CN112748642B - 一种导流均流装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及光刻设备技术领域，公开一种导流均流装置。所述导流均流装置包括均流组件和导流组件，均流组件包括罩壳，罩壳安装于风机末端空间壁面上，导流组件设置于罩壳内，且罩壳的表面上开设有多个均流孔。风机出风从风机末端空间壁面流入罩壳内，并在导流组件的导流下，从多个均流孔中流出，使得该导流均流装置实现导流和均流的双重作用，保持风机末端静压腔压力和温度均匀，提高光路的均匀性，且提高换热效率，保护光刻设备中部件不受损坏，延长部件的使用寿命。本发明中的导流组件包括导流板，导流板角度可调地设置于风机末端空间壁面上，可以根据不同的工况调整导流板的角度，不需重新设计导流均流装置，提高了其适用性。

Description

一种导流均流装置

技术领域

本发明涉及光刻设备技术领域，尤其涉及一种导流均流装置。

背景技术

在光刻机设备环境分系统中广泛应用风机来实现光刻设备的气浴供风及环境回风，其利用风机来实现光刻设备供风和回风的特点是流量大，流速高。并且，风机末端经常连接有过滤器，换热器，温度控制装置等部件，受风机出风流量大，流速高等特点的影响，仅对其出风进行导流设置有可能会造成过滤器的损坏、换热效率低下、气浴温度难以精确控制等问题。由此，针对风机出风不但要实现对其进行有效的导流，同时也要对其进行有效的均流。

现有技术中，导流均流装置能够实现对风机出风的导流和均流，但是需要根据不同工况重新设计该导流均流装置，设计周期长，适用性差。

因此，亟需提供一种导流均流装置，以解决上述问题。

发明内容

基于以上所述，本发明的目的在于提供一种导流均流装置，能提高光路的均匀性，且提高换热效率，保护光刻设备中部件不受损坏，延长部件的使用寿命。

为达上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种导流均流装置，

一种导流均流装置，包括：

均流组件，其包括罩壳，所述罩壳安装于风机末端空间壁面上，所述罩壳的表面上开设有多个均流孔；

导流组件，其设置于所述罩壳内，所述导流组件包括导流板，所述导流板能够角度可调地设置于所述风机末端空间壁面上。

进一步地，所述导流组件还包括支撑架，所述支撑架安装于所述风机末端空间壁面上，所述导流板能够角度可调地设置于所述支撑架上。

进一步地，所述导流组件还包括连接件，所述连接件设置于所述支撑架上，所述导流板角度可调地设置于所述连接件上。

进一步地，所述连接件位置可调地设置于所述支撑架上。

进一步地，所述支撑架上开设有长槽，所述连接件可选择地安装于所述长槽的任一位置上。

进一步地，所述连接件包括第一连接部，所述导流板角度可调地设置于所述第一连接部上。

进一步地，所述第一连接部上设置有角度测量装置，所述角度测量装置用于测量所述导流板转动的角度。

进一步地，所述连接件还包括第二连接部，所述第二连接部与所述第一连接部连接，所述第二连接部可选择地安装于所述长槽的任一位置上。

进一步地，所述支撑架包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部的两端均设有所述第二支撑部，所述第一支撑部与所述罩壳的顶面连接，所述第二支撑部与所述风机末端空间壁面连接，每个所述第二支撑部上均设置有所述长槽。

进一步地，所述支撑架的数量为至少两个，所述导流板的两端分别与相邻的两个所述支撑架中齐平的所述长槽连接。

进一步地，所述导流板的数量为至少一个，每个所述导流板的两端均与相邻的两个所述支撑架中齐平的所述长槽连接。

进一步地，位于所述支撑架同一侧的所述导流板的数量设置为四个，且四个所述导流板等间隔平行连接于所述长槽中。

进一步地，所述角度测量装置为刻度盘盘。

进一步地，所述导流板为平板结构。

本发明的有益效果为：

本发明提供的导流均流装置包括均流组件和导流组件，均流组件包括罩壳，罩壳安装于风机末端空间壁面上，导流组件设置于罩壳内，且罩壳的表面上开设有多个均流孔。风机出风从风机末端空间壁面流入罩壳内，并在导流组件的导流下，从多个均流孔中流出，使得该导流均流装置实现导流和均流的双重作用，保持风机末端静压腔压力和温度均匀，提高光路的均匀性，且提高换热效率，保护光刻设备中部件不受损坏，延长部件的使用寿命。导流组件包括导流板，导流板角度可调地设置于风机末端空间壁面上，可以根据不同的工况调整导流板的角度，不需重新设计导流均流装置，提高了其适用性。该导流均流装置尺寸较小，占用空间小，便于在光刻机内部狭小空间内布置。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施方式的技术方案，下面将对实施方式描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：

