CN112628462B - 微型阀 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种微型阀。在层叠构造的微型阀中提高异物混入时的密封性。微型阀(10)具有层叠构造，具备基座层(20)和隔膜层(30)。在基座层形成有用于向微型阀内导入气体的流入口(23)以及用于使该气体向外部流出的流出口。隔膜层与基座层相对地配置。隔膜层通过进行弹性变形而对自流入口向流出口的气体的流通和切断进行切换。隔膜层具有交替地形成有多个变形区域(33)和多个刚体区域(34)的结构，所述变形区域(33)能够随着气动流体向微型阀内流入而弹性变形。在隔膜层中，通过使多个变形区域的至少一部分弹性变形从而封闭流入口以及流出口中的至少一者。

Description

微型阀
技术领域
本发明涉及一种微型阀，更特定而言涉及一种用于提高具有层叠构造的微型阀的密封性的构造。
背景技术
作为能使用于气相色谱仪等分析装置的切换流路用的阀装置，已知有使用能够弹性变形的隔膜来对流体的流通与切断进行切换的微型阀。
在国际公开第2018/235229号(专利文献1)中公开了一种具有隔膜层的层叠构造的微型阀，该隔膜层在移动部的周围形成有变形部。在国际公开第2018/235229号(专利文献1)的微型阀中，通过使控制该阀用的流体(以下也称为“气动流体”。)流入而使隔膜层的变形部弹性变形，从而能够使用移动部来封闭供样品气体通过的流入口以及/或者流出口。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2018/235229号
发明内容
发明要解决的问题
在国际公开第2018/235229号(专利文献1)的微型阀的结构中，通过使形成隔膜层的材料(例如硅)的厚度局部性地变薄从而形成变形部。换言之，针对隔膜层的移动部而言，使其材料的厚度比变形部的材料的厚度厚，随着变形部的弹性变形使移动部的整体作为刚体而移动。
在上述这样的结构的微型阀中，在异物混入了形成有样品气体的流入口/流出口的基座层与隔膜层的移动部之间的密封面的情况下，即使为了切断样品气体而使气动流体流入，也有可能因该异物而在基座层与移动部之间产生间隙从而影响密封性。那样的话，样品气体会自流入口向流出口泄漏，可能会成为无法恰当地进行流路切换的状态。
本发明是为了解决上述这样的课题而做成的，其目的在于在具有层叠构造的微型阀中提高异物混入时的密封性。
用于解决问题的方案
本发明的第1技术方案的微型阀具有层叠构造，具备基座层和隔膜层。在基座层形成有用于向微型阀内导入气体的流入口以及用于使自流入口导入的气体向外部流出的流出口。隔膜层与基座层相对地配置。隔膜层通过弹性变形而对自流入口向流出口的气体的流通和切断进行切换。隔膜层具有交替地形成有多个变形区域和多个刚体区域的结构，所述变形区域能够随着气动流体向微型阀内流入而弹性变形。在隔膜层中，通过使多个变形区域的至少一部分弹性变形从而封闭流入口以及流出口中的至少一者。
本发明的第2技术方案的微型阀具有层叠构造，具备基座层和隔膜层。在基座层形成有用于向微型阀内导入气体的流入口以及用于使自流入口导入的气体向外部流出的流出口。隔膜层与基座层相对地配置。隔膜层通过弹性变形而对自流入口向流出口的气体的流通和切断进行切换。隔膜层包含变形区域和刚体区域，所述变形区域能够随着气动流体向微型阀内流入而弹性变形，所述刚体区域用于限制变形区域的变形量。流入口以及流出口中的至少一者会被弹性变形后的变形区域覆盖而被封闭。
发明的效果
采用本公开的微型阀，隔膜层具有由多个变形区域和多个刚体区域形成的结构，或者具有在变形区域弹性变形时流入口以及流出口中的至少一者被变形区域覆盖的结构。由此，隔膜层的柔软性增加，因此即使在异物混入了密封面的情况下也能封闭流入口以及流出口中的至少一者。因而，在微型阀中能提高异物混入时的密封性。
附图说明
图1是表示实施方式的微型阀的立体图。
图2是图1的微型阀的分解立体图。
图3是图1的微型阀的侧透视图。
图4是图1中的隔膜层的俯视图。
