CN112682339A - 一种双吸式真空泵系统 - Google Patents
一种双吸式真空泵系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112682339A CN112682339A CN202110274499.5A CN202110274499A CN112682339A CN 112682339 A CN112682339 A CN 112682339A CN 202110274499 A CN202110274499 A CN 202110274499A CN 112682339 A CN112682339 A CN 112682339A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- control valve
- vacuum pump
- impeller
- communicated
- communication
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
本发明涉及真空系统技术领域,尤其涉及一种双吸式真空泵系统,一种双吸式真空泵系统包括电机、第一叶轮和第二叶轮,所述第一叶轮固定设置在所述电机的输出轴的一端上,所述第二叶轮固定设在所述电机的输出轴的另一端上,所述第一叶轮与所述电机构成第一真空泵,所述第二叶轮与所述电机构成第二真空泵;第一控制阀组件,与所述第一真空泵和待抽真空处均连通;第二控制阀组件,与所述第二真空泵和所述待抽真空处均连通;第五控制阀,一端与所述第一真空泵的出气口连通,另一端与所述第二真空泵的进气口连通。本发明能够实现大气量、低真空度和高真空度、低气量两种模式运行,满足生产工艺的需求。
Description
技术领域
本发明涉及真空系统技术领域,尤其涉及一种双吸式真空泵系统。
背景技术
造纸机生产时,毛布使用前期需要大气量、低真空度,毛布使用后期需要高真空度和低气量。传统真空泵由于单一叶轮无法改变性能,只调节真空泵的转速无法满足生产工艺的需求。
因此,需要一种双吸式真空泵系统来解决上述技术问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种双吸式真空泵系统,能够实现大气量、低真空度和高真空度、低气量两种模式运行,满足生产工艺的需求。
为达此目的,本发明采用以下技术方案:
一种双吸式真空泵系统,包括:
电机、第一叶轮和第二叶轮,所述第一叶轮固定设置在所述电机的输出轴的一端上,所述第二叶轮固定设在所述电机的输出轴的另一端上,所述第一叶轮与所述电机构成第一真空泵,所述第二叶轮与所述电机构成第二真空泵;
第一控制阀组件,与所述第一真空泵和待抽真空处均连通;
第二控制阀组件,与所述第二真空泵和所述待抽真空处均连通;
第五控制阀,一端与所述第一真空泵的出气口连通,另一端与所述第二真空泵的进气口连通,所述第五控制阀被配置为:当所述第五控制阀处于打开状态时,所述第一真空泵与所述第二真空泵串联工作;当所述第五控制阀处于关闭状态时,所述第一真空泵与所述第二真空泵并联工作。
进一步地,所述第一控制阀组件包括第一控制阀和第二控制阀,所述第一控制阀一端与所述待抽真空处连通,另一端与所述第一真空泵的进气口连通,所述第二控制阀的一端与所述第一真空泵的出气口连通,另一端与大气连通。
进一步地,所述第二控制阀组件包括第三控制阀和第四控制阀,所述第三控制阀一端与所述待抽真空处连通,另一端与所述第二真空泵的进气口连通,所述第四控制阀的一端与所述第二真空泵的出气口连通,另一端与大气连通。
进一步地,还包括第六控制阀,所述第六控制阀的一端与所述第一真空泵的进气口连通,另一端与所述第二真空泵的出气口连通。
进一步地,还包括防喘振控制阀,所述防喘振控制阀的一端与所述第一控制阀与所述待抽真空处连通的一端连通,所述防喘振控制阀的另一端与所述第三控制阀与所述待抽真空处连通的一端连通。
进一步地,所述第一真空泵与所述第一控制阀之间设置有第一集流器,所述第一集流器的一端与所述第一控制阀连通,另一端与所述第一真空泵的进气端连通。
进一步地,所述第二真空泵与所述第三控制阀之间设置有第二集流器,所述第二集流器的一端与所述第三控制阀连通,另一端与所述第二真空泵的进气端连通。
