CN112638243A - 生物体传感器 - Google Patents

Abstract

本发明的课题在于提供灵敏度高、抗干扰性强的生物体传感器。本发明的一个方式的生物体传感器(1)具备：片状的压电元件(2)；俯视时在压电元件(2)的周围隔开空隙(3)配设的间隔件(4)；覆盖压电元件(2)以及间隔件(4)的表侧的覆盖部件(5)；间隔件(4)从背侧支承覆盖部件(5)，压电元件(2)固定于覆盖部件(5)。

Description

生物体传感器

技术领域

本发明涉及生物体传感器。

背景技术

通过例如测定或观测心率、脉搏、血流音、呼吸音等在生物体内部产生的振动(不限于可听域的声波振动，包括非可听域的低频振动或超声波振动)，能够进行例如诊断、健康管理等。

作为检测生物体的振动的生物体传感器，例如公知有使用了压电元件的振动波形传感器(参照国际公开第2017/187710号公报)。该公知的振动波形传感器具有安装在基材上的压电元件、配置在该压电元件周围的间隔件以及覆盖压电元件的覆盖部，在由该间隔件等包围的区域中填充例如硅树脂而构成。在该现有的生物体传感器(振动波形传感器)中，通过使覆盖部侧与生物体接触来检测生物体的振动。

但是，在上述现有的生物体传感器中，由于主要检测从间隔件经由基板向压电元件传递的振动，因此传播路径长。因此，灵敏度容易降低，干扰容易混入。另外，由于在作为被测定对象的生物体与压电传感器之间等存在覆盖部或硅树脂，因此因其弹性导致振动容易衰减，且所述间隔件以及所述覆盖部等紧密地包围压电元件，因此能够抑制压电元件的变形。从这一点来看，所述现有的生物传感器的灵敏度也容易降低。因此，需要灵敏度高、抗干扰性强的生物体传感器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2017/187710号公报

发明内容

发明要解决的课题

鉴于上述实际情况，本发明的课题在于提供一种灵敏度高、抗干扰性强的生物体传感器。

用于解决问题的方案

为了解决所述课题而完成的本发明的一个方式的生物体传感器具备：片状的压电元件；俯视时在所述压电元件的周围隔开空隙配设的间隔件；覆盖所述压电元件以及所述间隔件的表侧的覆盖部件；所述间隔件从背侧支承所述覆盖部件，所述压电元件固定于所述覆盖部件。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式的生物体传感器的背侧的面的示意性仰视图。

图2是图1的生物体传感器的沿A-A线的示意性剖视图。

图3是表示与图1不同的实施方式的生物体传感器的背侧的面的示意性仰视图。

图4是示出与图1以及图3不同的实施方式的生物传感器的示意性剖视图。

具体实施方式

本发明的一个方式的生物体传感器具备片状的压电元件、俯视时在所述压电元件的周围隔开空隙配设的间隔件、覆盖所述压电元件以及所述间隔件的表侧的覆盖部件，所述间隔件从背侧支承所述覆盖部件，所述压电元件固定于所述覆盖部件。

在该生物体传感器中，所述背侧是与振动检测对象的生物体表面相对置的一侧，所述表侧是与所述背侧相反的一侧。

优选的是，在该生物体传感器中，所述间隔件的背侧的面是与所述压电元件的背侧的面平行的平面。

优选的是，该生物体传感器还具备板，该板在所述压电元件的背侧配设成与所述覆盖部件相对置。

优选的是，在该生物体传感器中，所述板的背侧的面比所述间隔件的背侧的面更向背侧突出。

优选的是，该生物体传感器具备配设成俯视时不重合的多个所述压电元件。

优选的是，在该生物体传感器中，所述间隔件的平均厚度为300μm以上且800μm以下。

需要说明的是，在本发明中，“背侧”是指位于与生物体表面相对置的一侧，“表侧”是指与所述“背侧”相反的一侧，即位于与生物体表面相反的一侧。“平均厚度”是指任意十个点的厚度的平均值。

