CN112831757A - 一种不间断式全自动真空镀膜生产线 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种不间断式全自动真空镀膜生产线,具体涉及真空镀膜领域,包括底座以及镀膜室,镀膜室内部设置有集液槽板,集液槽板内部设置有过滤网,过滤网上侧面卡接固定有支撑座,支撑座内部固定连接有输送泵,输送泵上端的出液端口通过万向球头与中空板相连接,中空板上侧面固定连接有喷头,镀膜室上侧面填充设置有盖板,且盖板固定在升降气缸下侧的液压板上,升降气缸左右对称固定在连接板上侧面,连接板套接固定在伺服电机上侧的输出轴上。本发明有利于对镀膜液进行稳定收集以及输送,并通过喷头对工件进行真空镀膜,也便于对工件进行不间断式输送,操作简单,人员工作量低,工作效率高。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜技术领域,更具体地说,本发明涉及一种不间断式全自动真空镀膜生产线。
背景技术
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如,真空镀铝、真空镀铬等。
现有技术中,现有的工件在进行真空镀膜时,一般是人工将工件放入真空镀膜室内进行真空镀膜,导致了需要人工频繁对真空镀膜室进行开启以及关闭,加大了人员的工作量,而且真空镀膜效率低下。
发明内容
为了克服现有技术的上述缺陷,本发明的实施例提供一种不间断式全自动真空镀膜生产线,本发明所要解决的技术问题是:现有的工件在进行真空镀膜时,人员工作量大,真空镀膜效率低下的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种不间断式全自动真空镀膜生产线,包括底座以及镀膜室,所述底座上侧面固定连接有镀膜室,所述镀膜室内部设置有集液槽板,所述集液槽板内部设置有过滤网,所述过滤网上侧面卡接固定有支撑座,所述支撑座内部固定连接有输送泵,所述输送泵上端的出液端口通过万向球头与中空板相连接,所述中空板上侧面固定连接有喷头,所述镀膜室上侧面填充设置有盖板,所述盖板下侧面开设有开口槽,且盖板固定在升降气缸下侧的液压板上,所述升降气缸左右对称固定在连接板上侧面,所述连接板套接固定在伺服电机上侧的输出轴上,所述伺服电机固定在底座上侧面中部上。
在一个优选地实施方式中,所述输送泵上侧面固定连接有出液端口,且输送泵下侧面固定连接有进液端口,所述进液端口下部穿过过滤网,并伸入支撑网管内部,所述支撑网管固定在过滤网下侧面中部,且支撑网管位于集液槽板内底部,所述出液端口上侧套接有万向球头下部,且万向球头固定在中空板下侧面中部,所述中空板下侧面四周固定连接有外沿板,且中空板上侧面均匀镶嵌有两个以上喷头,便于对集液槽板内部的镀膜液进行吸收以及输送。
在一个优选地实施方式中,所述支撑座上侧面设置有密封板,所述密封板下侧面一体连接有凸条,所述凸条匹配设置在凹槽内,所述凹槽开设在支撑座上侧面,所述密封板下侧面四周固定连接有四个第二电动推杆,四个所述第二电动推杆上侧的液压板均穿过密封板,并与万向节固定连接,所述万向节固定在中空板下侧面,四个所述第二电动推杆分别位于输送泵四周,且输送泵上侧的出液端口竖向穿过密封板,提高了密封板与支撑座之间的密封性。
在一个优选地实施方式中,所述镀膜室前侧面以及后侧面均固定连接有抽真空机,且抽真空机的抽气端与镀膜室内部相连通,所述镀膜室上侧面固定连接有固定框架,所述固定框架前侧面以及后侧面均固定连接有推动气缸,所述推动气缸内侧面的液压板分别与前压板前侧面以及后压板后侧面固定连接,所述前压板位于后压板前侧面,且前压板以及后压板均位于镀膜室以及盖板上侧面,且前压板以及后压板分别位于升降气缸前侧面以及后侧,所述盖板与镀膜室之间填充设置有密封胶垫,所述前压板以及后压板与升降气缸之间均粘接固定有密封胶条,实现了通过抽真空机对镀膜室进行抽真空,而且也便于通过推动气缸、前压板以及后压板对盖板进行压紧。
