CN112538430A - 一种微流控芯片及其制作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明实施例公开了一种微流控芯片及其制作方法，所述微流控芯片包括：施压层，包括通气孔和通气槽，所述通气孔用于通入气体至所述通气槽，所述通气槽内基于通入的气体产生气压；捕获层，包括捕获通道，所述捕获通道用于通入多个待施压样品；形变层，设于所述施压层和所述捕获层之间，用于根据所述气压产生形变，以对所述捕获层中的多个待施压样品施加机械力。本发明实施例提供的微流控芯片通过捕获层、形变层和施压层实现了对细胞球的挤压，通过控制施压层通入的气体的压力可以控制细胞所受到的挤压力，从而实现细胞受力的可控性。
Description
技术领域
本发明实施例涉及细胞培养技术领域，尤其涉及一种微流控芯片及其制作方法。
背景技术
在进行细胞培养时，需要在外界条件下模拟细胞在动植物体内的生存环境，如细胞在生长环境中所受到的力(称为细胞的机械特性)，以此对细胞的生长分化进行研究。
常用的利用机械特性培养细胞的方法主要有利用软硬培养基培养细胞和利用微流控技术模拟细胞机械力培养细胞。利用软硬培养基培养细胞是指通过培养基的软硬程度对细胞提供不同的机械力支持或者挤压，但是这种培养方法机械力支持或挤压与细胞在体内环境不甚相同，导致培养后的细胞在存活时间和功能上与体内状态不符，无法贴近真实生化环境探索细胞的生长分化过程。利用微流控技术模拟细胞机械力培养细胞这一培养方法，通常是单层微流控技术，难以实现对机械力的定量控制。
发明内容
有鉴于此，本发明实施例提供一种微流控芯片及其制作方法，以通过施加可控物理机械信号的方式对细胞施加机械力，实现细胞受力的可控性。
第一方面，本发明实施例提供一种微流控芯片，包括：
施压层，包括通气孔和通气槽，所述通气孔用于通入气体至所述通气槽，所述通气槽内基于通入的气体产生气压；
捕获层，包括捕获通道，所述捕获通道用于通入多个待施压样品；
形变层，设于所述施压层和所述捕获层之间，用于根据所述气压产生形变，以对所述捕获层中的多个待施压样品施加机械力。
进一步的，所述捕获通道包括第一细胞入口和第一细胞出口，所述形变层包括第二细胞入口和第二细胞出口，所述施压层包括第三细胞入口和第三细胞出口；
所述第一细胞入口、所述第二细胞入口和所述第三细胞入口对齐设置；
所述第一细胞出口、所述第二细胞出口和所述第三细胞出口对齐设置。
进一步的，所述捕获通道还包括捕获区域，所述捕获区域包括多个微型捕获结构组成的捕获阵列。
进一步的，一个所述微型捕获结构捕获一个所述待施压样品。
进一步的，所述微型捕获结构的形状为U型或半圆形，所述微型捕获结构的底端设有开孔。
进一步的，所述第一细胞入口和所述捕获区域之间还设有分流区域，所述分流区域包括多个分流通道，所述分流通道用于将所述多个待施压样品分散成单个样品。
进一步的，所述捕获通道还包括多个细胞球挡板，所述多个细胞球挡板设于所述捕获通道的边缘。
进一步的，所述第一细胞入口、所述分流区域和所述第一细胞出口的高度均大于所述待施压样品的直径；所述微型捕获结构和所述细胞球挡板的高度均大于所述待施压样品的半径，且小于所述待施压样品的直径。
第二方面，本发明实施例提供一种微流控芯片的制作方法，包括：
提供捕获层，所述捕获层包括捕获通道，所述捕获通道用于通入多个待施压样品；
在所述捕获层上键合形变层，所述形变层能够产生形变以对所述捕获层中的多个待施压样品施加机械力；
在所述形变层上键合施压层，所述施压层包括通气孔和通气槽，所述通气孔用于通入气体至所述通气槽，所述通气槽内基于通入的气体产生气压以使所述形变层产生形变。
进一步的，提供捕获层包括：
在基底硅片上形成第一光刻胶层；
在所述第一光刻胶层上覆盖第一掩膜版后进行光刻，得到捕获层模具第一层；
在所述捕获层模具第一层上形成第二光刻胶层；
在所述第二光刻胶层上覆盖第二掩膜版后进行光刻，得到捕获层模具第二层；
使用PDMS材料对捕获层模具进行倒模，得到捕获层，其中，所述捕获层模具包括所述捕获层模具第一层和所述捕获层模具第二层。
本发明实施例提供的微流控芯片通过捕获层、形变层和施压层实现了对细胞球的挤压，通过控制施压层通入的气体的压力可以控制细胞所受到的挤压力，实现了细胞受力的可控性。同时，本发明实施例提供的微流控芯片可适用于单细胞及细胞球的可控生长、生物力学测量及生物力传导等多方面的应用，扩大了微流控芯片的应用范围。
附图说明
图1为本发明实施例一提供的微流控芯片的结构示意图；
图2为本发明实施例一提供的捕获层的结构示意图；
图3为本发明实施例一提供的捕获层的局部I放大示意图；
图4为本发明实施例一提供的形变层在形变前的结构示意图；
图5为本发明实施例一提供的形变层在形变后的结构示意图；
图6为本发明实施例二提供的微流控芯片的制作方法的流程示意图；
图7为本发明实施例二提供的第一光刻胶层的结构示意图；
图8为本发明实施例二提供的捕获层模具第一层的结构示意图；
