CN112827343A - 一种废气处理装置及其处理方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种废气处理装置及其处理方法，包括处理通道和安装在其一端的进入管，所述处理通道内侧中部竖直设置有隔板，隔板将处理通道分为加热室和喷淋室，隔板侧面靠近其顶部的位置处开设有贯通孔；所述隔板远离喷淋室的一面上安装有电机；本发明通过电机带动偏转装置偏转，方形罩会将顶部的气体向底部拨动，降低热气从贯通孔进入到喷淋室的速率；并且在底部的移动柱下移时，顶部的热气通过顶部的堵杆处进入到方形筒内，而顶部的移动柱由于偏转板使竖向板间会产生间隙，保证底部的移动盘能够向下移动，将气体抽入到方形筒内，在移动盘停止移动，且电机持续工作时，方形筒内的热气会通过堵杆处重新溢出，提高了热气的滞留时间。

Description

一种废气处理装置及其处理方法

技术领域

本发明属于废气处理技术领域，特别涉及一种废气处理装置及其处理方法。

背景技术

众所周知，在半导体晶圆厂、光电厂、面板厂、太阳能厂于产制例如是晶圆或是各式面板等产品的过程中，有时会生成有害的废气。例如：以半导体晶圆厂来说，其制作过程中所生成的有害废气包含有单硅烷(SiH4)、氯气(Cl2)、PFC(全氟化合物(perfluoro－compounds))等，在处理含有上述气体的废气时，一般是使用湿式法、吸附法、加热分解法及燃烧法等4种方法。

其中，加热分解法是指在废气处理槽内设置加热器，而加热器在废气处理槽内形成一加热腔室，当有害废气进入废气处理槽内到达加热腔室时，通过加热器以热辐射的方式加热有害废气，迫使有害废气中所含有害物质接受高温催化，而分解成无害物质；而湿式法是指使有害废气通过设置有多个洒水器的水洗室，凭借洒水器所喷洒的水幕与有害废气接触，将有害废气中所含可溶于水的有害物质加以溶解，以达到净化有害废气的效果；至于燃烧法是指利用火焰燃烧有害废气，以达到净化有害废气的效果，由于用来提供火焰燃烧的燃气是将甲烷(CH4)、乙烷(C2H6)、丙烷(C3H8)等燃料和空气以既定比例混合而成，其中甲烷燃烧后会产生例如是一氧化碳(CO)等有害气体，造成二次污染。因此，目前在以环保为前提而采取的半导体制作过程废气处理方式，是利用加热分解法搭配湿式法，来达到净化废气的效果。

然而，由于传统的废气处理装置内直接将废气通入，有害废气在加热室内加热的时间较为短暂，导致通过加热分解法净化有害废气时，由于有害废气加热的时间不足，导致有害废气中的有害物质难以完全催化，进而影响到有害废气的净化效果。

因此，发明一种废气处理装置及其处理方法来解决上述问题很有必要，其能够增加有害废气在加热室内加热的时间，进而提升有害废气的净化效果。

发明内容

针对上述问题，本发明提供了一种废气处理装置及其处理方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种废气处理装置，包括处理通道和安装在其一端的进入管，所述处理通道内侧中部竖直设置有隔板，隔板将处理通道分为加热室和喷淋室，隔板侧面靠近其顶部的位置处开设有贯通孔；所述隔板远离喷淋室的一面上安装有电机，电机的输出轴端部安装有偏转装置，其中，

所述偏转装置包括中间轴，所述中间轴外侧套接有轴承，轴承前后侧均固定连接有固定杆，固定杆端部固定连接在加热室内壁上；所述中间轴两端均固定连接有方形筒，且其中一个方形筒与电机的输出轴固定连接，方形筒顶部和底部均安装有方形罩，所述方形罩远离方形筒的一端插接有移动柱，移动柱外侧套接有移动盘，移动盘外圆周面开设有多个置物槽，置物槽内部设置有偏转板，偏转板顶端铰接在置物槽顶部的孔壁上；所述方形罩内壁远离方形筒的位置处固定连接有环形圈，环形圈由耐高温橡胶材料制成；所述环形圈表面沿周向插接有多个竖向板，多个竖向板围成一个圆筒，且竖向板侧面与移动盘外圆周面接触；所述移动盘远离方形筒的一面上固定连接有钢丝绳，钢丝绳一端与方形罩固定连接；

方形罩两侧的所述方形筒上均插接有堵杆，堵杆与方形筒不接触，堵杆位于方形筒内部的一端固定连接有堵盘；堵盘两侧均固定连接有限位板，限位板嵌入到方形筒侧壁上，且限位板能够沿移动柱的长度方向移动。

优选的，所述方形罩两侧均固定连接有锥筒，锥筒的直径逐渐向靠近方形筒的方向变小，且锥筒的尖端铰接有横杆，横杆与方形罩固定连接；所述方形罩两侧均固定连接有压缩筒，压缩筒的移动段固定连接有三角板，三角板的厚度逐渐向远离方形筒的方向变小。

优选的，所述锥筒内部开设有竖直腔，竖直腔内部设置有与其大小相匹配的重力球，锥筒的尖端开设有进入孔，进入孔与竖直腔连通。

优选的，所述方形罩前侧面和后侧面均为弧形面，且弧形面到移动柱的距离逐渐由两侧向中部变小，弧形面到移动柱的距离逐渐向靠近方形筒的方向变小。

优选的，所述贯通孔的高度逐渐向喷淋室处变小。

优选的，所述方形筒的侧面为方形，且方形筒侧面的长度比进入管的直径大。

优选的，所述移动柱位于方形筒内部的一端为凸起端，且移动柱表面经过抛光处理。

一种废气处理方法，该方法适用于上述的废气处理装置，该方法包括以下步骤：

S1：将废气通过进入管通入，同时电机带动偏转装置偏转，方形筒带动多个方形罩转动；

S2：底部的方形罩内的移动柱和顶部的方形罩内的移动柱均会向下移动，且底部的方形罩内的移动柱下移时，会带动移动盘在多个竖向板围成的圆筒内移动，而顶部的方形罩内的移动柱下移时，由于偏转板的自由端与竖向板的摩擦作用，竖向板间会产生间隙，使气体顺利进入到方形筒内；

S3：并且方形罩跟随方形筒转动，其两侧的锥筒会在横杆端部偏转，而向压缩筒处靠近，进而会挤压到三角板，将三角板端部挤压，进而将压缩筒压缩，使压缩筒与外界连通的范围变大，能够存储一部分热气，随后在方形筒偏转过程中，将热气带到方形筒底部；

S4：在加热室内加热后，加热后的废气逐渐上升，最后通过贯通孔进入到喷淋室，经过喷淋后，实现对废气的处理。

本发明的技术效果和优点：

1、本发明通过电机带动偏转装置偏转，方形罩会将顶部的气体向底部拨动，进而能够降低热气从贯通孔进入到喷淋室的速率；并且在底部的方形罩内的移动柱下移时，顶部的热气通过顶部的堵杆处进入到方形筒内，而顶部的方形罩内的移动柱由于偏转板使竖向板间会产生间隙，保证底部的移动盘能够向下移动，将气体抽入到方形筒内，在移动盘停止移动，且电机持续工作时，方形筒内的热气会通过堵杆处重新溢出，提高了热气的滞留时间；

2、本发明通过方形罩两侧的锥筒在横杆端部偏转，而向压缩筒处靠近，进而会挤压到三角板，将三角板端部挤压，进而将压缩筒压缩，使压缩筒与外界连通的范围变大，能够存储一部分热气，随后在方形筒偏转过程中，将热气带到方形筒底部；并且在从堵杆处向方形筒锥筒抽取外界热气时，热气会由锥筒尖端向底部移动，在移动过程中，能够充分使热气中的热量传递到锥筒表面，随后在方形罩转动到底部后，能够对底部温度较低的废气进行加热；

3、本发明通过锥筒的偏转，锥筒内的重力球会在竖直腔内移动，当锥筒转动到底部并挤压三角板时，能够对锥筒有冲击作用，使锥筒对三角板有更快的推动速度，使压缩筒能够更快的留出更大的空间，在电机转动较快前，能够保证压缩筒从顶部携带较多的热气；并且在锥筒转动到底部后，锥筒偏转时，重力球能够将竖直腔内的热气快速的从进入孔压出，将热量快速压入到底部，与底部温度低的废气快速。

本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所指出的结构来实现和获得。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明的废气处理装置的整体结构示意图；

