CN112663017A - 一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备 - Google Patents
一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112663017A CN112663017A CN202011505666.4A CN202011505666A CN112663017A CN 112663017 A CN112663017 A CN 112663017A CN 202011505666 A CN202011505666 A CN 202011505666A CN 112663017 A CN112663017 A CN 112663017A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fixedly connected
- studio
- contact
- working chamber
- magnetron sputtering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 47
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 28
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 238000004804 winding Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 230000009975 flexible effect Effects 0.000 title claims abstract description 20
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 241000220317 Rosa Species 0.000 claims description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 19
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 2
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003631 expected effect Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明公开了一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，包括工作室、连接座，所述工作室的下端固定连接有支座，所述工作室上转动连接有展平辊，所述展平辊上绕接有基材，所述工作室上转动连接有两个对称的转动辊，所述转动辊上接触连接有基材，所述工作室上固定连接有四个磁控靶，所述磁控靶设置在转动辊的外侧，所述工作室上转动连接有收卷辊，所述收卷辊与基材接触，所述工作室的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块的内部滑动连接有固定杆。本发明涉及一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，具有调节基材张紧度以及加快镀膜成型效率的特点。
Description
技术领域
本发明属于磁控溅射镀膜技术领域，具体为一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备。
背景技术
磁控溅射是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，增强型柔性基材表面进行镀膜时也需使用到磁控溅射的方式进行镀膜。但是目前镀膜装置存在一些问题：1、对基材的张紧度不便于调节，基材表面平整度不足，导致镀膜效果达不到预期的效果；2、镀膜后成型的效率低。
发明内容：
本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，解决了背景技术中提到的问题。
为了解决上述问题，本发明提供了一种技术方案：
一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，包括工作室、连接座，所述工作室的下端固定连接有支座，所述工作室上转动连接有展平辊，所述展平辊上绕接有基材，所述工作室上转动连接有两个对称的转动辊，所述转动辊上接触连接有基材，所述工作室上固定连接有四个磁控靶，所述磁控靶设置在转动辊的外侧，所述工作室上转动连接有收卷辊，所述收卷辊与基材接触，所述工作室的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块的内部滑动连接有固定杆，所述固定杆与工作室固定连接，所述固定杆的外侧设置有第一弹簧。
