CN115446037B - 一种真空炉内附着物快速处理方法及处理系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种真空炉内附着物快速处理方法及处理系统，本方法采用皮秒复合激光脉冲以高频复合脉冲叠加增加受辐照激光的吸收率，以瞬间高能反射，功率放大达到处理表面污染物的目的，实现了高效、无污染处理，且效率高，劳动强度低。
Description
技术领域
本发明涉及一种真空炉内附着物快速处理方法及处理系统。
本发明适用于如对杂质含量要求严格的高温合金、钛合金及高纯金属材料表面轻微氧化层和沾染的污物的清理作业。
背景技术
真空炉是在接近真空状态下通过电热元件加热的工业炉，真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用导管与高真空泵系统联接。炉膛真空度可达133×(10～10)Pa。炉内加热系统可直接用电阻炉丝(如钨丝)通电加热，也可用高、中频感应加热。最高温度可达3000℃左右。主要用于陶瓷烧成、真空冶炼、电真空零件除气、退火、金属件的钎焊，以及陶瓷-金属封接等。
真空炉主要功能包括：
真空淬火(回火、退火)就是通过把材料或零件在真空状态下按工艺规程加热、冷却来达到预期性能的一种处理方法。
真空钎焊即在真空状态下，把一组焊接件加热到填充金属熔点温度以上，但低于基体金属熔点温度，借助于填充金属对基体金属的湿润和流动形成焊缝的一种焊接工艺(钎焊温度因材料不同而异)。
真空烧结即在真空状态下，把金属粉末制品加热，使相邻金属粉末晶粒通过粘着和扩散作用而烧结成零件的一种方法。
真空加磁主要适用于金属材料加磁处理。
真空炉在制备高纯材料(如高温合金GH4169、DZ4125，钛合金TC4、TA2、高纯金属等等)及焊接等加工时，为了避免前期残留物质对后期加工造成的污染，需对真空炉内腔进行清洗。目前，常规方式是采用人工加化学清洁剂方法，根据残留物质加入特定的化学清洁剂，使残留物溶于化学清洁剂，达到清洗目的。此方法能够有效对前期残留物质进行处理清洗，但因此产生的废水含有化学物质，需经处理后才能排放，否则将会造成废水污染，增加企业成本；再者，采用人工加化学清洗剂方式工作效率低，劳动强度大；且化学清洁不当影响炉内真空度，对制备材料产生相当大的影响。
发明内容
本发明在此的目的在于提供一种具有高效、无污染的真空炉内附着物快速处理方法，该方法用于对真空炉在制备高纯材料等生产过程中产生的，附着于真空炉内的附着物进行去除，所述附着物包括碱金属元素和氧化物，包括以下步骤：
步骤一：确定待处理表面上所附附着物的类型；
步骤二：根据所述步骤一确定的附着物类型设定皮秒复合激光脉冲的波长、摆动频率及重复频率，使皮秒复合激光脉冲的摆动频率等于待处理表面上附着物的固有频率，或者使皮秒复合激光脉冲的摆动频率fI与待处理表面上附着物的固有频率fN满足以下关系：
步骤三：根据所设定的波长、摆动频率及重复频率产生皮秒复合激光脉冲作用于待处理表面，使待处理表面上的附着物在皮秒复合激光脉冲的作用下发生振荡脱落，达到快速处理目的。
在一些实施方式中，该方法在进行步骤三的同时向所述真空炉内形成用于将经皮秒复合激光脉冲处理从待处理表面脱落的附着物进行吸附并排出的吸附力。
在一些实施方式中，所述皮秒复合激光脉冲作用于待处理表面为线性扫描方式。
本发明在此的第二目的在于提供一种用于本发明提供的真空炉内附着物快速处理方法的处理系统，该系统包括：
激光器，用于产生皮秒复合激光脉冲；
激光头，与所述激光器输出连接，将所述激光器产生的皮秒复合激光脉冲进行集束后发射出去形成激光束；
除杂组件，用于将经皮秒复合激光脉冲处理从待处理表面脱落的污染物排出；包括导管和用于产生吸附力并与所述导管连通的泵体；
