CN112729525B - 冲击波传感器的制备方法及冲击波传感器 - Google Patents
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Abstract
一种冲击波传感器的制备方法及冲击波传感器,该方法包括:制备PVDF原溶液,以及制备带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液;使PVDF原溶液形成PVDF基层,通过喷墨打印工艺,使带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液形成设置于PVDF基层两个表面上的第一电极图案层及第二电极图案层,以形成PVDF材料基体,两个电极图案层内的改性分子与PVDF之间均形成带电荷的交联网络;在两个电极图案层上施加带有电荷的电极催化剂溶液,电极催化剂溶液所带电荷的种类与混合溶液中的电荷的种类相反;对PVDF材料基体进行化学镀处理,以使第一电极图案层及第二电极图案层上形成电极;将PVDF压电材料中的电极图案分别通过引线引出。该冲击波传感器的两个电极间能够具有较好地信号传输性能。
Description
技术领域
本发明涉及柔性技术领域,尤其是一种冲击波传感器的制备方法及冲击波传感器。
背景技术
PVDF(聚偏氟乙烯,polyvinylidene fluoride)材料因其具有很好的压电活性,广泛地应用于冲击波传感器内。依据PVDF材料制作的冲击波传感器包括PVDF材料层及设置于PVDF材料层两个表面上的电极阵列。在制作冲击波传感器时,需要在PVDF材料层的两个表面上粘贴电极阵列,或者在PVDF材料层上电镀电极后,通过蚀刻形成电极阵列,然而,上述的方式值得的传感器中,电极层与PVDF材料层至今会形成明显的连接界面,该连接界面会影响压电性能,且制作步骤较为繁琐。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种冲击波传感器的制备方法及冲击波传感器,该冲击波传感器的两个电极间能够具有较好地信号传输性能。
本发明提供了一种PVDF压电材料的制备方法,该方法包括如下步骤:
S1:制备PVDF原溶液,以及制备带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液;
S2:使所述PVDF原溶液形成PVDF基层,通过喷墨打印工艺,使所述带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液形成第一电极图案层及第二电极图案层,并使所述第一电极图案层及所述第二电极图案层分别位于所述PVDF基层的两个表面上,以形成PVDF材料基体,在形成所述PVDF基体时,使所述第一电极图案层及所述第二电极图案层内的改性分子与PVDF形成带电荷的交联网络;
S3:在所述第一电极图案层及第二电极图案层上施加带有电荷的电极催化剂溶液,所述电极催化剂溶液所带电荷的种类与改性分子及PVDF的混合溶液中的电荷的种类相反;
S4:对施加有带电荷的催化剂溶液的PVDF材料基体进行化学镀处理,以使所述第一电极图案层及所述第二电极图案层上形成电极;
S5:将所述PVDF压电材料中的所述第一电极图案层及所述第二电极图案层分别通过引线引出。
进一步地,在S1步骤中,所述带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液中的电荷由改性分子引入混合溶液。
进一步地,所述改性分子所带电荷为正电荷或负电荷,所述带正电荷的改性分子包括丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵或甲基丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵,所述带负电荷的改性分子包括二[2-(甲基丙烯酰氧基)乙基]磷酸酯、2-(磷酰氧基)乙基丙烯酸酯或2-甲基-2-丙烯酸-2-羟乙基酯磷酸酯。
进一步地,在S1步骤中,该方法还包括在所述带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液中加入使所述改性分子与所述PVDF形成交联网络的引发剂。
进一步地,在所述带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液中,以质量百分比计,所述PVDF含量为5-25wt%,所述改性分子含量为0.5-5wt%,所述引发剂含量为0.002-0.02wt%。
进一步地,在形成所述第一电极图案层及所述第二电极图案层时,该步骤还包括施加与所述引发剂相适应的改性因素。
进一步地,在所述PVDF原溶液中,所述PVDF的含量为8-30wt%。
进一步地,在S2步骤中,通过电纺丝或喷墨打印工艺以形成所述PVDF基层。
进一步地,所述带有电荷的电极催化剂溶液中的电荷由电极催化剂引入,所述电极催化剂的种类与S4步骤中,引入电极的种类相适应。
进一步地,当所述电极材料为金属铜时,所述电极催化剂为钯催化剂,所述带有电荷的钯催化剂溶液为四氨基二氯化钯溶液或四氯钯酸钠溶液。
进一步地,在进行S3步骤时,该方法包括:
将S2步骤中的所述PVDF材料基体浸入带有相反种类电荷的所述电极催化剂溶液中;
取出所述PVDF材料基体,并进行清洗;在进行S4步骤时,该方法包括:
将施加有带电荷的电极催化剂溶液的所述PVDF材料基体放入化学镀反应液中,进行化学镀;
取出进行化学镀后的PVDF材料基体,并对其进行清洗;
对PVDF材料基体进行烘干处理。
进一步地,所述第一电极图案层及所述第二电极图案层均包括阵列电极。
本发明还提供了一种冲击波传感器,所述冲击波传感器由上述冲击波传感器的制备方法制备而成。
综上所述,在本发明中,由于第一电极图案层及第二电极图案层内形成有改性分子与PVDF的带有电荷的交联网络,且电极催化剂溶液内含有与其相反的电荷,因此,在分子层面上,电极金属能够通过化学镀的方式进入到改性分子与PVDF形成的二维或三维网络结构内,也即,第一电极图案层及第二电极图案层内的改性分子与PVDF二维或三维体系能够原位自催化升程导电层以作为PVDF压电材料的电极,进一步地,由于第一电极图案层及第二电极图案层设置于PVDF基层的两个表面上,PVDF压电材料的电极与PVDF基层形成统一结构的界面,这保证了PVDF压电材料的压电性能不受界面的影响,提高PVDF压电材料的性能。进一步地,通过喷墨打印工艺,能够直接形成所需要的电极图案,同时消除PVDF基层与两个电极图案层之间的界面,简化制程。
上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。
附图说明
图1所示为本发明实施例提供的冲击波传感器的俯视结构示意图。
图2所示为图1中II-II方向的截面结构示意图。
图3所示为本发明实施例提供的冲击波传感器的制备方法中各步骤的流程示意图。
图4所示为喷墨打印装置的结构示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,详细说明如下。
本发明提供了一种冲击波传感器的制备方法及冲击波传感器,该冲击波传感器的两个电极间能够具有较好地信号传输性能。
图1所示为本发明实施例提供的冲击波传感器的截面结构示意图,图2所示为本发明实施例提供的冲击波传感器的俯视结构示意图,图3所示为本发明实施例提供的冲击波传感器制备方法中各步骤的流程示意图,图4所示为喷墨打印装置的结构示意图。如图1至图4所示,本发明提供的冲击波传感器制备方法包括如下步骤:
S1:制备PVDF(聚偏氟乙烯,polyvinylidene fluoride)原溶液,以及制备带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液;
在配置PVDF原溶液时,称取一定量的PVDF,然后加入溶剂进行溶解,在配置好的PVDF原溶液中,以质量百分比计,PVDF的含量为8-30wt%。在本实施例中,PVDF原溶液的溶剂可以为N,N-二甲基甲酰胺(DMF)和丙酮,在配置好的PVDF原溶液中,DMF与丙酮的质量比为3:7-9:1。
在该步骤中,带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液中的电荷可以由改性分子引入溶液,改性分子所带电荷可以为正电荷或负电荷。带正电荷的改性分子包括丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵(CAS:44992-01-0)或甲基丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵(CAS:5039-78-1)等;带负电荷的改性分子包括二[2-(甲基丙烯酰氧基)乙基]磷酸酯(CAS:32435-46-4)、2-(磷酰氧基)乙基丙烯酸酯(CAS:32120-16-4)或2-甲基-2-丙烯酸-2-羟乙基酯磷酸酯(CAS:52628-03-2)等。上述的材料因其自身的溶解而使溶液带有不同种类的电荷。
进一步地,在本实施例中,将带有电荷的改性分子与PVDF形成混合溶液的目的,是为了使改性分子与PVDF形成带电荷的交联网络。为了使该交联网络更容易形成,该方法还包括,在改性分子与PVDF的混合液中加入引发剂,如光引发剂,以便后续在对改性分子与PVDF的混合溶液施加改性因素处理,如紫外线照射时,改性分子与PVDF进行交联反应,使二者形成带电荷的交联网络。
光引发剂可以包括苯基双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)氧膦(819)、2,4,6-三甲基苯甲酰基乙氧基苯基氧化膦(TEPO)或2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦(TPO)等。
在配制带有电荷的改性分子与PVDF的混合溶液时,可以将改性分子加入到PVDF原溶液中,也可以先将改性分子与PVDF混合,然后进行溶液的制备。在配置好的改性分子与PVDF的混合溶液中,以质量百分比计,PVDF含量为5-25wt%,带电荷的改性分子含量为0.5-5wt%,引发剂含量为0.002-0.02wt%。在本实施例中,带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液的溶剂同样可以为N,N-二甲基甲酰胺(DMF)和丙酮,在配置好的带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液中,DMF与丙酮的质量比为3:7-9:1。
S2:使PVDF原溶液形成PVDF基层11,通过喷墨打印工艺,使带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液形成第一电极图案层12及第二电极图案层13,并使第一电极图案层12及第二电极图案层13分别位于PVDF基层11的两个表面上,以形成PVDF材料基体。在形成PVDF材料基体时,使得第一电极图案层12及第二电极图案层13内的改性分子与PVDF形成带电荷的交联网络。
在该步骤中,可以先通过喷墨打印工艺,在基板上形成第一电极图案层12;然后再以第一电极图案层12为衬底,在第一电极图案层12上形成PVDF基层11,然后在PVDF基层11上形成第二电极图案层13。同样地,也可以先形成PVDF基层11,然后在PVDF基层11的两个表面上分别形成第一电极图案层12及第二电极图案层13。
在本实施例中,第一电极图案层12及第二电极图案层13均可以包括阵列电极,阵列电极的具体图案可以根据需要而定,如图1及图2所示,其可以为叉指阵列电极。
在本实施例中,可以通过喷墨打印工艺形成所需要的第一电极图案层12及第二电极图案层13。在进行喷墨打印时,如图4所示,先将带有电荷的改性分子与PVDF的混合溶液装入打印机的针筒21内,然后将针筒21安装于打印设备上,并设置打印液滴的大小及电压后,打印液滴的大小可以通过对针筒21施加的压力的控制而得到。将衬底22放置于与接地电极相连的支撑板23上,然后按照图形进行打印。当改性分子与PVDF的混合溶液内添加有光引发剂时,可以在喷墨打印的过程中,对其进行紫外线处理,以使改性分子与PVDF发生交联反应,形成改性分子与PVDF的带电荷的交联网络。也即,改性分子的引入是为了在该步骤中对PVDF进行改性,使改性分子与PVDF形成带电荷的三维网络结构。可以理解地,在其它实施例中,引发剂还可以为其它种类的引发剂,如热引发剂,与之相应地,在进行喷墨打印的过程中需要施加热处理等影响因素。
在本实施例中,打印液滴大小为0.1-2.0pl,施加电压大小为2-20kV。
在进行PVDF基层11的制备时,可以同样适用喷墨打印工艺,以便于在同一个设备中对各膜层进行制备。在制备时,将针筒21内的带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液替换成PVDF原溶液,其它步骤可以参照第一电极图案层12的制备,以在第一电极图案层12上形成PVDF基层11。而在其它实施例中,由于PVDF基层11的形状不做要求,其同样也可以使用其他方式,如电纺丝工艺等进行制备。可以理解地,由于PVDF原溶液中不再需要形成改性分子与PVDF的带电荷的交联网络,其可以不再施加改性影响,如不再进行紫外线照射等。
在进行第二电极图案层13的制备时,其步骤与第一电极图案层12相同,并使第二电极图案层13形成于PVDF基层11远离第一电极图案层12的一侧上。
通过喷墨打印工艺,可以在第一电极图案层12及第二电极图案层13上形成需要的电极图案,不需要再额外对两个电极图案层进行处理,简化制程。
S3:在第一电极图案层12与第二电极图案层13上施加带电荷的电极催化剂溶液,该电极催化剂溶液所带电荷的种类与S1步骤中,改性分子与PVDF的混合溶液中的电荷的种类相反。
在本步骤中,当改性分子与PVDF的混合溶液中带有正电荷时,电极催化剂溶液应选用带有负电荷的电极催化剂,当改性分子与PVDF的混合溶液中带有负电荷时,电极催化剂溶液应选用带有正电荷的电极催化剂。
在本实施例中,电极催化剂溶液的施加是为了在第一电极图案层12及第二电极图案层13上形成电极,因此,电极催化剂的种类需要与电极金属的种类相适应,在本实施例中,若需要在第一电极图案层12及第二电极图案层13上形成铜电极,则该电极催化剂溶液可以为钯催化剂溶液。在另一个实施例中,第一电极图案层12及第二电极图案层13上可以为银电极或镍电极,同样地,电极催化剂也可以为钯催化剂。
在本步骤中,可以将上述的PVDF材料基体浸入带有相反种类电荷的电极催化剂溶液中,由于第一电极图案层12及第二电极图案层13内形成有改性分子与PVDF的带有电荷的交联网络,且电极催化剂溶液内含有与其相反种类的电荷,因此电极催化剂能够浸入第一电极图案层12及第二电极图案层13内交联网络的二维或三维结构内,并与之较好地结合;又由于PVDF基层11内没有相反种类的电荷存在,因此电极催化剂无法在PVDF基层11上附着。在本实施例中,浸泡时间可以为1-30min。在取出PVDF材料基体后,还可以用去离子水对其进行清洗,以去除未与第一电极图案层12及第二电极图案层13结合的电极催化剂。
在本实施例中,带电荷的电极催化剂内的电荷由电极催化剂引入。在制备电极催化剂溶液时,以钯催化剂溶液为例,称取一定量的四氨基二氯化钯(带正电荷的钯催化剂)或四氯钯酸钠(带负电荷的钯催化剂),然后加入去离子水进行溶解,在形成电极催化剂溶液后,以质量百分比计,电极催化剂溶液的含量为0.05-0.5wt%。
需要说明的是,在本实施例中,PVDF原溶液的含义为无法在第一电极图案层12或第二电极图案层13的制备过程中,形成改性分子与PVDF的带电荷的交联网络的溶液,其不代表不能够包含其他的材料。
S4:对施加有带电荷的电极催化剂溶液的PVDF材料基体进行化学镀处理,以使第一电极图案层12及第二电极图案层13上形成电极。
在本实施例中,以电极为铜金属为例,可以将施加有带电荷的电极催化剂溶液的PVDF材料基体浸泡入化学镀铜的反应液中,当第一电极图案层12及第二电极图案层13上有气泡产生时,说明化学镀铜的反应已经发生,在进行化学镀后,取出PVDF材料基体,用去离子水清洗后,放入烘箱中烘干,完成PVDF压电材料的制备。其中,化学镀铜液可以为双组份镀铜液,使用前将A组分及B组分按照体积比1:1进行混合。化学镀的反应时间为1-30min,烘干温度为40-80℃,烘干时间可以为5-30min。
S5:将PVDF压电材料中第一电极图案层12及第二电极图案层分别通过引线引出。
在本发明中,由于第一电极图案层12及第二电极图案层13内形成有改性分子与PVDF的带有电荷的交联网络,且电极催化剂溶液内含有与其相反的电荷,因此,在分子层面上,电极金属能够通过化学镀的方式进入到改性分子与PVDF形成的二维或三维网络结构内,也即,第一电极图案层12及第二电极图案层13内的改性分子与PVDF的二维或三维体系能够原位自催化生成导电层以作为PVDF压电材料的电极,进一步地,由于第一电极图案层12及第二电极图案层13设置于PVDF基层11的两个表面上,两个电极图案层与PVDF基层11形成统一结构的界面,这保证了PVDF压电材料的压电性能不受界面的影响,提高PVDF压电材料的性能;进一步地,通过喷墨打印工艺,能够直接形成所需要的电极图案,同时消除PVDF基层11与两个电极图案层之间的界面,简化制程。
以下以具体实施例对该制备方法进行说明:
实施例1:
配制PVDF原溶液的步骤:称取一定量PVDF(分子量为60万)放入烧杯中,加入N,N-二甲基甲酰胺(DMF)和丙酮进行溶解。PVDF含量为10wt%,其余为DMF和丙酮,DMF与丙酮的质量比为6:4。
配制含有正电荷改性分子与PVDF的混合溶液的步骤:称取一定量的PVDF(分子量为60万)溶液放入烧杯中,加入N,N-二甲基甲酰胺(DMF)和丙酮进行溶解,最后加入带正电荷的丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵、光引发剂苯基双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)氧膦(819)搅拌溶解。最终体系中PVDF含量为10wt%,带正电荷的改性分子含量为2wt%,光引发剂含量为0.012wt%,其余为DMF和丙酮,DMF与丙酮的质量比为6:4。
打印步骤:
1、将含有正电荷的改性分子与PVDF混合溶液装入打印机的针筒,安装在打印设备上,设置打印液滴、施加电压后,按照图形进行打印。打印过程中,DMF和丙酮逐渐挥发;在紫外光源照射下,形成改性分子与PVDF共混形成带电荷的交联网络。打印液滴大小为0.2pl,施加电压大小为10kV,最终形成第一电极图案层。
2、将含有正电荷的改性分子与PVDF混合溶液替换成PVDF原溶液,打印步骤同步骤1,打印过程中关闭紫外光源,不需要光照,以最终形成PVDF基层。
3、第二电极图案层也是由带有正电荷的改性分子与PVDF混合溶液制成,打印步骤同步骤1。
化学镀铜步骤:
将打印的完成的PVDF材料基体从设备上取下,放在带正电荷的钯催化剂溶液中浸泡10min后取出,用去离子水清洗后浸泡在化学镀铜反应液中,5min后取出,在去离子水清洗后放入60℃烘箱中10min烘干得到PVDF压电材料。
钯催化剂配制方法:称取一定量四氯钯酸钠(带负电荷的钯催化剂)放入烧杯中,加去离子水进行溶解。四氯钯酸钠的含量为0.09wt%,其余为水。
在第一电极图案层12及第二电极图案层13上制作引线,并将各电极引出。
测试:
用四探针进行镀铜后上下电极的导电性能测试,方阻为430mΩ/sq。
实施例2:
配制PVDF原溶液的步骤:称取一定量PVDF(分子量为80万)放入烧杯中,加入N,N-二甲基甲酰胺(DMF)和丙酮进行溶解。PVDF含量为15wt%,其余为DMF和丙酮,DMF与丙酮的质量比为5:5。
配制含有负电荷的改性分子与PVDF混合溶液的步骤:称取一定量的PVDF(分子量为80万)放入烧杯中,加入N,N-二甲基甲酰胺(DMF)和丙酮进行溶解,最后加入带负电荷的改性分子二[2-(甲基丙烯酰氧基)乙基]磷酸酯、光引发剂2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦(TPO)搅拌溶解。最终体系中PVDF含量为15wt%,带负电荷的改性分子含量为1.5wt%,光引发剂含量为0.005wt%,其余为DMF和丙酮,DMF与丙酮的质量比为5:5。
打印步骤:
1、将含有负电荷的改性分子与PVDF的混合溶液装入打印机的针筒,安装在打印设备上,设置打印液滴、施加电压后,按照图形进行打印。打印过程中,DMF和丙酮逐渐挥发;在紫外光源照射下改性分子与PVDF共混在一起形成带电荷的交联网络。打印液滴大小为1.5pl,施加电压大小为15kV。
2、将含有负电荷的改性分子与PVDF的混合溶液替换成PVDF溶液,打印步骤同步骤1,打印过程中关闭紫外光源,不需要光照,以形成PVDF基层。
3、第二电极图案层也是由带有负电荷的改性分子与PVDF混合溶液制成,打印步骤同步骤1。
化学镀铜步骤:
将成型的PVDF材料基体从设备上取下,放在带正电荷的钯催化剂溶液中浸泡20min后取出,用去离子水清洗后浸泡在化学镀铜反应液中,50min后取出,在去离子水清洗后放入70℃烘箱中8min烘干得到PVDF压电材料。
钯催化剂配制方法:称取一定量四氨基二氯化钯(带正电荷的钯催化剂)放入烧杯中,加去离子水进行溶解。四氨基二氯化钯的含量为0.12wt%,其余为水。
在第一电极图案层12及第二电极图案层13上制作引线,并将各电极引出。
测试:
用四探针进行镀铜后上下电极的导电性能测试,方阻为790mΩ/sq。
本发明还提供了一种冲击波传感器,该冲击波传感器由上述的冲击波传感器的制备方法制备而成。
以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明作任何形式上的限制,虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本发明,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本发明技术方案内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。
Claims (13)
1.一种冲击波传感器的制备方法,其特征在于:该方法包括如下步骤:
S1:制备PVDF原溶液,以及制备带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液;
S2:使所述PVDF原溶液形成PVDF基层,通过喷墨打印工艺,使所述带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液形成第一电极图案层及第二电极图案层,并使所述第一电极图案层及所述第二电极图案层分别位于所述PVDF基层的两个表面上,以形成PVDF材料基体,在形成所述PVDF材料基体时,使所述第一电极图案层及所述第二电极图案层内的改性分子与PVDF形成带电荷的交联网络;
S3:在所述第一电极图案层及第二电极图案层上施加带有电荷的电极催化剂溶液,所述电极催化剂溶液所带电荷的种类与改性分子及PVDF的混合溶液中的电荷的种类相反;
S4:对施加有带电荷的催化剂溶液的PVDF材料基体进行化学镀处理,以使所述第一电极图案层及所述第二电极图案层上形成电极;
S5:将所述PVDF材料基体中的所述第一电极图案层及所述第二电极图案层分别通过引线引出。
2.根据权利要求1所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:在S1步骤中,带电荷的所述改性分子与PVDF的混合溶液中的电荷由改性分子引入混合溶液。
3.根据权利要求2所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:所述改性分子所带电荷为正电荷或负电荷,带正电荷的所述改性分子包括丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵或甲基丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵,带负电荷的所述改性分子包括二[2-(甲基丙烯酰氧基)乙基]磷酸酯、2-(磷酰氧基)乙基丙烯酸酯或2-甲基-2-丙烯酸-2-羟乙基酯磷酸酯。
4.根据权利要求1所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:在S1步骤中,该方法还包括在所述带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液中加入使所述改性分子与所述PVDF形成交联网络的引发剂。
5.根据权利要求4所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:在所述带电荷的改性分子与PVDF的混合溶液中,以质量百分比计,所述PVDF含量为5-25wt%,所述改性分子含量为0.5-5wt%,所述引发剂含量为0.002-0.02wt%。
6.根据权利要求4所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:在形成所述第一电极图案层及所述第二电极图案层时,该步骤还包括施加与所述引发剂相适应的改性因素。
7.根据权利要求1所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:在所述PVDF原溶液中,所述PVDF的含量为8-30wt%。
8.根据权利要求1所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:在S2步骤中,通过电纺丝或喷墨打印工艺以形成所述PVDF基层。
9.根据权利要求1所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:所述带有电荷的电极催化剂溶液中的电荷由电极催化剂引入,所述电极催化剂的种类与S4步骤中,引入电极的种类相适应。
10.根据权利要求9所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:当所述电极的材料为金属铜时,所述电极催化剂为钯催化剂,所述带有电荷的钯催化剂溶液为四氨基二氯化钯溶液或四氯钯酸钠溶液。
11.根据权利要求1所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:在进行S3步骤时,该方法包括:
将S2步骤中的所述PVDF材料基体浸入带有相反种类电荷的所述电极催化剂溶液中;
取出所述PVDF材料基体,并进行清洗;在进行S4步骤时,该方法包括:
将施加有带电荷的电极催化剂溶液的所述PVDF材料基体放入化学镀反应液中,进行化学镀;
取出进行化学镀后的PVDF材料基体,并对其进行清洗;
对PVDF材料基体进行烘干处理。
12.根据权利要求1所述的冲击波传感器的制备方法,其特征在于:所述第一电极图案层及所述第二电极图案层均包括阵列电极。
13.一种冲击波传感器,其特征在于:所述冲击波传感器由权利要求1至12中任意一项所述的冲击波传感器的制备方法制备而成。
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