CN112809662B - 机械手 - Google Patents

Abstract

本公开提供了一种机械手，属于机械技术领域。包括第一转动机构、第二转动机构、升降机构和夹具；第一转动机构包括驱动器、转轴、轴套和齿轮箱，驱动器的输出端与转轴的第一端相连，转轴的第二端与齿轮箱相连，轴套可转动地套设在转轴外，轴套的第一端与升降机构的输出端相连，轴套的第二端位于齿轮箱内，且可相对于齿轮箱转动；第二转动机构包括太阳齿轮、行星齿轮、蜗杆和蜗轮，太阳齿轮可转动地位于齿轮箱内，行星齿轮可转动地位于齿轮箱内，且与太阳齿轮相啮合，行星齿轮的转动轴线和太阳齿轮的转动轴线平行，蜗杆的第一端与行星齿轮同轴相连，蜗杆的第二端与蜗轮相啮合；夹具与蜗杆相连。本公开能够保证工序中产品的均匀性。

Description

机械手

技术领域

本公开属于机械技术领域，特别涉及一种机械手。

背景技术

在半导体制程中，化学腐蚀和化学清洗是必不可少的关键工序。在上述工序中，需要用到各种具有强腐蚀、有毒有害的化学药品。为了避免这些化学药品对操作人员造成伤害，通常在上述工序中采用机械手和槽体来进行配合作业。

在相关技术中，机械手连接晶圆花篮，槽体容置化学药品。通过一套机构驱动机械手在垂直于水平方向上竖直移动，从而实现机械手和槽体之间的相对竖直移动。通过另一套机构驱动槽体在水平方向上水平移动，从而实现机械手和槽体之间的相对水平移动。

然而，仅靠竖直方向和水平方向的移动，无法对工序中产品的均匀性进行保证。

发明内容

本公开实施例提供了一种机械手，能够保证工序中产品的均匀性。所述技术方案如下：

本公开实施例提供了一种机械手，包括第一转动机构、第二转动机构、升降机构和夹具；

所述第一转动机构包括驱动器、转轴、轴套和齿轮箱，所述驱动器的输出端与所述转轴的第一端相连，所述转轴的第二端与所述齿轮箱相连，所述轴套可转动地套设在所述转轴外，所述轴套的第一端与所述升降机构的输出端相连，所述轴套的第二端位于所述齿轮箱内，且可相对于所述齿轮箱转动，所述齿轮箱的转动轴线和所述转轴的转动轴线同轴；

所述第二转动机构包括太阳齿轮、行星齿轮、蜗杆和蜗轮，所述太阳齿轮可转动地位于所述齿轮箱内，且与所述轴套的第二端同轴相连，所述行星齿轮可转动地位于所述齿轮箱内，且与所述太阳齿轮相啮合，所述行星齿轮的转动轴线和所述太阳齿轮的转动轴线平行，所述蜗杆的第一端与所述行星齿轮同轴相连，所述蜗杆的第二端伸出所述齿轮箱，且与所述蜗轮相啮合，所述蜗轮的转动轴线垂直于所述蜗杆的转动轴线；

所述夹具与所述蜗杆相连。

在本公开的一种实现方式中，所述轴套包括套筒和连扳；

所述套筒可转动地套设在所述转轴外，且与所述转轴同轴，所述套筒的第一端与所述连扳的第一板面相连，所述套筒的第二端与所述太阳齿轮同轴相连；

所述连扳的第二板面与所述升降机构的输出端相连。

在本公开的另一种实现方式中，所述轴套还包括第一轴承，所述第一轴承插接在所述连扳的第二板面，且与所述套筒同轴，所述第一轴承的内径小于所述套筒的内径，所述第一轴承的内壁与所述转轴的外壁滑动配合。

在本公开的又一种实现方式中，所述轴套还包括突面法兰，所述突面法兰可滑动地同轴套设在所述套筒外，所述突面法兰用于插接在固定台架内。

在本公开的又一种实现方式中，所述转轴的第二端具有法兰板，所述法兰板与所述转轴同轴，所述法兰板的板面与所述齿轮箱的外壁相连。

在本公开的又一种实现方式中，所述齿轮箱包括箱体和第一夹持筒；

所述箱体内具有用于容置所述太阳齿轮和所述行星齿轮的第一空腔；

所述第一夹持筒位于所述箱体的背离所述驱动器的一侧，且与所述齿轮箱的转动轴线平行，所述第一夹持筒的第一端与所述箱体的外壁相连，所述第一夹持筒内具有用于容置所述蜗轮和所述蜗杆的第二空腔。

