CN112730140B - 一种新型高真空高温质量监控装置及方法 - Google Patents

Abstract

本申请涉及监控设备技术领域，尤其是涉及一种新型高真空高温质量监控装置，其包括测量机构和连通机构，测量机构包括测量室、称重传感器和控制仪表，连通机构的一端设在测量室上且与测量室连通，连通机构的另一端设在炉盖上且与反应炉连通，称重传感器上设有悬挂金属丝，悬挂金属丝穿设在连通机构内，且悬挂金属丝的一端设在称重传感器上，悬挂金属丝的另一端竖直悬挂在反应炉的内腔中。本申请具有以下效果：气相物质在高温高真空下沉积在被测量工件的表面形成涂层，称重传感器则可以感应测量被测量工件质量的变化，并以数据显示的形式反馈于控制仪表，试验人员可以通过记录被测量工件质量的变化量，对气相沉积的质量进行实时监控。

Description

一种新型高真空高温质量监控装置及方法

技术领域

本申请涉及监控设备技术领域，尤其是涉及一种新型高真空高温质量监控装置及方法。

背景技术

气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程，改变工件表面成分，在表面形成具有特殊性能（例如超硬耐磨层或具有特殊的光学、电学性能）的金属或化合物涂层的新技术。高温喷涂工艺是将熔融状态的喷涂材料，通过高速气流，使其雾化，喷射在被净化及粗化的零件表面上，形成喷涂层的一种表面加工方法。

气相沉积的完成依赖于气相沉积炉，气相沉积炉用作气相沉积反应时的场所。气相沉积炉通常包括工作台、设在工作台内的反应炉以及用于改变反应炉内工作环境的各控制元件，反应炉内的工作环境在各控制元件的控制下可以形成用于气相沉积的高温高真空区。反应炉呈筒状，且反应炉的开口端设有炉盖，炉盖通常位于工作台台面的上方。高温喷涂的工作环境类似。

两种技术都是以气相涂料的方式，将涂料附着在工件的表面，然而相关技术中，在高温，高真空环境下对气相沉积或表面气相高温喷涂工件进行沉积物的质量实时监控难以实现。

发明内容

为了便于对气相沉积炉或气相高温喷涂工件的表面沉积物的质量进行实时不间断的监控，本申请提供一种新型高真空高温质量监控装置。

第一方面，本申请提供一种新型高真空高温质量监控装置，采用如下的技术方案：

一种新型高真空高温质量监控装置，包括测量机构和连通机构，所述测量机构包括位于炉盖上方的测量室、设在测量室内的称重传感器以及设在测量室外且与称重传感器电连接的控制仪表，所述连通机构的一端设在测量室上且与测量室连通，连通机构的另一端设在炉盖上且与反应炉连通，所述称重传感器上设有悬挂金属丝，所述悬挂金属丝穿设在连通机构内，且悬挂金属丝的一端设在称重传感器上，悬挂金属丝的另一端竖直悬挂在反应炉的内腔中。

通过采用上述技术方案，气相物质在高温高真空下沉积在被测量工件的表面形成涂层，称重传感器则可以感应测量被测量工件质量的变化，并以数据显示的形式反馈于控制仪表，试验人员可以通过记录被测量工件质量的变化量，对气相沉积的质量进行实时监控。

可选的，所述连通机构包括与测量室连通的测量管段、与反应炉连通的反应管段以及连通于测量管段远离测量室一端和反应管段远离炉盖一端之间的中间管段，所述测量管段上设有前储液室，所述中间管段上设有后储液室，所述前储液室和后储液室并排设置，且中间管段靠近测量管段的一端设在后储液室的底部，中间管段靠近反应管段的一端设在后储液室的顶部，所述测量管段靠近测量室的一端设有进水管道，所述中间管段的最低处设有出水管道，所述连通机构内设有用于对悬挂金属丝进行转向的定滑轮。