在一个优选地实施方式中,所述盖板上侧面左右对称固定连接有两个真空吸盘,所述真空吸盘下部伸入开口槽内,且开口槽内左壁以及内右壁均镶嵌固定有第一电动推杆,第一电动推杆内侧面固定连接有顶杆,所述顶杆位于开口槽内部,通过真空吸盘实现了对工件进行稳固吸附固定,且便于通过顶紧对工件进行进一步夹紧固定。
在一个优选地实施方式中,所述盖板设有两个,两个所述盖板分别固定在两个升降气缸下侧的液压杆上,且两个盖板左右对称位于连接板下侧,实现了对两个盖板进行不间断式转动,提高了真空镀膜效率。
在一个优选地实施方式中,所述伺服电机上侧面的输出轴上套接固定有固定管,所述固定管上侧面一体连接有两个以上定位柱,两个以上所述定位柱呈环形阵列设置在输出轴周围,且定位柱伸入连接板内部,所述伺服电机上侧的输出轴环形侧面以及固定管环形侧面均加工有外螺纹,所述伺服电机上侧的输出轴环形侧面以及固定管外侧面通过外螺纹分别与上螺母以及下螺母啮合连接,所述上螺母以及下螺母分别位于连接板上侧面以及下侧面,实现了将连接板与伺服电机稳固连接在一起,也提高了对连接板的转动稳固性,也方便对连接板进行拆装。
在一个优选地实施方式中,所述伺服电机上套接有护壳,所述护壳通过螺栓固定在底座上侧面,且护壳外侧面等距焊接有两个以上散热板,实现了对伺服电机进行防护以及快速散热。
本发明的技术效果和优点:
1、本发明通过设有万向球头、万向节、第二电动推杆、过滤网、支撑弯管、中空板、喷头以及出液端口,有利于对镀膜液进行稳定收集以及输送,并通过喷头对工件进行真空镀膜,而且也便于底端中空板以及喷头进行转动,实现了对工件不同方面进行均匀镀膜,扩大了镀膜范围,也提高了镀膜的均匀性,使用效果好;
2、本发明通过设有连接板、升降气缸、盖板、第一电动推杆、顶杆、开口槽、真空吸盘以及伺服电机,有利于对工件进行稳定夹紧,也方便对工件进行拆卸,而且也便于对工件进行不间断式输送,操作简单,人员工作量低,工作效率高;
3、本发明通过设有护壳、散热板、固定管、定位柱、上螺母以及下螺母,有利于对伺服电机进行防护以及散热,提高了伺服电机的使用寿命,而且也方便对连接板进行拆装更换,也提高了对连接板的转动稳固性。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图。
图2为本发明的局部剖面结构示意图。
图3为本发明中镀膜室的俯视示意图。
图4为本发明中中空板与喷头的连接结构示意图。
图5为本发明中连接板与固定管的连接结构示意图。
图6为本发明中固定管的俯视示意图。
图7为本发明中护壳与散热板的连接结构示意图。
图8为本发明图1中A处的放大结构示意图。
图9为本发明图1中B处的放大结构示意图。
图10为本发明图1中C处的放大结构示意图。
附图标记为:1、底座;2、护壳;3、伺服电机;4、输送泵;5、集液槽板;6、支撑座;7、过滤网;8、镀膜室;9、升降气缸;10、连接板;11、真空吸盘;12、盖板;13、第一电动推杆;14、顶杆;15、密封胶垫;16、第二电动推杆;17、喷头;18、中空板;19、万向球头;20、万向节;21、密封板;22、前压板;23、后压板;24、推动气缸;25、固定框架;26、下螺母;27、上螺母;28、散热板;31、固定管;32、定位柱;41、出液端口;71、支撑网管;121、开口槽;181、外沿板。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
本发明提供了一种不间断式全自动真空镀膜生产线,包括底座1以及镀膜室8,底座1上侧面固定连接有镀膜室8,镀膜室8内部设置有集液槽板5,集液槽板5内部设置有过滤网7,过滤网7上侧面卡接固定有支撑座6,支撑座6内部固定连接有输送泵4,输送泵4上端的出液端口41通过万向球头19与中空板18相连接,中空板18上侧面固定连接有喷头17。