图5是用于说明图1的微型阀的动作的第1图。
图6是用于说明图1的微型阀的动作的第2图。
图7是比较例的微型阀的侧透视图。
图8是表示异物混入了的情况下的比较例的微型阀的状态的图。
图9是表示异物混入了的情况下的实施方式的微型阀的状态的图。
图10是用于说明比较例的微型阀和实施方式的微型阀的泄漏率的图。
图11是变形例1的微型阀的侧透视图。
图12是变形例2的微型阀的隔膜层的俯视图。
附图标记说明
10、10A、微型阀；20、基座层；21、31、41、凹部；22～24、32、52～54、开口部；25、底部；26、36、外缘部；30、30A、30B、隔膜层；33、变形区域；34、刚体区域；40、覆盖层；50、流路构件；62、供给口；63、流入口；64、流出口；70、异物。
具体实施方式
以下，参照附图详细地说明本公开的实施方式。另外，对图中相同或相当的部分标注相同附图标记并且不重复其说明。
[实施方式]
(微型阀的结构)
使用图1～图4对实施方式的微型阀10的结构进行说明。图1是微型阀10的立体图，图2是图1的立体图的分解图。另外，在图1以及图2中示出了微型阀10的一部分被切去后的状态。另外，图3是微型阀10的剖视图，图4是隔膜层30的俯视图。
参照图1～图4，微型阀10具有将多个板状构件层叠而成的层叠构造，该板状构件具有在从法线方向俯视的情况下呈大致正方形的外形。在以下的说明中，将微型阀10的层叠方向(即法线方向)设为Z轴方向，将正方形的平面形状的彼此相邻的边的方向分别设为X轴方向和Y轴方向。例如，微型阀10的Z方向的尺寸(厚度)为约1mm～2mm，X方向以及Y方向的尺寸均为约1cm。另外，为了便于表示也将图中的Z轴的正方向称为上方向，将负方向称为下方向。
微型阀10包含基座层20、隔膜层30和覆盖层40来作为上述的多个板状构件。在俯视的情况下，基座层20、隔膜层30以及覆盖层40的各层具有大致相同的外形。为了实现期望的强度以及柔软性，利用例如硅、玻璃、铁(不锈钢和碳钢)、钛、黄铜或PEEK(Poly EtherEther Ketone，聚醚醚酮)树脂的单一材料来形成基座层20、隔膜层30以及覆盖层40的各层，并利用MEMS(Micro Electric Mechanical Systems，微电子机械系统)技术对上述各层实施微细加工。
基座层20配置于微型阀10的最下层。在基座层20形成有凹部21和贯通基座层20的开口部22～24。在俯视基座层20的情况下，凹部21具有大致圆形形状并且形成于基座层20的大致中心附近。凹部21自基座层20的上表面侧朝向下表面侧凹陷。基座层20的厚度为约150μm。另外，凹部21的深度为5μm～20μm，优选为约10μm。
开口部23、24形成于凹部21的底部25。如后述那样，开口部23、24分别形成样品气体的流入口以及流出口。开口部22与凹部21分离开地形成于基座层20的凹部21的周边的外缘部26。如后述那样，开口部22形成微型阀10的控制用流体(气动流体)的供给口。
隔膜层30与基座层20相对地配置于基座层20的上表面侧。如图4所示，在隔膜层30形成有形成为同心圆状的多个环状凹部31以及贯通隔膜层30的开口部32。环状凹部31自隔膜层30的上表面侧朝向下表面侧凹陷。环状凹部31的底部33的厚度比环状凹部31之间的部分34的厚度薄并且具有挠性。环状凹部31的底部进行弹性变形从而使环状凹部31之间的部分34沿上下方向移动。将最外部的环状凹部31的外形设为与基座层20中的凹部21的外形大致相同的外形。以下，也将环状凹部31的底部33称为“变形区域33”，也将环状凹部31之间的部分34称为“刚体区域34”。如图4那样，在实施方式中，环状凹部31具有圆环形状，变形区域33以及刚体区域34呈同心圆状交替地形成。另外，利用“变形区域33”以及“刚体区域34”来形成移动部。
开口部32与环状凹部31分离开地形成于隔膜层30的环状凹部31的周边的外缘部36。在俯视的情况下，开口部32形成于与基座层20的开口部22重叠的位置并且与开口部22一同形成气动流体的供给口。