通过采用上述技术方案，通过进水管道向前储液室和后储液室内供入水流，使得连通管段内形成有“水封”，从而使得反应炉内高温的气相物质不易沿连通机构达到测量室内对称重传感器造成影响，提高了测量结果的准确性。

可选的，所述中间管段倾斜布置，所述中间管段包括与测量管段连通的第一管道以及与反应管段连通的第二管道，所述第一管道和第二管道同轴布置，且后储液室设在第一管道和第二管道相互靠近的一端之间，所述第一管道和测量管段之间通过第一接头固定，第二管道和反应管段之间通过第二接头固定，所述定滑轮分别设在第一接头和第二接头内。

通过采用上述技术方案，倾斜布置的中间管段使得悬挂金属丝在穿设时的转向更少，仅需要两个定滑轮即可将悬挂金属丝远离称重传感器的一端悬挂至反应炉内，从而减少了悬挂金属丝与定滑轮之间的摩擦阻力，使得称重传感器的称重更加准确。

可选的，所述中间管段包括竖直设置的第三管道、设在第三管道靠近测量管段一端的第四管道以及设在第三管道靠近反应管段一端的第五管道，所述后储液室设在第三管道上，所述第三管道和第四管道之间通过第三接头固定，所述第四管道和测量管段之间通过第四接头固定，所述第三管道和第五管道之间通过第五接头固定，所述第五管道和反应管段之间通过第六接头固定，所述定滑轮分别设在第三接头、第四接头、第五接头和第六接头内。

通过采用上述技术方案，前储液室和后储液室具有更高的高度，进而使得反应炉内需要更大的压强才能够对反应炉内的蓄水进行挤压；同时前储液室内可以留有更大的空间储存后储液室内的蓄水，进而使得反应炉内可以通入更多的气相物质。

可选的，所述中间管段的最低处设有液位显示管，所述液位显示管远离中间管段的一端与测量室连通。

通过采用上述技术方案，液位显示管用于显示前储液室内的水位，以避免向前储液室和后储液室内供入水流时，灌水过多致使蓄水漫至反应炉内；同时能够避免气相物料供入过多，反应炉内压强过大致使蓄水水位被挤压至测量室内。

可选的，还包括位于反应炉内腔中的隔热机构，所述隔热机构包括固定在炉盖上的固定管以及套设在固定管上的隔热件，所述固定管与连通机构相连通。

通过采用上述技术方案，隔热件对反应炉内的热量进行隔断，从而使得测量室内的称重传感器不易受到反应炉高温的影响，进一步提高称重传感器的准确度。

可选的，还包括设在工作台上的提升机构，所述提升机构包括沿竖直方向进行滑移的滑块，所述测量室的一端固定在滑块上。

通过采用上述技术方案，滑块滑移使带动测量室进行滑移，测量室11通过连通机构带动炉盖进行移动，且测量室通过悬挂金属丝带动被测量工件进行移动，炉盖移动时隔热件随炉盖一起移动，从而达到便于将被测量工件从反应炉中取出的目的，提升机构使得被测量工件的取出更加便捷，更加平稳。

第二方面，本申请提供一种新型高真空高温质量监控方法，采用如下的技术方案：

包括以下步骤：

S1. 将如权利要求1-7中任一权利要求所述的新型高真空高温质量监控装置固定在气相沉积炉上，然后将被测量工件固定在悬挂金属丝远离称重传感器的一端；

S2.通过提升机构将被测量工件悬挂于反应炉内，并关闭炉盖，然后待悬挂金属丝静置；

S3.启动气相沉积炉，使反应炉内形成高温高真空反应区；

S4.通过进水管道向前储液室和后储液室内灌水，使得前储液室和后储液室内形成“水封”；

S5.向反应炉内供入气相物质，通过控制仪表实时观察并记录各时间节点被测量工件的质量。

通过采用上述技术方案，气相物质在被测量工件上发生气相沉积，称重传感器的称重值发生变化，试验人员在各个时间节点通过观察控制仪表可以记录下称重传感器的测量称重值，从而对高温高真空环境下的气相沉积质量进行实施监控。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.气相物质在高温高真空下沉积在被测量工件的表面形成涂层，称重传感器则可以感应测量被测量工件质量的变化，并以数据显示的形式反馈于控制仪表，试验人员可以通过记录被测量工件质量的变化量，对气相沉积的质量进行实时监控；

