CN112597742A - 晶圆探针台自定义测试路径实现方法 - Google Patents

晶圆探针台自定义测试路径实现方法 Download PDF

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邱海斌
董明远
孙德举
崔立志
姜鑫
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Abstract

本发明提供一种晶圆探针台自定义测试路径实现方法，包括如下步骤：S1、将晶圆探针台生成的model属性图文件调入测试路径生成软件，生成测试路径编辑文件；S2、将测试模式载入测试路径编辑文件，在测试路径编辑文件中编辑测试路径；S3、将编辑有测试路径的测试路径编辑文件载入测试路径生成软件，生成晶圆探针台识别的测试路径文件。本发明能够实现测试路径的自定义，满足客户对测试路径灵活规划的需求，还能使路径最优化，节省测试时间、提高测试效率。

Description

晶圆探针台自定义测试路径实现方法
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种晶圆探针台自定义测试路径实现方法。
背景技术
传统的晶圆测试方法只能按照晶圆探针台自带的几种固定测试路径实现对晶圆的测试。例如：按照逐行或逐列的顺序进行测试。固定的测试路径不能实现路径的自定义，无法满足客户对测试路径灵活规划的需求。同时无法实现路径的最优化，导致晶圆测试时间相对较长、效率较低。
发明内容
鉴于上述技术问题，本发明旨在提供一种晶圆探针台自定义测试路径实现方法，通过测试路径生成软件生成测试路径编辑文件，在测试路径编辑文件中对测试路径进行编辑，从而实现测试路径的自定义。
为实现上述目的，本发明采用以下具体技术方案：
本发明提供一种晶圆探针台自定义测试路径实现方法，包括如下步骤：
S1、将晶圆探针台生成的model属性图文件调入测试路径生成软件，生成测试路径编辑文件；
S2、将测试模式载入测试路径编辑文件，在测试路径编辑文件中编辑测试路径；
S3、将编辑有测试路径的测试路径编辑文件载入测试路径生成软件，生成晶圆探针台识别的测试路径文件。
优选地，测试路径编辑文件为excel文件，在excel文件中编辑测试路径。
优选地，在步骤S1之后，还包括如下步骤：
S110、在excel文件的sheet表中读取model属性图文件中的坐标范围；
S120、根据该坐标范围创建sheet表的坐标轴；
S130、读取model属性图文件中各坐标位置的属性，将其写入sheet表。
优选地，步骤S2具体包括如下步骤：
S210、将测试模式载入sheet表；
S220、根据测试模式双击sheet表中的单元格，生成与单元格坐标对应的坐标值。
优选地，S3具体包括如下步骤：
S310、在测试路径生成软件中，遍历sheet表中每个单元格的坐标，并对坐标值进行排序，生成测试路径数组；
S320、将测试路径数组写入测试路径文件。
优选地，测试路径文件为map图文件。
本发明能够取得以下技术效果：
1、可以根据规划自定义测试路径，使测试路径达到最优化，节省测试时间、提高测试效率；
2、通过合理的路径规划，能够保证探针使用的均匀性，避免对个别部分探针过度使用，影响测试效果和探针卡使用寿命；
3、自定义的测试路径不受晶圆探针台自带测试路径的限制，应用灵活多变；
4、测试路径的自定义可以在晶圆探针台线下进行，降低晶圆探针台的占用时间。
附图说明
图1为根据本发明一个实施例的晶圆探针台自定义测试路径实现方法的流程示意图；
图2为根据本发明一个具体实施例的测试路径的规划示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，而不构成对本发明的限制。
下面将对本发明实施例提供的晶圆探针台自定义测试路径实现方法进行详细说明。
图1示出了根据本发明一个实施例的晶圆探针台自定义测试路径实现方法的流程。
如图1所示，本发明实施例提供的晶圆探针台自定义测试路径实现方法，包括步骤：
S1、将晶圆探针台生成的model属性图文件调入测试路径生成软件，生成测试路径编辑文件。
测试路径编辑文件可编辑的文件，在本发明中测试路径编辑文件为可编辑的excel文件，在excel文件中编辑测试路径。
测试路径生成软件的编程环境为vc++6.0，采用C++语言，通过MFC对话框形式实现。通过测试路径生成软件调取model属性图文件，生成包含sheet表的excel文件。
调取model属性图文件的步骤为：点击测试路径生成软件界面下的“选择TXT”按钮，将探针台生成的model属性图文件调入，然后生成可编辑的excel文件。
在生成excel文件之后，还包括如下步骤：
S110、在excel文件的sheet表中读取model属性图文件中的坐标范围。
model属性图文件中的坐标范围代表了晶圆中晶粒的坐标范围。
S120、根据该坐标范围创建sheet表的坐标轴。
建立sheet表的坐标轴是为了确定晶粒在sheet表中的位置。
如图2所示，坐标轴的横坐标与纵坐标的范围分别从0到16。
S130、读取model属性图文件中各坐标位置的属性，将其写入sheet表。
将model属性图文件中各坐标位置写入sheet表后，即可获得晶粒在sheet表中的位置。
sheet表中一个单元格对应一个晶粒，单元格的坐标即为晶粒的坐标。
例如，图2中，坐标为(5，1)的单元格对应一个晶粒，坐标为(6，2)的单元格对应另一个晶粒。
S2、将测试模式载入测试路径编辑文件，在测试路径编辑文件中编辑测试路径。
探针的分布情况决定了测试模式，测试模式代表了探针的组数和分布情况。例如：图2中示出了四组探针。
步骤S2具体包括如下步骤：
S210、将测试模式载入sheet表。
在打开excel文件后，将实际测试中采用的测试模式填入单元格A1中，开始编辑测试路径。
在单元格A1中填入探针模式编码，探针模式编码包括探针的组数和探针的测试顺序。例如图2的单元格A1填入的探针模式编码是41，4表示四组探针，1表示从左到右四组探针的测试顺序。
S220、根据测试模式双击sheet表中的单元格，生成与单元格坐标对应的坐标值。
当双击sheet表中的某个单元格时，以该单元格对应的晶粒为起点，每组探针按照测试模式里的测试顺序对晶粒进行测试。
例如：图2中晶圆的上边缘分布有四个晶粒，对应的坐标分布为(5，1)、(6，1)、(7，1)、(8，1)。当双击(5，1)坐标的单元格时，4组探针按照从左右到的顺序，对(5，1)、(6，1)、(7，1)、(8，1)坐标所对应的晶粒进行测试。同理，按照从左到右的顺序，对(3，2)、(4，2)、(4，2)、(6，2)坐标所对应的晶粒进行测试。
在图2所示的测试路径中，四组探针共执行了34次测试，即测试总步数为34次。
由于本发明可以任意选择每次晶粒测试的起点位置，由此可以改变既定的测试路径，实现测试路径的自定义，自定义的测试路径不会受到晶圆探针台自带测试路径的限制，应用灵活多变，满足客户对测试路径的规划需求。
另外，自定义的测试路径能够使测试路径达到最优化，从而节省晶圆的测试时间、提高测试效率。通过合理的路径规划，能够保证探针使用的均匀性，避免对个别部分探针过度使用，影响测试效果和探针卡使用寿命。
再者，本发明可以选择对晶圆的部分晶粒进行测试，当不双击sheet表中的单元格时，则不会对相应的晶粒进行测试。
S3、将编辑有测试路径的测试路径编辑文件载入测试路径生成软件，生成晶圆探针台识别的测试路径文件。
在完成测试路径的编辑后进行保存，回到测试路径生成软件界面下，点击“选择EXCEL”按钮，选择编辑好测试路径的excel文件，生成晶圆测试中实际使用的map图文件。
S3具体包括如下步骤：
S310、在测试路径生成软件中，遍历sheet表中每个单元格的坐标，并对坐标值进行排序，生成测试路径数组。
在测试路径生成软件调用excel文件时，首先读取测试模式和测试总步数，在测试模式和测试总步数正常后，遍历sheet表中的所有坐标，根据坐标值进行排序，生成测试路径数组，并写入探针台所用测试路径文件中。
S320、将测试路径数组写入测试路径文件。
测试路径文件为晶圆探针台测试所用的属性图文件，也就是晶圆测试中实际使用的map图文件，map图文件是能够被晶圆探针台识别的路径文件。在打开map图文件后会按照用户自定义的测试路径进行晶圆检测。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、部分、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、部分、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
以上本发明的具体实施方式，并不构成对本发明保护范围的限定。任何根据本发明的技术构思所作出的各种其他相应的改变与变形，均应包含在本发明权利要求的保护范围内。