覆盖层40与隔膜层30相对地配置于隔膜层30的上表面侧。即，在基座层20与覆盖层40之间配置有隔膜层30。
在覆盖层40形成有凹部41。凹部41自覆盖层40的下表面侧向上表面侧凹陷。凹部41形成为对隔膜层30的开口部32以及环状凹部31进行覆盖。因而，经由开口部22、32供给来的气动流体会经由凹部41而充满于环状凹部31。
例如通过干蚀刻或喷砂处理而将各层中的开口部以及凹部预先形成于各层。然后，对各层实施非活性化处理并进行层叠从而形成微型阀10。
如图3那样，微型阀10连接于流路构件50而被使用。在流路构件50的与基座层20的开口部22～24分别对应的位置形成有开口部52～54。流路构件50的开口部52、基座层20的开口部22以及隔膜层30的开口部32是连通的，形成气动流体的供给口62。经由供给口62向覆盖层40的凹部41供给气动流体。
流路构件50的开口部53与基座层20的开口部23连通，形成样品气体的流入口63。另外，流路构件50的开口部54与基座层20的开口部24连通，形成样品气体的流出口64。
(微型阀的动作)
接下来，使用图5以及图6说明微型阀10的动作。参照图3以及图5，在气动流体以及样品气体均未被向微型阀10供给的状态(初始状态)下，如图3所示，隔膜层30的变形区域33以及刚体区域34配置于与基座层20以及覆盖层40隔开间隔的位置。
在初始状态下，当向流入口63供给样品气体时，在隔膜层30与基座层20之间的空间的压力以及隔膜层30与覆盖层40之间的空间的压力的差压的作用下会使最外部的变形区域33发生弹性变形，从而使刚体区域34及其他的变形区域33向上方位移。由此，如图5的箭头AR1所示那样，维持流入口63与流出口64之间的连通状态，自流入口63导入的样品气体经由流出口64向外部流出。即，微型阀10成为打开状态。
此时，刚体区域34的上表面与覆盖层40的凹部41抵接，从而限制变形区域33的变形量。即，刚体区域34作为止挡部发挥功能。通过用刚体区域34限制变形区域33的变形量从而能够防止因过大的变形导致的变形区域33的破损。
另外，在上述的图5的说明中说明了未供给气动流体的情况，但在样品气体的供给压大于气动流体的供给压的情况下，即使是供给气动流体的情况也能成为与图5同样的状态。
另一方面，在如图6的箭头AR2所示那样向供给口62供给压力比样品气体的供给压高的气动流体时，在气动流体与样品气体的差压的作用下会使最外部的变形区域33发生弹性变形，从而使刚体区域34及其他的变形区域33向下方位移。于是，刚体区域34以及变形区域33的下表面与基座层20的凹部21的底部25紧密接触，从而封闭样品气体的流入口63以及流出口64中的至少一者。由此，被供给到流入口63的样品气体的流路被切断(箭头AR3)。即，微型阀10成为关闭状态。
在自图6的状态停止了气动流体的供给的情况下或者使气动流体的供给压低于样品气体的供给压的情况下，恢复为图5的状态从而使微型阀10再次成为打开状态。
在这样的使用气动流体的压力使隔膜层发生弹性变形从而对流体的流通与切断进行切换的微型阀中，如上述那样使基座层的凹部处的基座层与隔膜层之间的间隙为5μm～20μm左右。因此，即使在非常小的异物混入到流体内的情况下也可能会影响微型阀的密封性。以下，在与比较例进行比较的同时对异物混入到基座层与隔膜层之间的情况下的本实施方式的微型阀的动作进行说明。
图7是在国际公开第2018/235229号(专利文献1)中公开的比较例的微型阀10#的侧透视图。在微型阀10#的隔膜层30#仅形成有1个环状凹部31(即变形区域33)，该环状凹部31的内侧整体成为刚体区域34#。并且，在向供给口62供给气动流体时，刚体区域34#的下表面与基座层20中的凹部21的底部25紧密接触从而切断样品气体的流路。
针对该比较例的微型阀10#而言，考虑在隔膜层30#与基座层20之间的空间混入了异物70的情况。如上述那样，在微型阀10#中，刚体区域34#与基座层20通过面接触而紧密接触从而切断样品气体的流路，但由于刚体区域34#在气动流体压的范围内不会进行弹性变形或者弹性变形的变形量很小，因此在异物70混入刚体区域34#与基座层20之间时刚体区域34#与基座层20不再能够面接触，有时会如图8那样在刚体区域34#与基座层20之间产生间隙。
