CN114871574B - 一种微波辅助去除激光切割件表面毛刺的装置 - Google Patents

Abstract

本发明属于激光切割技术领域，并具体公开了一种微波辅助去除激光切割件表面毛刺的装置，其包括激光切割头，该激光切割头内部两侧分别设有切割载气腔和微波波导腔，其中：所述切割载气腔上部安装有聚焦镜，该聚焦镜用于产生激光束对工件进行切割；所述微波波导腔为弯曲的空腔，其上端连接有第一微波源；所述空腔的弯曲角度使其下端正对激光焦点，使微波源传输的微波向工件切割面发射。本发明在激光切割过程中馈入微波，可实时地、定向地去除切割过程中的产生的表面毛刺。

Description

一种微波辅助去除激光切割件表面毛刺的装置

技术领域

本发明属于激光切割技术领域，更具体地，涉及一种微波辅助去除激光切割件表面毛刺的装置。

背景技术

激光切割通过聚焦高能激光束，形成功率密度极大的焦点，并将焦点投射至被切割工件表面，使其被辐照部分快速被加热至汽化温度，再辅以切割气体将熔渣吹走，同时利用激光光束与工件之间相对移动，形成切缝，最终达到切割金属工件的目的。

在激光切割金属加工件的过程中，如果激光焦点位置发生上下偏移，或激光能量不足，或切割速度过慢，或切割气体纯度不够时，会导致金属汽化条件恶化，熔融的金属在切割气体冲刷下流动，在金属切割的表面留下金属毛刺，行业内称为“挂渣”。“挂渣”的出现降低了工件的表面精度，以及容易造成工人割伤。除了传统利用人工利用钢锉、砂轮等工具进行打磨去毛刺以外，专利CN 103056739B公开了一种自动化去毛刺设备，但该设备主要针对已切割完成后工件的毛刺处理，不能在切割过程中对毛刺进行实时处理。专利CN110549011B公开了一种在切割时对切割表面毛刺进行光滑处理的激光切割头，该专利通过激光头后部的打磨轮对切割后的金属表面进行打磨，但该方法只能对金属上表面的毛刺进行打磨，而由于切割气体的冲刷，激光切割过程中的大部分金属毛刺出现在下表面，因此该设备具有一定局限性。专利CN 108581234A公开了一种利用切割气体浓度以减少毛刺高度的方法，但此方法虽然能在切割过程中对毛刺进行处理，但对切割气体浓度精度要求很高。专利CN 10459671B公开了一种非晶合金的无毛刺激光切割方法，通过利用惰性气体和吸气装置形成的气流将熔融材料吹刷掉，并冷却形成切割面，但该方法需要合理匹配切割气体吹刷角度和纯度，才能保证良好的切割效果。

而微波作为一种高频电磁波，在遇到光滑的金属平板时，会产生电磁屏蔽，因此微波对光滑金属板表面影响很小。但当面对一些表面结构复杂的金属时，将出现微波谐振，并导致出现强场区，微波电场作用下电荷在金属表面重新分布，在一些尖端位置将导致电荷聚集，如果电荷积累导致的电场强度高于击穿阈值，金属之间将发生电弧并喷射出火花，随后过热的金属火花持续吸收微波能量，火花不断膨胀生长成为稳定的金属等离子体。因此，考虑到微波对不同金属表面粗糙度的作用差异，可以利用微波将激光切割后的毛刺转变为金属等离子体，并被及时吹散，从而达到去除金属板表面毛刺的作用。

发明内容

针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本发明提供了一种微波辅助去除激光切割件表面毛刺的装置，其目的在于，在激光切割过程中馈入微波，实时地、定向地去除切割过程中的产生的表面毛刺。

为实现上述目的，本发明提出了一种微波辅助去除激光切割件表面毛刺的装置，包括激光切割头，该激光切割头内部两侧分别设有切割载气腔和微波波导腔，其中：

所述切割载气腔上部安装有聚焦镜，该聚焦镜用于产生激光束对工件进行切割；

所述微波波导腔为弯曲的空腔，其上端连接有第一微波源；所述空腔的弯曲角度使其下端正对激光焦点，使第一微波源传输的微波向工件切割面发射。

作为进一步优选的，所述微波波导腔内壁上部和下部分别开设有第二进气孔和出气孔，所述出气孔上连接有二次喷嘴；冷却气体从第二进气孔进入微波波导腔，然后通过二次喷嘴喷出，以冷却并吹散由微波辐照毛刺产生的过热金属等离子体；所述微波波导腔下端安装有阻流盖，该阻流盖采用透波材料制成。