图2是本发明中图1的A部放大图；

图3是本发明中图1的B部放大图；

图4是本发明中方形筒的俯面剖视图；

图5是本发明中锥筒的剖视图；

图6是本发明的废气处理方法的流程图。

图中：处理通道1、加热室101、喷淋室102、进入管2、隔板3、贯通孔31、电机4、偏转装置5、中间轴51、方形筒52、方形罩53、移动柱54、移动盘55、偏转板56、环形圈57、竖向板58、堵杆6、堵盘7、限位板8、锥筒9、横杆10、压缩筒11、三角板12、竖直腔13、重力球14。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地说明，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明提供了如图1-6所示的一种废气处理装置，包括处理通道1和安装在其一端的进入管2，所述处理通道1内侧中部竖直设置有隔板3，隔板3将处理通道1分为加热室101和喷淋室102，隔板3侧面靠近其顶部的位置处开设有贯通孔31；所述隔板3远离喷淋室102的一面上安装有电机4，电机4的输出轴端部安装有偏转装置5，其中，

所述偏转装置5包括中间轴51，所述中间轴51外侧套接有轴承，轴承前后侧均固定连接有固定杆，固定杆端部固定连接在加热室101内壁上；所述中间轴51两端均固定连接有方形筒52，且其中一个方形筒52与电机4的输出轴固定连接，方形筒52顶部和底部均安装有方形罩53，所述方形罩53远离方形筒52的一端插接有移动柱54，移动柱54外侧套接有移动盘55，移动盘55外圆周面开设有多个置物槽，置物槽内部设置有偏转板56，偏转板56顶端铰接在置物槽顶部的孔壁上；所述方形罩53内壁远离方形筒52的位置处固定连接有环形圈57，环形圈57由耐高温橡胶材料制成；所述环形圈57表面沿周向插接有多个竖向板58，多个竖向板58围成一个圆筒，且竖向板58侧面与移动盘55外圆周面接触；所述移动盘55远离方形筒52的一面上固定连接有钢丝绳，钢丝绳一端与方形罩53固定连接；

方形罩53两侧的所述方形筒52上均插接有堵杆6，堵杆6与方形筒52不接触，堵杆6位于方形筒52内部的一端固定连接有堵盘7；堵盘7两侧均固定连接有限位板8，限位板8嵌入到方形筒52侧壁上，且限位板8能够沿移动柱54的长度方向移动。

作为本发明的一种具体实施方式，所述方形罩53两侧均固定连接有锥筒9，锥筒9的直径逐渐向靠近方形筒52的方向变小，且锥筒9的尖端铰接有横杆10，横杆10与方形罩53固定连接；所述方形罩53两侧均固定连接有压缩筒11，压缩筒11的移动段固定连接有三角板12，三角板12的厚度逐渐向远离方形筒52的方向变小；在方形罩53跟随方形筒52转动时，底部的方形罩53转动到顶部的过程中，其两侧的锥筒9会在横杆10端部偏转，而向压缩筒11处靠近，进而会挤压到三角板12，将三角板12端部挤压，进而将压缩筒11压缩，使压缩筒11与外界连通的范围变大，能够存储一部分热气，随后在方形筒52偏转过程中，将热气带到方形筒52底部；并且在从堵杆6处向方形筒52锥筒9抽取外界热气时，热气会由锥筒9尖端向底部移动，在移动过程中，能够充分使热气中的热量传递到锥筒9表面，随后在方形罩53转动到底部后，能够对底部温度较低的废气进行加热。

作为本发明的一种具体实施方式，所述锥筒9内部开设有竖直腔13，竖直腔13内部设置有与其大小相匹配的重力球14，锥筒9的尖端开设有进入孔，进入孔与竖直腔13连通；在锥筒9偏转的过程中，锥筒9内的重力球14会在竖直腔13内移动，当锥筒9转动到底部并挤压三角板12时，能够对锥筒9有冲击作用，使锥筒9对三角板12有更快的推动速度，使压缩筒11能够更快的留出更大的空间，在电机4转动较快前，能够保证压缩筒11从顶部携带较多的热气；并且在锥筒9转动到底部后，锥筒9偏转时，重力球14能够将竖直腔13内的热气快速的从进入孔压出，将热量快速压入到底部，与底部温度低的废气快速。

作为本发明的一种具体实施方式，所述方形罩53前侧面和后侧面均为弧形面，且弧形面到移动柱54的距离逐渐由两侧向中部变小，弧形面到移动柱54的距离逐渐向靠近方形筒52的方向变小；在方形筒52偏转过程中，由于方形罩53前侧面和后侧面均为弧形面，能够对热气的拨动效果更好，使热气拨动到底部。

作为本发明的一种具体实施方式，所述贯通孔31的高度逐渐向喷淋室102处变小；能够使加热后的废气斜向下移动，进而使热气到喷淋室102底部的距离变大，热气上升的距离大，喷淋的效果更好。