Claims (6)

1.一种晶圆探针台自定义测试路径实现方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、将晶圆探针台生成的model属性图文件调入测试路径生成软件，生成测试路径编辑文件；
S2、将测试模式载入所述测试路径编辑文件，在所述测试路径编辑文件中编辑测试路径；
S3、将编辑有测试路径的测试路径编辑文件载入所述测试路径生成软件，生成所述晶圆探针台识别的测试路径文件。
2.如权利要求1所述的晶圆探针台自定义测试路径实现方法，其特征在于，所述测试路径编辑文件为excel文件，在所述excel文件中编辑所述测试路径。
3.如权利要求2所述的晶圆探针台自定义测试路径实现方法，其特征在于，在步骤S1之后，还包括如下步骤：
S110、在所述excel文件的sheet表中读取所述model属性图文件中的坐标范围；
S120、根据该坐标范围创建所述sheet表的坐标轴；
S130、读取所述model属性图文件中各坐标位置的属性，将其写入所述sheet表。
4.如权利要求3所述的晶圆探针台自定义测试路径实现方法，其特征在于，步骤S2具体包括如下步骤：
S210、将所述测试模式载入所述sheet表；
S220、根据所述测试模式双击所述sheet表中的单元格，生成与所述单元格坐标对应的坐标值。
5.如权利要求4所述的晶圆探针台自定义测试路径实现方法，其特征在于，所述S3具体包括如下步骤：
S310、在所述测试路径生成软件中，遍历所述sheet表中每个单元格的坐标，并对坐标值进行排序，生成测试路径数组；
S320、将所述测试路径数组写入所述测试路径文件。
6.如权利要求5所述的晶圆探针台自定义测试路径实现方法，其特征在于，所述测试路径文件为map图文件。
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