在本公开的又一种实现方式中，所述齿轮箱还包括第二轴承和第三轴承；

所述第二轴承位于所述第一空腔内，且与所述行星齿轮同轴，所述第二轴承插接在所述箱体的内壁，所述第二轴承同轴套接在所述转轴的第一端处；

所述第三轴承位于所述第二空腔内，且与所述行星齿轮同轴，所述第三轴承插接在所述第一夹持筒的内壁，所述第三轴承同轴套接在所述转轴的第二端处。

在本公开的又一种实现方式中，所述齿轮箱还包括第二夹持筒，所述第二夹持筒与所述第一夹持筒位于所述箱体的同一侧，且与所述第一夹持筒平行；

所述夹具位于所述第一夹持筒和所述第二夹持筒之间，且分别可转动地插设在所述第一夹持筒和所述第二夹持筒上。

在本公开的又一种实现方式中，所述夹具包括第一夹持件和第二夹持件；

所述第一夹持件可转动地插设在所述第一夹持筒上，且与所述蜗轮相连；

所述第二夹持件可转动地插设在所述第二夹持筒上，且所述第二夹持件与所述第一夹持件相互间隔，以在所述第二夹持件和所述第一夹持件之间形成夹持空间。

在本公开的又一种实现方式中，所述第一夹持件包括转柱和夹板；

所述转柱的第一端可转动地插设在所述第一夹持筒内，且与所述蜗轮同轴相连，所述转柱的第二端伸出所述第一夹持筒，且于所述夹板的第一板面同轴相连；

所述夹板的第二板面朝向所述夹持空间。

本公开实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

在通过本公开实施例提供的机械手进行作业时，利用夹具连接晶圆花篮。若需要驱动晶圆花篮在竖直方向上移动，以浸入或脱离槽体内的化学药品时。通过升降机构驱动轴套竖直移动，由于轴套的第二端与太阳齿轮相连，所以太阳齿轮随之一同竖直移动。又由于太阳齿轮、行星齿轮、蜗杆、蜗轮和齿轮箱为一个整体，所以也随之一同竖直移动，从而使得与蜗杆相连的夹具带动晶圆花篮竖直移动。

若需要驱动晶圆花篮在水平轴和竖直轴上转动，以更好的与化学药品接触时。通过驱动器驱动转轴转动，由于转轴的第二端与齿轮箱相连，所以齿轮箱随之相对于太阳齿轮旋转。又由于太阳齿轮、行星齿轮、蜗杆、蜗轮和齿轮箱为一个整体，所以也随之一同绕齿轮箱的转动轴线转动，从而使得与蜗杆相连的夹具带动晶圆花篮绕齿轮箱的转动轴线转动，即实现在竖直轴上转动。与此同时，由于行星齿轮与太阳齿轮相啮合，所以行星齿轮会同步发生自转，从而带动蜗杆和蜗轮自转。由于蜗轮的转动轴线垂直于蜗杆的转动轴线，所以与蜗杆相连的夹具带动晶圆花篮以蜗轮的旋转轴线为轴一同转动，即实现在水平轴上转动。

也就是说，本公开实施例提供的机械手，不仅能够驱动晶圆花篮竖直移动，以实现晶圆花篮浸入或脱离槽体内的化学药品，还能够驱动晶圆花篮在水平轴和竖直轴上转动，以实现晶圆花篮在竖直和水平两个维度上的转动，从而更好的与化学药品接触，进而能够保证工序中产品的均匀性。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本公开实施例提供的机械手的剖视图；

图2是本公开实施例提供的机械手的传动关系图。

图中各符号表示含义如下：

1、第一转动机构；11、驱动器；12、转轴；13、轴套；131、套筒；132、连扳；133、第一轴承；134、突面法兰；14、齿轮箱；141、箱体；142、第一夹持筒；143、第二夹持筒；144、第二轴承；145、第三轴承；15、法兰板；A、第一空腔；B、第二空腔；C、夹持空间；