图1是本发明具体实施方式提供的导流均流装置的结构示意图；

图2是本发明具体实施方式提供的导流均流装置另一视角的结构示意图；

图3是本发明具体实施方式提供的导流均流装置的部分结构示意图一；

图4是本发明具体实施方式提供的侧板组件的结构示意图；

图5是本发明具体实施方式提供的导流均流装置的部分结构示意图二；

图6是本发明具体实施方式提供的支撑架的结构示意图；

图7是本发明具体实施方式提供的连接件的结构示意图；

图8是本发明具体实施方式提供的导流板的结构示意图；

图9是本发明具体实施方式提供的导流均流装置的部分结构示意图三；

图10是双风机末端静压腔无均流组件、无导流组件的迹线图；

图11是双风机末端静压腔无均流组件、有导流组件的迹线图；

图12是双风机末端静压腔有均流组件、无导流组件的迹线图；

图13是双风机末端静压腔有均流组件、有导流组件的迹线图；

图14是双风机末端静压腔无均流组件、无导流组件的压力云图；

图15是双风机末端静压腔无均流组件、有导流组件的压力云图；

图16是双风机末端静压腔有均流组件、无导流组件的压力云图；

图17是双风机末端静压腔有均流组件、有导流组件的压力云图；

图18是双风机末端静压腔无均流组件、无导流组件的温度云图；

图19是双风机末端静压腔有均流组件、有导流组件的温度云图。

图中：

1-均流组件；2-导流组件；3-风机末端空间壁面；

11-罩壳；12-均流孔；21-导流板；22-支撑架；23-连接件；31-通风孔；

111-安装部；112-侧板；113-顶板；211-导流板本体；212-连接块；221-长槽；222-第一支撑部；223-第二支撑部；231-第一连接部；232-第二连接部；233-角度测量装置；234-连接孔。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施方式仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

如图1-图8所示，本实施方式提供一种导流均流装置，该导流均流装置可适用于光刻机设备环境分系统中，利用该导流均流装置为风机出风提供导流和均流，以实现光刻设备的供风和回风。当然，该导流均流装置还可用于其他为气流提供导流和均流的场景中，本实施方式对此不作限定。

如图1和图2所示，该导流均流装置安装于风机末端空间壁面3上，风机末端空间壁面3上开设有通风孔31，风机出风从通风孔31进入该导流装置中，以完成对风机出风的导流和均流。

如图2和图3所示，该导流均流装置包括均流组件1和导流组件2，均流组件1用于对风机出风的均流，导流组件2用于对风机出风的导流。均流组件1包括罩壳11，罩壳11安装于风机末端空间壁面3上，导流组件2设置于罩壳11内，且罩壳11的表面上开设有多个均流孔12。风机出风从风机末端空间壁面3的通风孔31流入罩壳11内，并在导流组件2的导流下，从多个均流孔12中流出，使得该导流均流装置实现导流和均流的双重作用，保持风机末端静压腔压力和温度均匀，提高光路的均匀性，且提高换热效率，保护光刻设备中部件不受损坏，延长部件的使用寿命。

进一步地，罩壳11具有容纳腔，通风孔31与该容纳腔连通，且导流组件2位于该容纳腔内，便于对风机出风进行导流和均流。

具体地，罩壳11包括安装于风机末端空间壁面3上的侧板组件和顶板113，多个侧板组件依次首尾相连，以围合成一封闭区域，并在该封闭区域远离风机末端空间壁面3的一侧连接顶板113，以形成罩壳11和罩壳11上的容纳腔。