作为优选，所述工作室的内壁接触连接有第一铰接座，所述第一铰接座与滑块固定连接，所述第一铰接座上铰接有铰接杆，所述铰接杆上铰接有连接杆，所述连接杆上铰接有第二铰接座，所述第二铰接座与工作室的内壁固定连接，所述连接杆上转动连接有滚轮，所述滚轮与基材接触，所述工作室的内部开设有连接槽，所述连接槽与滑槽连通，所述连接槽的内部滑动连接有连接块，所述连接块与滑块固定连接，所述连接块的上端固定连接有连接座，所述连接座与工作室的外表面接触。
作为优选，所述连接座的内部开设有限位槽，所述限位槽的内部滑动连接有螺纹杆，所述螺纹杆上通过螺纹连接有两个对称的螺母，所述螺母与连接座接触，所述螺纹杆上固定连接有两个对称的限位座，所述限位座与工作室的侧壁固定连接，所述工作室的内壁固定连接有固定管，所述固定管的上端固定连接有排气口，所述排气口的内部开设有多个均匀分布的出气口，工作室的内壁固定连接有气泵，所述气泵上设置有排气管，所述排气管接入固定管内，所述气泵上设置有进气管。
作为优选，所述工作室的下端固定连接有过滤箱，所述过滤箱上设置有观察窗，所述过滤箱的内部设置有进气管，所述过滤箱的内部滑动连接有下盖，所述下盖的内部开设有进气口，所述过滤箱的内部通过螺纹连接有限位螺钉，所述限位螺钉的尾端与下盖卡接，所述下盖的内部滑动连接有两个对称的竖杆，所述竖杆的下端固定连接有限位环，所述限位环与下盖接触，所述竖杆的外侧设置有第二弹簧，所述竖杆的上端固定连接有安装板，所述安装板与过滤箱滑动连接，所述安装板的内部设置有滤网，所述安装板的上端固定连接有两个对称的定位座，所述定位座为一种橡胶材质制成，所述定位座的内部开设有定位槽，所述定位槽的内部卡接有定位块，所述定位块上固定连接有干燥盒，所述干燥盒与安装板接触，所述干燥盒上设置有通孔。
作为优选，所述支座的数量为四个，四个所述支座在工作室的下端均匀分布。
作为优选，所述第一弹簧的一端与滑块接触，所述第一弹簧的另一端与工作室的内壁接触。
作为优选，所述第二弹簧的一端与下盖接触，所述第二弹簧的另一端与安装板接触。
作为优选，所述通孔的数量为多个，多个所述通孔在干燥盒上均匀分布。
本发明的有益效果是：本发明涉及一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，具有调节基材张紧度以及加快镀膜成型效率的特点，在具体的使用中，与传统的增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备相比较而言，本增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备具有以下两个有益效果：
首先，通过设计滚轮与基材的接触可对基材起到一个张紧的效果，使得基材更加平整，镀膜效果更好，且通过设计滑块和滑槽的滑动连接，可达到自动调节第一铰接座位置的效果，从而达到自动调节张紧力的效果，并且通过螺母的作用，可对连接座的位置起到一个定位效果，还可达到手动调节张紧力的效果；
其次，通过设计气泵的作用，可通过排气口向上进行喷气冷却，可加速镀膜成型的效率，通过过滤箱的作用，可对气体起到一个过滤效果，防止灰尘附着在膜的表面，且通过干燥盒的作用，可对气体起到一个干燥效果，可有效防止水气造成膜结构的不稳定。
附图说明：
为了易于说明，本发明由下述的具体实施及附图作以详细描述。
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明图1的A部结构放大图；
图3为本发明图1的B部结构放大图；
图4为本发明图1的过滤箱结构剖视图；
图5为本发明图4的干燥盒结构俯视图；
图6为本发明图4的C部结构放大图。
图中：1、工作室；2、支座；3、展平辊；4、基材；5、转动辊；6、磁控靶；7、收卷辊；8、固定管；9、滑槽；10、滑块；11、固定杆；12、第一弹簧；13、第一铰接座；14、铰接杆；15、连接杆；16、第二铰接座；17、滚轮；18、连接槽；19、连接块；20、连接座；21、限位槽；22、螺纹杆；23、螺母；24、限位座；25、排气口；26、出气口；27、气泵；28、排气管；29、过滤箱；30、进气管；31、下盖；32、进气口；33、限位螺钉；34、竖杆；35、限位环；36、第二弹簧；37、安装板；38、滤网；39、定位座；40、定位槽；41、定位块；42、干燥盒；43、通孔；44、观察窗。
具体实施方式：
如图1-6所示，本具体实施方式采用以下技术方案：
实施例：
一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，包括工作室1、连接座20，所述工作室1的下端固定连接有支座2，所述工作室1上转动连接有展平辊3，所述展平辊3上绕接有基材4，所述工作室1上转动连接有两个对称的转动辊5，所述转动辊5上接触连接有基材4，所述工作室1上固定连接有四个磁控靶6，所述磁控靶6设置在转动辊5的外侧，所述工作室1上转动连接有收卷辊7，所述收卷辊7与基材4接触，所述工作室1的内部开设有滑槽9，所述滑槽9的内部滑动连接有滑块10，所述滑块10的内部滑动连接有固定杆11，所述固定杆11与工作室1固定连接，所述固定杆11的外侧设置有第一弹簧12。
其中，所述工作室1的内壁接触连接有第一铰接座13，所述第一铰接座13与滑块10固定连接，所述第一铰接座13上铰接有铰接杆14，所述铰接杆14上铰接有连接杆15，所述连接杆15上铰接有第二铰接座16，所述第二铰接座16与工作室1的内壁固定连接，所述连接杆15上转动连接有滚轮17，所述滚轮17与基材4接触，所述工作室1的内部开设有连接槽18，所述连接槽18与滑槽9连通，所述连接槽18的内部滑动连接有连接块19，所述连接块19与滑块10固定连接，所述连接块19的上端固定连接有连接座20，所述连接座20与工作室1的外表面接触。
其中，所述连接座20的内部开设有限位槽21，所述限位槽21的内部滑动连接有螺纹杆22，所述螺纹杆22上通过螺纹连接有两个对称的螺母23，所述螺母23与连接座20接触，所述螺纹杆22上固定连接有两个对称的限位座24，所述限位座24与工作室1的侧壁固定连接，所述工作室1的内壁固定连接有固定管8，所述固定管8的上端固定连接有排气口25，所述排气口25的内部开设有多个均匀分布的出气口26，工作室1的内壁固定连接有气泵27，所述气泵27上设置有排气管28，所述排气管28接入固定管8内，所述气泵27上设置有进气管30。
其中，所述工作室1的下端固定连接有过滤箱29，所述过滤箱29上设置有观察窗44，所述过滤箱29的内部设置有进气管30，所述过滤箱29的内部滑动连接有下盖31，所述下盖31的内部开设有进气口32，所述过滤箱29的内部通过螺纹连接有限位螺钉33，所述限位螺钉33的尾端与下盖31卡接，所述下盖31的内部滑动连接有两个对称的竖杆34，所述竖杆34的下端固定连接有限位环35，所述限位环35与下盖31接触，所述竖杆34的外侧设置有第二弹簧36，所述竖杆34的上端固定连接有安装板37，所述安装板37与过滤箱29滑动连接，所述安装板37的内部设置有滤网38，所述安装板37的上端固定连接有两个对称的定位座39，所述定位座39为一种橡胶材质制成，所述定位座39的内部开设有定位槽40，所述定位槽40的内部卡接有定位块41，所述定位块41上固定连接有干燥盒42，所述干燥盒42与安装板37接触，所述干燥盒42上设置有通孔43。
其中，所述支座2的数量为四个，四个所述支座2在工作室1的下端均匀分布。
其中，所述第一弹簧12的一端与滑块10接触，所述第一弹簧12的另一端与工作室1的内壁接触。
其中，所述第二弹簧36的一端与下盖31接触，所述第二弹簧36的另一端与安装板37接触。
其中，所述通孔43的数量为多个，多个所述通孔43在干燥盒42上均匀分布。
本发明的使用状态为：使用时，当需要对基材4进行镀膜时，先将基材4通过转动辊5绕在收卷辊7上，然后通过驱动装置带动收卷辊7转动，收卷辊7带动基材4移动，使得转动辊5以及展平辊3转动，从而使基材4绕在收卷辊7上，同时磁控靶6工作，对基材4进行溅射镀膜，通过滚轮17的作用，基材4在进行移动时，会带动滚轮17转动，滚轮17可对基材4起到一个压平的效果，使得基材4更加平整，镀膜效果更好，且当基材4的张紧力过大时，会带动滚轮17向上移动，滚轮17带动连接杆15向上转动，连接杆15带动铰接杆14向上转动，铰接杆14带动第一铰接座13向右移动，第一铰接座13带动滑块10沿着固定杆11滑动，滑块10会挤压第一弹簧12，此时滚轮17对基材4的下压力减小，防止张紧力过大导致基材4破损，当张紧力过小时，通过被压缩第一弹簧12的伸缩作用，会给滑块10一个向左的反作用力，使得滑块10带动第一铰接座13向左移动，使得连接杆15向下转动，滚轮17会向下移动，使得滚轮17对基材4的作用力增大，从而达到自动调节对基材4张紧力的效果，通过转动两个螺母23，使得螺母23在螺纹杆22上移动，并使两个螺母23均与连接座20接触，即可对连接座20的位置起到一个限位作用，达到对第一铰接座13限位的效果，从而达到手动调节张紧力的效果，适用性更好。在进行镀膜时，气泵27工作，气泵27通过进气管30进行抽气，气体会通过进气口32进入过滤箱29内，通过滤网38的作用，可对气体起到一个过滤效果，然后气体会进入干燥盒42内，干燥盒42内设置有袋装干燥剂，可对气体起到一个干燥的效果，经过滤干燥后的气体会通过进气管30排入气泵27内，气泵27会将气体通过排气管28排入固定管8内，然后经过出气口26向上排出，通过将气体进行过滤，防止灰尘附着在膜的表面，通过将气体进行干燥，可有效防止水气造成膜结构的不稳定，且当气体作用于滤网38时，会使滤网38向上移动，滤网38会带动安装板37向上移动，经重力的作用安装板37会向下移动，安装板37会挤压第二弹簧36，通过第二弹簧36的伸缩作用，会使滤网38发生震动，从而达到防止滤网38堵塞的效果，当需要对滤网38进行清理或者对干燥剂进行更换时，转动限位螺钉33，使得限位螺钉33与下盖31分离即可。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内，本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (8)
1.一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，包括工作室(1)、连接座(20)，其特征在于：所述工作室(1)的下端固定连接有支座(2)，所述工作室(1)上转动连接有展平辊(3)，所述展平辊(3)上绕接有基材(4)，所述工作室(1)上转动连接有两个对称的转动辊(5)，所述转动辊(5)上接触连接有基材(4)，所述工作室(1)上固定连接有四个磁控靶(6)，所述磁控靶(6)设置在转动辊(5)的外侧，所述工作室(1)上转动连接有收卷辊(7)，所述收卷辊(7)与基材(4)接触，所述工作室(1)的内部开设有滑槽(9)，所述滑槽(9)的内部滑动连接有滑块(10)，所述滑块(10)的内部滑动连接有固定杆(11)，所述固定杆(11)与工作室(1)固定连接，所述固定杆(11)的外侧设置有第一弹簧(12)。
2.根据权利要求1所述的一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述工作室(1)的内壁接触连接有第一铰接座(13)，所述第一铰接座(13)与滑块(10)固定连接，所述第一铰接座(13)上铰接有铰接杆(14)，所述铰接杆(14)上铰接有连接杆(15)，所述连接杆(15)上铰接有第二铰接座(16)，所述第二铰接座(16)与工作室(1)的内壁固定连接，所述连接杆(15)上转动连接有滚轮(17)，所述滚轮(17)与基材(4)接触，所述工作室(1)的内部开设有连接槽(18)，所述连接槽(18)与滑槽(9)连通，所述连接槽(18)的内部滑动连接有连接块(19)，所述连接块(19)与滑块(10)固定连接，所述连接块(19)的上端固定连接有连接座(20)，所述连接座(20)与工作室(1)的外表面接触。
3.根据权利要求2所述的一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述连接座(20)的内部开设有限位槽(21)，所述限位槽(21)的内部滑动连接有螺纹杆(22)，所述螺纹杆(22)上通过螺纹连接有两个对称的螺母(23)，所述螺母(23)与连接座(20)接触，所述螺纹杆(22)上固定连接有两个对称的限位座(24)，所述限位座(24)与工作室(1)的侧壁固定连接，所述工作室(1)的内壁固定连接有固定管(8)，所述固定管(8)的上端固定连接有排气口(25)，所述排气口(25)的内部开设有多个均匀分布的出气口(26)，工作室(1)的内壁固定连接有气泵(27)，所述气泵(27)上设置有排气管(28)，所述排气管(28)接入固定管(8)内，所述气泵(27)上设置有进气管(30)。
4.根据权利要求3所述的一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述工作室(1)的下端固定连接有过滤箱(29)，所述过滤箱(29)上设置有观察窗(44)，所述过滤箱(29)的内部设置有进气管(30)，所述过滤箱(29)的内部滑动连接有下盖(31)，所述下盖(31)的内部开设有进气口(32)，所述过滤箱(29)的内部通过螺纹连接有限位螺钉(33)，所述限位螺钉(33)的尾端与下盖(31)卡接，所述下盖(31)的内部滑动连接有两个对称的竖杆(34)，所述竖杆(34)的下端固定连接有限位环(35)，所述限位环(35)与下盖(31)接触，所述竖杆(34)的外侧设置有第二弹簧(36)，所述竖杆(34)的上端固定连接有安装板(37)，所述安装板(37)与过滤箱(29)滑动连接，所述安装板(37)的内部设置有滤网(38)，所述安装板(37)的上端固定连接有两个对称的定位座(39)，所述定位座(39)为一种橡胶材质制成，所述定位座(39)的内部开设有定位槽(40)，所述定位槽(40)的内部卡接有定位块(41)，所述定位块(41)上固定连接有干燥盒(42)，所述干燥盒(42)与安装板(37)接触，所述干燥盒(42)上设置有通孔(43)。
5.根据权利要求1所述的一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述支座(2)的数量为四个，四个所述支座(2)在工作室(1)的下端均匀分布。
6.根据权利要求1所述的一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述第一弹簧(12)的一端与滑块(10)接触，所述第一弹簧(12)的另一端与工作室(1)的内壁接触。
7.根据权利要求4所述的一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述第二弹簧(36)的一端与下盖(31)接触，所述第二弹簧(36)的另一端与安装板(37)接触。
8.根据权利要求4所述的一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于：所述通孔(43)的数量为多个，多个所述通孔(43)在干燥盒(42)上均匀分布。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202011505666.4A CN112663017A (zh) | 2020-12-18 | 2020-12-18 | 一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202011505666.4A CN112663017A (zh) | 2020-12-18 | 2020-12-18 | 一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN112663017A true CN112663017A (zh) | 2021-04-16 |
Family
ID=75406826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202011505666.4A Pending CN112663017A (zh) | 2020-12-18 | 2020-12-18 | 一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN112663017A (zh) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN208266260U (zh) * | 2018-01-29 | 2018-12-21 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 遮挡压盘组件和半导体加工装置 |
| CN109898067A (zh) * | 2019-03-27 | 2019-06-18 | 李苏峰 | 一种柔性基材双面卷绕镀膜自动生产线 |
| CN210104067U (zh) * | 2019-03-21 | 2020-02-21 | 昆山金百辰金属科技有限公司 | 一种可连续镀膜的真空镀膜机 |
| CN211170880U (zh) * | 2019-11-08 | 2020-08-04 | 深圳市瑞泓塑胶五金镀膜技术有限公司 | 一种连续真空镀膜设备 |
-
2020
- 2020-12-18 CN CN202011505666.4A patent/CN112663017A/zh active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN208266260U (zh) * | 2018-01-29 | 2018-12-21 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 遮挡压盘组件和半导体加工装置 |
| CN210104067U (zh) * | 2019-03-21 | 2020-02-21 | 昆山金百辰金属科技有限公司 | 一种可连续镀膜的真空镀膜机 |
| CN109898067A (zh) * | 2019-03-27 | 2019-06-18 | 李苏峰 | 一种柔性基材双面卷绕镀膜自动生产线 |
| CN211170880U (zh) * | 2019-11-08 | 2020-08-04 | 深圳市瑞泓塑胶五金镀膜技术有限公司 | 一种连续真空镀膜设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN215088420U (zh) | 一种用于锂电池胶带加工的表面涂覆装置 | |
| CN112663017A (zh) | 一种增强型柔性基材表面磁控溅射卷绕镀膜设备 | |
| CN210115199U (zh) | 一种防腐蚀涂层铝型材的喷涂装置 | |
| CN217289140U (zh) | 一种铝单板喷涂用快速烘干装置 | |
| CN209685907U (zh) | 一种用于镀膜流水线的收放卷装置 | |
| CN209901597U (zh) | 一种多功能滚涂板连续上胶装置 | |
| CN112695289A (zh) | 一种多靶材双面镀膜磁控溅射卷绕镀膜设备 | |
| CN113680532A (zh) | 用于谷物干燥机的除尘机构及谷物干燥机 | |
| CN221108844U (zh) | 一种胶带生产用的冷却机构 | |
| CN221288427U (zh) | 一种网布加工用涂覆装置 | |
| CN221335637U (zh) | 一种功能薄膜生产用表面清洗装置 | |
| CN221421401U (zh) | 一种玻纤布浸渍机 | |
| CN112501575B (zh) | 一种用于真空镀膜的夹具 | |
| CN218196962U (zh) | 一种防水卷材生产用覆膜装置 | |
| CN218394891U (zh) | 一种具有烘干功能的铝卷清洗装置 | |
| CN220202202U (zh) | 一种帐篷布生产喷液装置 | |
| CN218190575U (zh) | 一种锂电池用涂碳铝箔生产设备 | |
| CN215278332U (zh) | 一种氟素离型膜生产用涂布放料设备 | |
| CN212266437U (zh) | 一种水溶性环保膜制作设备 | |
| CN218637739U (zh) | 一种用于铝板涂覆皮膜剂的涂膜组件 | |
| CN218203611U (zh) | 一种高光相纸铸涂设备 | |
| CN213792435U (zh) | 一种铝件用自动喷涂流水线 | |
| CN220601700U (zh) | 一种用于房建的通风设备 | |
| CN210456768U (zh) | 一种tpu薄膜的干燥收卷装置 | |
| CN220590468U (zh) | 一种铝板加工用油漆喷涂装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20210416 |