输送泵4上侧面固定连接有出液端口41,且输送泵4下侧面固定连接有进液端口,进液端口下部穿过过滤网7,并伸入支撑网管71内部,支撑网管71固定在过滤网7下侧面中部,且支撑网管71位于集液槽板5内底部,出液端口41上侧套接有万向球头19下部,且万向球头19固定在中空板18下侧面中部,中空板18下侧面四周固定连接有外沿板181,且中空板18上侧面均匀镶嵌有两个以上喷头17。
支撑座6上侧面设置有密封板21,密封板21下侧面一体连接有凸条,凸条匹配设置在凹槽内,凹槽开设在支撑座6上侧面,密封板21下侧面四周固定连接有四个第二电动推杆16,四个第二电动推杆16上侧的液压板均穿过密封板21,并与万向节20固定连接,万向节20固定在中空板18下侧面,四个第二电动推杆16分别位于输送泵4四周,且输送泵4上侧的出液端口41竖向穿过密封板21。
如图1、图2、图4和图8所示的,实施方式具体为:使用人员对输送泵4进行运行,输送泵4运行带动镀膜液进行流动,实现了镀膜液进入进液端口内部,随后依次经过出液端口41以及万向球头19,并进入中空板18内部,然后通过喷头17喷出,实现了对工件表面进行真空镀膜,同时运行第二电动推杆16,第二电动推杆16工作带动万向节20进行转动,万向节20转动从而带动中空板18绕着万向球头19中轴线进行转动,进而带动喷头17跟随中空板18进行转动,实现了对镀膜方向进行调节,扩大了对工件进行真空镀膜范围,也提高了对工件进行真空镀膜均匀性,操作简单,真空镀膜效率高。
镀膜室8上侧面填充设置有盖板12,盖板12下侧面开设有开口槽121,且盖板12固定在升降气缸9下侧的液压板上,升降气缸9左右对称固定在连接板10上侧面,连接板10套接固定在伺服电机3上侧的输出轴上,伺服电机3固定在底座1上侧面中部上。
镀膜室8前侧面以及后侧面均固定连接有抽真空机,且抽真空机的抽气端与镀膜室8内部相连通,镀膜室8上侧面固定连接有固定框架25,固定框架25前侧面以及后侧面均固定连接有推动气缸24,推动气缸24内侧面的液压板分别与前压板22前侧面以及后压板23后侧面固定连接,前压板22位于后压板23前侧面,且前压板22以及后压板23均位于镀膜室8以及盖板12上侧面,且前压板22以及后压板23分别位于升降气缸9前侧面以及后侧,盖板12与镀膜室8之间填充设置有密封胶垫15,前压板22以及后压板23与升降气缸9之间均粘接固定有密封胶条。
盖板12上侧面左右对称固定连接有两个真空吸盘11,真空吸盘11下部伸入开口槽121内,且开口槽121内左壁以及内右壁均镶嵌固定有第一电动推杆13,第一电动推杆13内侧面固定连接有顶杆14,顶杆14位于开口槽121内部。
盖板12设有两个,两个盖板12分别固定在两个升降气缸9下侧的液压杆上,且两个盖板12左右对称位于连接板10下侧。
如图1、图3和图10所示的,实施方式具体为:使用人员运行升降气缸9,升降气缸9运行带动盖板12向下移动,盖板12向下移动从而带动开口槽121内部的工件进行向下移动,实现了将工件移动进入镀膜室8内,随后运行推动气缸24,推动气缸24工作带动前压板22以及后压板23进行移动,实现了前压板22以及后压板23均移动到盖板12上侧面,实现了对盖板12进行压紧,提高了盖板12与镀膜室8之间的密封性,同时另一侧的盖板12上,将工件放入开口槽121内,并对第一电动推杆13进行运行,实现了带动顶杆14向内移动,从而对工件进行夹紧,同时运行真空吸盘11,实现了通过真空吸盘11对工件进行吸附固定,提高了对工件的固定稳固性,然后通过伺服电机3的运行便于带动连接板10进行转动,进而同步带动升降气缸9以及盖板12进行转动,从而同步带动工件进行转动,实现了方便对工件进行快速拆装,也方便对工件进行不间断式输送,操作简单,提高了工作效率,也降低了人员的工作量,操作简单,使用效果好。
伺服电机3上侧面的输出轴上套接固定有固定管31,固定管31上侧面一体连接有两个以上定位柱32,两个以上定位柱32呈环形阵列设置在输出轴周围,且定位柱32伸入连接板10内部,伺服电机3上侧的输出轴环形侧面以及固定管31环形侧面均加工有外螺纹,伺服电机3上侧的输出轴环形侧面以及固定管31外侧面通过外螺纹分别与上螺母27以及下螺母26啮合连接,上螺母27以及下螺母26分别位于连接板10上侧面以及下侧面。
伺服电机3上套接有护壳2,护壳2通过螺栓固定在底座1上侧面,且护壳2外侧面等距焊接有两个以上散热板28。
如图1、图5-7和图9所示的,实施方式具体为:通过定位柱32伸入连接板10内,提高了伺服电机3与连接板10之间的连接稳固性,进而提高了对连接板10的转动稳固性,而且也方便对连接板10进行拆装更换,操作简单,同时通过护壳2实现了对伺服电机3进行防护,也便于通过散热板28对伺服电机3进行散热,提高了伺服电机3的使用安全性以及使用寿命,使用效果好。
最后应说明的几点是:首先,在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,可以是机械连接或电连接,也可以是两个元件内部的连通,可以是直接相连,“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系,当被描述对象的绝对位置改变,则相对位置关系可能发生改变;
其次:本发明公开实施例附图中,只涉及到与本公开实施例涉及到的结构,其他结构可参考通常设计,在不冲突情况下,本发明同一实施例及不同实施例可以相互组合;
最后:以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种不间断式全自动真空镀膜生产线,包括底座(1)以及镀膜室(8),所述底座(1)上侧面固定连接有镀膜室(8),其特征在于:所述镀膜室(8)内部设置有集液槽板(5),所述集液槽板(5)内部设置有过滤网(7),所述过滤网(7)上侧面卡接固定有支撑座(6),所述支撑座(6)内部固定连接有输送泵(4),所述输送泵(4)上端的出液端口(41)通过万向球头(19)与中空板(18)相连接,所述中空板(18)上侧面固定连接有喷头(17),所述镀膜室(8)上侧面填充设置有盖板(12),所述盖板(12)下侧面开设有开口槽(121),且盖板(12)固定在升降气缸(9)下侧的液压板上,所述升降气缸(9)左右对称固定在连接板(10)上侧面,所述连接板(10)套接固定在伺服电机(3)上侧的输出轴上,所述伺服电机(3)固定在底座(1)上侧面中部上。
2.根据权利要求1所述的一种不间断式全自动真空镀膜生产线,其特征在于:所述输送泵(4)上侧面固定连接有出液端口(41),且输送泵(4)下侧面固定连接有进液端口,所述进液端口下部穿过过滤网(7),并伸入支撑网管(71)内部,所述支撑网管(71)固定在过滤网(7)下侧面中部,且支撑网管(71)位于集液槽板(5)内底部,所述出液端口(41)上侧套接有万向球头(19)下部,且万向球头(19)固定在中空板(18)下侧面中部,所述中空板(18)下侧面四周固定连接有外沿板(181),且中空板(18)上侧面均匀镶嵌有两个以上喷头(17)。
3.根据权利要求1所述的一种不间断式全自动真空镀膜生产线,其特征在于:所述支撑座(6)上侧面设置有密封板(21),所述密封板(21)下侧面一体连接有凸条,所述凸条匹配设置在凹槽内,所述凹槽开设在支撑座(6)上侧面,所述密封板(21)下侧面四周固定连接有四个第二电动推杆(16),四个所述第二电动推杆(16)上侧的液压板均穿过密封板(21),并与万向节(20)固定连接,所述万向节(20)固定在中空板(18)下侧面,四个所述第二电动推杆(16)分别位于输送泵(4)四周,且输送泵(4)上侧的出液端口(41)竖向穿过密封板(21)。