2.提升机构设置有“水封”，使得反应炉内高温的气相物质不易沿连通机构达到测量室内对称重传感器造成影响，提高了测量结果的准确性。

附图说明

图1是本申请实施例1监控装置整体的结构示意图；

图2是本申请实施例1监控装置的剖视图；

图3是本申请实施例2监控装置整体的结构示意图；

图4是本申请实施例2监控装置的剖视图.

附图标记说明：1、测量机构；11、测量室；111、测量室门；12、称重传感器；121、固定板；13、控制仪表；2、连通机构；21、测量管段；22、反应管段；23、中间管段；231、第一管道；2311、第一接头；232、第二管道；2321、第二接头；233、第三管道；2331、第三接头；234、第四管道；2341、第四接头；235、第五管道；2351、第五接头；2352、第六接头；24、前储液室；25、后储液室；26、进水管道；27、定滑轮；28、出水管道；29、液位显示管；3、隔热机构；31、固定管；32、隔热件；4、提升机构；41、滑块；5、悬挂金属丝；6、反应炉；7、被测量工件；8、炉盖。

具体实施方式

以下结合附图1-4对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种新型高真空高温质量监控装置。

实施例1

参照图1和图2，新型高真空高温质量监控装置包括测量机构1、连通机构2、隔热机构3和提升机构4。测量机构1用于对反应炉6内气相沉积的质量进行实时监控；连通机构2用于将测量机构1和反应炉6进行连通；隔热机构3用于减少反应炉6和测量机构1之间的热量传导，以减小反应炉6内的高温对测量机构1造成的影响；提升机构4则用于将测量机构1进行提升，以便于将被测量工件7放入反应炉6内。

测量机构1包括测量室11、称重传感器12和控制仪表13。测量室11为长方体状的箱体，测量室11位于炉盖8的上方，且测量室11通过连通机构2与炉盖8固定连接。为了使得测量室11具有足够的结构强度和刚度，测量室11可以采用不锈钢材料制成。称重传感器12通过固定板121固定在测量室11的内侧壁上，固定板121与测量室11的内侧壁焊接固定。为了便于称重传感器12的安装，测量室11内的一端开口，且测量室11在开口处设有测量室门111。测量室11和测量室门111可以通过多组螺接件进行固定，且测量室11开口处的侧壁和测量室门111之间作密封处理，以提高测量室11的密封效果。控制仪表13设在测量室11外，且控制仪表13与称重传感器12电连接，控制仪表13用于显示称重传感器12的质量。

连通机构2的一端设在测量室11上且与测量室11连通，且连通机构2的另一端设在炉盖8上且与反应炉6连通。称重传感器12上固定有悬挂金属丝5，悬挂金属丝5采用耐高温的金属材料制成，可以是钼，也可以是耐高温的合金材料。悬挂金属丝5穿设在连通机构2内，且悬挂金属丝5的一端固定在称重传感器12上，悬挂金属丝5的另一端竖直悬挂在反应炉6的内腔中，被测量工件7固定在悬挂金属丝5远离称重传感器12的一端。

进行高温高真空监控时，通过悬挂金属丝5将被测量工件7悬挂在反应炉6内，然后启动气相沉积炉，使反应炉6内形成高温高真空环境，并向反应炉6内供入气相物质，气相物质在高温高真空下沉积在被测量工件7的表面形成涂层，称重传感器12则可以感应测量被测量工件7质量的变化，并以数据显示的形式反馈于控制仪表13，试验人员可以通过记录被测量工件7质量的变化量，对气相沉积的质量进行实时监控。