进一步地,还包括控制装置,所述控制装置与所述第一控制阀、所述第二控制阀、所述第三控制阀、所述第四控制阀、所述第五控制阀、所述第六控制阀、所述防喘振控制阀和所述电机均电连接。
进一步地,所述第一真空泵的进气口处设置有第一进口温度传感器和第一进口真空传感器,所述第一真空泵的出气口设置有第一出口温度传感器和第一出口压差传感器,所述第一进口温度传感器、所述第一进口真空传感器、所述第一出口温度传感器和所述第一出口压差传感器均与所述控制装置电连接。
进一步地,所述第一叶轮的直径大于所述第二叶轮的直径。
本发明的有益效果:
本发明所提供的一种双吸式真空泵系统,电机与第一叶轮组合形成第一真空泵,电机与第二叶轮组合形成第二真空泵,第一控制阀组件与第一真空泵和待抽真空处连通,第二控制阀组件与第二真空泵和待抽真空处连通,在第一真空泵的出气口与第二真空泵的进气口之间设有第五控制阀,通过控制第五控制阀打开或者关闭,能够实现第一真空泵和第二真空泵之间的串联或者并联。当第一真空泵与第二真空泵处于并联工作模式时,能够在待抽真空处形成大气量、低真空;当第一真空泵与第二真空泵处于串联工作模式时,通过第一真空泵和第二真空泵持续吸气,第二真空泵对经过第一真空泵的气体进行进一步压缩,形成高的真空度,从而能够在待抽真空处形成高真空度、低气量。通过上述方式,在一台电机的驱动下实现两种模式,有效满足生产工艺的需求。
附图说明
图1是本发明一种双吸式真空泵系统的示意图;
图2是本发明一种双吸式真空泵系统的原理图。
图中:
1、电机;11、第一真空泵;12、第二真空泵;13、防喘振控制阀;2、第一控制阀;3、第二控制阀;4、第三控制阀;5、第四控制阀;6、第五控制阀;7、第六控制阀;8、第一集流器;9、第二集流器;10、待抽真空处。
具体实施方式
下面结合附图和实施方式进一步说明本发明的技术方案。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明,而非对本发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
为了能够实现大气量、低真空度和高真空度、低气量两种模式运行,满足生产工艺的需求,如图1-图2所示,本发明提供一种双吸式真空泵系统。本双吸式真空泵系统包括:电机1、第一叶轮、第二叶轮、第一控制阀组件、第二控制阀组件和第五控制阀6。
其中,第一叶轮固定设置在电机1的输出轴的一端上,第二叶轮固定设在电机1的输出轴的另一端上,第一叶轮与电机1构成第一真空泵11,第二叶轮与电机1构成第二真空泵12;第一控制阀组件与第一真空泵11和待抽真空处10均连通;第二控制阀组件与第二真空泵12和待抽真空处10均连通;第五控制阀6一端与第一真空泵11的出气口连通,另一端与第二真空泵12的进气口连通,第五控制阀6被配置为:当第五控制阀6处于打开状态时,第一真空泵11与第二真空泵12串联工作;当第五控制阀6处于关闭状态时,第一真空泵11与第二真空泵12并联工作。
当然,在其他实施例中,也可以采用两台独立的真空泵来实现,在此不做过多限制。
通过控制第五控制阀6打开或者关闭,能够实现第一真空泵11和第二真空泵12之间的串联或者并联,当第一真空泵11与第二真空泵12处于并联工作模式时,能够在待抽真空处10形成大气量、低真空;当第一真空泵11与第二真空泵12处于串联工作模式时,通过第一真空泵11和第二真空泵12持续吸气,能够在待抽真空处10形成高真空度、低气量。通过上述方式,在一台电机1的驱动下实现两种模式,有效满足生产工艺的需求。
进一步地,第一控制阀组件包括第一控制阀2和第二控制阀3,第一控制阀2一端与待抽真空处10连通,另一端与第一真空泵11的进气口连通,第二控制阀3的一端与第一真空泵11的出气口连通,另一端与大气连通。当第一真空泵11工作时,第一控制阀2和第二控制阀3均打开,第一真空泵11将待抽真空处10的空气抽出,通过第二控制阀3排入大气。
进一步地,第二控制阀组件包括第三控制阀4和第四控制阀5,第三控制阀4一端与待抽真空处10连通,另一端与第二真空泵12的进气口连通,第四控制阀5的一端与第二真空泵12的出气口连通,另一端与大气连通。当第二真空泵12工作时,第三控制阀4和第四控制阀5均打开,第二真空泵12将待抽真空处10的空气抽出,通过第四控制阀5排入大气。