本实施方式中，侧板组件的数量为四个，四个侧板组件均安装于风机末端空间壁面3上。

如图4所示，侧板组件包括水平设置的安装部111，安装部111安装于风机末端空间壁面3上，以实现该导流均流装置与风机末端空间壁面3的连接。

其中，侧板组件还包括侧板112，侧板112与安装部111垂直设置，且安装部111位于侧板112远离容纳腔的一侧。

本实施方式中，为了从多个方向对风机出风进行均流，因此，在各个侧板112和顶板113上均开设有多个均流孔12。但是，本实施方式对各个侧板112和顶板113上的均流孔12的开设位置和数量不作限定，可根据实际工况进行调整。当然，侧板112和顶板113还可以采用其他类似均流结构代替，只要能够实现均流作用即可，本实施例不再一一列举。

如图5所示，导流组件2包括导流板21，导流板21角度可调地设置于风机末端空间壁面3上，可以根据不同的工况调整导流板21的角度，不需重新设计导流均流装置，提高了其适用性。

进一步地，导流组件2还包括支撑架22，支撑架22安装于风机末端空间壁面3上，导流板21能够角度可调地设置于支撑架22上。

进一步地，导流组件2还包括连接件23，连接件23位置可调地设置于支撑架22上，导流板21角度可调地设置于连接件23上。

如图6所示，支撑架22上开设有长槽221，连接件23可选择地安装于长槽221的任一位置上，以改变导流板21在罩壳11内的位置，可根据不同的工况进行调整，不必重新设置导流均流装置，缩短了设计周期，且扩大了该导流均流装置的适用范围，提高了其适用性。该导流均流装置尺寸较小，占用空间小，便于在光刻机内部狭小空间内布置。

具体地，支撑架22呈梯形，包括第一支撑部222和第二支撑部223，第一支撑部222的两端均设有第二支撑部223，第一支撑部222与罩壳11的顶面连接，第二支撑部223与风机末端空间壁面3连接，以增加该导流均流装置的连接稳定性。其中，每个第二支撑部223上均设置有长槽221，每个长槽221上均可连接多个导流板21，以适应不同的工况。

如图7所示，连接件23包括第一连接部231，导流板21角度可调地设置于第一连接部231上。具体地，第一连接部231上开设有连接孔234，导流板21通过连接孔234与第一连接部231转动连接。

进一步地，第一连接部231上设置有角度测量装置233，角度测量装置233用于测量导流板21转动的角度。具体地，角度测量装置233为刻度盘，该刻度盘与连接孔234同心设置。在本实施例中，该刻度盘的角度范围优选为0°-180°。当然，在其他实施例中，该角度测量装置233还可以设计为档位选择式结构，由于档位选择式结构为现有技术中较为成熟的结构，此处不再赘述。

进一步地，连接件23还包括第二连接部232，第二连接部232与第一连接部231连接，第二连接部232可选择地安装于长槽221的任一位置上，以适应不同的工况。优选地，上述刻度盘上0°线与第二连接部232的安装面平行。

可选地，在其他实施例中，第二支撑部223可以选用丝杠或其他结构，丝杠的一端连接于第一支撑部222，另一端与风机末端空间壁面3连接，相应地，第二连接部232可以通过螺母连接于丝杠上，或者第二连接部232设置为螺母结构直接与丝杠螺纹连接，以实现第二连接部232在第二支撑部223上的位置调节。

如图8所示，导流板21包括导流板本体211和连接块212，导流板本体211的两端均连接有连接块212，连接块212通过连接孔234与第一连接部231连接。

进一步地，支撑架22的数量为至少两个，导流板本体211两端的连接块212分别与相邻的两个支撑架22中齐平的长槽221连接。

进一步地，导流板21的数量为至少一个，每个导流板21的两端均与相邻的两个支撑架22中齐平的长槽221连接。优选地，在本实施例中，位于支撑架22同一侧的导流板21的数量设置为四个，且四个导流板21等间隔平行连接于长槽221中。

在本实施例中，导流板21可为平板结构，也可以为如图9所示的波浪形等其他形状的板状结构，在实际应用中，可根据不同的使用工况进行设计，本实施例不再一一列举。

本实施方式中，在支撑架22的两侧均设置多个导流组件2，以使导流效果更好。

如图10-图13所示，分别为仿真后的双风机末端静压腔无均流组件1且无导流组件2、无均流组件1且有导流组件2、有均流组件1且无导流组件3和有均流组件1且有导流组件2的迹线图，从图中可以看出，有均流组件1且有导流组件2的迹线更均匀、更有规律性，可提高光刻设备中光路的均匀性。