所述激光头和所述导管的A端用于配置于真空炉腔体内，使皮秒复合激光脉冲能够作用于待处理表面，且向真空炉内形成用于将经皮秒复合激光脉冲处理从待处理表面脱落的污染物进行吸附并排出的吸附力。
在一些实施方式中，本发明提供的系统还包括被装配于真空炉内腔腔壁上的可伸缩支架，所述可伸缩支架提供所述激光头和所述导管A端的装配支撑。
在一些实施方式中，所述可伸缩支架上装配有能够360°旋转的万向座，所述万向座为所述激光头和/或所述导管A端的装配支撑座，用于所述激光头和/或所述导管A端的装配。
在一些实施方式中，本发明提供的系统还包括对所述激光头和所述导管A端进行防污的防污组件。
本发明的三个目的在于提供一种高温合金材料表面去除氧化物及污垢的方法，该方法包括以下步骤：
步骤一：确定待处理高温合金材料表面所附着的氧化物及污垢的类型；
步骤二：根据所述步骤一确定的氧化物及污垢的类型设定皮秒复合激光脉冲的波长、摆动频率及重复频率，使皮秒复合激光脉冲的摆动频率等于氧化物及污垢的固有频率，或者使皮秒复合激光脉冲的摆动频率fI与氧化物及污垢的类型的固有频率fNI满足以下关系：
步骤三：根据所设定的波长、摆动频率及重复频率产生皮秒复合激光脉冲作用于待处理高温合金材料表面，使待处理高温合金材料表面上的氧化物及污垢在皮秒复合激光脉冲的作用下发生振荡脱落，达到快速处理目的。
在一些实施方式中，该方法在进行步骤三的同时向待处理高温合金材料所在处提供用于将经皮秒复合激光脉冲处理从待处理高温合金材料表面脱落的氧化物及污垢进行吹离或吸附待处理高温合金材料表面的分离力或吸附力。
采用本发明的技术方案，可以达到的有益效果至少包括：
1)本方法采用皮秒复合激光脉冲以高频复合脉冲叠加增加受辐照激光的吸收率，以瞬间高能反射，功率放大达到处理表面污染物的目的，实现了高效、无污染处理，且效率高，劳动强度低。
2)本方法通过吸附力将被处理下来的污染物进行吸附，能够有效进行排出，避免了二次污染，且无需人工二次清洗以将被处理下来的污染物进行排出，更进一步地提高了清洗效率。
3)本系统实现了皮秒复合激光脉冲清洗，实现了高效、无污染处理，且效率高，劳动强度低；且除杂组件避免了二次污染，且无需人工二次清洗以将被处理下来的污染物进行排出，更进一步地提高了清洗效率。
4)本系统配置可伸缩支架及万向盘实现了激光束射出角度可调，同时焦距固定，满足对不同角度的待处理表面进行处理。
5)本系统防污组件的配置，避免了激光头、导管被污染，提高了防污性能。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
图1为利用本发明记载的方法对待处理表面进行处理与未进行处理的效果对比图。
具体实施方式
现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得发明将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。
真空炉内部污染物对高质高纯材料的制备及焊接、热处理等热加工时对工件的影响极大。在制备高纯材料(高温合金GH4169、DZ4125、钛合金TC4、TA2、高纯金属等等)及焊接等加工时，为了消除前期残留的各类挥发物、碱金属物质及氧化物等，在用真空炉进行后期产品加工制备时，对真空炉内的清洁都采用人工加化学清洁剂方法，往往造成废水污染且工作效率低、劳动强度大。
本公开中，所描述的前期是制备前一种高纯材料，后期是指制备与前一种高纯材料不一样的高纯材料。
为此，本发明提出了一种用于对真空炉在制备高纯材料过程中产生的附着于真空炉内表面的碱金属元素、氧化物等附着物进行有效去除的方法，该方法利用皮秒复合激光脉冲(具有皮秒级超短脉宽、输出功率可调、摆动频率可调、重复频率可调、脉冲能量高等特点)作用于待处理表面使附着于待处理表面上的污染物脱落实现表面附着物快速处理。
根据傅里叶变化原理，皮秒激光脉冲能兼具高光谱纯度和窄脉冲宽度特性，这种由高光谱纯度和窄脉宽决定的高功率谱密度和高峰值功率特性是飞秒和纳秒脉冲所不具备的独有优势。增益开关半导体激光器、短腔调Q激光器、锁模固体激光器、固体激光器、光纤激光器和被动锁模光纤激光器都可以产生皮秒脉冲。
利用激光器产生与待处理表面上所附着的污染物的波长相同波长的皮秒复合激光脉冲作用于待处理表面，使附着物产生振荡，附着物从待处理表面脱落，达到清洗的目的。
本公开中，皮秒复合激光脉冲以高频复合脉冲叠加增加受辐照激光的吸收率，以瞬间高能反射，功率放大达到处理表面附着物的目的。皮秒复合激光脉冲以定点方式作用于待处理表面，但为了实现对待处理表面的充分去污处理，本公开采用线性扫描方式作用于待处理表面，激光矩型光斑以水平方式移动实现线性扫描。
本公开的真空炉内附着物快速处理方法包括以下步骤：
步骤一：确定待处理表面上所附碱金属元素氧化物等附着物的类型；
步骤二：根据步骤一确定的碱金属元素氧化物等附着物类型设定皮秒复合激光脉冲的波长、摆动频率及重复频率，使皮秒复合激光脉冲的摆动频率等于待处理表面上所附碱金属元素氧化物等附着物的固有频率，或者使皮秒复合激光脉冲的摆动频率fI与待处理表面上所附碱金属元素氧化物等附着物的固有频率fN满足以下关系：N为小于等于10的整数，如取值1-4，以保证摆动频率能够使附着物发生振荡而脱落，避免因过大而导致无法实现共振，达不到附着物处理目的。
步骤三：根据所设定的波长、摆动频率及重复频率产生皮秒复合激光脉冲作用于待处理表面，使待处理表面上的碱金属元素氧化物等附着物在皮秒复合激光脉冲的作用下发生振荡脱落，达到快速处理目的。
皮秒复合激光脉冲参数根据待处理表面所附附着物的类型设定，参数可以参见如此处所记载的，激光波长采用193nm-10600nm远红外之间,激光脉宽为5～200ns,重复频率(打击频率)为100kHz至1000kHz,激光输出功率最大为5000W,脉冲激光的扫描速度0.5cm/s～20cm/s,激光束机械臂线性扫描。
本公开应用于真空炉时，将皮秒复合激光脉冲参数设定为最大功率5000W，波长1070±20nm，摆动频率150Hz，该摆动频率是产生光脉冲振荡，频率与附着物固有频率接近；扫描速度0.8cm/s。参数设定好后，皮秒复合激光脉冲作用于真空炉内壁上，或者作用于真空炉内的加料器、测温系统的表面上，使附着于真空炉内壁上或加料器、测温系统的表面上的污染物振荡脱落，达到去污处理效果。图1示出了利用本发明记载的方法处理后(右边)与未进行处理(左边)的效果对比图，由图中示出可见，经本方法处理后有效地将附着污物进行了清除。
经扫描电镜分别对未处理前的真空炉和经本公开的方法进行处理后进行识别分析，扫描电镜上的能谱分析得到的结果分别如表1、2所示。
表1未处理时，表面所附元素
表2处理后，表面所附元素
| 元素 | wt％ | wt％Sigma |
| C | 44.56 | 2.90 |
| O | 16.88 | 2.14 |
| Cr | 8.27 | 1.01 |
| Fe | 25.79 | 1.98 |
| Ni | 4.50 | 1.20 |
| 总量: | 100.00 |
由表1、表2所示，经本方法处理后，Mg、Al、Si、B、Ca等碱金属元素随着附着物被有效清除。
本公开方法在用皮秒复合激光脉冲作用于待处理表面同时或延迟一定时间(10s、20s或5s等)向真空炉内形成用于将经皮秒复合激光脉冲处理从待处理表面脱落的污染物进行吸附并排出的吸附力。该吸附力可以通过负压泵或离子泵等泵体产生，或者通过负压泵和离子泵一起产生；通过导管连通，在吸附力的作用下，经从待处理表面脱落的污染物被吸入导管，有效地排出了真空炉腔体内，避免了二次污染。
本公开的方法，通过调整皮秒复合激光脉冲参数，可以实现仅就对吸附着于待处理表面上的易挥发附着物进行处理，对真空炉本体不造成损伤，避免了因使用化学剂对真空炉造成损伤的情况；再配合形成的吸附力，有效地避免了二次污染，附着物清除率达99.99％。本公开还包括除碳工艺，该工艺是指附着物表面碳经二次激光烧灼去除，除碳工艺可以是在皮秒复合激光脉冲处理之后，也可以在之前。
本公开还包括了一种处理系统，该系统用于产生皮秒符合激光脉冲并将产生的脉冲作用于待处理表面，该系统包括用于产生皮秒复合激光脉冲的激光器，与激光器输出连接，将激光器产生的皮秒复合激光脉冲进行集束后发射出去形成激光束作用于待处理表面的激光头，以及用于将经皮秒复合激光脉冲处理从待处理表面脱落的污染物排出的除杂组件。其中，除杂组件包括导管和用于产生吸附力的泵体，导管的B端与泵体连通，实现泵体与导管的连通。
本系统中，激光头和导管的A端用于需要对真空炉内进行表面附着物处理时配置于真空炉腔体内；或者激光头和导管的A端直接被装配于真空炉腔体内，此状态是指激光头和导管的A端一直被装配于真空炉的腔体内，无论真空炉是否需要清除附着污染物。两种方式均能使皮秒复合激光脉冲能够作用于待处理表面，且向真空炉内形成用于将经皮秒复合激光脉冲处理从待处理表面脱落的污染物进行吸附并排出的吸附力。
激光头通过光纤与激光器输出连接，为便于激光头和导管的A端能够置于真空炉腔体内以使皮秒复合激光秒冲能够有效地作用于待处理表面，且在真空炉腔体内形成有效吸附力。本公开的系统的还包括用于提供激光头、导管的A端的装配支撑点的可伸缩支架，将激光头、导管的A端装配在一个可伸缩支架上，再将可伸缩支架置于真空炉腔体内。可伸缩支架可以在真空炉需要被处理时置于真空炉腔体内，真空炉腔体内配置用于可伸缩支架装配的卡槽，可伸缩支架的一端能够卡入卡槽内；调整可伸缩支架收缩、伸展状态调整至合适位置以使激光脉冲能够有效地作用于待处理表面，达到定焦，如使激光自激光头射出点接触炉壁污物层的距离为10-50cm。
为保护连接激光头和激光器的光纤，在此，光纤外周外覆有防护甲。
也可以是，本公开的可伸缩支架直接被固定装配于真空炉腔体内，待需要处理时，再将激光头和导管的A端装配于可伸缩支架上；或者激光头和导管的A端直接被固定装配于可伸缩支架上，待使用时无需再进行激光头和导管的A端装配，更好地降低了劳动强度，且提高了清除效率。
本公开中，可伸缩支架可以通过焊接方式固定装配于真空炉腔体的内壁上，也可以是在真空炉腔体的内壁上装配一装配座，通过螺钉、螺母方式将可伸缩支架的一端装配于装配座上，螺钉、螺母配合实现了可伸缩支架的旋转角度调整，既实现了沿直线方向调整，也实现了圆周方向的调整，满足不同清除要求。
其中，装配座为U型，相对的两侧板上分别开设有螺纹孔，可伸缩支架的一端上开设有通孔，并插装入两侧板之间，使通孔与螺纹孔相对，螺钉插穿过螺纹孔和通孔后经螺母锁紧完成装配。
激光头可以通过铆钉、螺钉等方式直接装配于可伸缩支架上，通过可伸缩支架调整激光束射出方向；也可以通过能够360°旋转的万向座装配于可伸缩支架上。
导管的A端通过捆绑、卡扣等方式直接装配于可伸缩支架上，或者通过能够360°旋转的万向座装配于可伸缩支架上。
为防止激光头被污染，本公开的系统还包括第一防污组件，该第一防污组件包括能够使激光头射出的激光束射出的第一空腔结构、第一防护罩和第一硬质外壳。其中，第一空腔结构由激光低损耗材料包裹而成，第一防护罩装配于第一空腔结构外周，第一防护罩为透明材料，以保证激光头射出的激光束能够射出；或者第一防护罩过盈插装于第一空腔结构外周，当需要处理时，第一防护罩可以被拔离第一空腔结构，使激光头射出的激光束能够作用于待处理表面；或者第一防护罩通过转轴装配于第一空腔结构外周，通过翻转使激光头射出的激光束能够作用于待处理表面。
第一防污组件在激光头被置于真空炉内时被直接装配于激光头前端；或者第一防污组件在激光头被置于真空炉内时直接装配于真空炉的内腔壁上，激光头也装配于真空炉的内壁上并被第一防污组件罩住；还可以是，第一防污组件在激光头被置于真空炉内时第一防污组件装配于可伸缩支架上，激光头装配于可伸缩支架上并被第一防污组件罩住。
第一防污组件中的第一空腔结构具有进一步的集束作用第一防护罩能够将第一空腔结构密封，防污效果更好，且能够对第一空腔结构实现防护作用，使第一空腔结构不易被损坏。
本公开中，第一空腔结构、第一防护罩的材料对激光能量无损耗(光导纤维),激光头发出的激光束透过密闭空腔和激光低损耗材料辐照到待清理炉壁表面；第一硬质壳体增强激光头炉内环境使用的可靠性；第一空腔结构、第一防护罩和第一硬质壳体的均为激光波段材料。
为防止导管的A端(被用于置于待处理制备设备内腔)被污染，本公开的系统还包括第二防污组件，用于在需要将导管的A端置于真空炉内时对导管的A端进行防污作用。第二防污组件包括第二空腔结构和装配于第二空腔结构外周的第二防护罩，第二空腔结构在需要将导管的A端置于真空炉内时装配于真空炉的内腔腔壁上或可伸缩支架上，导管的A端装配于真空炉的内腔腔壁上或可伸缩支架上，并位于第二空腔结构内。第二防护罩过盈插装于第二空腔结构外周，当需要处理污染物时，第二防护罩可以被拔离空腔结构，使真空炉的腔体内形成有效的吸附力；或者第二防护罩通过转轴装配于第二空腔结构外周，通过翻转使待处理制备设备的腔体内形成有效的吸附力。
当然，本领域技术人员应当理解的是，除本公开所描述的，直接将激光头、导管的A端放置于待处理制备设备的腔体内也可；或者在待处理制备设备的腔体上开设装配孔，激光头、导管的A端装配于装配孔内也可。万向盘也可以直接与激光头、导管的A端装配在一起后，再装配于可伸缩支架上、待处理制备设备内腔壁上、或者通过固定支架装配于待处理制备设备内腔中。
本公开中，激光头和激光器之间用光纤连接传输能量，同时可以采用无线通讯方式连接用以远端调谐功率等，两者分别配置包括蓝牙模块、射频模块、wifi模块等，分别通过蓝牙信号、射频信号或局域网络等无线方式连接，降低了操作人员数量及根据不同工况调节设备参数的便捷性。
本公开的方法可以用于任何设备的内壁进行附着污染物快速处理，如用于真空炉内壁及真空炉内的加料器、测温系统表面的附着污染物快速处理。通过调整激光器产生不同波长、不同重复频率、不同输出功率等激光脉冲，以达到与待处理表面上所附着的污染物固有波长，实现去除。
本公开的系统配置360°转动的万向座及可伸缩支架，便于操作过程中的激光光斑的聚焦与扫描定位。
现有采用人工加化学清洁剂方法对真空炉内壁及加料器、测温系统表面进行清洁，工作效率低、劳动强度及职业危害大、会产生废水污染且清理后大量时间除湿处理。如何在真空炉内高效环保地去除表面污染物，对保障制备、加工产品的质量、降低生产成本、保护环境具有重要意义。采用本公开的方法对真空炉内壁及加料器、测温系统表面进行清洁处理，解决了高效、环保、以人为本地清除真空炉内部表面污染物的技术难题。
本公开中还涉及一种高温合金材料表面去除氧化物及污垢的方法，该方法利用皮秒复合激光脉冲作用于待处理高温合金材料表面，皮秒复合激光脉冲的摆动频率与待处理高温合金材料表面上的氧化物及污垢的固有频率同步，使待处理高温合金材料表面上的氧化物及污垢在皮秒复合激光脉冲的作用下发生振荡而脱落，达到快速去除氧化物及污垢的作用。
该方法包括以下步骤：
步骤一：确定待处理高温合金材料表面所附着的氧化物及污垢的类型；
步骤二：根据步骤一确定的氧化物及污垢的类型设定皮秒复合激光脉冲的波长、摆动频率及重复频率，使皮秒复合激光脉冲的摆动频率等于氧化物及污垢的固有频率，或者使皮秒复合激光脉冲的摆动频率fI与氧化物及污垢的类型的固有频率fNI满足以下关系：N为小于等于5的整数，以保证摆动频率能够使附着物发生振荡而脱落，避免因过大而导致无法实现共振，达不到附着物处理目的；
步骤三：根据所设定的波长、摆动频率及重复频率产生皮秒复合激光脉冲作用于待处理高温合金材料表面，使待处理高温合金材料表面上的氧化物及污垢在皮秒复合激光脉冲的作用下发生振荡脱落，达到快速处理目的。
为了能够使待处理高温合金材料表面上的氧化物及污垢能够快速分离待处理高温合金材料表面且不对待处理高温合金材料表面进行二次污染，本公开在用皮秒复合激光脉冲作用于待处理高温合金材料表面时向待处理高温合金材料所在处提供用于将经皮秒复合激光脉冲处理从待处理高温合金材料表面脱落的氧化物及污垢进行吹离待处理高温合金材料表面的分离力。该分离力为正向力，可以采用如风扇设备提供，也可采用的下吸排方式系统。
本公开中，氧化物可以是氧化钙、氧化硅、氧化铁、氧化铝氧化铬等；污垢：如加工切削油污(高分子碳化物)。碱金属元素附着物的固有频率可以在2-50KHz，易被脱落。
在此，作用于待处理高温合金材料表面上的皮秒复合激光脉冲同样与线性扫描方式对待处理高温合金材料表面进行作用以更好地去除氧化物及污垢。
本公开已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本公开的范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本公开的范围。相反，在不脱离本公开的精神和范围内所作的变动与润饰，均属本公开的专利保护范围。
Claims (5)
1.一种真空炉内附着物快速处理系统，其特征在于，该系统包括：
激光器，用于产生皮秒复合激光脉冲；
激光头，与所述激光器输出连接，将所述激光器产生的皮秒复合激光脉冲进行集束后发射出去形成激光束；
除杂组件，用于将经皮秒复合激光脉冲处理从待处理表面脱落的污染物排出；包括导管和用于产生吸附力并与所述导管连通的泵体；
所述激光头和所述导管的A端用于配置于真空炉腔体内，使皮秒复合激光脉冲能够作用于待处理表面，且向真空炉内形成用于将经皮秒复合激光脉冲处理从待处理表面脱落的污染物进行吸附并排出的吸附力；
防污组件，对所述激光头和所述导管A端进行防污，包括第一空腔结构、装配于所述第一空腔结构外周的第一防护罩、第二空腔结构以及装配于所述第二空腔结构外周的第二防护罩；所述激光头射出的激光经所述第一空腔结构集束后射出；
所述第二空腔结构用于所述导管的A端防污；
所述第一空腔和所述第一防护罩采用对激光能量无损耗材料制成；
该系统用于对真空炉在制备高纯材料过程中附着于真空炉内的碱金属元素附着物进行去除，根据碱金属元素附着物类型设定所述激光器所产生激光的波长、摆动频率及重复频率，产生摆动频率等于待处理表面上所附碱金属元素附着物的固有频率，或者使皮秒复合激光脉冲的摆动频率fI与待处理表面上所附碱金属元素附着物的固有频率率fN满足以下关系：的皮秒复合激光脉冲作用于待处理表面，使待处理表面上的碱金属元素附着物在皮秒复合激光脉冲的作用下发生振荡脱落，达到快速处理目的。
2.根据权利要求1所述的处理系统，其特征在于，还包括被装配于真空炉内腔腔壁上的可伸缩支架，所述可伸缩支架提供所述激光头和所述导管A端的装配支撑。
3.根据权利要求2所述的处理系统，其特征在于，所述可伸缩支架上装配有能够360°旋转的万向座，所述万向座为所述激光头和/或所述导管A端的装配支撑座，用于所述激光头和/或所述导管A端的装配。
4.根据权利要求1所述的处理系统，其特征在于，在所述皮秒复合激光脉冲作用于待处理表面的同时向所述真空炉内形成用于将经皮秒复合激光脉冲处理从待处理表面脱落的碱金属元素附着物进行吸附并排出的吸附力。
5.根据权利要求1所述的处理系统，其特征在于，所述皮秒复合激光脉冲作用于待处理表面为线性扫描方式。
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