作为本发明的一种具体实施方式，所述方形筒52的侧面为方形，且方形筒52侧面的长度比进入管2的直径大。

作为本发明的一种具体实施方式，所述移动柱54位于方形筒52内部的一端为凸起端，且移动柱54表面经过抛光处理；由于移动柱54位于方形筒52内部的一端为凸起端，因此在移动柱54时，推动气体的移动速度慢，防止将热气推出方形筒52外侧。

一种废气处理方法，该方法适用于上述废气处理装置，该方法包括以下步骤：

S1：将废气通过进入管2通入，同时电机4带动偏转装置5偏转，方形筒52带动多个方形罩53转动；通过偏转装置5的工作，使顶部较热的气体向下移动，提高热气体的逗留时间；

S2：底部的方形罩53内的移动柱54和顶部的方形罩53内的移动柱54均会向下移动，且底部的方形罩53内的移动柱54下移时，会带动移动盘55在多个竖向板58围成的圆筒内移动，而顶部的方形罩53内的移动柱54下移时，由于偏转板56的自由端与竖向板58的摩擦作用，竖向板58间会产生间隙，使气体顺利进入到方形筒52内；通过方形罩53和移动柱54的作用，使热气体从顶部向底部移动；

S3：并且方形罩53跟随方形筒52转动，其两侧的锥筒9会在横杆10端部偏转，而向压缩筒11处靠近，进而会挤压到三角板12，将三角板12端部挤压，进而将压缩筒11压缩，使压缩筒11与外界连通的范围变大，能够存储一部分热气，随后在方形筒52偏转过程中，将热气带到方形筒52底部；锥筒9对三角板12挤压，使压缩筒11内的空间变大，能够存留更多的热气；

S4：在加热室101内加热后，加热后的废气逐渐上升，最后通过贯通孔31进入到喷淋室102，经过喷淋后，实现对废气的处理。

本发明工作原理：

参照说明书附图1-6，将废气通过进入管2通入，随后在加热室101内加热后，加热后的废气逐渐上升，最后通过贯通孔31进入到喷淋室102，经过喷淋后，实现对废气的处理；

废气在加热室101内加热时，电机4会带动偏转装置5偏转，即两个方形筒52会发生偏转，在方形筒52偏转过程中，方形筒52带动多个方形罩53转动，转动过程中，方形罩53会将顶部的气体向底部拨动，进而能够降低热气从贯通孔31进入到喷淋室102的速率；并且在方形筒52和方形罩53偏转的过程中，底部的方形罩53内的移动柱54和顶部的方形罩53内的移动柱54均会向下移动，且底部的方形罩53内的移动柱54下移时，会带动移动盘55在多个竖向板58围成的圆筒内移动，使方形筒52顶部较热的气体通过顶部的堵杆6处进入到方形筒52内，而顶部的方形罩53内的移动柱54下移时，移动盘55外圆周面的置物槽内的偏转板56，由于偏转板56的自由端与竖向板58的摩擦作用，偏转板56的自由端会从置物槽内偏转出来，偏转板56的自由端会推动竖向板58的自由端偏转，使环形圈57变形，多个竖向板58偏转后，竖向板58间会产生间隙，进而在顶部的移动盘55下移时，不会将方形筒52内的气体压出，并且底部的堵盘7对方形筒52封堵，保证底部的移动盘55向下移动，将气体从顶部的堵杆6处抽入到方形筒52内；在移动盘55停止移动，且电机4持续工作时，方形筒52内的热气会通过位于顶部的堵杆6处重新溢出，提高了热气的滞留时间，当顶部的方形罩53转动到底部后，竖向板58间的移动盘55移动时，竖向板58的自由端会重新进入到置物槽中，竖向板58复原而重新围成一个圆筒，进而使移动盘55在移动时，能够向圆筒内抽取气体。

尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (8)

1.一种废气处理装置，包括处理通道（1）和安装在其一端的进入管（2），其特征在于：所述处理通道（1）内侧中部竖直设置有隔板（3），隔板（3）将处理通道（1）分为加热室（101）和喷淋室（102），隔板（3）侧面靠近其顶部的位置处开设有贯通孔（31）；所述隔板（3）远离喷淋室（102）的一面上安装有电机（4），电机（4）的输出轴端部安装有偏转装置（5），其中，