连通机构2包括测量管段21、反应管段22和中间管段23。测量管段21与测量室11连通，反应管段22与反应炉6连通，中间管段23连通于测量管段21远离测量室11一端和反应管段22远离炉盖8一端之间。测量管段21、中间管段23和反应管段22各断面的直径均相等，且测量管段21、中间管段23和反应管段22均可以采用不锈钢材料制成，以提高各管段连接时的稳固性。

测量管段21上同轴设置有前储液室24，中间管段23上设有后储液室25，前储液室24和后储液室25均呈圆柱状，前储液室24和后储液室25并排且对称设置。中间管段23靠近测量管段21的一端固定在后储液室25的底部，中间管段23靠近反应管段22的一端固定在后储液室25的顶部，即前储液室24的底端和后储液室25的底端之间通过测量管段21和中间管段23连通。测量管段21靠近测量室11的一端固定有进水管道26，进水管道26远离测量管段21的一端连通于水源。连通机构2内设有用于对悬挂金属丝5进行转向的定滑轮27，定滑轮27使得悬挂金属丝5穿设时的走向与连通机构2的形状适配，悬挂金属丝5在穿设时与连通机构2的内壁之间保持间隔，从而提高称重传感器12称重时的准确性。

气相沉积炉启动后，反应炉6内形成高温高真空反应区，测量室11与反应炉6连通，测量室11内同为真空环境，此时将进水管道26开启，使进水管道26向前储液室24和后储液室25内供入水流，水流灌入后在前储液室24和后储液室25内形成蓄水，前储液室24和后储液室25内的蓄水相互连通且保持在同一水位上，从而使得连通管段内形成有“水封”。

当反应炉6内供入气相物质后，气相物质使得反应炉6内的气压增大，气相物质对后储液室25内的蓄水形成挤压，后储液室25内的蓄水一部分被压至前储液室24内，使得前储液室24的水位高于后储液室25的水位，以平衡反应炉6内的压强，从而使得反应炉6内高温的气相物质不易沿连通机构2达到测量室11内对称重传感器12造成影响，提高了测量结果的准确性。为了使得前储液室24的内腔留有足够的空间储存后储液室25的蓄水，供入气相物质前，前储液室24内的蓄水不宜超过前储液室24内腔体积的一半。中间管段23的最低处设有出水管道28。气相沉降监控完后后，将出水管道28打开，即可将前储液室24和后储液室25内的蓄水排出。

中间管段23倾斜布置，且中间管段23包括第一管道231和第二管道232。第一管道231通过第一接头2311与测量管段21连通，第二管道232通过第二接头2321与反应管段22连通，出水管道28通过第一接头2311进行固定。后储液室25固定在第一管道231和第二管道232相互靠近的一端之间，第一管道231、第二管道232和后储液室25均同轴布置，定滑轮27分别固定在第一接头2311和第二接头2321内。

测量管段21可以是竖直设置，也可以是倾斜布置，测量管段21倾斜布置时与中间管段23保持对称。本实施例中以倾斜布置的测量管段21为例，测量管段21倾斜布置，可以将前储液室24的断面面积设置得更大，从而使得前储液室24内能够储存更多的蓄水以平衡反应炉6内的气压。倾斜布置的中间管段23使得悬挂金属丝5在穿设时的转向更少，仅需要两个定滑轮27即可将悬挂金属丝5远离称重传感器12的一端悬挂至反应炉6内，从而减少了悬挂金属丝5与定滑轮27之间的摩擦阻力，使得称重传感器12的称重更加准确。

中间管段23的最低处设有液位显示管29。即本实施例中，液位显示管29靠近中间管段23的一端固定在第一接头2311上，因此第一接头2311为四通管接头。液位显示管29远离第一管段的一端与测量室11连通。液位显示管29采用钢化玻璃制成，液位显示管29内的水位与前储液室24内的水位持平，液位显示管29用于显示前储液室24内的水位，以避免向前储液室24和后储液室25内供入水流时，灌水过多致使蓄水漫至反应炉6内；同时能够避免气相物料供入过多，反应炉6内压强过大致使蓄水水位被挤压至测量室11内。