在该生物体传感器中，固定有压电元件的覆盖部件由间隔件支承。因此，在该生物体传感器中，能够使压电元件与生物体接触来检测生物体的振动，因此能够缩短传播路径。另外，该生物体传感器在压电元件与间隔件之间具有空隙。因此，压电元件的变形难以被间隔件等抑制，因此容易确保压电元件的灵敏度。因此，该生物体传感器灵敏度高，抗干扰性强。

以下，在适当参照附图的同时，对本发明的实施方式进行详细说明。

图1以及图2示出本发明的一个实施方式的生物体传感器1。该生物体传感器1与例如人、动物等生物体的表面紧密接触地配置，用于检测生物体内部的振动、例如脉搏。

该生物体传感器1具备片状的压电元件2、俯视时在压电元件2的周围隔开空隙3配设的间隔件4、覆盖压电元件2以及间隔件4的表侧的覆盖部件5、与覆盖部件5对置地配设于压电元件2的背侧的板6、在最外部以包围整体的方式配设的屏蔽层7。

<压电元件>

压电元件2由将压力变换为电压的压电材料形成，将由生物体振动的压力波施加的力引起的变形变换为电压。压电元件2具有片状或薄膜状的压电体21以及层叠在该压电体21的表背的一对电极22。

(压电体)

作为形成压电体21的压电材料，例如可以是锆钛酸铅等无机材料，但优选具有可与生物体表面密合的挠性的高分子压电材料。另外，作为压电体21，通过使用在高分子压电材料上形成有多个气孔的多孔性薄膜，能够使挠性以及压电常数比较大。

作为所述高分子压电材料，例如可以举出聚偏二氟乙烯(PVDF)、偏二氟乙烯-三氟乙烯共聚物(P(VDF/TrFE))、偏二氰乙烯-乙酸乙烯共聚物(P(VDCN/VAc))等。另外，通过将这些高分子压电材料制成多孔性薄膜，可以形成挠性较大、压电常数较大的压电元件2。

另外，作为压电体21，也可以使用在不具有压电特性的例如聚四氟乙烯(PTFE)、聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)等上形成多个扁平的气孔，例如通过电晕放电等使扁平的气孔的对置面极化而带电，从而赋予压电特性的压电体。

作为压电体21的平均厚度的下限，优选为10μm，更优选为50μm。另一方面，作为压电体21的平均厚度的上限，优选为500μm，更优选为200μm。在压电体21的平均厚度小于所述下限的情况下，压电元件2的强度有变得不充分的风险。相反，在压电体21的平均厚度超过所述上限的情况下，压电元件2的变形能力变小，检测灵敏度有变得不充分的风险。

(电极)

电极22层叠在压电体21的两面，用于检测压电体21的表背的电位差。

作为电极22的材质，只要是具有导电性的材质即可，例如可以举出铝、铜、镍等金属、碳等。

作为电极22的平均厚度，没有特别限定，根据层叠方法，例如可以为0.1μm以上且30μm以下。在电极22的平均厚度小于所述下限的情况下，电极6、7的强度有变得不充分的风险。相反，在电极22的平均厚度超过所述上限的情况下，有阻碍振动向压电体21的传递的风险。

作为电极22向压电体21的层叠方法，没有特别限定，例如可以举出金属的蒸镀、碳导电油墨的印刷、银膏的涂布干燥等。

电极22也可以在俯视下分割为多个区域而形成，有效地使压电元件2作为多个压电元件发挥作用。

在图2所示的压电元件2中，电极22形成到其外缘，但电极22的形成区域也可以不到达压电元件2的外缘。即，电极22可以层叠在压电体21的表侧的面以及背侧的面的整个面上，但只要能够检测电位差，也可以层叠在压电体21的表侧的面以及背侧的面的一部分上。

压电元件2的俯视形状例如可以是直径2mm以上且10mm以下的圆形。如果所述直径小于所述下限，则例如在测定脉搏的情况下，有难以进行该生物体传感器1的对位，以使压电元件2覆盖血管的风险。相反，如果所述直径超过所述上限，则该生物体传感器1不必要地变大，有处理变得不方便的风险。