2、第二转动机构；21、太阳齿轮；22、行星齿轮；23、蜗杆；24、蜗轮；

3、升降机构；

4、夹具；41、第一夹持件；411、转柱；412、夹板；42、第二夹持件；

100、固定台架；200、晶圆花篮；300、槽体。

具体实施方式

为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本公开实施方式作进一步地详细描述。

在半导体制程中，化学腐蚀和化学清洗是必不可少的关键工序。在上述工序中，需要利用化学药品对晶圆进行作业，而这些化学药品具有强腐蚀、有毒有害的特性。为了避免在作业过程中，这些化学药品对操作人员造成伤害，通常采用机械手和槽体来进行上述作业。

在相关技术中，机械手连接晶圆花篮，晶圆花篮中放置有晶圆，槽体放置在机械手的下放，其中容置有化学药品。通过一套机构驱动机械手在垂直于水平方向上竖直移动，从而实现机械手和槽体之间的相对竖直移动，以使得晶圆花篮浸入或脱离槽体内的化学药品。通过另一套机构驱动槽体在水平方向上水平移动，从而实现机械手和槽体之间的相对水平移动，以调整晶圆花篮在槽体内的位置。

然而，仅靠竖直方向和水平方向的移动，无法对工序中产品的均匀性进行保证。

为了解决上述技术问题，本公开实施例提供了一种机械手，如图1所示，该机械手包括第一转动机构1、第二转动机构2、升降机构3和夹具4。

第一转动机构1包括驱动器11、转轴12、轴套13和齿轮箱14，驱动器11的输出端与转轴12的第一端相连，转轴12的第二端与齿轮箱14相连，轴套13可转动地套设在转轴12外，轴套13的第一端与升降机构3的输出端相连，轴套13的第二端位于齿轮箱14内，且可相对于齿轮箱14转动，齿轮箱14的转动轴线和转轴12的转动轴线同轴。

第二转动机构2包括太阳齿轮21、行星齿轮22、蜗杆23和蜗轮24，太阳齿轮21可转动地位于齿轮箱14内，且与轴套13的第二端同轴相连，行星齿轮22可转动地位于齿轮箱14内，且与太阳齿轮21相啮合，行星齿轮22的转动轴线和太阳齿轮21的转动轴线平行，蜗杆23的第一端与行星齿轮22同轴相连，蜗杆23的第二端伸出齿轮箱14，且与蜗轮24相啮合，蜗轮24的转动轴线垂直于蜗杆23的转动轴线；

夹具4与蜗杆23相连。

在通过本公开实施例提供的机械手进行作业时，利用夹具4连接晶圆花篮200。若需要驱动晶圆花篮200在竖直方向上移动，以浸入或脱离槽体300内的化学药品时。通过升降机构3驱动轴套13竖直移动，由于轴套13的第二端与太阳齿轮21相连，所以太阳齿轮21随之一同竖直移动。又由于太阳齿轮21、行星齿轮22、蜗杆23、蜗轮24和齿轮箱14为一个整体，所以也随之一同竖直移动，从而使得与蜗杆23相连的夹具4带动晶圆花篮200竖直移动。

若需要驱动晶圆花篮200在水平轴(x轴)和竖直轴(y轴)上转动，以更好的与化学药品接触时。通过驱动器11驱动转轴12转动，由于转轴12的第二端与齿轮箱14相连，所以齿轮箱14随之相对于太阳齿轮21旋转。又由于太阳齿轮21、行星齿轮22、蜗杆23、蜗轮24和齿轮箱14为一个整体，所以也随之一同绕齿轮箱14的转动轴线转动，从而使得与蜗杆23相连的夹具4带动晶圆花篮200绕齿轮箱14的转动轴线转动，即实现在竖直轴上转动。与此同时，由于行星齿轮22与太阳齿轮21相啮合，所以行星齿轮22会同步发生自转，从而带动蜗杆23和蜗轮24自转。由于蜗轮24的转动轴线垂直于蜗杆23的转动轴线，所以与蜗杆23相连的夹具4带动晶圆花篮200以蜗轮24的旋转轴12线为轴一同转动，即实现在水平轴上转动。