隔热机构3设在反应炉6中，且隔热机构3包括固定管31和隔热件32。固定管31焊接固定在炉盖8靠近反应炉6的一侧，且固定管31与反应管段22连通，以便于将悬挂金属丝5伸入反应炉6内；隔热件32套设在固定管31上，且隔热件32形状与反应炉6的形状相适配。隔热件32可以采用耐高温隔热棉制成，其具有优异的耐腐蚀性，且保温隔热效果突出。固定管31使得隔热件32在炉盖8上更加稳固，以便于隔热件32对反应炉6内的热量进行隔断，从而使得测量室11内的称重传感器12不易受到反应炉6高温的影响，进一步提高称重传感器12的准确度。

提升机构4设在工作台上，提升机构4可以采用丝杠滑台组件，且丝杠滑台组件中，丝杠的轴心线竖直布置，以使得滑块41能够沿竖直方向进行滑移，测量室11固定在滑块41上。滑块41滑移使带动测量室11进行滑移，测量室11通过连通机构2带动炉盖8进行移动，且测量室11通过悬挂金属丝5带动被测量工件7进行移动，炉盖8移动时隔热件32随炉盖8一起移动，从而达到便于将被测量工件7从反应炉6中取出的目的，提升机构4使得被测量工件7的取出更加便捷，更加平稳。

本申请实施例1的实施原理为：加工时，先将测量室11固定在提升机构4的滑块41上，然后将称重传感器12固定在测量室11内，再在称重传感器12上固定悬挂金属丝5，然后将前储液室24和进水管道26固定在测量管段21上，同时将测量管段21固定在测量室11上，并使悬挂金属丝5穿设在测量管段21内。再在第一接头2311内固定一个定滑轮27，并将第一接头2311固定在测量管段21上，然后将悬挂金属丝5绕在定滑轮27上，并将液位显示管29的一端与测量室11连通，将液位显示管29的另一端固定在第一接头2311上，并将出水管道28固定在第一接头2311上。

再将第一管道231和第二管道232固定在后储液室25上，并将第一管道231远离后储液室25的一端固定在第一接头2311上，并使悬挂金属丝5穿设在第一管道231、后储液室25和第二管道232内，然后将另一个定滑轮27固定在第二接头2321上，并通过第二接头2321将第二管道232与反应管段22相连，再将悬挂金属丝5穿设在反应管段22内，然后将反应管段22远离第二管道232的一端固定在炉盖8上。再将固定管31固定在炉盖8靠近反应炉6的一侧，然后将隔热件32套设在固定管31上，再将悬挂金属丝5穿设在固定管31内，并使悬挂金属丝5悬挂与反应炉6内。

实施例2

参照图3和图4，本实施例与实施例1的不同之处在于，本实施例中，中间管段23包括第三管道233、第四管道234和第五管道235。第三管道233竖直设置，后储液室25同轴布置在第三管道233上。第四管道234固定在第三管道233靠近测量管段21的一端，第五管道235固定在第三管道233靠近反应管段22的一端。第四管道234和第五管道235均可以水平设置，以使得前储液室24和后储液室25具有更高的高度，进而使得反应炉6内需要更大的压强才能够对反应炉6内的蓄水进行挤压；同时前储液室24内可以留有更大的空间储存后储液室25内的蓄水，进而使得反应炉6内可以通入更多的气相物质。

第三管道233和第四管道234相互靠近的一端通过第三接头2331固定，第四管道234和测量管段21相互靠近的一端通过第四接头2341固定，第三管道233和第五管道235相互靠近的一端通过第五接头2351固定，第五管道235和反应管段22之间通过第六接头2352固定。出水管道28和液位显示管29均可以固定在第三接头2331或者第四接头2341上；也可以二者其中之一固定在第三接头2331上，其中的另一个则固定在第四接头2341上。本实施例中，出水管道28和液位显示管29为位于第三接头2331上，因此第三接头2331为四通管接头。定滑轮27分别固定在第三接头2331、第四接头2341、第五接头2351和第六接头2352内。