进一步地,第一叶轮的直径大于第二叶轮的直径。通过将第一叶轮与第二叶轮设计为不同的直径,能够保证第一真空泵11和第二真空泵12的工作存在差异。具体地,第一真空泵11由于第一叶轮直径较大,所以,第一真空泵11的抽真空能力较差,但排气量大;第二真空泵12由于第二叶轮的直径较小,第二真空泵12的抽真空能力较强,但排气量小。
进一步地,本双吸式真空泵系统还包括第六控制阀7,第六控制阀7的一端与第一真空泵11的进气口连通,另一端与第二真空泵12的出气口连通。具体地,通过设置第六控制阀7,能够在第六控制阀7打开时,第二真空泵12首先与待抽真空处10连通,气体通过第二真空泵12进入到第一真空泵11然后排出。这种方式能够在串联的模式下实现气量大、真空度小的控制;与第五控制阀6开启时的过程相反,第五控制阀6开启时,第一真空泵11首先与待抽真空处10连通,气体通过第一真空泵11进入到第二真空泵12然后排出,这种方式能够在串联的模式下实现气量小、真空度大的控制。由于第一真空泵11和第二真空泵12的设计差异,通过第五控制阀6打开或者第六控制阀7打开,实现在串联模式下的精细化控制。
进一步地,本双吸式真空泵系统还包括防喘振控制阀13,防喘振控制阀13的一端与第一控制阀2与待抽真空处10连通的一端连通,防喘振控制阀13与第三控制阀4与待抽真空处10连通的一端连通。通过设置防喘振控制阀13,能够根据本双吸式真空泵系统的运行需要打开或者关闭,实现防喘振、防过载的功能。
进一步地,第一真空泵11与第一控制阀2之间设置有第一集流器8,第一集流器8的一端与第一控制阀2连通,另一端与第一真空泵11的进气端连通。通过设置第一集流器8能够提高第一真空泵11抽真空的效率。
进一步地,第二真空泵12与第三控制阀4之间设置有第二集流器9,第二集流器9的一端与第三控制阀4连通,另一端与第二真空泵12的进气端连通。通过设置第二集流器9能够提高第二真空泵12抽真空的效率。
进一步地,本双吸式真空泵系统还包括控制装置,控制装置与第一控制阀2、第二控制阀3、第三控制阀4、第四控制阀5、第五控制阀6、第六控制阀7、防喘振控制阀13和电机1均电连接。通过设置控制装置对第一控制阀2、第二控制阀3、第三控制阀4、第四控制阀5、第五控制阀6、第六控制阀7、防喘振控制阀13和电机1进行控制,能够自动调整第一真空泵11和第二真空泵12之间处于串联模式或者处于并联模式。并可以实时调节防喘振控制阀13的开启或者关闭,保证安全运行。在本实施例中,控制装置可以采用单片机或者PLC,控制装置的控制原理是现有的成熟技术,在此不做过多赘述。
进一步地,第一真空泵11的进气口处设置有第一进口温度传感器和第一进口真空传感器,第一真空泵11的出气口设置有第一出口温度传感器和第一出口压差传感器,第一进口温度传感器、第一进口真空传感器、第一出口温度传感器和第一出口压差传感器均与控制装置电连接;第二真空泵12的进气口处设置有第二进口温度传感器和第二进口真空传感器,第二真空泵12的出气口设置有第二出口温度传感器和第二出口压差传感器,第二进口温度传感器、第二进口真空传感器、第二出口温度传感器和第二出口压差传感器均与控制装置电连接。通过上述设置,控制装置可以实时采集第一真空泵11和第二真空泵12的状态,根据实际需要调整第一真空泵11和第二真空泵12的工作模式,保证本双吸式真空泵系统安全运行。
本双吸式真空泵系统的工作过程如下:
控制装置接收用户给出的真空度和气量指令;
控制装置根据指令判断工作模式,并控制相应的控制阀打开或者关闭。具体地,当处于并联工作模式时,第一控制阀2、第二控制阀3、第三控制阀4和第四控制阀5均打开,第五控制阀6和第六控制阀7均关闭;
当处于串联工作模式时,包括两种情况,第一种是待抽真空处10、第一真空泵11和第二真空泵12串联;第二种是待抽真空处10、第二真空泵12和第一真空泵11串联。其中第一种情况下,第一控制阀2、第五控制阀6和第四控制阀5打开,第二控制阀3、第三控制阀4和第六控制阀7关闭;第二种情况下,第三控制阀4、第六控制阀7、第二控制阀3打开,第一控制阀2、第五控制阀6和第四控制阀5关闭。