也就是说，本公开实施例提供的机械手，不仅能够驱动晶圆花篮200竖直移动，以实现晶圆花篮200浸入或脱离槽体300内的化学药品，还能够驱动晶圆花篮200在水平轴和竖直轴上转动，以实现晶圆花篮200在竖直和水平两个维度上的转动，从而更好的使得晶圆花篮200内的晶圆与化学药品接触，进而能够保证工序中产品的均匀性。

在本实施例中，升降机构3为电缸，驱动器11为伺服电机。升降机构3的输出端为电缸的活塞杆，活塞杆竖直布置。将电缸的活塞杆与轴套13相连，以通过活塞杆的伸缩来驱动轴套13在竖直方向上移动，从而实现晶圆花篮200在竖直方向上的移动。

当然，在其他实施例中，升降机构3也能够是气缸、油缸等，本公开对此不作限制。

由前文可知，第一转动机构1实现了晶圆花篮200在竖直轴上的旋转，第二转动机构2实现了晶圆花篮200在水平轴上的旋转。下面分别对第一转动机构1和第二转动机构2进行介绍。

参见图1，在本实施例中，轴套13包括套筒131和连扳132。

套筒131可转动地套设在转轴12外，且与转轴12同轴，套筒131的第一端与连扳132的第一板面相连，套筒131的第二端与太阳齿轮21同轴相连。连扳132的第二板面与升降机构3的输出端相连。

在上述实现方式中，套筒131为轴套13的主体，其起到传递竖直方向上作用力的作用。连扳132连接在套筒131和升降机构3的输出端之间，以将升降机构3的输出端与套筒131连接在了一起。

另外，通过连扳132连接升降机构3的输出端和套筒131，能够使得升降机构3和驱动器11均位于连扳132的第二板面侧，以便于升降机构3和驱动器11的合理布置，提高了机械手的结构紧凑性。示例性地，升降机构3位于连扳132的长度方向的一端，驱动器11位于连扳132的长度方向的另一端，从而有效的避免了升降机构3和驱动器11之间产生相互影响，提高了机械手的可靠性。

示例性地，套筒131的第一端和连扳132的第一板面之间焊接在一起，以保证套筒131和连扳132之间的连接稳定性。当然，在其他实施例中，套筒131和连扳132也能够是一体式结构件，本公开对此不做限制。

由于套筒131在升降机构3的作用下会竖直移动，所以为了避免其在移动的过程中出现歪斜，在本实施例中，轴套13还包括突面法兰134，突面法兰134可滑动地同轴套13设在套筒131外，突面法兰134用于插接在固定台架100内。

固定台架100固定在载体上，例如墙面、地面等位置，为突面法兰134提供安装基础。突面法兰134的凸出部分插接在固定台架100内，突面法兰134的法兰部分通过螺栓与固定台架100相连，从而实现突面法兰134与固定台架100之间的固定连接。套筒131可滑动地突面法兰134的内孔，使得套筒131的外壁与突面法兰134的内壁之间滑动配合，既能满足套筒131相对于突面法兰134的轴向移动，又能够对套筒131的轴向移动进行导向和扶持，避免了套筒131在移动过程中倾斜，保证了机械手的可靠性。

由前文可知，齿轮箱14的转动，是由转轴12来驱动的，所以齿轮箱14和转轴12之间的连接稳定性，将直接影响到齿轮箱14的转动。在本实施例中，转轴12的第二端具有法兰板15，法兰板15与转轴12同轴，法兰板15的板面与齿轮箱14的外壁相连。

在上述实现方式中，转轴12和齿轮箱14之间通过法兰板15进行连接，从而增大了转轴12和齿轮箱14之间的连接面积，提高了连接稳定性。

示例性地，转轴12的第二端贯穿齿轮箱14，并位于齿轮箱14的背离驱动器11的一侧，法兰板15与齿轮箱14的外壁相贴，并与转轴12相连。如此设计，能够进一步地保证转轴12、齿轮箱14和法兰板15三者之间的稳固连接。

可选地，法兰板15和转轴12之间通过螺栓相连。为了保证螺栓不会在转轴12转动的过程中松脱，螺栓上可以套设防松垫片，或者采用自锁螺栓。

在转轴12转动的过程中，转轴12与套筒131之间会产生相对转动。为了避免转轴12的外壁和套筒131的内壁之间产生相对摩擦，在本实施例中，轴套13还包括第一轴承133，第一轴承133插接在连扳132的第二板面，且与套筒131同轴，第一轴承133的内径小于套筒131的内径，第一轴承133的内壁与转轴12的外壁滑动配合。