如图14-图17所示，分别为仿真后的双风机末端静压腔无均流组件1且无导流组件2、无均流组件1且有导流组件2、有均流组件1且无导流组件3和有均流组件1且有导流组件2的压力云图，从图中可以看出，有均流组件1且有导流组件2的压力更均匀，即在导流均流装置的作用下，可保持风机末端静压腔压力的均匀，提高光刻设备中光路的均匀性。

如图18和图19所示，分别为仿真后的双风机末端静压腔无均流组件1且无导流组件2、和有均流组件1且有导流组件2的温度云图，从图中可以看出，有均流组件1且有导流组件2的温度更均匀，即在导流均流装置的作用下，可保持风机末端静压腔温度的均匀，提高换热效率，提高光刻设备中光路的均匀性，且保护光刻设备中部件不受损坏，延长部件的使用寿命。

注意，上述仅为本发明的较佳实施方式及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施方式，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施方式对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施方式，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施方式，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (13)

1.一种导流均流装置，其特征在于，包括：

均流组件(1)，其包括罩壳(11)，所述罩壳(11)安装于风机末端空间壁面(3)上，所述罩壳(11)的表面上开设有多个均流孔(12)；

导流组件(2)，其设置于所述罩壳(11)内，所述导流组件(2)包括导流板(21)；

所述导流组件(2)还包括支撑架(22)，所述支撑架(22)安装于所述风机末端空间壁面(3)上，所述导流板(21)能够角度可调地设置于所述支撑架(22)上。

2.根据权利要求1所述的导流均流装置，其特征在于，所述导流组件(2)还包括连接件(23)，所述连接件(23)设置于所述支撑架(22)上，所述导流板(21)角度可调地设置于所述连接件(23)上。

3.根据权利要求2所述的导流均流装置，其特征在于，所述连接件(23)位置可调地设置于所述支撑架(22)上。

4.根据权利要求3所述的导流均流装置，其特征在于，所述支撑架(22)上开设有长槽(221)，所述连接件(23)可选择地安装于所述长槽(221)的任一位置上。

5.根据权利要求4所述的导流均流装置，其特征在于，所述连接件(23)包括第一连接部(231)，所述导流板(21)角度可调地设置于所述第一连接部(231)上。

6.根据权利要求5所述的导流均流装置，其特征在于，所述第一连接部(231)上设置有角度测量装置(233)，所述角度测量装置(233)用于测量所述导流板(21)转动的角度。

7.根据权利要求5所述的导流均流装置，其特征在于，所述连接件(23)还包括第二连接部(232)，所述第二连接部(232)与所述第一连接部(231)连接，所述第二连接部(232)可选择地安装于所述长槽(221)的任一位置上。

8.根据权利要求4所述的导流均流装置，其特征在于，所述支撑架(22)包括第一支撑部(222)和第二支撑部(223)，所述第一支撑部(222)的两端均设有所述第二支撑部(223)，所述第一支撑部(222)与所述罩壳(11)的顶面连接，所述第二支撑部(223)与所述风机末端空间壁面(3)连接，每个所述第二支撑部(223)上均设置有所述长槽(221)。

9.根据权利要求8所述的导流均流装置，其特征在于，所述支撑架(22)的数量为至少两个，所述导流板(21)的两端分别与相邻的两个所述支撑架(22)中齐平的所述长槽(221)连接。

10.根据权利要求9所述的导流均流装置，其特征在于，所述导流板(21)的数量为至少一个，每个所述导流板(21)的两端均与相邻的两个所述支撑架(22)中齐平的所述长槽(221)连接。

11.根据权利要求10所述的导流均流装置，其特征在于，位于所述支撑架(22)同一侧的所述导流板(21)的数量设置为四个，且四个所述导流板(21)等间隔平行连接于所述长槽(221)中。

12.根据权利要求6所述的导流均流装置，其特征在于，所述角度测量装置(233)为刻度盘。

13.根据权利要求1-12任一项所述的导流均流装置，其特征在于，所述导流板(21)为平板结构。

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