那样的话，自流入口63导入的样品气体(图8的实线箭头AR5)会经由该间隙向流出口64泄漏(图8的虚线箭头AR6)，会影响微型阀的密封性。
另一方面，在实施方式的微型阀10的情况下，由于形成变形区域33的多个环状凹部31形成为同心圆状，因此即使在隔膜层30与基座层20之间的空间混入有异物70的情况下，如图9所示，移动部整体的柔软性会因具有挠性的多个变形区域33而增加，也能够在异物70的周边以外的部分使隔膜层30与基座层20面接触。由此，能够封闭流入口63以及流出口64中的至少一者，因此能够防止样品气体向流出口64的泄漏。因而，与比较例相比，实施方式的微型阀10能提高异物混入时的密封性。
图10是用于说明对比较例的微型阀10#和实施方式的微型阀10的样品气体的泄漏率进行实验测量而得到的结果的图。在图10中，横轴表示进行测量的微型阀的样品编号，纵轴用对数表示泄漏率。将泄漏率作为单位压力下的每单位时间内的泄漏量进行表示，若泄漏率变高则意味着密封性下降。另外，在图10中，四方的符号表示比较例的微型阀10#的情况，三角形的符号表示实施方式的微型阀10的情况。
如图10所示，在实施方式的微型阀10中，无论是哪个样品都能实现约4×10-6[cc·atm/sec]～7×10-6[cc·atm/sec]的稳定的泄漏率。而在比较例的微型阀10#中，泄漏率为10×10-6[cc·atm/sec]～200×10-6[cc·atm/sec]，比实施方式的微型阀10高，此外各样品的偏差较大。
针对图10的实验而言，虽然不是有意地使异物混入样品气体，但根据该实验结果能理解的是，与比较例相比实施方式的微型阀10不容易受到样品气体内所含有的异物的影响。
另外，在比较例的微型阀10#中，相对于异物70的粒径而言刚体区域34#的尺寸较大，因此在异物70夹在基座层20的底部25与刚体区域34#之间的状态(图8)下，应力仅集中于刚体区域34#的与异物70接触的局部。而在本实施方式的微型阀10中，与比较例相比，1个刚体区域34的尺寸较小并且在刚体区域34之间形成有变形区域33，因此因异物70而施加的力的一部分会被用于变形区域33的弹性变形。因此，在本实施方式的微型阀10中能够降低对刚体区域34施加的应力。
另外，虽然在图中未示出，但模拟了将隔膜层的上下差压设为200kPa的情况下的应力集中的状态，得出如下结果，即，与异物70接触的接触部的等效应力(von misesstress)在比较例的微型阀10#中为约800MPa，在实施方式的微型阀10中为约600MPa。
如以上那样，在具有层叠构造的微型阀中，针对对样品气体的流通和切断进行切换的隔膜层而言，通过应用交替地形成有多个变形区域和多个刚体区域的结构从而能够改善异物混入时的密封性。另外，通过设为上述的结构，从而能够降低在异物混入时施加于隔膜层的应力，因此能够防止微型阀的破损而谋求长寿命化。
[变形例]
(变形例1)
在上述的实施方式中，对交替地形成有多个变形区域和多个刚体区域的隔膜层的情况进行了说明，但只要能够提高隔膜层的柔软性即可，不限定于该结构。
图11是变形例1的微型阀10A的侧透视图。微型阀10A的隔膜层30A的大部分由薄膜状的变形区域33形成，仅在该变形区域33的中央部附近形成有刚体区域34。在微型阀10A中，在俯视隔膜层30A的情况下成为如下结构，即，与流入口63以及流出口64重叠的部分被变形区域33覆盖。
在微型阀10A的隔膜层30A中，由于大部分是变形区域33，因此在异物混入的情况下会在异物的周边发生弹性变形，流入口63以及流出口64的部分会被变形区域33覆盖从而被封闭。由此能确保密封性。