在上述实现方式中，由于第一轴承133的内径小于套筒131的内径，所以当转轴12的外壁与第一轴承133的内壁接触时，转轴12的外壁必然不会与套筒131的内壁接触，从而使得转轴12的外壁和套筒131的内壁之间存在间隙，避免了转轴12和套筒131之间直接摩擦。

示例性地，第一轴承133为滑动轴承，从而能够利用滑动轴承噪声低、可靠性高的特征。并且，在第一轴承133处涂设有润滑油，以进一步地减少摩擦。

继续参见图1，在本实施例中，齿轮箱14包括箱体141和第一夹持筒142。

箱体141内具有用于容置太阳齿轮21和行星齿轮22的第一空腔A。第一夹持筒142位于箱体141的背离驱动器11的一侧，且与齿轮箱14的转动轴线平行，第一夹持筒142的第一端与箱体141的外壁相连，第一夹持筒142内具有用于容置蜗轮24和蜗杆23的第二空腔B。

箱体141内部具有第一空腔A，第一空间用于容置太阳齿轮21和行星齿轮22。第一夹持筒142内具有第二空腔B，第二空腔B用于容置蜗杆23和蜗轮24。由于箱体141和第一夹持筒142相连，所以不仅使得箱体141和第一夹持筒142成为一个整体，太阳齿轮21、行星齿轮22、蜗轮24和蜗杆23同样也成为一个整体。如此一来，当箱体141在转轴12的带动下，以自身的转动轴线为轴转动时，第一夹持筒142、行星齿轮22、蜗轮24和蜗杆23也会同步以箱体141的转动轴线为轴转动(绕箱体141的转动轴线公转)。又由于夹具4与蜗轮24相连，所以夹具4也将随之一同以箱体141的转动轴线为轴转动，从而带动与夹具4相连的晶圆花篮200以箱体141的转动轴线为轴转动，实现在竖直轴上转动。

由于行星齿轮22与太阳齿轮21之间啮合，所以行星齿轮22在以箱体141的转动轴线为轴，绕太阳齿轮21公转的过程中，行星齿轮22也会同步自转，自转的转动轴线为行星齿轮22自身的轴线。如此一来，就会带动蜗杆23相对于箱体141和第一夹持筒142同轴转动，蜗轮24也同步转动。由于蜗轮24的转动轴线垂直于蜗杆23的转动轴线，所以蜗轮24将带动夹具4以蜗轮24的旋转轴12线为轴一同转动，从而带动与夹具4相连的晶圆花篮200以蜗轮24的旋转轴12线为轴转动，实现在水平轴上转动。

为了避免蜗杆23与箱体141和第一夹持筒142之间产生相对摩擦，在本实施例中，齿轮箱14还包括第二轴承144和第三轴承145。

第二轴承144位于第一空腔A内，且与行星齿轮22同轴，第二轴承144插接在箱体141的内壁，第二轴承144同轴套13接在转轴12的第一端处。第三轴承145位于第二空腔B内，且与行星齿轮22同轴，第三轴承145插接在第一夹持筒142的内壁，第三轴承145同轴套13接在转轴12的第二端处。

示例性地，第二轴承144和第三轴承145为滚珠轴承。箱体141的内壁底面处和第一夹持筒142的内壁底面处分别具有轴承槽，第二轴承144和第三轴承145分别插接在对应的轴承槽中。

继续参见图1，在本实施例中，齿轮箱14还包括第二夹持筒143，第二夹持筒143与第一夹持筒142位于箱体141的同一侧，且与第一夹持筒142平行。夹具4位于第一夹持筒142和第二夹持筒143之间，且分别可转动地插设在第一夹持筒142和第二夹持筒143上。

在上述实现方式中，第一夹持筒142和第二夹持筒143的结构相同，通过增设第二夹持筒143，能够增加夹具4的安装基础，使得夹具4能够更为稳固的安装在齿轮箱14上。

对于夹具4来说，在本实施例中，夹具4包括第一夹持件41和第二夹持件42。

第一夹持件41可转动地插设在第一夹持筒142上，且与蜗轮24相连。第二夹持件42可转动地插设在第二夹持筒143上，且第二夹持件42与第一夹持件41相互间隔，以在第二夹持件42和第一夹持件41之间形成夹持空间C。