本申请实施例2的实施原理为：加工时，先将测量室11固定在提升机构4的滑块41上，然后将称重传感器12固定在测量室11内，再在称重传感器12上固定悬挂金属丝5，然后将前储液室24和进水管道26固定在测量管段21上，同时将测量管段21固定在测量室11上，并使悬挂金属丝5穿设在测量管段21内。再在第三接头2331内固定一个定滑轮27，并将第三接头2331固定在测量管段21上，然后将悬挂金属丝5绕在定滑轮27上，并将液位显示管29的一端与测量室11连通，将液位显示管29的另一端固定在第三接头2331上，并将出水管道28固定在第三接头2331上。

然后将后储液室25固定在第三管道233上，并依次在第第四接头2341、第五接头2351以及第六接头2352内固定一个定滑轮27，然后将第四管道234的一端固定在第三接头2331上，再通过第四接头2341将第三管道233与第四管道234相连，通过第五接头2351将第三管道233和第五管道235相连，通过第六接头2352将第五管道235和反应管段22相连，连接时将悬挂金属丝5依次穿设在第四管道234、第三管道233、第五管道235以及反应管段22内，然后将反应管段22远离第二管道232的一端固定在炉盖8上。再将固定管31固定在炉盖8靠近反应炉6的一侧，然后将隔热件32套设在固定管31上，再将悬挂金属丝5穿设在固定管31内，并使悬挂金属丝5悬挂与反应炉6内。

本申请实施例还公开一种新型高真空高温质量监控方法。参照图2和图4，新型高真空高温质量监控方法包括以下步骤：

S1.先将新型高真空高温质量监控装置中的提升机构4固定在气相沉积炉的工作台上，然后将测量机构1固定在提升机构4的滑块41上，再设置好连通机构2和隔热机构3，并使悬挂金属丝5从固定管31远离炉盖8的一端穿出，然后通过提升机构4驱使滑块41沿远离工作台的方向进行移动至最高点，然后将被测量工件7固定在悬挂金属丝5远离称重传感器12的一端；

S2.通过提升机构4驱使滑块41沿靠近炉盖8的方向进行移动，使被测量工件7位于反应炉6内，并使隔热机构3位于反应炉6内腔靠近炉盖8的一端，再将炉盖8关闭，使反应炉6形成密封，然后待悬挂金属丝5静置；

S3.启动气相沉积炉，使反应炉6内形成气相沉积的高温高真空反应区；

S4.打开进水管道26，通过进水管道26向前储液室24和后储液室25内灌水，使得前储液室24和后储液室25内形成“水封”，灌水时通过液位显示管29观察前储液室24和后储液室25内的水位，蓄水的水位应使得前储液室24内的蓄水不宜超过前储液室24内腔体积的一半；

S5.记录控制仪表13上称重传感器12的初始称重值，然后向反应炉6内供入气相物质，气相物质在被测量工件7上发生气相沉积，称重传感器12的称重值发生变化，试验人员在各个时间节点通过观察控制仪表13可以记录下称重传感器12的测量称重值，从而对高温高真空环境下的气相沉积质量进行实施监控。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种新型高真空高温质量监控装置，其特征在于：包括测量机构（1）和连通机构（2），所述测量机构（1）包括位于炉盖（8）上方的测量室（11）、设在测量室（11）内的称重传感器（12）以及设在测量室（11）外且与称重传感器（12）电连接的控制仪表（13），所述连通机构（2）的一端设在测量室（11）上且与测量室（11）连通，连通机构（2）的另一端设在炉盖（8）上且与反应炉（6）连通，所述称重传感器（12）上设有悬挂金属丝（5），所述悬挂金属丝（5）穿设在连通机构（2）内，且悬挂金属丝（5）的一端设在称重传感器（12）上，悬挂金属丝（5）的另一端竖直悬挂在反应炉（6）的内腔中；所述连通机构（2）包括与测量室（11）连通的测量管段（21）、与反应炉（6）连通的反应管段（22）以及连通于测量管段（21）远离测量室（11）一端和反应管段（22）远离炉盖（8）一端之间的中间管段（23），所述测量管段（21）上设有前储液室（24），所述中间管段（23）上设有后储液室（25），所述前储液室（24）和后储液室（25）并排设置，且中间管段（23）靠近测量管段（21）的一端设在后储液室（25）的底部，中间管段（23）靠近反应管段（22）的一端设在后储液室（25）的顶部，所述测量管段（21）靠近测量室（11）的一端设有进水管道（26），所述中间管段（23）的最低处设有出水管道（28），所述连通机构（2）内设有用于对悬挂金属丝（5）进行转向的定滑轮（27）。