在将隔膜层30A的整体形成为薄膜状的变形区域33时，例如在停止气动流体的供给而使微型阀成为打开状态的情况下，变形区域33的变形量会过大，有可能导致变形区域33的破损。因此，如图11那样局部地形成刚体区域34而限制变形区域33的变形量，从而能够抑制变形区域33的破损。另外，针对刚体区域34而言，不限定于如图11那样仅形成于1处的情况，也可以是形成于多处的形态。
(变形例2)
在上述的实施方式中，对隔膜层的变形区域以及刚体区域在俯视的情况下为圆形的情况进行了说明，但变形区域以及刚体区域也可以不一定是圆形。例如，也可以如图12的变形例2的隔膜层30B那样使变形区域33以及刚体区域34的外形为四边形。另外，虽然未图示，但变形区域33以及刚体区域34的外形也可以为椭圆形或四边形以上的多边形。另外，从抑制隔膜层的破损的观点出发，更优选面内的变形区域的变形较均匀从而能够抑制局部性的应力集中的圆形。
[形态]
本领域技术人员理解上述的多个例示性的实施方式为以下的形态的具体例。
(第1项)一形态的微型阀涉及具有层叠构造的微型阀。微型阀具备：基座层，其形成有用于向微型阀内导入气体的流入口以及用于使自流入口导入的气体向外部流出的流出口；以及隔膜层，其与基座层相对地配置，通过弹性变形而对自流入口向流出口的气体的流通和切断进行切换。隔膜层具有交替地形成有多个变形区域和多个刚体区域的结构，上述变形区域能够随着气动流体向微型阀内流入而弹性变形。在隔膜层中，通过使多个变形区域的至少一部分弹性变形从而封闭流入口以及流出口中的至少一者。
采用第1项所述的微型阀，具有由多个变形区域和多个刚体区域形成的隔膜层，多个变形区域随着气动流体的流入而变形，从而封闭流入口以及流出口中的至少一者。隔膜层具有多个变形区域，从而使隔膜层的柔软性增加，因此即使在异物混入了密封面的情况下也能可靠地封闭流入口以及流出口中的至少一者。因而，在微型阀中能提高异物混入时的密封性。
(第2项)在第1项所述的微型阀的基础上，隔膜层由单一的材料成形，多个变形区域的层叠方向的厚度比多个刚体区域的层叠方向的厚度薄。
采用第2项所述的微型阀，使变形区域的层叠方向的厚度比刚体区域的层叠方向的厚度薄，因此在气动流体流入的情况下能在变形区域发生弹性变形。另外，利用单一的材料成形隔膜层，从而与用不同的材料成形弹性区域和刚体区域的情况相比能够提高弹性区域与刚体区域之间的分界部分的接合强度。
(第3项)在第1项或第2项所述的微型阀的基础上，在自层叠方向俯视隔膜层的情况下，多个刚体区域的一部分以及多个变形区域具有圆环形状，多个变形区域以及多个刚体区域呈同心圆状交替地形成。
采用第3项所述的微型阀，多个变形区域以及多个刚体区域均为圆环形状且形成为同心圆状，因此针对变形区域的弹性变形而言，面内的变形较均匀从而能够抑制应力局部性地集中。因而，能够抑制隔膜层的破损。
(第4项)在第1项～第3项中任一项所述的微型阀的基础上，微型阀还具备覆盖层。并且隔膜层配置在覆盖层与基座层之间。
采用第4项所述的微型阀，微型阀由具有覆盖层、隔膜层以及基座层的层叠构造形成。由此，能够形成用于使隔膜层变形的气动流体的导入路径。
(第5项)在第4项所述的微型阀的基础上，气动流体向隔膜层与覆盖层之间流入，将隔膜层按压于基座层，从而封闭流入口以及流出口中的至少一者。
采用第5项所述的微型阀，在隔膜层的上部配置覆盖层，从而能向隔膜层与覆盖层之间供给气动流体而使隔膜层变形。由此，能够使隔膜层与基座层紧密接触而切断流体。
(第6项)在第1项～第5项中任一项所述的微型阀的基础上，使用硅、玻璃或PEEK(Poly Ether Ether Ketone)树脂来形成隔膜层。
采用第6项所述的微型阀，通过用硅、玻璃或PEEK树脂来形成隔膜层从而能够实现期望的柔软性和强度。
(第7项)另一形态的微型阀涉及具有层叠构造的微型阀。微型阀具备：基座层，其形成有用于向微型阀内导入气体的流入口以及用于使自流入口导入的气体向外部流出的流出口；以及隔膜层，其与基座层相对地配置，通过弹性变形而对自流入口向流出口的气体的流通和切断进行切换。隔膜层包含变形区域和刚体区域，上述变形区域能够随着气动流体向微型阀内流入而弹性变形，上述刚体区域用于限制变形区域的变形量。流入口以及流出口中的至少一者会被弹性变形后的变形区域覆盖而被封闭。