也就是说，夹具4由两部分构成，分别是第一夹持件41和第二夹持件42，第一夹持件41和第二夹持件42相间隔，以形成用于夹持晶圆花篮200的夹持空间C。并且，由于第一夹持件41和蜗轮24相连，所以第一夹持件41将在蜗轮24的带动下以蜗轮24的转动轴线为轴转动，而第二夹持件42则为从动件，会随着被第一夹持件41所带动的晶圆花篮200一同以蜗轮24的转动轴线为轴转动。另外，由于第一夹持筒142和第二夹持筒143均随着箱体141一同以箱体141的转动轴线为轴转动，所以第一夹持件41和第二夹持件42也一同以箱体141的转动轴线为轴转动。

示例性地，第一夹持件41包括转柱411和夹板412。

转柱411的第一端可转动地插设在第一夹持筒142内，且与蜗轮24同轴相连，转柱411的第二端伸出第一夹持筒142，且于夹板412的第一板面同轴相连。夹板412的第二板面朝向夹持空间C。

转柱411用于起到传动的作用，两个夹板412相对布置，用于一同将晶圆花篮200夹持在夹持空间C中。

图2为机械手的传动关系图，下面结合图2，简单介绍一下机械手的动作过程。

升降动作：升降机构3带动轴套13竖直移动，轴套13带动太阳齿轮21竖直移动，太阳齿轮21带动齿轮箱14竖直移动，箱体141带动行星齿轮22竖直移动，行星齿轮22带动蜗杆23竖直移动，蜗杆23带动蜗轮24竖直移动，蜗轮24带动夹具4竖直移动。

y轴转动：驱动器11带动转轴12自转，转轴12带动齿轮箱14自转，齿轮箱14带动行星齿轮22公转，公转的行星齿轮22带动蜗杆23公转，公转的蜗杆23带动蜗轮24公转，公转的蜗轮24带动夹具4公转，即沿y轴转动。

y轴转动：驱动器11带动转轴12自转，转轴12带动齿轮箱14自转，齿轮箱14带动行星齿轮22公转，在行星齿轮22公转的过程中，行星齿轮22在太阳齿轮21的作用下同步自转，自转的行星齿轮22带动蜗杆23自转，自转的蜗杆23带动蜗轮24自转，自转的蜗轮24带动夹具4自转，即沿x轴转动。

由此可见，升降动作是由升降机构3发起的，而y轴转动和y轴转动是由驱动器11发起的，且y轴转动和y轴转动同步进行。

通过本公开实施例所提供的机械手进行加工时，不仅能够保证产品的均匀性，还能够提升化学药品的有效利用率，降低成本，减少危废排放量。

并且，除了能够应用于半导体制造行业之外，还能够应用于太阳能电池、微机电、印刷电路板、精密机械等产业。

以上所述仅为本公开的可选实施例，并不用以限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种机械手，其特征在于，包括第一转动机构(1)、第二转动机构(2)、升降机构(3)和夹具(4)；

所述第一转动机构(1)包括驱动器(11)、转轴(12)、轴套(13)和齿轮箱(14)，所述驱动器(11)的输出端与所述转轴(12)的第一端相连，所述转轴(12)的第二端与所述齿轮箱(14)相连，所述轴套(13)可转动地套设在所述转轴(12)外，所述轴套(13)的第一端与所述升降机构(3)的输出端相连，所述轴套(13)的第二端位于所述齿轮箱(14)内，且可相对于所述齿轮箱(14)转动，所述齿轮箱(14)的转动轴线和所述转轴(12)的转动轴线同轴；

所述第二转动机构(2)包括太阳齿轮(21)、行星齿轮(22)、蜗杆(23)和蜗轮(24)，所述太阳齿轮(21)可转动地位于所述齿轮箱(14)内，且与所述轴套(13)的第二端同轴相连，所述行星齿轮(22)可转动地位于所述齿轮箱(14)内，且与所述太阳齿轮(21)相啮合，所述行星齿轮(22)的转动轴线和所述太阳齿轮(21)的转动轴线平行，所述蜗杆(23)的第一端与所述行星齿轮(22)同轴相连，所述蜗杆(23)的第二端伸出所述齿轮箱(14)，且与所述蜗轮(24)相啮合，所述蜗轮(24)的转动轴线垂直于所述蜗杆(23)的转动轴线；