在压电元件2的表侧的面、即压电元件2的表侧的电极22与覆盖部件5之间配设有信号配线8。另外，在压电元件2的背侧的面、即压电元件2的背侧的电极22与板6之间配设有接地配线9。

该信号配线8以及接地配线9用于将由压电元件2的一对电极22检测到的电位差传递给检测电路。因此，该信号配线8以及接地配线9与未图示的检测电路连接。

作为信号配线8以及接地配线9，只要具有导电性即可，例如可以举出由铝、铜、镍等金属构成的薄膜、含有碳等具有导电性的材料的薄膜、由导电性纤维构成的织物或无纺布等。

作为信号配线8以及接地配线9的平均厚度，没有特别限定，例如可以为15μm以上且50μm以下。如果信号配线8以及接地配线9的平均厚度小于所述下限，则信号配线8以及接地配线9的导电性有不足的风险。相反，如果信号配线8以及接地配线9的平均厚度超过所述上限，则有阻碍振动向压电元件2的传递的风险。

该生物体传感器1的压电元件2固定在后述的覆盖部件5上。即，在压电元件2与覆盖部件5之间，不具有例如将压电元件2向表侧或背侧施力那样的弹簧或橡胶等弹性部件。这样，通过将压电元件2固定在覆盖部件5上，能够抑制生物体的振动被弹性部件吸收，因此能够提高压电元件2的灵敏度。需要说明的是，压电元件2如图2所示，将信号配线8夹在中间而固定在覆盖部件5上。也可以像这样在中间经由固定部件来固定压电元件2和覆盖部件5，该固定部件不具有弹簧或橡胶等所具有的弹性。作为夹在压电元件2和覆盖部件5之间的所述固定部件，可以是使用了导电性薄膜等的导电配线，也可以是生物体传感器的厚度调整用的部件。

<间隔件>

间隔件4例如如图2所示，由壁41和接地配线42的层叠构成。需要说明的是，间隔件4并不限定于图2的结构，例如也可以仅由壁41构成，以下以图2的结构为例进行说明。

作为间隔件4的壁41的材质，可以举出聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚芳酯(PAR)、聚酰亚胺(PI)等，其中，优选具有适度的刚性的PET。

作为接地配线42的材质，能够与压电元件2的接地配线9相同。另外，优选的是，接地配线42配设为高度位置(在生物传感器1的表背方向的位置)与配设在压电元件2的表侧的面上的信号配线8以及配设在压电元件2的背侧的面上的接地配线9的高度位置一致。具体地，优选的是，间隔件4的接地配线42的厚度与高度位置对应的信号配线8以及接地配线9的厚度相同，且被接地配线42夹在中间的壁41的厚度等于压电元件2的厚度。通过这样的配设，间隔件4的接地配线42作为屏蔽件发挥作用，能够抑制干扰混入压电元件2检测出的信号中。另外，在制造该生物体传感器1时，能够将压电元件2的信号配线8、接地配线9和间隔件4的接地配线42在同一层上一次层叠而制造，因此能够提高制造效率。

间隔件4从背侧支承后述的覆盖部件5。即，覆盖部件5的位置由间隔件4固定，抑制其振动。因此，能够提高固定在覆盖部件5上的压电元件2的灵敏度。

间隔件4可以断续地配设于压电元件2的周围，只要能够支承覆盖部件5即可，但优选配设成俯视时包围压电元件2的整周。这样，通过以俯视下包围压电元件2的整周的方式配设间隔件4，能够稳定地支承覆盖部件5，因此能够进一步提高压电元件2的灵敏度。

另外，优选的是，间隔件4的背侧的面是与压电元件2的背侧的面平行的平面。这样，通过将间隔件4的背侧的面设为与压电元件2的背侧的面平行的平面，在使该生物体传感器1与生物体接触时，间隔件4与生物体的接触面积变大，因此能够稳定地支承覆盖部件5。因此，能够进一步提高压电元件2的灵敏度。

间隔件4的厚度是在使用该生物体传感器1时，间隔件4的背侧的面与生物体接触而能够固定覆盖部件5的厚度。另外，间隔件4的厚度被调整成在使用该生物体传感器1时压电元件2能够从背侧检测振动，即压电元件2、板6、屏蔽层7以及生物体与生物体振动的状态无关地从表侧朝向背侧的方向(以下也称为“背侧方向”)连续。所谓“与生物体振动的状态无关地在背面方向上连续”，是指例如即使在压电元件2受到因生物体振动而被压缩的力时，例如在板6与压电元件2之间也不会产生空隙。

作为间隔件4的平均厚度的下限，优选为300μm，更优选为400μm。另一方面，作为间隔件4的平均厚度的上限，优选为800μm，更优选为700μm。如果间隔件4的平均厚度小于所述下限，则在使该生物体传感器1与生物体接触时，板6从间隔件4的背侧的面突出过多，间隔件4不与生物体接触，有无法支承覆盖部件5的风险。相反，如果间隔件4的平均厚度超过所述上限，则例如在间隔件4的背侧的摆动在表侧以间隔件4的厚度为半径而被放大，因此覆盖部件5有容易振动的风险。

间隔件4的背侧的面的平均宽度(径向的平均宽度)没有特别限定，例如可以为1mm以上且5mm以下。如果间隔件4的平均宽度小于所述下限，则在使该生物体传感器1与生物体接触时，间隔件4的接触面积变小，因此有无法稳定地支承覆盖部件5的风险。相反，如果间隔件4的平均宽度超过上限，则该生物体传感器1俯视时不必要地变大，有处理变得不方便的风险。

在间隔件4与压电元件2之间存在空隙3。该空隙3只要具有即使在压电元件2变形时也不与间隔件4接触的大小即可，作为空隙3的宽度的下限，例如可以为10μm。另一方面，所述空隙3的宽度的上限没有特别限定，但从该生物体传感器1的操作性、即小型化的观点出发，例如可以为3mm。

空隙3中不填充凝胶等填充剂。这样，通过不向空隙3填充填充剂，压电元件2的变形不被抑制，因此容易确保压电传感器的灵敏度。

<覆盖部件>

覆盖部件5为板状，如上所述，覆盖压电元件2以及间隔件4的表侧。覆盖部件5可以以俯视时包含间隔件4外缘的方式覆盖压电元件2以及间隔件4的表侧，也可以以覆盖部件5的外缘与间隔件4的外缘一致的方式覆盖。通过这样覆盖，在俯视下能够减小覆盖部件5的大小，因此该生物体传感器1的操作性提高。

作为覆盖部件5的材质，可以与间隔件4的壁41相同。另外，优选覆盖部件5具有挠性。这样，通过使覆盖部件5具有一定的挠性，即使作为测定对象的生物体的表面为曲面，也能够使该生物体传感器1适当地接触。

作为覆盖部件5的平均厚度的下限，优选为50μm，更优选为100μm。另一方面，作覆盖部件5的平均厚度的上限，优选为400μm，更优选为250μm。如果覆盖部件5的平均厚度小于所述下限，则覆盖部件5变得过于容易弯曲，因此难以固定压电元件2的位置。因此，该生物体传感器1的灵敏度有降低的风险。另外，如果覆盖部件5的平均厚度小于所述下限，则寄生电容变大，有容易产生干扰的风险。相反，如果覆盖部件5的平均厚度超过所述上限，则覆盖部件5的挠性不足，在作为测定对象的生物体的表面为曲面的情况下，有难以使该生物体传感器1接触的风险。

<板>

板6将由生物体的一部分产生并传递的振动作为板6整个面的振动向压电元件2传递。这样，通过作为大面积的振动向压电元件2传递振动，能够提高压电元件2的灵敏度。

在该生物体传感器1中，板6在俯视时比压电元件2小。即，压电元件2在俯视时向板6的外侧突出。另一方面，也可以使板6在俯视时比压电元件2大。即，也能够设为板6在俯视时向压电元件2外侧突出的结构。

另外，在板6在俯视时比压电元件2小的情况下，板6在俯视时比压电元件2的电极22小，也能够在比电极22窄的区域与压电元件2接触。另一方面，也可以构成为，使板6在俯视时比压电元件2电极22大，即，在比电极22宽的区域与压电元件2接触。

板6的背侧的面可以与间隔件4的背侧的面为同一面，或者板6的背侧的面也可以比间隔件4的背侧的面更向背侧突出。通过这样构成板6，在间隔件4的背侧的面与生物体接触的状态下，压电元件2能够更可靠地接收来自生物体的振动。

作为板6的材质，可以与间隔件4的壁41相同。作为板6的俯视形状，优选与压电元件2的俯视形状相同。另外，作为板6的平均厚度，可以与覆盖部件5相同。

<屏蔽层>

如上所述，屏蔽层7以整体包围该生物体传感器1的最外部的方式配设。即，屏蔽层7配设为将压电元件2、间隔件4、覆盖部件5以及板6包在内部。

屏蔽层7具有绝缘层和层叠在该绝缘层的外表面侧的导电层。作为所述绝缘层，例如可以使用丙烯酸树脂。另外，所述导电层可以是银或铜的导电涂料的涂布层。这样，通过将屏蔽层7的内表面侧设为绝缘层，将外表面侧设为导电层，能够抑制与压电元件2的短路，且屏蔽干扰。

另外，优选屏蔽层7具有挠性。这样，由于屏蔽层7具有挠性，因此能够将生物体产生的振动更可靠地传递到板6。

屏蔽层7的平均厚度没有特别限定，例如可以为10μm以上且100μm以下。如果屏蔽层7的平均厚度小于所述下限，则在使用时屏蔽层7有容易破裂的风险。相反，如果屏蔽层7的平均厚度超过所述上限，则屏蔽层7的挠性不足，有降低该生物体传感器1的灵敏度的风险。

<该生物体传感器的制造方法>

该生物体传感器1例如可以通过具备信号配线层叠工序、压电元件层叠工序、接地配线层叠工序、板层叠工序以及屏蔽层覆盖工序的制造方法来制造。

(信号配线层叠工序)

在信号配线层叠工序中，在覆盖部件5的背侧的面上层叠信号配线8。具体而言，利用粘接剂将形成有信号配线8的金属薄膜粘贴在覆盖部件5的背侧的面上。此时，同时层叠间隔件4的表侧的接地配线42。

(压电元件层叠工序)

在压电元件层叠工序中，在信号配线层叠工序中层叠的信号配线8的背侧的面上层叠压电元件2。具体而言，利用粘接剂将压电元件2粘贴在信号配线8的背侧的面上。此时，将位于与压电元件2相同高度位置的间隔件4的壁41同时层叠在接地配线42上。

(接地配线层叠工序)

在接地配层叠工序中，在压电元件层叠工序中层叠的压电元件2的背侧的面上层叠接地配线9。具体而言，利用粘接剂将形成有接地配线9的金属薄膜粘贴在压电元件2的背侧的面上。此时，同时在壁41上层叠间隔件4的背侧的接地配线42。需要说明的是，层叠在压电元件2的背侧的面上的接地配线9和间隔件4的接地配线42为相同电位，因此优选两者连接。

(板层叠工序)

在板层叠工序中，在接地配线层叠工序中层叠的接地配线9的背侧的面上层叠板6。具体而言，利用粘接剂将板6粘贴在接地配线9的背侧的面上。此时，同时层叠位于与板6相同高度位置的间隔件4的壁41。

(屏蔽层覆盖工序)

在屏蔽层覆盖工序中，以将板层叠工序后的压电元件2、间隔件4、覆盖部件5以及板6包在内部的方式利用屏蔽层7覆盖。

通过以上工序，能够制造该生物体传感器1。需要说明的是，在所述制造方法中，说明了将覆盖部件5和信号配线8之间以及接地配线9和板6之间粘接的方法，但也可以不将它们之间粘接，而是通过覆盖部件5和板6来夹入信号配线8、压电元件2以及接地配线9的结构。通过采用这样的结构，与粘接的情况相比，难以抑制压电元件2的变形，因此容易确保压电元件2的灵敏度。

