CN112684672A - 一种掩膜版金属框传送模块 - Google Patents
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Abstract
本发明属于掩膜版技术领域，尤其是涉及一种掩膜版金属框传送模块，包括掩膜版金属框托盘，掩膜版金属框托盘的两端边缘处均设有多个缺口，掩膜版金属框托盘的四角处分别设有第一滑槽，第一滑槽内滑动连接有与之相匹配的第一滑块，嵌槽设置于缺口之间，嵌槽内设有稳定机构，述掩膜版金属框托盘的侧边固定连接有L形支撑杆，L形支撑杆上竖直设有第二滑槽，第二滑槽内滑动连接有与之相匹配的第二滑块，第二滑块与稳定机构固定连接。优点在于：本发明可使得掩膜版金属框在进行传输的过程中不直接与输送轨道相接触，并且还可更好的克服运动时的惯性摩擦，从而保证掩膜版金属框的表面规整干净，没有划痕，降低了刮伤的风险。
Description
技术领域
本发明属于掩膜版技术领域，尤其是涉及一种掩膜版金属框传送模块。
背景技术
光掩膜版也叫MASK，IC行业称Reticle，中文称呼还有光罩，铬板。掩膜版主要作为图形信息的载体，通过曝光过程，将图形转移到被曝光产品(硅片，导电玻璃，铜箔等)上，从而实现图形的转移。常见的光掩膜版有三种，铬版、干版，菲林。主要分两个组成部分，基板和不透光材料。基板通常是高纯度，低反射率，低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略大，虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光掩模为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶，硬度小且易吸附灰尘，不过干版还有包膜和超微颗粒干版，其中后者可以应用于芯片制造。
由于掩膜版金属框制作材料硬度低容易造成划伤，导致报废，现有的掩膜版运输采用掩膜版与传动轮直接接触，传动轮转动时与掩膜版摩擦会造成掩膜版刮伤，造成掩膜版平整度不够从而影响后续加工，造成品质问题。传动轮直接与掩膜版接触会对掩膜版造成污染，污染了掩膜版需要重新清洁掩膜版，造成了再作业的浪费，增加了成本。
为此，我们提出一种掩膜版金属框传送模块来解决上述问题。
发明内容
本发明的目的是针对上述问题，提供一种可防止掩膜版刮伤的掩膜版金属框传送模块。
为达到上述目的，本发明采用了下列技术方案：一种掩膜版金属框传送模块，包括掩膜版金属框托盘，所述掩膜版金属框托盘的两端边缘处均设有多个缺口，所述掩膜版金属框托盘的四角处分别设有第一滑槽，所述第一滑槽内滑动连接有与之相匹配的第一滑块，所述第一滑块上设有托放机构，所述掩膜版金属框托盘的侧边上还设有一对嵌槽，所述嵌槽设置于缺口之间，所述嵌槽内设有稳定机构，述掩膜版金属框托盘的侧边固定连接有L形支撑杆，所述L形支撑杆上竖直设有第二滑槽，所述第二滑槽内滑动连接有与之相匹配的第二滑块，所述第二滑块与稳定机构固定连接。
在上述的掩膜版金属框传送模块中，所述托放机构包括固定连接于第一滑块上的支撑块，所述支撑块上设有螺纹孔，所述支撑块上设有垫块，所述垫块通过螺栓与螺纹孔来和支撑块固定连接。
在上述的掩膜版金属框传送模块中，所述垫块为铁氟龙材质。
在上述的掩膜版金属框传送模块中，所述垫块上设有用于配合螺栓的沉孔，所述螺栓头部通过沉孔嵌入至垫块的上端面下。
在上述的掩膜版金属框传送模块中，所述稳定机构包括设置于嵌槽内的活动板，所述活动板的下端面上设置有三组压块，三组所述压块呈门字形分布，边缘处的两组压块与嵌槽的端面为转动连接。
在上述的掩膜版金属框传送模块中，所述压块为铁氟龙材质。
在上述的掩膜版金属框传送模块中，所述第二滑块与第二滑槽为钝性滑动连接。
在上述的掩膜版金属框传送模块中，所述掩膜版金属框托盘背离第一滑槽的一端固定连接有多块贴片，所述贴片上固定连接有致密橡胶绒毛层。
与现有的技术相比，本掩膜版金属框传送模块的优点在于：
本发明通过设置的垫块和压块及贴片、橡胶绒毛层的配合，以达到利用垫块和压块来对掩膜版金属框的上方位及下方位进行托起和固定，从而减少震动使其发生位移的量，同时利用橡胶绒毛与机器底部的滚轮接触，增大摩擦力之外还不易发生偏移，更好的克服运动时的惯性摩擦，从而保证掩膜版金属框的表面规整干净，没有划痕，降低了刮伤的风险。
附图说明
图1是本发明提供的一种掩膜版金属框传送模块的立体结构示意图；
图2是本发明提供的一种掩膜版金属框传送模块的俯视图；
图3是图1中掩膜版金属框托盘的背部示意图；
图4是图1中压块的结构示意图；
图5是图1中A处的局部放大图；
图6是图3中B处的局部放大图。
图中，1掩膜版金属框托盘、2缺口、3第一滑槽、4第一滑块、5托放机构、6嵌槽、7稳定机构、8L形支撑杆、9第二滑槽、10第二滑块、11支撑块、12垫块、13活动板、14压块、15贴片、16橡胶绒毛层。
具体实施方式
以下实施例仅处于说明性目的，而不是想要限制本发明的范围。
实施例
如图1-6所示，一种掩膜版金属框传送模块，包括掩膜版金属框托盘1，掩膜版金属框托盘1不锈钢材质，掩膜版金属框托盘1的两端边缘处均设有多个缺口2用来取走掩膜版金属框，掩膜版金属框托盘1的四角处分别设有第一滑槽3，第一滑槽3设置在缺口2外部，壁缺口2更加靠近外缘，第一滑槽3内滑动连接有与之相匹配的第一滑块4，第一滑槽3与第一滑块4之间是钝性滑动连接，第一滑块4可以稳定的提留在任意位置，通过调节第一滑块4适应各种规格的掩膜版金属框。
第一滑块4上设有托放机构5，托放机构5包括固定连接于第一滑块4上的支撑块11，支撑块11上设有螺纹孔，支撑块11上设有垫块12，垫块12为铁氟龙材质用于直接接触掩膜版金属框，防止其表面划伤，垫块12通过螺栓与螺纹孔来和支撑块11固定连接便于拆卸更换，垫块12上设有用于配合螺栓的沉孔，螺栓头部通过沉孔嵌入至垫块12的上端面下防止直接与掩膜版金属框接触。
掩膜版金属框托盘1的侧边上还设有一对嵌槽6，嵌槽6设置于缺口2之间，嵌槽6内设有稳定机构7，掩膜版金属框托盘1的侧边固定连接有L形支撑杆8，L形支撑杆8上竖直设有第二滑槽9，第二滑槽9内滑动连接有与之相匹配的第二滑块10，第二滑块10与第二滑槽9为钝性滑动连接，第二滑块10与稳定机构7固定连接，稳定机构7包括设置于嵌槽6内的活动板13，活动板13的下端面上设置有三组压块14，压块14为铁氟龙材质，三组压块14呈门字形分布，边缘处的两组压块14与嵌槽6的端面为转动连接，压块14用于配合垫块12来对掩膜版金属框进行上下夹持，从而进一步维持其在运输时的稳定性。
掩膜版金属框托盘1背离第一滑槽3的一端固定连接有多块贴片15，贴片15上固定连接有致密橡胶绒毛层16，胶绒毛层16的长度不超过5mm，传输的机器滚轮与贴片15上的橡胶绒毛层16相接触，增大摩擦力之外还不易发生偏移，更好的克服运动时的惯性摩擦，使得在运输时转弯或停顿带来的惯性滑动尽可能小的传输到掩膜版金属框托盘1上，从而保证掩膜版金属框的表面规整干净，没有划痕，降低了刮伤的风险。
本发明在使用时，操作人员先将活动板13从嵌槽6中抬升到一定的高度，将活动板13底部的压块14展开使其整体呈长条状，随后再将掩膜版金属框放置在多个垫块12上，之后在将长条状的压块14下压在掩膜版金属框的表面轻轻接触，此时掩膜版金属框托盘1便可依靠传输的机器滚轮进行输送作业，传输的机器滚轮与贴片15上的橡胶绒毛层16相接触，增大摩擦力之外还不易发生偏移，更好的克服运动时的惯性摩擦，使得在运输时转弯或停顿带来的惯性滑动尽可能小的传输到掩膜版金属框托盘1上，从而保证掩膜版金属框的表面规整干净，没有划痕，降低了刮伤的风险。
尽管本文较多地使用了掩膜版金属框托盘1、缺口2、第一滑槽3、第一滑块4、托放机构5、嵌槽6、稳定机构7、L形支撑杆8、第二滑槽9、第二滑块10、支撑块11、垫块12、活动板13、压块14、贴片15、橡胶绒毛层16等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本发明的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本发明精神相违背的。
Claims (8)
1.一种掩膜版金属框传送模块，包括掩膜版金属框托盘(1)，其特征在于，所述掩膜版金属框托盘(1)的两端边缘处均设有多个缺口(2)，所述掩膜版金属框托盘(1)的四角处分别设有第一滑槽(3)，所述第一滑槽(3)内滑动连接有与之相匹配的第一滑块(4)，所述第一滑块(4)上设有托放机构(5)，所述掩膜版金属框托盘(1)的侧边上还设有一对嵌槽(6)，所述嵌槽(6)设置于缺口(2)之间，所述嵌槽(6)内设有稳定机构(7)，述掩膜版金属框托盘(1)的侧边固定连接有L形支撑杆(8)，所述L形支撑杆(8)上竖直设有第二滑槽(9)，所述第二滑槽(9)内滑动连接有与之相匹配的第二滑块(10)，所述第二滑块(10)与稳定机构(7)固定连接。
2.根据权利要求1所述的掩膜版金属框传送模块，其特征在于，所述托放机构(5)包括固定连接于第一滑块(4)上的支撑块(11)，所述支撑块(11)上设有螺纹孔，所述支撑块(11)上设有垫块(12)，所述垫块(12)通过螺栓与螺纹孔来和支撑块(11)固定连接。
3.根据权利要求2所述的掩膜版金属框传送模块，其特征在于，所述垫块(12)为铁氟龙材质。
4.根据权利要求2所述的掩膜版金属框传送模块，其特征在于，所述垫块(12)上设有用于配合螺栓的沉孔，所述螺栓头部通过沉孔嵌入至垫块(12)的上端面下。
5.根据权利要求1所述的掩膜版金属框传送模块，其特征在于，所述稳定机构(7)包括设置于嵌槽(6)内的活动板(13)，所述活动板(13)的下端面上设置有三组压块(14)，三组所述压块(14)呈门字形分布，边缘处的两组压块(14)与嵌槽(6)的端面为转动连接。
6.根据权利要求5所述的掩膜版金属框传送模块，其特征在于，所述压块(14)为铁氟龙材质。
7.根据权利要求1所述的掩膜版金属框传送模块，其特征在于，所述第二滑块(10)与第二滑槽(9)为钝性滑动连接。
8.根据权利要求1所述的掩膜版金属框传送模块，其特征在于，所述掩膜版金属框托盘(1)背离第一滑槽(3)的一端固定连接有多块贴片(15)，所述贴片(15)上固定连接有致密橡胶绒毛层(16)。
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