所述夹具(4)与所述蜗杆(23)相连。

2.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述轴套(13)包括套筒(131)和连板(132)；

所述套筒(131)可转动地套设在所述转轴(12)外，且与所述转轴(12)同轴，所述套筒(131)的第一端与所述连板(132)的第一板面相连，所述套筒(131)的第二端与所述太阳齿轮(21)同轴相连；

所述连板(132)的第二板面与所述升降机构(3)的输出端相连。

3.根据权利要求2所述的机械手，其特征在于，所述轴套(13)还包括第一轴承(133)，所述第一轴承(133)插接在所述连板(132)的第二板面，且与所述套筒(131)同轴，所述第一轴承(133)的内径小于所述套筒(131)的内径，所述第一轴承(133)的内壁与所述转轴(12)的外壁滑动配合。

4.根据权利要求2所述的机械手，其特征在于，所述轴套(13)还包括突面法兰(134)，所述突面法兰(134)可滑动地同轴套设在所述套筒(131)外，所述突面法兰(134)用于插接在固定台架(100)内。

5.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述转轴(12)的第二端具有法兰板(15)，所述法兰板(15)与所述转轴(12)同轴，所述法兰板(15)的板面与所述齿轮箱(14)的外壁相连。

6.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述齿轮箱(14)包括箱体(141)和第一夹持筒(142)；

所述箱体(141)内具有用于容置所述太阳齿轮(21)和所述行星齿轮(22)的第一空腔(A)；

所述第一夹持筒(142)位于所述箱体(141)的背离所述驱动器(11)的一侧，且与所述齿轮箱(14)的转动轴线平行，所述第一夹持筒(142)的第一端与所述箱体(141)的外壁相连，所述第一夹持筒(142)内具有用于容置所述蜗轮(24)和所述蜗杆(23)的第二空腔(B)。

7.根据权利要求6所述的机械手，其特征在于，所述齿轮箱(14)还包括第二轴承(144)和第三轴承(145)；

所述第二轴承(144)位于所述第一空腔(A)内，且与所述行星齿轮(22)同轴，所述第二轴承(144)插接在所述箱体(141)的内壁，所述第二轴承(144)同轴套接在所述转轴(12)的第一端处；

所述第三轴承(145)位于所述第二空腔(B)内，且与所述行星齿轮(22)同轴，所述第三轴承(145)插接在所述第一夹持筒(142)的内壁，所述第三轴承(145)同轴套接在所述转轴(12)的第二端处。

8.根据权利要求6所述的机械手，其特征在于，所述齿轮箱(14)还包括第二夹持筒(143)，所述第二夹持筒(143)与所述第一夹持筒(142)位于所述箱体(141)的同一侧，且与所述第一夹持筒(142)平行；

所述夹具(4)位于所述第一夹持筒(142)和所述第二夹持筒(143)之间，且分别可转动地插设在所述第一夹持筒(142)和所述第二夹持筒(143)上。

9.根据权利要求8所述的机械手，其特征在于，所述夹具(4)包括第一夹持件(41)和第二夹持件(42)；

所述第一夹持件(41)可转动地插设在所述第一夹持筒(142)上，且与所述蜗轮(24)相连；

所述第二夹持件(42)可转动地插设在所述第二夹持筒(143)上，且所述第二夹持件(42)与所述第一夹持件(41)相互间隔，以在所述第二夹持件(42)和所述第一夹持件(41)之间形成夹持空间(C)。

10.根据权利要求9所述的机械手，其特征在于，所述第一夹持件(41)包括转柱(411)和夹板(412)；

所述转柱(411)的第一端可转动地插设在所述第一夹持筒(142)内，且与所述蜗轮(24)同轴相连，所述转柱(411)的第二端伸出所述第一夹持筒(142)，且于所述夹板(412)的第一板面同轴相连；

所述夹板(412)的第二板面朝向所述夹持空间(C)。

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