显然,本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例,而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种双吸式真空泵系统,其特征在于,包括:
电机(1)、第一叶轮和第二叶轮,所述第一叶轮固定设置在所述电机(1)的输出轴的一端上,所述第二叶轮固定设在所述电机(1)的输出轴的另一端上,所述第一叶轮与所述电机(1)构成第一真空泵(11),所述第二叶轮与所述电机(1)构成第二真空泵(12);
第一控制阀组件,与所述第一真空泵(11)和待抽真空处(10)均连通;
第二控制阀组件,与所述第二真空泵(12)和所述待抽真空处(10)均连通;
第五控制阀(6),一端与所述第一真空泵(11)的出气口连通,另一端与所述第二真空泵(12)的进气口连通,所述第五控制阀(6)被配置为:当所述第五控制阀(6)处于打开状态时,所述第一真空泵(11)与所述第二真空泵(12)串联工作;当所述第五控制阀(6)处于关闭状态时,所述第一真空泵(11)与所述第二真空泵(12)并联工作。
2.根据权利要求1所述的一种双吸式真空泵系统,其特征在于,所述第一控制阀组件包括第一控制阀(2)和第二控制阀(3),所述第一控制阀(2)一端与所述待抽真空处(10)连通,另一端与所述第一真空泵(11)的进气口连通,所述第二控制阀(3)的一端与所述第一真空泵(11)的出气口连通,另一端与大气连通。
3.根据权利要求2所述的一种双吸式真空泵系统,其特征在于,所述第二控制阀组件包括第三控制阀(4)和第四控制阀(5),所述第三控制阀(4)一端与所述待抽真空处(10)连通,另一端与所述第二真空泵(12)的进气口连通,所述第四控制阀(5)的一端与所述第二真空泵(12)的出气口连通,另一端与大气连通。
4.根据权利要求3所述的一种双吸式真空泵系统,其特征在于,还包括第六控制阀(7),所述第六控制阀(7)的一端与所述第一真空泵(11)的进气口连通,另一端与所述第二真空泵(12)的出气口连通。
5.根据权利要求4所述的一种双吸式真空泵系统,其特征在于,还包括防喘振控制阀(13),所述防喘振控制阀(13)的一端与所述第一控制阀(2)与所述待抽真空处(10)连通的一端连通,所述防喘振控制阀(13)与所述第三控制阀(4)与所述待抽真空处(10)连通的一端连通。
6.根据权利要求2所述的一种双吸式真空泵系统,其特征在于,所述第一真空泵(11)与所述第一控制阀(2)之间设置有第一集流器(8),所述第一集流器(8)的一端与所述第一控制阀(2)连通,另一端与所述第一真空泵(11)的进气端连通。
7.根据权利要求3所述的一种双吸式真空泵系统,其特征在于,所述第二真空泵(12)与所述第三控制阀(4)之间设置有第二集流器(9),所述第二集流器(9)的一端与所述第三控制阀(4)连通,另一端与所述第二真空泵(12)的进气端连通。
8.根据权利要求5所述的一种双吸式真空泵系统,其特征在于,还包括控制装置,所述控制装置与所述第一控制阀(2)、所述第二控制阀(3)、所述第三控制阀(4)、所述第四控制阀(5)、所述第五控制阀(6)、所述第六控制阀(7)、所述防喘振控制阀(13)和所述电机(1)均电连接。
9.根据权利要求8所述的一种双吸式真空泵系统,其特征在于,所述第一真空泵(11)的进气口处设置有第一进口温度传感器和第一进口真空传感器,所述第一真空泵(11)的出气口设置有第一出口温度传感器和第一出口压差传感器,所述第一进口温度传感器、所述第一进口真空传感器、所述第一出口温度传感器和所述第一出口压差传感器均与所述控制装置电连接。
10.根据权利要求1所述的一种双吸式真空泵系统,其特征在于,所述第一叶轮的直径大于所述第二叶轮的直径。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110274499.5A CN112682339B (zh) | 2021-03-15 | 2021-03-15 | 一种双吸式真空泵系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110274499.5A CN112682339B (zh) | 2021-03-15 | 2021-03-15 | 一种双吸式真空泵系统 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN112682339A true CN112682339A (zh) | 2021-04-20 |
