显的奥氏体和δ－Fe区。皮秒激光复合处理是指纳秒激光处理一定时间后在相同位置上进行皮秒激光处理，即纳秒激光在前，皮秒激光在后，两个步骤协同作用。
本实施例的核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法采用多脉宽复合激光对不锈钢金属部件进行去污，在使用纳秒激光和皮秒激光除去放射性污染物的过程中，通过密封箱内的吸尘回收装置对产生的放射性微粒进行回收，具体的，分别通过调节直流风机的风量和真空泵控制密封箱的压力，使密封箱内的气压小于大气压，当放射性的气溶胶粒子被直流风机带动运动到滤芯处时，放射性微粒与滤芯碰撞，粒径大于滤芯过滤孔尺寸的放射性微粒沉积附着在滤芯上，高效过滤器通过内部的滤芯可以过滤掉99.9％的放射性气溶胶微粒。
对本实施例的不锈钢金属部件去除放射性污染物前后的耐腐蚀性进行电化学测试，在不锈钢金属部件背面用铜胶固定铜导线并将其引出，然后用有机硅密封胶将除去污表面以外的区域全部固封，最后将电极试样放入乙醇溶液中用超声波清洗15min，并烘干。
本实施例中所述电化学动电位极化曲线采用CS电化学工作站测量，采用三电极体系，待测对象电极为工作电极，辅助电极为铂片电极，参比电极为饱和甘汞电极，电解质为3.5％NaCl溶液，溶液由分析纯级的NaCl和蒸馏水配制成。以动电位扫描法测定试样的极化曲线，测定的电位范围是－0.5～0.5V，扫描速率为0.5mV/s，频率为5Hz，实验在室温下进行。
图5为本实施例以动电位扫描法测定不锈钢金属部件激光去污前后表面的极化曲线，采用Tafel拟合方法，得到表1的数据。
表1、不锈钢金属部件激光去污前后表面的极化曲线
Figure BDA0003005767290000091
自腐蚀电位反映材料发生腐蚀的难易程度，自腐蚀电位越高，材料越不易腐蚀，自腐蚀电位越低，材料越容易发生腐蚀。不锈钢金属部件表面的自腐蚀电位从激光去污前的－0.23V增大到激光去污后－0.13V，这说明激光去污后的不锈钢金属部件表面相对于激光去污前腐蚀倾向减小，不锈钢金属部件表面的耐腐蚀性提高。
腐蚀电流密度反映金属发生腐蚀的快慢程度，腐蚀电流密度越大，金属发生腐蚀的速度就越大，腐蚀电流密度越小，金属发生腐蚀的速度就越小。激光去污前的金属的腐蚀电流密度为2.27×10－7A/cm2，激光去污后金属的腐蚀电流密度大大减小，仅为3.58×10－9A/cm2，从塔菲尔拟合腐蚀速度结果可以看出，激光去污前后金属表面的腐蚀速度分别为1.79×10－3mm/a和2.83×10－5mm/a，去污后金属表面的腐蚀速度减小，耐腐蚀性能提高。
实施例2：本例与实施例1基本相同，区别在于：
本实施例中纳秒激光去除表面的放射性污染物的参数为：脉冲宽度为60ns，扫描速度为4000mm/s，脉冲频率50kHz，相邻扫描线之间的间隔为0.08mm，扫描搭接率60％，脉冲搭接率60％，纳秒激光的能量密度为31.85J/cm2。
本实施例中皮秒激光处理的参数为：皮秒激光在纳秒激光开启0.020s后即开启进行去污，扫描速度为6000mm/s，脉冲频率600kHz，相邻扫描线之间的间隔为0.02mm，扫描搭接率60％，脉冲搭接率80％，皮秒激光的能量密度为2.54J/cm2。
如附图6所示，本实施例的纳秒激光和皮秒激光的扫描路径均为单向扫描，扫描宽度均为80mm，即纳秒激光的扫描宽度和皮秒激光的扫描宽度一致。本实施列中激光去污效率为99％，去污后表面的腐蚀速度降低。
实施例3：本例与实施例1基本相同，区别在于：
本实施例中是对碳钢表面的放射性污染物进行多脉宽复合激光去污，放射性污染物主要集中在碳钢表面的锈蚀层，因此，激光能量作用在待去污对象表面，去除表面的锈蚀层就可达到解控的目的。
本实施例中纳秒激光去除碳钢表面的放射性污染物的参数为：脉冲宽度60ns，扫描速度为5000mm/s，脉冲频率50kHz，相邻扫描线之间的间隔为0.1mm，扫描搭接率50％，脉冲搭接率50％，纳秒激光的能量密度为31.85J/cm2，扫描宽度90mm。
本实施例中皮秒激光处理的参数为：皮秒激光在纳秒激光开启0.018s后即开启进行去污，脉冲宽度1ns，扫描速度为5000mm/s，脉冲频率500kHz，相邻扫描线之间的间隔为0.02mm，扫描搭接率80％，脉冲搭接率60％，皮秒激光的能量密度为3.06J/cm2，扫描宽度90mm。本实施列中激光去污效率为95％，去污表面的腐蚀速度降低。
实施例4：本实施例与实施例1基本相同，区别在于：本实施例对碳钢表面的污染物进行多脉宽复合激光去污，放射性污染物主要集中在碳钢表面的漆层，因此，激光能量作用在待去污对象表面，去除表面的漆层就可达到解控的目的。
本实施例中纳秒激光去除碳钢表面的放射性污染物的参数为：脉冲宽度70ns，脉冲频率60kHz，相邻扫描线之间的间隔为0.1mm，扫描搭接率50％，脉冲搭接率50％，纳秒激光能量密度26.54J/cm2。
本实施例中皮秒激光处理的参数为：皮秒激光在纳秒激光开启0.008s后即开启进行去污，脉冲宽度1ns，相邻扫描线之间的间隔为0.01mm，脉冲搭接率80％，皮秒激光的能量密度为2.548J/cm2。
本实施例中激光扫描路径为“回”字形扫描，如图7所示，纳秒激光和皮秒激光的扫描宽度均为50mm。本实施列中激光去污效率为90％，碳钢去污表面的腐蚀速度降低。
实施例5：本实施例与实施例1基本相同，区别在于：本实施例是对铝合金表面的污染物进行多脉宽复合激光去污，放射性污染物主要集中在铝合金的氧化层和漆层，因此，激光能量作用在待去污对象表面，去除表面的氧化层和漆层就可达到解控的目的。
本实施例中纳秒激光去除表面的放射性污染物的参数为：脉冲频率100kHz，扫描搭接率70％，纳秒激光的能量密度为22.7J/cm2。
本实施例中皮秒激光处理的参数为：皮秒激光在纳秒激光开启0.017s后即开启进行去污，脉冲频率500kHz，扫描搭接率76％，皮秒激光的能量密度为3.06J/cm2。本实施列中铝合金表面的激光去污效率为98％，去污表面的腐蚀速度降低。
从实施例1至5可以看出，采用本发明的核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法能够有效除去氧化层和腐蚀层的放射性污染物，去除率达到了90～99.9％，相比现有的对于氧化层和腐蚀层放射污染物的去污率，去污率效果明显提高，无污染物沉积、二次废物产生量少、易于实现自动化。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法，其特征在于，按照以下步骤进行：
S1、将激光器对准待去污部件的污染区域，然后使用纳秒激光按照预设的扫描路径进行纳秒激光处理；
S2、将激光器对准纳秒激光处理完成的区域，然后按照预设的扫描路径纳秒激光处理一定时间后在相同位置上进行皮秒激光复合处理。
2.根据权利要求1所述的核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法，其特征在于：所述纳秒激光的激光器为Nd：YAG脉冲激光器，波长1064nm，光斑直径200μm，焦距为148mm；所述皮秒激光的激光器为Nd：YAG脉冲激光器，波长1064nm，光斑直径50μm，焦距为148mm。
3.根据权利要求1所述的核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法，其特征在于：所述预设的扫描路径是“S”型扫描、单向扫描、“回”字形扫描路径中的至少一种或者两种的组合。
4.根据权利要求1所述的核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法，其特征在于：所述纳秒激光处理和所述皮秒激光复合处理的扫描搭接率和脉冲搭接率均可为扫描搭接率40％～80％，脉冲搭接率30％～80％。
5.根据权利要求1或2或4所述的核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法，其特征在于：所述纳秒激光的能量密度为22.7～31.8J/cm2，所述皮秒激光的能量密度为2.54～3.05J/cm2。
6.根据权利要求1所述的核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法，其特征在于：所述纳秒激光的扫描宽度为10～100mm，所述皮秒激光的扫描宽度为10～100mm。
7.根据权利要求1所述的核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法，其特征在于：所述纳秒激光去污后在金属部件表面形成多个熔池坑叠加的激光加工区域，所述每个熔池坑的直径为130～180μm，深度为0.52～0.68μm。
8.根据权利要求1或2或4所述的核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法，其特征在于：所述纳秒激光的脉冲宽度为50～160ns，扫描速度为4000～6000mm/s，脉冲频率50～100kHz，相邻扫描线之间的间隔为0.08～0.1mm。
9.根据权利要求1或2或4所述的核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法，其特征在于：所述皮秒激光的脉冲宽度为150ps～5ns，扫描速度为5000～6000mm/s，脉冲频率500～600kHz，相邻扫描线之间的间隔为0.01～0.02mm。
10.根据权利要求1所述的核设施表面污染金属部件精准无损激光去污方法，其特征在于：所述激光器上设有激光头，所述激光头设于密封箱上且朝向密封箱内的待去污金属部件，所述密封箱上设有镜片窗口，所述密封箱的一端设有进气口，所述进气口连接直流风机，所述密封箱上连接有真空泵，所述密封箱远离所述进气口的另一端设有吸尘回收装置，所述吸尘回收装置是一高效过滤器。
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