<该生物体传感器的使用方法>

该生物体传感器1以间隔件4的背侧的面与生物体接触的方式固定在生物体上而使用。

该生物体传感器1对生物体的固定位置是发生生物体振动的部位，是俯视时与压电元件2重叠的位置。实际上，由于压电元件2具有一定的大小，因此例如作为该生物体传感器1的对位，可以使用在推定为发生生物体振动的部位配置该生物体传感器1，确认能够检测生物体振动的方法。需要说明的是，优选在不能检测出生物体振动的情况下，变更配置位置，再次进行确认作业。

另外，在对生物体的固定位置上，会产生生物体为曲面的情况，这种情况下，优选通过使覆盖部件5弯曲来追随生物体的曲面。

作为该生物体传感器1对生物体的固定方法，没有特别限定，例如可以采用通过胶带等粘贴的方法。在该生物体传感器1中，只要以覆盖部件5的位置被间隔件4固定的程度，在生物体传感器1被按压在生物体上的状态下进行固定即可。因此，不需要将该生物体传感器1以较大的抑制压固定在生物体上。

根据如上所述被固定的该生物体传感器1，能够根据生物体振动来观测来自压电元件2的电位突变。通过利用公知的测定装置测定该电位变位，能够观测生物体的振动的大小、周期等。

<优点>

在该生物体传感器1中，固定有压电元件2的覆盖部件5由间隔件4支承。因此，在该生物体传感器1中，能够使压电元件2与生物体接触来检测生物体的振动，因此能够缩短传播路径。另外，该生物体传感器1在压电元件2与间隔件4之间具有空隙3。因此，压电元件2的变形难以被间隔件4等抑制，因此容易确保压电元件2的灵敏度。因此，该生物体传感器1灵敏度高，抗干扰性强。

[第二实施方式]

图3示出本发明的一个实施方式的生物体传感器10。该生物体传感器10与例如人、动物等生物体的表面紧密接触地配置，用于检测生物体内部的振动、例如脉搏。

该生物体传感器10具备片状的三个压电元件、俯视时在各压电元件的周围隔着空隙配设的间隔件、覆盖所述多个压电元件以及间隔件的表侧的覆盖部件、与所述覆盖部件对置地配设于所述各压电元件的背侧的板、在最外部以包围整体的方式配设的屏蔽层。

<压电元件>

所述压电元件的俯视形状例如可以是直径2mm以上且10mm以下的圆形。

所述三个压电元件以俯视时不重合的方式配设。所述三个压电元件的配设位置没有特别限定，例如如图3所示，以它们的中心为正三角形的方式配设，其一边为5mm以上且15mm以下。

另外，优选的是，所述三个压电元件并联连接。这样，通过将所述三个压电元件并联连接，如果任意一个压电元件检测出生物体振动，则该生物体传感器10能够检测出振动。因此，能够容易地进行该生物体传感器10的对位。

所述压电元件除了上述的俯视形状以外，能够与第一实施方式的压电元件2同样地构成，因此省略详细说明。

<间隔件以及板>

间隔件以及板能够相对于所述三个压电元件分别与第一实施方式的间隔件4以及板6同样地构成，因此省略详细说明。

<覆盖部件>

覆盖部件为一张板状，覆盖所述三个压电元件以及间隔件的表侧。所述覆盖部件能够与第一实施方式的覆盖部件5同样地构成，因此省略详细说明。

<屏蔽层>

屏蔽层能够与第一实施方式的屏蔽层7同样地构成，因此省略详细说明。

该生物体传感器10可以与第一实施方式的生物体传感器1同样地制造以及使用。因此省略详细说明。

<优点>

由于该生物体传感器10具备以俯视时不重合的方式配设的多个压电元件，因此与具备一个压电元件的情况相比，能够减小各压电元件的俯视时的面积。由于生物体的振动在一个部位产生，所以与该生物体振动接触的压电元件的面积小，因此能够提高因生物体振动而在压电元件中产生的面压。因此，该生物体传感器10能够提高对生物体振动的灵敏度。另外，由于该生物体传感器10在各压电元件的俯视时的面积小，因此即使生物体的测定位置为曲面，也容易追随该曲面进行固定。

[其他实施方式]

所述实施方式不限定于本发明的结构。因此，在所述实施方式中，所述实施方式各部分的构成要素能够基于本说明书的记载以及技术常识来省略、替换或追加，并且所有这些都应该被解释为属于本发明的范围。

在所述实施方式中，说明了该生物体传感器具备屏蔽层的情况，但屏蔽层不是必须的构成要件，可以省略。

在所述实施方式中，说明了该生物体传感器具备板的情况，但板不是必须的构成要件，可以省略。在不具备板的生物体传感器中，通过压电元件直接检测振动。

在所述实施方式中，图示了间隔件的壁以及接地配线的俯视时的面积相等的情况，但该俯视面积也可以根据高度方向的位置而不同。

在所述实施方式中，说明了在压电元件的表侧的面配设信号配线，在压电元件的背侧的面配设接地配线的情况，但也可以是信号配线以及接地配线的配置相反，即，在压电元件的背侧的面配设信号配线，在压电元件的表侧的面配设接地配线。

在所述第二实施方式中，说明了以俯视时不重合的方式配设的压电元件为三个的情况，但以俯视时不重合的方式配设的压电元件的数量不限于三个，也可以是两个或四个以上。

另外，如图4所示，该生物体传感器11也可以具备层叠在覆盖部件5的背侧的面上的多个压电元件2(在图4中为两个压电元件2)。在图4所示的该生物体传感器11中，两个压电元件2经由连接配线12串联连接。通过这样串联层叠多个压电元件2，能够提高压电元件2的灵敏度。

在所述实施方式中，对压电元件的俯视形状为圆形的情况进行了说明，但压电元件的俯视形状并不限定于圆形。压电元件的俯视形状例如可以是椭圆形状、三角形、四边形、五边形、六边形这样的多边形状。压电元件的俯视形状为了高效地配置压电元件而适当决定。另外，在生物体传感器具备多个压电元件的情况下，其俯视形状可以全部相同，但其一部分或全部也可以是不同的形状。

产业上的可利用性

本发明的生物传感器可用于测定在人或动物的体内产生的各种振动。

附图标记说明

1、10、11生物体传感器

2压电元件

21压电体

22电极

3空隙

4间隔件

41壁

42接地配线

5覆盖部件

6板

7屏蔽层

8信号配线

9接地配线

12连接配线

Claims (7)

1.一种生物体传感器，其特征在于，具备：

片状的压电元件；

俯视时在所述压电元件的周围隔开空隙配设的间隔件；

覆盖所述压电元件以及所述间隔件的表侧的覆盖部件；

所述间隔件从背侧支承所述覆盖部件，

所述压电元件固定于所述覆盖部件。

2.如权利要求1所述的生物体传感器，其特征在于，

所述背侧是与振动检测对象的生物体表面相对置的一侧，所述表侧是与所述背侧相反的一侧。

3.如权利要求1或2所述的生物体传感器，其特征在于，

所述间隔件的背侧的面是与所述压电元件的背侧的面平行的平面。

4.如权利要求1至3中任一项所述的生物体传感器，其特征在于，

还具备板，该板在所述压电元件的背侧配设成与所述覆盖部件相对置。

5.如权利要求4所述的生物体传感器，其特征在于，

所述板的背侧的面比所述间隔件的背侧的面更向背侧突出。

6.如权利要求1至5中任一项所述的生物体传感器，其特征在于，

具备配设成俯视时不重合的多个所述压电元件。

7.如权利要求1至6中任一项所述的生物体传感器，其特征在于，

所述间隔件的平均厚度为300μm以上且800μm以下。

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