CN112682339B CN112682339B (zh) | 2021-07-09 |
Family
ID=75455579
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202110274499.5A Active CN112682339B (zh) | 2021-03-15 | 2021-03-15 | 一种双吸式真空泵系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN112682339B (zh) |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU2010249207A1 (en) * | 2001-12-10 | 2011-01-06 | ResMed Pty Ltd | Double-Ended Blower and Volutes Therefor |
CN202718885U (zh) * | 2012-08-14 | 2013-02-06 | 杭州新安江工业泵有限公司 | 串联式水环真空泵 |
CN203488333U (zh) * | 2013-10-16 | 2014-03-19 | 于翔 | 一种汽轮机抽真空系统 |
CN204199110U (zh) * | 2014-10-27 | 2015-03-11 | 安徽科达埃尔压缩机有限公司 | 纸机真空系统 |
US20160115949A1 (en) * | 2014-10-23 | 2016-04-28 | Shinano Kenshi Co., Ltd. | Piston drive device |
CN205744372U (zh) * | 2016-06-24 | 2016-11-30 | 浙江力鑫真空设备有限公司 | 一种罗茨往复真空机组 |
CN106499646A (zh) * | 2017-01-09 | 2017-03-15 | 黄志婷 | 新型真空压缩系统 |
WO2018010767A1 (en) * | 2016-07-12 | 2018-01-18 | Dr.-Ing. K. Busch Gmbh | Evacuation system |
US20180298920A1 (en) * | 2017-04-17 | 2018-10-18 | Nidec Corporation | Fan device |
CN208416852U (zh) * | 2018-07-05 | 2019-01-22 | 亿昇(天津)科技有限公司 | 一种磁悬浮高速透平真空泵系统 |
CN209510703U (zh) * | 2019-01-11 | 2019-10-18 | 浙江飞旋科技有限公司 | 一种空气二级压缩装置 |
CN110671298A (zh) * | 2019-10-30 | 2020-01-10 | 中山荣拓智能装备有限公司 | 一种单晶炉的两级抽真空系统 |
-
2021
- 2021-03-15 CN CN202110274499.5A patent/CN112682339B/zh active Active
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU2010249207A1 (en) * | 2001-12-10 | 2011-01-06 | ResMed Pty Ltd | Double-Ended Blower and Volutes Therefor |
CN202718885U (zh) * | 2012-08-14 | 2013-02-06 | 杭州新安江工业泵有限公司 | 串联式水环真空泵 |
CN203488333U (zh) * | 2013-10-16 | 2014-03-19 | 于翔 | 一种汽轮机抽真空系统 |