作为进一步优选的，所述第二进气孔和出气孔的孔径尺寸均小于1/4微波波长，以保证微波不会从孔洞中泄露。

作为进一步优选的，所述切割载气腔上部设有聚焦镜座，所述聚焦镜安装在该聚焦镜座上；所述聚焦镜座内部布置有横向调整镜座，所述横向镜座四周设有两对弹簧和调节螺栓，其中一对弹簧和调节螺栓对应设置在横向镜座前后面，另一对弹簧和调节螺栓对应设置在横向镜座左右面，使激光焦点位置在平面内可调；所述激光切割头下部通过螺纹连接有纵向调整镜座，使激光焦点位置纵向可调。

作为进一步优选的，所述切割载气腔下端连通有一次喷嘴，该一次喷嘴通过螺纹与纵向调整镜座连接，一次喷嘴结构呈缩口状。

作为进一步优选的，所述切割载气腔内壁上开设有第一进气孔，该第一进气孔轴线与切割载气腔内壁呈一定角度夹角，使得由第一进气孔进入切割载气腔的切割气体以部分层流状态从一次喷嘴中喷出。

作为进一步优选的，还包括微波处理腔，该微波处理腔为中空金属腔体，其上表面用于放置工件，其它位置均封闭，进一步的，放置工件的固定架位置可升降，以改变整个微波处理腔的垂直高度。

作为进一步优选的，所述微波处理腔与第二微波源连接，第二微波源与微波处理腔之间依次设置有三销钉调谐器和环形器，该环形器上连接有水负载。

作为进一步优选的，所述微波处理腔与三销钉调谐器连接一端设有阻流板，另一端安装有金属网；所述阻流板采用透波材料制成。

作为进一步优选的，所述微波处理腔下端前部布置有进气道，该进气道上布置有细密金属网；鼓风机通过稳流腔和进气道与微波处理腔连通；与下端进气道位置对应的微波处理腔上表面呈一定倾角，使得从鼓风机泵出的空气稳定流过工件下表面。

总体而言，通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，主要具备以下的技术优点：

1、本发明没有采用传统打磨的方法去除切割毛刺，而是利用平滑的工件几乎不受微波影响，而微波场下的金属毛刺尖端聚集电荷放电，并产生等离子体熔融升华毛刺这一特点，通过馈入微波达到去除毛刺的目的。具体通过一体化设计的激光切割载气腔和弯曲的微波波导腔，实现在激光切割过程中向工件切割面发射微波，可实时、定向、小噪声地去除切割过程中产生的表面毛刺。

2、本发明通过进气孔向微波波导腔内充冷却气体，该冷却气体通过二次喷嘴喷出，冷却并吹散由微波辐照毛刺而产生的过热金属等离子体，提高去除毛刺的效果；进一步设计该进气孔和出气孔尺寸小于1/4微波波长，以保证微波不会从孔洞中泄露。

3、本发明切割载气腔上的进气孔轴线与载气腔内壁呈一定倾角，使载气腔内的切割气体能以部分层流状态高速从一次喷嘴中喷出，从而防止切削粉尘进入载气腔，划伤上部聚焦镜；一次喷嘴结构呈缩口状，可以增加切割气体的出流速度。

4、本发明针对切割工件上表面和下表面毛刺之间的差异，分别采用了微波耦合激光切割头以及微波处理腔两种手段，在切割过程中便可实时去除切割工件上下两个表面的毛刺，并可以根据实际需要灵活使用两种处理手段。

5、本发明在微波处理腔前段应布置三销钉调谐器，调节销钉的位置可使进入微波处理腔内部的微波能量最大化；三销钉调谐器至微波源之间则布置有环形器以及水负载，从而防止从微波处理腔反射回来的微波对大功率微波源造成损毁。

6、微波处理腔两侧分别布置阻流板和金属网，阻流板防止气流夹带切屑进入矩形波导，对微波源造成损坏；金属网防止微波泄露，同时保证上游切割产生等离子体和切屑能够及时从微波处理腔内部排出。

7、微波处理腔下部前段布置进气道，进气道连接鼓风机，与进气道对置的微波处理腔上表面呈现一定角度，使从鼓风机泵出的空气能稳定的流过切割工件下表面，从而使产生的过热金属的等离子及时向后部移动；持续向后部流动的气流既能防止微波等离子体向前部移动进入微波源，造成微波源的损坏，又能防止炽热的金属等离子体停留在切割面附近，持续熔融切割面表面，导致加工精度降低。

附图说明

图1为本发明实施例微波辅助去除激光切割件表面毛刺的装置结构示意图；

图2为本发明实施例激光切割头结构示意图；

图3为本发明实施例微波辐照下的毛刺附近的微波电场分布示意图。

在所有附图中，相同的附图标记用来表示相同的元件或结构，其中：1-激光切割头、2-微波处理腔、3-第一微波源、4-第二微波源、5-三销钉调谐器、6-加工工件、7-环形器、8-水负载、9-鼓风机、10-稳流腔、11-进气道、12-阻流板、13-金属网、14-同轴电缆、15-微波屏蔽罩、101-切割载气腔、102-微波波导腔、103-一次喷嘴、104-二次喷嘴、105-纵向调整镜座、106-横向调整镜座、107-聚焦镜座、108-镜座盖、109-第一进气孔、110-同轴-波导转换器、111-第二进气孔、112-出气孔、113-阻流盖。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。

本发明实施例提供的一种微波辅助去除激光切割件表面毛刺的装置，如图1所示，包括激光切割头1和微波处理腔2，其中：

所述激光切割头1耦合了激光切割以及微波辐照，用于对工件进行激光切割，同时去除工件切割过程中在上表面产生的毛刺。如图2所示，激光切割头1包括切割载气腔101、微波波导腔102：切割载气腔101和微波波导腔102均开设在激光切割头1内部，微波波导腔102布置位置与切割方向相反，即若以切割方向为正方向，则微波波导腔102位于切割载气腔101后方，以保证“切割-微波辐照去毛刺-冷却”的工作流程。

具体的，所述切割载气腔101的上部布置有聚焦镜座107，聚焦镜座107上安装有用于固定的镜座盖108，聚焦镜座107上装载和固定有聚焦镜，聚焦镜用于产生高能激光束，对加工工件6进行切割。

进一步的，所述聚焦镜座107内部布置有横向调整镜座106，所述横向调整镜座106四周均布两对弹簧和调节螺栓，其中一对弹簧和调节螺栓对应设置在横向镜座前后面，另一对弹簧和调节螺栓对应设置在横向镜座左右面，调节螺栓头部接触横向调整镜座。通过旋进/旋出调节螺栓，其对面的弹簧则相应被压缩/拉伸，从而改变横向调整镜位置；故通过弹簧和螺栓可改变激光焦点位置，使激光焦点位置横向可调，即在平面内前后左右方向可调。激光切割头1下部通过螺纹与纵向调整镜座105相连接，通过旋转螺纹改变激光焦点纵向位置，使激光焦点位置纵向可调；所述纵向调整镜座105上布置有刻度，可根据实际需要精准调节。

进一步的，所述一次喷嘴103通过螺纹与纵向调整镜座105向连接，一次喷嘴103结构呈缩口状，以增加切割气体的出流速度。

进一步的，联通切割载气腔101内壁上开有第一进气孔109，利用所述第一进气孔109从外部储气罐向切割载气腔101充气，第一进气孔109轴线与切割载气腔101内壁呈一定角度夹角，以使切割载气腔101内的切割气体能以部分层流状态高速从一次喷嘴103中喷出，防止切削粉尘进入载气腔，划伤上部聚焦镜。

优选的，切割气体采用易击穿的氩气，既可以利用气体快速冲刷切割面，从根源上减少工件上表面的切割毛刺产生，又可以促进微波辐照下的金属等离子体的产生，方便去除上表面少量毛刺。

具体的，所述微波波导腔102为一弯曲的空腔(具体为矩形空腔)，弯曲角度正对激光焦点，使与其连接的第一微波源3传输而来的微波向工件切割面发射。

进一步的，微波波导腔102内壁上布置有同轴-波导转换器110，同轴-波导转换器110采用标准SMA接头，通过螺纹与微波波导腔102连接。第一微波源3通过柔性同轴电缆14与激光切割头1上的同轴-波导转换器110相连，以适应激光切割头1工作过程中的线性运动。

进一步的，所述微波波导腔102内壁上开有第二进气孔111，通过该第二进气孔111连接储气瓶向微波波导腔内充冷却气体；微波波导腔102下部开有出气孔112，出气孔112上连接二次喷嘴104，冷却气体通过二次喷嘴104喷出，吹散并冷却由微波辐照毛刺而产生的过热金属等离子体。

优选的，第二进气孔111和出气孔112尺寸小于1/4微波波长，以保证微波不会从孔洞中泄露。

进一步的，所述微波波导腔102下部通过螺纹安装阻流盖113，防止冷却气体从微波波导腔102内流出，提前对毛刺和微波等离子体进行冷却。所述阻流盖113采用透波材料，如聚四氟乙烯等，保证微波能通过而气流不能通过。

所述微波处理腔2为中空金属腔体，除了上表面开放外，其余面都被封闭。微波处理腔2上部布置有固定夹，用以将切割平板固定在微波处理腔的上表面，进一步的，固定架位置可升降，以改变整个微波处理腔的垂直高度，以匹配不同频率的微波谐振条件。当加工工件6夹紧后，微波处理腔外表面都被金属覆盖，微波将在微波处理腔2内发生谐振而不发生泄露。即使发生激光切割，由于激光切缝尺寸远小于1/4微波波长(以2.45GHz为例，约为3cm)，微波处理腔2内的微波不会切缝中泄露，造成处理腔内谐振状况的变化。

进一步的，微波处理腔2前部开有矩形孔，通过法兰与波导相连，第二微波源4通过波导与微波处理腔2相连。一般来说，加工工件6在切割过程中，下表面毛刺的尺寸以及数量更多，因此与微波处理腔2连接的第二微波源4相比第一微波源3具备更大的微波功率。特别的，在某些切割条件下，对工件上表面的毛刺要求不高时，可关闭与激光切割头1连接的第一微波源3，或者更换传统激光切割头。

进一步的，微波处理腔2前段布置有三销钉调谐器5，通过调节销钉的位置使进入微波处理腔2内部的微波能量最大化。

进一步的，所述三销钉调谐器5至第二微波源4之间布置环形器7以及水负载8，以防止从微波处理腔2反射回来的微波对大功率第二微波源4造成损毁。

进一步的，波导至微波处理腔2之前布置阻流板12，防止气流夹带切屑进入波导，对微波源2造成损坏。阻流板12材料为透波材料，以使微波顺利通过。

进一步的，所述微波处理腔2下部前段布置进气道11，所述进气道11上布置有细密金属网，以防止微波泄露，所述进气道11连接鼓风机9，鼓风机9和微波处理腔2之前布置有稳流腔10。

进一步的，与鼓风机9对置的微波处理腔2上表面呈现一定角度，以使从鼓风机泵出的空气能稳定的流过切割工件下表面，使产生的过热金属的等离子及时向后部移动。持续向后部流动的气流既能防止微波等离子体向前部移动进入第二微波源4，造成第二微波源4的损坏，又能防止炽热的金属等离子体停留在切割面附近，持续熔融切割面表面，导致加工精度降低。微波处理腔2内的气流方向与切割方向大致相同，以防止后切割的切面上产生的等离子体对先前切割的断面加热，造成加工精度下降。

进一步的，所述微波处理腔2后表面安装有细密的金属网13，防止微波泄露，同时保证上游切割产生等离子体和切屑能够及时从微波处理腔2内部排出。

进一步的，所述微波处理腔2以及所述激光切割头1外部覆盖有微波屏蔽罩15，所述微波屏蔽罩15接地，防止由于微波泄露对人体造成伤害。

上述微波辅助去除激光切割件表面毛刺装置的工作过程：当未发生激光切割时，由于切割件表面光滑，微波几乎不影响切割件；当激光切割工件后，由于挂渣和毛刺的出现，切割件光滑的表面被破坏，进而导致微波谐振，在毛刺附近形成微波强场区，如图3所示，随后金属内部电荷将在毛刺处堆积，导致毛刺附近发生击穿并产生火花，火花持续吸收微波能量，形成金属等离子体将毛刺融化升华，最终到达消除毛刺的目的，当毛刺被消除后，金属表面重新恢复平整状态，微波此时对切割断面几乎没有影响。

本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种微波辅助去除激光切割件表面毛刺的装置，其特征在于，包括激光切割头（1）和微波处理腔（2），该激光切割头（1）内部两侧分别设有切割载气腔（101）和微波波导腔（102），其中：

所述切割载气腔（101）上部安装有聚焦镜，该聚焦镜用于产生激光束对工件进行切割；

所述微波波导腔（102）为弯曲的空腔，其上端连接有第一微波源（3）；所述空腔的弯曲角度使其下端正对激光焦点，使第一微波源传输的微波向工件切割面发射，以去除工件切割过程中在上表面产生的毛刺；

所述微波处理腔（2）为中空金属腔体，其上表面用于放置工件，其它位置均封闭。

2.如权利要求1所述的微波辅助去除激光切割件表面毛刺的装置，其特征在于，所述微波波导腔（102）内壁上部和下部分别开设有第二进气孔（111）和出气孔（112），所述出气孔（112）上连接有二次喷嘴（104）；冷却气体从第二进气孔进入微波波导腔，然后通过二次喷嘴喷出，以冷却并吹散微波辐照毛刺产生的过热金属等离子体；所述微波波导腔（102）下端安装有阻流盖（113），该阻流盖（113）采用透波材料制成。

3.如权利要求2所述的微波辅助去除激光切割件表面毛刺的装置，其特征在于，所述第二进气孔（111）和出气孔（112）的孔径尺寸均小于1/4微波波长。

4.如权利要求1所述的微波辅助去除激光切割件表面毛刺的装置，其特征在于，所述切割载气腔（101）上部设有聚焦镜座（107），所述聚焦镜安装在该聚焦镜座（107）上；所述聚焦镜座（107）内部布置有横向调整镜座（106），所述横向调整镜座（106）四周设有两对弹簧和调节螺栓，其中一对弹簧和调节螺栓对应设置在横向调整镜座前后面，另一对弹簧和调节螺栓对应设置在横向调整镜座左右面，使激光焦点位置在平面内可调；所述激光切割头（1）下部通过螺纹连接有纵向调整镜座（105），使激光焦点位置纵向可调。

5.如权利要求4所述的微波辅助去除激光切割件表面毛刺的装置，其特征在于，所述切割载气腔（101）下端连通有一次喷嘴（103），该一次喷嘴（103）通过螺纹与纵向调整镜座（105）连接，一次喷嘴（103）结构呈缩口状。

6.如权利要求5所述的微波辅助去除激光切割件表面毛刺的装置，其特征在于，所述切割载气腔（101）内壁上开设有第一进气孔（109），该第一进气孔轴线与切割载气腔内壁呈一定角度夹角，使得由第一进气孔进入切割载气腔的切割气体以部分层流状态从一次喷嘴中喷出。

7.如权利要求1所述的微波辅助去除激光切割件表面毛刺的装置，其特征在于，所述微波处理腔（2）与第二微波源（4）连接，微波处理腔（2）与第二微波源（4）之间依次设置有三销钉调谐器（5）和环形器（7），该环形器（7）上连接有水负载（8）。

8.如权利要求7所述的微波辅助去除激光切割件表面毛刺的装置，其特征在于，所述微波处理腔（2）与三销钉调谐器（5）连接一端设有阻流板（12），另一端安装有金属网（13）；所述阻流板采用透波材料制成。

9.如权利要求1所述的微波辅助去除激光切割件表面毛刺的装置，其特征在于，所述微波处理腔（2）下端前部布置有进气道（11），该进气道（11）上布置有细密金属网；鼓风机（9）通过稳流腔（10）和进气道（11）与微波处理腔（2）连通；与下端进气道（11）位置对应的微波处理腔上表面呈一定角度，使得从鼓风机泵出的空气稳定流过工件下表面。

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