2.根据权利要求1所述的一种新型高真空高温质量监控装置，其特征在于：所述中间管段（23）倾斜布置，所述中间管段（23）包括与测量管段（21）连通的第一管道（231）以及与反应管段（22）连通的第二管道（232），所述第一管道（231）和第二管道（232）同轴布置，且后储液室（25）设在第一管道（231）和第二管道（232）相互靠近的一端之间，所述第一管道（231）和测量管段（21）之间通过第一接头（2311）固定，第二管道（232）和反应管段（22）之间通过第二接头（2321）固定，所述定滑轮（27）分别设在第一接头（2311）和第二接头（2321）内。

3.根据权利要求1所述的一种新型高真空高温质量监控装置，其特征在于：所述中间管段（23）包括竖直设置的第三管道（233）、设在第三管道（233）靠近测量管段（21）一端的第四管道（234）以及设在第三管道（233）靠近反应管段（22）一端的第五管道（235），所述后储液室（25）设在第三管道（233）上，所述第三管道（233）和第四管道（234）之间通过第三接头（2331）固定，所述第四管道（234）和测量管段（21）之间通过第四接头（2341）固定，所述第三管道（233）和第五管道（235）之间通过第五接头（2351）固定，所述第五管道（235）和反应管段（22）之间通过第六接头（2352）固定，所述定滑轮（27）分别设在第三接头（2331）、第四接头（2341）、第五接头（2351）和第六接头（2352）内。

4.根据权利要求1所述的一种新型高真空高温质量监控装置，其特征在于：所述中间管段（23）的最低处设有液位显示管（29），所述液位显示管（29）远离中间管段（23）的一端与测量室（11）连通。

5.根据权利要求1所述的一种新型高真空高温质量监控装置，其特征在于：还包括位于反应炉（6）内腔中的隔热机构（3），所述隔热机构（3）包括固定在炉盖（8）上的固定管（31）以及套设在固定管（31）上的隔热件（32），所述固定管（31）与连通机构（2）相连通。

6.根据权利要求1所述的一种新型高真空高温质量监控装置，其特征在于：还包括设在工作台上的提升机构（4），所述提升机构（4）包括沿竖直方向进行滑移的滑块（41），所述测量室（11）的一端固定在滑块（41）上。

7.一种新型高真空高温质量监控方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1. 将如权利要求1-6中任一权利要求所述的新型高真空高温质量监控装置固定在气相沉积炉上，然后将被测量工件（7）固定在悬挂金属丝（5）远离称重传感器（12）的一端；

S2. 通过提升机构（4）将被测量工件（7）悬挂于反应炉（6）内，并关闭炉盖（8），然后待悬挂金属丝（5）静置；

S3. 启动气相沉积炉，使反应炉（6）内形成高温高真空反应区；

S4. 通过进水管道（26）向前储液室（24）和后储液室（25）内灌水，使得前储液室（24）和后储液室（25）内形成“水封”；

S5. 向反应炉（6）内供入气相物质，通过控制仪表（13）实时观察并记录各时间节点被测量工件（7）的质量。

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