US20160115949A1 (en) * | 2014-10-23 | 2016-04-28 | Shinano Kenshi Co., Ltd. | Piston drive device |
CN204199110U (zh) * | 2014-10-27 | 2015-03-11 | 安徽科达埃尔压缩机有限公司 | 纸机真空系统 |
CN205744372U (zh) * | 2016-06-24 | 2016-11-30 | 浙江力鑫真空设备有限公司 | 一种罗茨往复真空机组 |
WO2018010767A1 (en) * | 2016-07-12 | 2018-01-18 | Dr.-Ing. K. Busch Gmbh | Evacuation system |
CN106499646A (zh) * | 2017-01-09 | 2017-03-15 | 黄志婷 | 新型真空压缩系统 |
US20180298920A1 (en) * | 2017-04-17 | 2018-10-18 | Nidec Corporation | Fan device |
CN208416852U (zh) * | 2018-07-05 | 2019-01-22 | 亿昇(天津)科技有限公司 | 一种磁悬浮高速透平真空泵系统 |
CN209510703U (zh) * | 2019-01-11 | 2019-10-18 | 浙江飞旋科技有限公司 | 一种空气二级压缩装置 |
CN110671298A (zh) * | 2019-10-30 | 2020-01-10 | 中山荣拓智能装备有限公司 | 一种单晶炉的两级抽真空系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112682339B (zh) | 2021-07-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN100590317C (zh) | 一种单级透平真空机及应用其抽取真空的方法 | |
CN112682339B (zh) | 一种双吸式真空泵系统 | |
CN2503231Y (zh) | 一种带辅路气体交换的涡旋压缩机 | |
KR20110136899A (ko) | 용적 펌프를 위한 러프 펌핑 방법 | |
CN106499646A (zh) | 新型真空压缩系统 | |
CN203067285U (zh) | 高真空多级罗茨泵 | |
CN214203720U (zh) | 快速抽真空式层压机 | |
CN112177950B (zh) | 一种循环离心气体压缩机 | |
CN102155408B (zh) | 一种适用于砖瓦真空挤出机的旋片式真空泵 | |
CN211819901U (zh) | 一种便于拆装的罗茨泵旁通装置 | |
CN211174624U (zh) | 一种具有自吸抽水功能的离心泵装置 | |
CN210033832U (zh) | 一种改进的旋片式真空泵 | |
CN112377387A (zh) | 一种便于维修的真空压缩装置 | |
CN201636043U (zh) | 增压器 | |
CN214577778U (zh) | 一种用于气体分离的压缩机系统 | |
CN109113973A (zh) | 动力一体化隔膜泵 | |
CN212672096U (zh) | 一种真空自动换气装置 | |
CN209444561U (zh) | 一种真空泵的节能控制装置 | |
CN213450788U (zh) | 一种进排气阀纵向布置的高真空微型泵 | |
CN221033125U (zh) | 一种无油真空泵 | |
CN209412296U (zh) | 氮化炉抽真空系统 | |
CN221074632U (zh) | 一种三级液环真空泵 | |
CN221074627U (zh) | 一种新型双级液环真空泵 | |
CN114087189B (zh) | 无油螺杆压缩机低负荷启动系统及其启动方法 | |
CN219452427U (zh) | 一种新型透平真空泵 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |