CN112540640B - 加热部件功率控制方法、半导体工艺设备 - Google Patents

加热部件功率控制方法、半导体工艺设备 Download PDF

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Abstract

本申请实施例提供了加热部件功率控制方法、半导体工艺设备，该方法包括：在当前工艺过程完成后，确定在当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围；基于控温阶段的功率波动范围，确定控温阶段的功率波动值，判断功率波动值是否大于或等于预设的波动阈值；若功率波动值大于或等于波动阈值，基于当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围，确定下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围；在下一工艺过程中，根据加热部件在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围，控制加热部件在升温阶段的功率以及在控温阶段的功率。

Description

加热部件功率控制方法、半导体工艺设备
技术领域
本申请涉及半导体制造领域，具体涉及加热部件功率控制方法、半导体工艺设备。
背景技术
诸如化学气相沉积(Chemica lVapor Deposition，简称CVD)的工艺过程中，在进行工艺时，需要工艺腔室的温度尽可能保持为设定的温度。由温控器确定用于加热工艺腔室的加热部件例如灯管的功率，加热部件以温控器确定的功率工作，使得工艺腔室的温度尽可能保持为设定的温度的阶段可以称之为控温阶段。
目前的加热部件功率控制方式，仅考虑如何使得工艺腔室的温度尽可能保持为设定的温度即温度的稳定控制，没有考虑在控温阶段，温控器确定出的功率的波动。在控温阶段，温控器确定出的功率的波动较大，会造成诸如影响加热部件管使用寿命、工艺参数波动等诸多不利影响。
发明内容
为克服相关技术中存在的问题，本申请提供一种加热部件功率控制方法、半导体工艺设备。
根据本申请实施例的第一方面，提供一种加热部件功率控制方法，应用于半导体工艺设备，包括：
在当前工艺过程完成后，确定在当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围；
基于控温阶段的功率波动范围，确定控温阶段的功率波动值，并判断功率波动值是否大于或等于预设的波动阈值；
若功率波动值大于或等于波动阈值，则基于当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围，确定下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围；
在所述下一工艺过程中，根据加热部件在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围，控制加热部件在升温阶段的功率以及在控温阶段的功率。
根据本申请实施例的第二方面，提供一种半导体工艺设备，包括：
自适应器、温控器、加热部件，其中，自适应器被配置为在当前工艺过程完成后，确定在当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围；基于控温阶段的功率波动范围，确定控温阶段的功率波动值，并判断功率波动值是否大于或等于预设的波动阈值；若功率波动值大于或等于波动阈值，则基于当前工艺过程中加热部件在所述升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围，确定下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围；
温控器被配置为在下一工艺过程中，根据加热部件在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围，控制加热部件在升温阶段的功率以及在控温阶段的功率。
本申请实施例提供的加热部件功率控制方法、半导体工艺设备，考虑了控温阶段中功率的波动的大小，在指示当前工艺过程中的控温阶段功率的波动的大小的功率波动值大于或等于预设的波动阈值时，基于当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围，确定下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围，在下一工艺过程中，根据下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围，控制加热部件在升温阶段的功率以及在控温阶段的功率。从而，减小下一工艺过程中的控温阶段中功率的波动，避免在控温阶段由于功率的波动较大而造成的不利影响。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。
图1示出了本申请实施例提供的加热部件功率控制方法的流程图；
图2示出了控制加热部件功率的效果示意图；
图3示出了控制加热部件功率的流程示意图；
图4示出了自适应器向温控器提供功率限制范围的效果示意图；
图5示出了本申请实施例提供的半导体工艺设备的结构框图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关发明相关的部分。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
图1示出了本申请实施例提供的加热部件功率控制方法的流程图，该方法包括：
步骤101，在当前工艺过程完成后，确定在当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围。
升温阶段、控温阶段是相对于温控器而言的温控阶段。升温阶段可以是指温控器确定用于对工艺腔室进行加热的加热部件例如灯管的功率，控制加热部件以温控器确定的功率工作，使得工艺腔室的温度上升至设定的温度的阶段。控温阶段可以是指温控器确定用于对工艺腔室进行加热的加热部件例如灯管的功率，控制加热部件以温控器确定的功率工作，使得工艺腔室的温度尽可能保持在设定的温度的阶段。
请参考图2，其示出了控制加热部件功率过程的效果示意图。
左侧坐标轴中的数值为温度值，右侧坐标轴中的数值为功率值。1为升温阶段，升温阶段也可称之为动态过程，对于CVD工艺过程而言，对应CVD工艺的ramp阶段。2为控温阶段，控温阶段也可称之为稳态过程，对于CVD工艺过程而言，对应于CVD工艺过程的Epi阶段(外延阶段)。3为后处理过程，对于CVD工艺过程而言，对应于CVD工艺过程的Cooldown阶段即冷却降温阶段。按照进行时间由早至晚的顺序为：升温阶段、控温阶段、后处理过程。
在本申请中，当前工艺过程中的升温阶段的功率波动范围可以基于在当前工艺过程中的升温阶段的时间段内，温控器实时进行温控，确定出的所有功率中的最小值或最大值确定。
当前工艺过程中升温阶段的时间段为当前工艺过程中的升温阶段开始的时刻与当前工艺过程中升温阶段的结束时刻之间的时间段。
当前工艺过程中升温阶段的功率波动范围的左端点值为在当前工艺过程中的升温阶段的时间段内，温控器确定出的所有功率中的最小值。当前工艺过程中的升温阶段的功率波动范围的右端点值为在当前工艺过程中的升温阶段的时间段内，温控器确定出的所有功率中的最大值。
在本申请中，当前工艺过程中控温阶段的功率波动范围可以基于在当前工艺过程中的控温阶段的时间段内，温控器实时进行温控，确定出的所有功率中的最小值或最大值确定。
当前工艺过程中的控温阶段的时间段为当前工艺过程中控温阶段开始的时刻与当前工艺过程中控温阶段的结束时刻之间的时间段。
当前工艺过程中的控温阶段的功率波动范围的左端点值为在当前工艺过程中的控温阶段的时间段内，温控器确定出的所有功率中的最小值。当前工艺过程中的控温阶段的功率波动范围的右端点值为在当前工艺过程中控温阶段的时间段内，温控器确定出的所有功率中的最大值。
步骤102，基于控温阶段的功率波动范围，确定控温阶段的功率波动值，并判断功率波动值是否大于或等于预设的波动阈值。
在本申请中，控温阶段的功率波动值指示在控温阶段功率的波动的大小。可以将在当前工艺过程中的控温阶段的时间段内，温控器确定出的所有功率中的中位数确定为当前工艺过程中的控温阶段的功率波动值。
在一些实施例中，控温阶段的功率波动值为控温阶段的功率波动范围的右端点值与左端点值的差除以2。
在本申请中，可以将当前工艺过程中控温阶段的功率波动范围的右端点值减去当前工艺过程中控温阶段的功率波动范围的左端点值的差除以2，得到当前工艺过程中控温阶段的功率波动值。
当前工艺过程中的控温阶段的功率波动范围的左端点值利用P3表示，当前工艺过程中的控温阶段的功率波动范围的右端点值利用P4表示。当前工艺过程中的控温阶段的功率波动值p＝(P4－P3)/2。
步骤103，若功率波动值大于或等于波动阈值，则基于当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围，确定下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围。
在本申请中，下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围为在下一工艺过程中的升温阶段温控器进行温控，确定出的加热部件的功率的约束条件。在下一工艺过程中的升温阶段内的任意一个时刻，温控器确定出的用于对工艺腔室进行加热的加热部件例如灯管的功率需要处于下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围内。
下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围为在下一工艺过程中的控温阶段温控器进行温控，确定出的加热部件的功率的约束条件。在下一工艺过程中的控温阶段内的任意一个时刻，温控器确定出的用于对工艺腔室进行加热的加热部件例如灯管的功率需要处于下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围。
在本申请中，在当前工艺过程中的控温阶段的功率波动值大于或等于波动阈值时，可以基于当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围，确定下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围。
可以以随机方式生成一个处于预设增加量范围中的、与下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围相关的增加量。将当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围的左端点值与该增加量相加，得到下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围的左端点值，将当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围的右端点值与该调整量相加，得到下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围的右端点值。从而，得到下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围的功率限制范围。
可以以随机方式生成一个处于预设增加量范围中的、与下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围相关的增加量。可以将当前工艺过程中加热部件在控温阶段的功率波动范围的左端点值与该增加量相加，得到下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围的左端点值。将当前工艺过程中加热部件在控温阶段的功率波动范围的右端点值与该增加量相加，得到下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围的右端点值，从而，得到下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围。
在一些实施例中，基于当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围，确定下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围，包括：基于加热部件在升温阶段的功率波动范围及对应的调整量，确定下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围，基于加热部件在控温阶段的功率波动范围及对应的调整量，确定下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围。
在本申请中，可以预先分别设置加热部件在升温阶段的功率波动范围对应的调整量、加热部件在控温阶段的功率波动范围对应的调整量。
加热部件在升温阶段的功率波动范围对应的调整量并不特指加热部件在某一个工艺过程中的升温阶段的功率波动范围对应的调整量。在任意一个工艺过程中，均可以利用预先设置的加热部件在升温阶段的功率波动范围对应的调整量，确定下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围。
加热部件在控温阶段的功率波动范围对应的调整量并不特指加热部件在某一个工艺过程中的控温阶段的功率波动范围对应的调整量。在任意一个工艺过程中，均利用预先设置的加热部件在控温阶段的功率波动范围对应的调整量，确定下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围。
可以将当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围的左端点值与加热部件在升温阶段的功率波动范围对应的调整量的和确定为下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围的左端点值，将当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围的右端点值与加热部件在升温阶段的功率波动范围对应的调整量的和确定为下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围的右端点值。从而，得到下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围。
可以将当前工艺过程中加热部件在控温阶段的功率波动范围的左端点值与加热部件在控温阶段的功率波动范围对应的调整量的和确定为下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围的左端点值，将当前工艺过程中加热部件在控温阶段的功率波动范围的右端点值与加热部件在控温阶段的功率波动范围对应的调整量的和确定为下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围的右端点值，从而，得到下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围。
在一些实施例中，若功率波动值小于波动阈值，则将加热部件在升温阶段的功率波动范围确定为下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围，将加热部件在控温阶段的功率波动范围确定为下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围。
在当前工艺过程中的控温阶段的功率波动值p小于波动阈值p0时，可以将当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围确定为下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围，以及将当前工艺过程中加热部件在控温阶段的功率波动范围确定为下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围。
在一些实施例中，加热部件在升温阶段的功率波动范围对应的调整量包括：第一调整量、第二调整量，加热部件在控温阶段的功率波动范围对应的调整量包括：第三调整量、第四调整量；基于加热部件在升温阶段的功率波动范围及对应的调整量，确定下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围，包括：将加热部件在升温阶段的功率波动范围的左端点值与第一调整量的和确定为下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围的左端点值；将加热部件在升温阶段的功率波动范围的右端点值与第二调整量的和确定为下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围的右端点值；基于加热部件在控温阶段的功率波动范围及对应的调整量，确定下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围，包括：将加热部件在控温阶段的功率波动范围的左端点值与第三调整量的和确定为下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围的左端点值；将加热部件在控温阶段的功率波动范围的右端点值与第四调整量的和确定为下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围的右端点值。
利用P1表示当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围的左端点值，利用P2表示当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围的右端点值。当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围为[P1，P2]。利用ΔP1表示第一调整量，利用ΔP2表示第二调整量。
利用P11表示下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围的左端点值，利用P21表示下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围的右端点值。下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围为[P11，P21]。
在当前工艺过程中的控温阶段的功率波动值p大于或等于波动阈值p0时，P11＝P1+ΔP1，P21＝P2+ΔP2。
利用P3表示当前工艺过程中加热部件在控温阶段的功率波动范围的左端点值，利用P4表示当前工艺过程中加热部件在控温阶段的功率波动范围的右端点值。当前工艺过程中加热部件在控温阶段的功率波动范围为[P3，P4]。利用ΔP3表示第三调整量，利用ΔP4表示第四调整量。
利用P31表示下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围的左端点值，利用P41表示下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围的右端点值。下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围为[P31，P41]。在当前工艺过程中的控温阶段的功率波动值p大于或等于波动阈值p0时，P31＝P3+ΔP3，P41＝P4+ΔP4。
第一调整量、第二调整量、第三调整量、第四调整量均大于0，即ΔPi＞0(i＝1，2，3，4)。第一调整量、第二调整量、第三调整量、第四调整量为先验的调整量。第一调整量、第二调整量、第三调整量、第四调整量可以通过试凑得到。例如，可以预先根据调整功率限制范围的经验，设置多组调整量。每一组调整量各自包括可能作为第一调整量的一个调整量、可能作为第二调整量的一个调整量、可能作为第三调整量的一个调整量、可能作为第四调整量的一个调整量。可以预先分别利用多组调整量进行测试，每一次测试过程各自对应一组调整量。每一次测试过程包括至少一次工艺过程。在一次测试过程中，若当前工艺过程中的控温阶段的功率波动值大于或等于波动阈值，采用该次测试过程对应的一组调整量确定下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围。若在一次测试过程中的某一个工艺过程中控温阶段的功率波动值小于波动阈值，可以停止测试过程，将该次测试过程对应的一组调整量作为候选的调整量集合。当候选的调整量集合的数量为一个时，可以将候选的调整量集合作为最终的调整量集合。当候选的调整量集合的数量为多个时，则可以将最先使得控温阶段的功率波动值小于波动阈值的测试过程对应的候选的调整量集合作为最终的调整量集合。可以将最终的调整量集合中的可能作为第一调整量的调整量确定为第一调整量，将最终的调整量集合中的可能作为第二调整量的调整量确定为第二调整量，将最终的调整量集合中的可能作为第三调整量的调整量确定为第三调整量，将最终的调整量集合中的可能作为第四调整量的调整量的确定为第四调整量。
步骤104，在下一工艺过程中，根据加热部件在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围，控制加热部件在升温阶段的功率以及在控温阶段的功率。
在下一工艺过程中的升温阶段中，温控器基于下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围和在下一工艺过程中的升温阶段中实时检测到的温度，实时确定在下一工艺过程中的升温阶段中，加热部件的功率，从而，在下一工艺过程中，实时控制加热部件在升温阶段的功率。
在下一工艺过程中的控温阶段中，温控器基于下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围和在下一工艺过程中的控温阶段中实时检测到的温度，实时确定下一工艺过程中的控温阶段中加热部件的功率，从而，在下一工艺过程中，实时控制加热部件在控温阶段的功率。
请参考图3，其示出了控制加热部件功率的流程示意图。
以CVD工艺过程为例，假设当前正在进行的CVD工艺过程为第N次进行的CVD工艺过程。
下一工艺过程中的升温阶段可以是指：第N+1次进行CVD工艺的过程中的升温阶段。下一工艺过程中的控温阶段可以是指：第N+1次进行的CVD工艺的过程中的控温阶段。
在本申请中，可以由自适应器向温控器提供功率限制范围，以由温控器基于自适应器提供的功率限制范围控制加热部件的功率。
请参考图4，其示出了自适应器向温控器提供功率限制范围的效果示意图。
自适应器包括辨识机构、决策机构、修正机构。期待的性能指标是指当前工艺过程中的控温阶段的功率波动值小于波动阈值。辨识机构读取当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围、在控温阶段功率波动范围。决策机构根据是否达到期待的性能指标，确定下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围、下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围。修正机构将确定出的功率限制范围下发至温控器。在下一工艺过程中的温控阶段，温控器确定出灯管的功率处于下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围内，灯管以温控器确定出的功率工作，使得工艺腔室的温度尽可能保持在设定的温度。
以下继续说明控制加热部件功率的流程：
在当前工艺过程中的控温阶段完成之后，可以由辨识机构读取当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围[P1，P2]、当前工艺过程中加热部件在控温阶段功率波动范围[P3，P4]、当前工艺过程中的控温阶段的功率波动值p。
若p大于或等于波动阈值p0，决策机构确定[P11，P21]＝[P1+ΔP1，P2+ΔP2]，[P31，P41]＝[P3+ΔP3，P4+ΔP4]。
若p＜p0，决策机构确定[P11，P21]＝[P1，P2]，[P31，P41]＝[P3，P4]。
修正机构例如PLC将决策机构确定的功率限制范围[P11，P21]、[P31，P41]下发至温控器。
在下一工艺过程中的升温阶段，温控器基于功率限制范围[P11，P21]实时控制加热部件的功率。
在下一工艺过程中的控温阶段，温控器基于功率限制范围[P31，P41]，实时控制加热部件的功率。
同理，当确定第N+2次进行的CVD工艺过程中升温阶段的功率限制范围、第N+2次进行的CVD工艺过程中控温阶段的功率限制范围时，该下一工艺过程即第N+1次进行CVD工艺成为当前工艺过程，可以基于该下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围，确定第N+2次进行的CVD工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围、第N+2次进行的CVD工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围。
请参考图5，其示出了本申请实施例提供的半导体工艺设备的结构框图。半导体工艺设备包括：自适应器501、温控器502、加热部件503。
自适应器501被配置为在当前工艺过程完成后，确定在当前工艺过程中加热部件503在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围；基于控温阶段的功率波动范围，确定控温阶段的功率波动值，并判断功率波动值是否大于或等于预设的波动阈值；若功率波动值大于或等于波动阈值，则基于当前工艺过程中加热部件503在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围，确定下一工艺过程中加热部件503在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围；
温控器502被配置为下一工艺过程中，根据加热部件503在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围，控制加热部件503在升温阶段的功率以及在控温阶段的功率。
可选的，自适应器501包括了上述的辨识机构、决策机构和修正机构。
在一些实施例中，自适应器501进一步被配置为基于加热部件503在升温阶段的功率波动范围及对应的调整量，确定下一工艺过程中加热部件503在升温阶段的功率限制范围，基于加热部件503在控温阶段的功率波动范围及对应的调整量，确定下一工艺过程中加热部件503在控温阶段的功率限制范围。
在一些实施例中，自适应器501进一步被配置为若功率波动值小于波动阈值，则将加热部件503在升温阶段的功率波动范围确定为下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围，将加热部件503在控温阶段的功率波动范围确定为下一工艺过程中加热部件在控温阶段的功率限制范围。
在一些实施例中，加热部件503在升温阶段的功率波动范围对应的调整量包括：第一调整量、第二调整量，加热部件503在控温阶段的功率波动范围对应的调整量包括：第三调整量、第四调整量；
自适应器501进一步被配置为将加热部件503在升温阶段的功率波动范围的左端点值与第一调整量的和确定为下一工艺过程中加热部件503在升温阶段的功率限制范围的左端点值；将加热部件503在升温阶段的功率波动范围的右端点值与第二调整量的和确定为下一工艺过程中加热部件503在升温阶段的功率限制范围的右端点值；将加热部件503在控温阶段的功率波动范围的左端点值与第三调整量的和确定为下一工艺过程中加热部件503在控温阶段的功率限制范围的左端点值；将加热部件503在控温阶段的功率波动范围的右端点值与第四调整量的和确定为下一工艺过程中加热部件503在控温阶段的功率限制范围的右端点值。
在一些实施例中，功率波动值为控温阶段的功率波动范围的右端点值与左端点值的差除以2。
本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的申请后，将容易想到本申请的其它实施方案。本申请旨在涵盖本申请的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本申请的一般性原理并包括本申请未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本申请的真正范围和精神由下面的权利要求指出。
应当理解的是，本申请并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本申请的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (10)

1.一种加热部件功率控制方法，应用于半导体工艺设备，其特征在于，所述方法包括：
在当前工艺过程完成后，确定在所述当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围；
基于所述控温阶段的功率波动范围，确定所述控温阶段的功率波动值，并判断所述功率波动值是否大于或等于预设的波动阈值；
若所述功率波动值大于或等于所述波动阈值，则基于所述当前工艺过程中所述加热部件在所述升温阶段的功率波动范围以及在所述控温阶段的功率波动范围，确定下一工艺过程中所述加热部件在所述升温阶段的功率限制范围以及在所述控温阶段的功率限制范围；
在所述下一工艺过程中，根据所述加热部件在所述升温阶段的功率限制范围以及在所述控温阶段的功率限制范围，控制所述加热部件在所述升温阶段的功率以及在所述控温阶段的功率。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述当前工艺过程中所述加热部件在所述升温阶段的功率波动范围以及在所述控温阶段的功率波动范围，确定下一工艺过程中所述加热部件在所述升温阶段的功率限制范围以及在所述控温阶段的功率限制范围，包括：
基于所述加热部件在所述升温阶段的功率波动范围及对应的调整量，确定所述下一工艺过程中所述加热部件在所述升温阶段的功率限制范围，基于所述加热部件在所述控温阶段的功率波动范围及对应的调整量，确定所述下一工艺过程中所述加热部件在所述控温阶段的功率限制范围。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，若所述功率波动值小于所述波动阈值，则将所述加热部件在所述升温阶段的功率波动范围确定为所述下一工艺过程中所述加热部件在所述升温阶段的功率限制范围，将所述加热部件在所述控温阶段的功率波动范围确定为所述下一工艺过程中所述加热部件在所述控温阶段的功率限制范围。
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述加热部件在所述升温阶段的功率波动范围对应的调整量包括：第一调整量、第二调整量，所述加热部件在所述控温阶段的功率波动范围对应的调整量包括：第三调整量、第四调整量；
所述基于所述加热部件在所述升温阶段的功率波动范围及对应的调整量，确定所述下一工艺过程中所述加热部件在所述升温阶段的功率限制范围，包括：
将所述加热部件在所述升温阶段的功率波动范围的左端点值与所述第一调整量的和确定为所述下一工艺过程中所述加热部件在所述升温阶段的功率限制范围的左端点值；
将所述加热部件在所述升温阶段的功率波动范围的右端点值与所述第二调整量的和确定为所述下一工艺过程中所述加热部件在所述升温阶段的功率限制范围的右端点值；
所述基于所述加热部件在所述控温阶段的功率波动范围及对应的调整量，确定所述下一工艺过程中所述加热部件在所述控温阶段的功率限制范围，包括：
将所述加热部件在所述控温阶段的功率波动范围的左端点值与所述第三调整量的和确定为所述下一工艺过程中所述加热部件在所述控温阶段的功率限制范围的左端点值；
将所述加热部件在所述控温阶段的功率波动范围的右端点值与所述第四调整量的和确定为所述下一工艺过程中所述加热部件在所述控温阶段的功率限制范围的右端点值。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述功率波动值为所述控温阶段的功率波动范围的右端点值与左端点值的差除以2。
6.一种半导体工艺设备，其特征在于，所述半导体工艺设备包括：自适应器、温控器、加热部件，其中，
所述自适应器被配置为在当前工艺过程完成后，确定在所述当前工艺过程中所述加热部件在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围；基于所述控温阶段的功率波动范围，确定所述控温阶段的功率波动值，并判断所述功率波动值是否大于或等于预设的波动阈值；若所述功率波动值大于或等于所述波动阈值，则基于所述当前工艺过程中所述加热部件在所述升温阶段的功率波动范围以及在所述控温阶段的功率波动范围，确定下一工艺过程中所述加热部件在所述升温阶段的功率限制范围以及在所述控温阶段的功率限制范围；
所述温控器被配置为在所述下一工艺过程中，根据所述加热部件在所述升温阶段的功率限制范围以及在所述控温阶段的功率限制范围，控制所述加热部件在所述升温阶段的功率以及在所述控温阶段的功率。
7.根据权利要求6所述的半导体工艺设备，其特征在于，所述自适应器进一步被配置为基于所述加热部件在所述升温阶段的功率波动范围及对应的调整量，确定所述下一工艺过程中所述加热部件在所述升温阶段的功率限制范围，基于所述加热部件在所述控温阶段的功率波动范围及对应的调整量，确定所述下一工艺过程中所述加热部件在所述控温阶段的功率限制范围。
8.根据权利要求6所述的半导体工艺设备，其特征在于，所述自适应器进一步被配置为若所述功率波动值小于所述波动阈值，则将所述加热部件在所述升温阶段的功率波动范围确定为所述下一工艺过程中所述加热部件在所述升温阶段的功率限制范围，将所述加热部件在所述控温阶段的功率波动范围确定为所述下一工艺过程中所述加热部件在所述控温阶段的功率限制范围。
9.根据权利要求7所述的半导体工艺设备，其特征在于，所述加热部件在所述升温阶段的功率波动范围对应的调整量包括：第一调整量、第二调整量，所述加热部件在所述控温阶段的功率波动范围对应的调整量包括：第三调整量、第四调整量；
所述自适应器进一步被配置为将所述加热部件在所述升温阶段的功率波动范围的左端点值与所述第一调整量的和确定为所述下一工艺过程中所述加热部件在所述升温阶段的功率限制范围的左端点值；将所述加热部件在所述升温阶段的功率波动范围的右端点值与所述第二调整量的和确定为所述下一工艺过程中所述加热部件在所述升温阶段的功率限制范围的右端点值；将所述加热部件在所述控温阶段的功率波动范围的左端点值与所述第三调整量的和确定为所述下一工艺过程中所述加热部件在所述控温阶段的功率限制范围的左端点值；将所述加热部件在所述控温阶段的功率波动范围的右端点值与所述第四调整量的和确定为所述下一工艺过程中所述加热部件在所述控温阶段的功率限制范围的右端点值。
10.根据权利要求6所述的半导体工艺设备，其特征在于，所述功率波动值为所述控温阶段的功率波动范围的右端点值与左端点值的差除以2。
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