所述偏转装置（5）包括中间轴（51），所述中间轴（51）外侧套接有轴承，轴承前后侧均固定连接有固定杆，固定杆端部固定连接在加热室（101）内壁上；所述中间轴（51）两端均固定连接有方形筒（52），且其中一个方形筒（52）与电机（4）的输出轴固定连接，方形筒（52）顶部和底部均安装有方形罩（53），所述方形罩（53）远离方形筒（52）的一端插接有移动柱（54），移动柱（54）外侧套接有移动盘（55），移动盘（55）外圆周面开设有多个置物槽，置物槽内部设置有偏转板（56），偏转板（56）顶端铰接在置物槽顶部的孔壁上；所述方形罩（53）内壁远离方形筒（52）的位置处固定连接有环形圈（57），环形圈（57）由耐高温橡胶材料制成；所述环形圈（57）表面沿周向插接有多个竖向板（58），多个竖向板（58）围成一个圆筒，且竖向板（58）侧面与移动盘（55）外圆周面接触；所述移动盘（55）远离方形筒（52）的一面上固定连接有钢丝绳，钢丝绳一端与方形罩（53）固定连接；

方形罩（53）两侧的所述方形筒（52）上均插接有堵杆（6），堵杆（6）与方形筒（52）不接触，堵杆（6）位于方形筒（52）内部的一端固定连接有堵盘（7）；堵盘（7）两侧均固定连接有限位板（8），限位板（8）嵌入到方形筒（52）侧壁上，且限位板（8）能够沿移动柱（54）的长度方向移动。

2.根据权利要求1所述的一种废气处理装置，其特征在于：所述方形罩（53）两侧均固定连接有锥筒（9），锥筒（9）的直径逐渐向靠近方形筒（52）的方向变小，且锥筒（9）的尖端铰接有横杆（10），横杆（10）与方形罩（53）固定连接；所述方形罩（53）两侧均固定连接有压缩筒（11），压缩筒（11）的移动段固定连接有三角板（12），三角板（12）的厚度逐渐向远离方形筒（52）的方向变小。

3.根据权利要求2所述的一种废气处理装置，其特征在于：所述锥筒（9）内部开设有竖直腔（13），竖直腔（13）内部设置有与其大小相匹配的重力球（14），锥筒（9）的尖端开设有进入孔，进入孔与竖直腔（13）连通。

4.根据权利要求1所述的一种废气处理装置，其特征在于：所述方形罩（53）前侧面和后侧面均为弧形面，且弧形面到移动柱（54）的距离逐渐由两侧向中部变小，弧形面到移动柱（54）的距离逐渐向靠近方形筒（52）的方向变小。

5.根据权利要求1所述的一种废气处理装置，其特征在于：所述贯通孔（31）的高度逐渐向喷淋室（102）处变小。

6.根据权利要求1所述的一种废气处理装置，其特征在于：所述方形筒（52）的侧面为方形，且方形筒（52）侧面的长度比进入管（2）的直径大。

7.根据权利要求1所述的一种废气处理装置，其特征在于：所述移动柱（54）位于方形筒（52）内部的一端为凸起端，且移动柱（54）表面经过抛光处理。

8.一种废气处理方法，该方法适用于权利要求1-7任意一项所述的废气处理装置，其特征在于：该方法包括以下步骤：

S1：将废气通过进入管（2）通入，同时电机（4）带动偏转装置（5）偏转，方形筒（52）带动多个方形罩（53）转动；

S2：底部的方形罩（53）内的移动柱（54）和顶部的方形罩（53）内的移动柱（54）均会向下移动，且底部的方形罩（53）内的移动柱（54）下移时，会带动移动盘（55）在多个竖向板（58）围成的圆筒内移动，而顶部的方形罩（53）内的移动柱（54）下移时，由于偏转板（56）的自由端与竖向板（58）的摩擦作用，竖向板（58）间会产生间隙，使气体顺利进入到方形筒（52）内；

S3：并且方形罩（53）跟随方形筒（52）转动，其两侧的锥筒（9）会在横杆（10）端部偏转，而向压缩筒（11）处靠近，进而会挤压到三角板（12），将三角板（12）端部挤压，进而将压缩筒（11）压缩，使压缩筒（11）与外界连通的范围变大，能够存储一部分热气，随后在方形筒（52）偏转过程中，将热气带到方形筒（52）底部；

S4：在加热室（101）内加热后，加热后的废气逐渐上升，最后通过贯通孔（31）进入到喷淋室（102），经过喷淋后，实现对废气的处理。

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