4.根据权利要求1所述的一种不间断式全自动真空镀膜生产线,其特征在于:所述镀膜室(8)前侧面以及后侧面均固定连接有抽真空机,且抽真空机的抽气端与镀膜室(8)内部相连通,所述镀膜室(8)上侧面固定连接有固定框架(25),所述固定框架(25)前侧面以及后侧面均固定连接有推动气缸(24),所述推动气缸(24)内侧面的液压板分别与前压板(22)前侧面以及后压板(23)后侧面固定连接,所述前压板(22)位于后压板(23)前侧面,且前压板(22)以及后压板(23)均位于镀膜室(8)以及盖板(12)上侧面,且前压板(22)以及后压板(23)分别位于升降气缸(9)前侧面以及后侧,所述盖板(12)与镀膜室(8)之间填充设置有密封胶垫(15),所述前压板(22)以及后压板(23)与升降气缸(9)之间均粘接固定有密封胶条。
5.根据权利要求5所述的一种不间断式全自动真空镀膜生产线,其特征在于:所述盖板(12)上侧面左右对称固定连接有两个真空吸盘(11),所述真空吸盘(11)下部伸入开口槽(121)内,且开口槽(121)内左壁以及内右壁均镶嵌固定有第一电动推杆(13),第一电动推杆(13)内侧面固定连接有顶杆(14),所述顶杆(14)位于开口槽(121)内部。
6.根据权利要求5所述的一种不间断式全自动真空镀膜生产线,其特征在于:所述盖板(12)设有两个,两个所述盖板(12)分别固定在两个升降气缸(9)下侧的液压杆上,且两个盖板(12)左右对称位于连接板(10)下侧。
7.根据权利要求1所述的一种不间断式全自动真空镀膜生产线,其特征在于:所述伺服电机(3)上侧面的输出轴上套接固定有固定管(31),所述固定管(31)上侧面一体连接有两个以上定位柱(32),两个以上所述定位柱(32)呈环形阵列设置在输出轴周围,且定位柱(32)伸入连接板(10)内部,所述伺服电机(3)上侧的输出轴环形侧面以及固定管(31)环形侧面均加工有外螺纹,所述伺服电机(3)上侧的输出轴环形侧面以及固定管(31)外侧面通过外螺纹分别与上螺母(27)以及下螺母(26)啮合连接,所述上螺母(27)以及下螺母(26)分别位于连接板(10)上侧面以及下侧面。
8.根据权利要求7所述的一种不间断式全自动真空镀膜生产线,其特征在于:所述伺服电机(3)上套接有护壳(2),所述护壳(2)通过螺栓固定在底座(1)上侧面,且护壳(2)外侧面等距焊接有两个以上散热板(28)。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6056998A (en) * | 1997-03-03 | 2000-05-02 | Tokyo Electron Limited | Coating apparatus and coating method |
CN104148215A (zh) * | 2014-08-29 | 2014-11-19 | 刘红霞 | 纳米真空处理镀膜机 |
CN104741273A (zh) * | 2015-03-17 | 2015-07-01 | 中国水利水电科学研究院 | 一种高精度万向喷射系统及方法 |
CN206916214U (zh) * | 2017-07-05 | 2018-01-23 | 天津煋鸟科技有限公司 | 一种光学镜头镀膜机 |
-
2020
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6056998A (en) * | 1997-03-03 | 2000-05-02 | Tokyo Electron Limited | Coating apparatus and coating method |
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CN104741273A (zh) * | 2015-03-17 | 2015-07-01 | 中国水利水电科学研究院 | 一种高精度万向喷射系统及方法 |
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