采用第7项所述的微型阀，具有由变形区域和对变形区域的变形量进行限制的刚体区域形成的隔膜层，变形区域随着气动流体的流入而变形，从而封闭流入口以及流出口中的至少一者。隔膜层具有变形区域，从而使隔膜层的柔软性增加，因此即使在异物混入了密封面的情况下也能可靠地封闭流入口以及流出口中的至少一者。因而，在微型阀中能提高异物混入时的密封性。此外，通过用刚体区域限制变形区域的变形量从而能够抑制因变形区域的过度的变形而导致的破损。
本次公开的实施方式在所有方面均为例示，应认为不是限制性的描述。本公开的范围由权利要求书来表明，而不是由上述的实施方式的说明来表明，并且本公开的范围意在包含与权利要求书均等的含义和范围内的所有变更。

Claims (14)

1.一种微型阀，其具有层叠构造，其中，
所述微型阀具备：
基座层，其形成有用于向所述微型阀内导入气体的流入口以及用于使自所述流入口导入的气体向外部流出的流出口；以及
隔膜层，其与所述基座层相对地配置，通过弹性变形而对自所述流入口向所述流出口的气体的流通和切断进行切换，
所述隔膜层具有交替地形成有多个变形区域和多个刚体区域的结构，所述变形区域能够随着气动流体向所述微型阀内流入而弹性变形，
在所述隔膜层中，通过使所述多个变形区域的至少一部分弹性变形而封闭所述流入口以及所述流出口中的至少一者，
所述变形区域和所述刚体区域交替地形成于所述隔膜层的与用于封闭所述流入口以及所述流出口中的至少一者的密封面相反的那一侧。
2.根据权利要求1所述的微型阀，其中，
所述隔膜层由单一的材料成形，所述多个变形区域的层叠方向的厚度比所述多个刚体区域的层叠方向的厚度薄。
3.根据权利要求1或2所述的微型阀，其中，
在自层叠方向俯视所述隔膜层的情况下，所述多个刚体区域的一部分以及所述多个变形区域具有圆环形状，所述多个变形区域以及所述多个刚体区域呈同心圆状交替地形成。
4.根据权利要求1或2所述的微型阀，其中，
所述微型阀还具备覆盖层，
所述隔膜层配置在所述覆盖层与所述基座层之间。
5.根据权利要求4所述的微型阀，其中，
气动流体向所述隔膜层与所述覆盖层之间流入，将所述隔膜层按压于所述基座层，从而封闭所述流入口以及所述流出口中的至少一者。
6.根据权利要求1或2所述的微型阀，其中，
使用硅、玻璃或PEEK树脂来形成所述隔膜层。
7.根据权利要求3所述的微型阀，其中，
所述微型阀还具备覆盖层，
所述隔膜层配置在所述覆盖层与所述基座层之间。
8.根据权利要求7所述的微型阀，其中，
气动流体向所述隔膜层与所述覆盖层之间流入，将所述隔膜层按压于所述基座层，从而封闭所述流入口以及所述流出口中的至少一者。
9.根据权利要求3所述的微型阀，其中，
使用硅、玻璃或PEEK树脂来形成所述隔膜层。
10.根据权利要求4所述的微型阀，其中，
使用硅、玻璃或PEEK树脂来形成所述隔膜层。
11.根据权利要求5所述的微型阀，其中，
使用硅、玻璃或PEEK树脂来形成所述隔膜层。
12.根据权利要求7所述的微型阀，其中，
使用硅、玻璃或PEEK树脂来形成所述隔膜层。
13.根据权利要求8所述的微型阀，其中，
使用硅、玻璃或PEEK树脂来形成所述隔膜层。
14.一种微型阀，其具有层叠构造，其中，
所述微型阀具备：
基座层，其形成有用于向所述微型阀内导入气体的流入口以及用于使自所述流入口导入的气体向外部流出的流出口；以及
隔膜层，其与所述基座层相对地配置，通过弹性变形而对自所述流入口向所述流出口的气体的流通和切断进行切换，
所述隔膜层包含变形区域和刚体区域，所述变形区域能够随着气动流体向所述微型阀内流入而弹性变形，所述刚体区域用于限制所述变形区域的变形量，
所述流入口以及所述流出口中的至少一者会被弹性变形后的所述变形区域覆盖而被封闭，
所述变形区域和所述刚体区域形成于所述隔膜层的与用于封闭所述流入口以及所述流出口中的至少一者的密封面相反的那一侧。
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