图9为本发明实施例二提供的第二光刻胶层的结构示意图；
图10为本发明实施例二提供的捕获层模具第二层的结构示意图；
图11为本发明实施例二提供的捕获层的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
实施例一
下面参考图1～图5描述本发明实施例的微流控芯片的具体结构。本发明实施例提供的微流控芯片适用于单细胞及细胞球的可控生长、生物力学测量及生物力传导。
如图1所示，本发明实施例提供的微流控芯片包括：捕获层100、形变层200和施压层300，形变层200设于捕获层100之上，施压层300设于行变成之上。捕获层100中设有捕获通道110，捕获通道110用于通入多个待施压样品，本实施例中，待施压样品可以是单细胞也可以是细胞球，细胞球是由多个细胞组成的球形细胞团。施压层300上设有通气孔310，通气孔310用于通入气体，施压层300靠近形变层200的一面还开设有通气槽320，通气槽320用于容纳从通气孔310通入的气体，当通入气体时通气槽320内产生气压。当施压层300通过通气孔310通入气体时，通气槽320内的气体使形变层200受气体压力影响向捕获层100方向产生形变，从而使得捕获层100中的待施压样品受到挤压，也即，形变层200的形变对捕获层100中的多个待施压样品施加了机械力。那么，控制通入气体的体积，即可控制形变层200产生的形变大小，从而可以控制施加到待施压样品上的机械力。
一并参考图1，捕获通道110包括第一细胞入口111、第一细胞出口112和捕获区域140，形变层200包括第二细胞入口211和第二细胞出口212，施压层300包括第三细胞入口311和第三细胞出口312，其中，第一细胞入口111、第二细胞入口211和第三细胞入口311对齐设置，第一细胞出口112、第二细胞出口212和第三细胞出口312对齐设置。实际使用本发明实施例提供的微流控芯片时，从施压层300的第三细胞入口311通入细胞球培养液(该细胞球培养液中包含多个待施压样品)，该细胞球培养液经过形变层200的第二细胞入口211到达捕获层100中捕获通道110的第一细胞入口111，从第一细胞入口111通入捕获区域140。此时通过施压层300的通气孔310通入一定量的气体(该一定量的气体可以根据需要对待施压样品施加的机械力计算确定)，通气槽320内的气体产生气压使形变层200产生形变，那么形变层200对捕获区域140内的细胞球产生挤压，从而实现了对待施压样品施加机械力。当施压完成后，通过吸液装置将细胞球培养液依次经过第一细胞出口112、第二细胞出口212和第三细胞出口312吸出，即可取出施压后的多个细胞球。可以理解，捕获层100、形变层200和施压层300均为透明材质。
进一步的，图2示出了捕获通道110的具体结构示意图，图3示出了捕获通道110的局部I的放大示意图。如图2所示，捕获通道110包括第一细胞入口111、入口流道121、分流区域130、捕获区域140、出口流道122和第一细胞出口112。
入口流道121和出口流道122为细胞球提供流动通道，二者具有相同的宽度。优选的，入口流道121和出口流道122的宽度应足够两到三个待施压样品10并排通过而不至于堵塞通道，设待施压样品10的直径为D，则入口流道121和出口流道122的宽度设为3D。
分流区域130中包括多个分流通道131，分流通道131将流动的多个待施压样品10分散成单个样品，即分散为单个细胞或单个细胞球，以使后续的捕获区域140能够更加容易地捕获单个样品，从而提高捕获效率。由于分流通道131需要将多个待施压样品10分散成单个样品，故分流通道131的出口处应只能通过一个细胞球。参考图3，分流通道131出口的宽度D1的范围为：1.4D＞D1＞1.2D。本实施例中入口流道121连接两个一级分流通道1311的第一端，每个一级分流通道1311的第二端分别连接两个二级分流通道1312的第一端，四个二级分流通道1312的第二端连接至捕获区域140。
捕获区域140包括捕获阵列和细胞球挡板142。捕获阵列包括多个微型捕获结构141，该微型捕获结构141的形状为U型或半圆形，即微型捕获结构141具有一朝向入口流道121方向的开口，以捕获细胞球。图2所示的捕获阵列为U形捕获结构交错阵列，也即，捕获阵列中的微型捕获结构141为半圆形，且不同列之间的微型捕获结构141交错设置。这样，一方面可以保证每个微型捕获结构141只捕获一个待施压样品10，另一方面也可以提高捕获效率。进一步的，在U型或半圆形的微型捕获结构141朝向出口流道122方向的底端还设有开孔，这样可以让U型或半圆形的微型捕获结构141内的液体朝向出口流道122方向流动的更加顺畅，但可以阻止被捕获的细胞球逃逸，进而防止微型捕获结构141内部形成涡流，把已经成功捕获的细胞球吹出。
进一步的，捕获阵列的大小可以根据实际情况调整，图2所示的捕获阵列的大小为8*13，当待施压样品10数量过多时，可以增加捕获阵列的宽度和长度，如将捕获阵列的大小调整至16*20(可以理解，捕获阵列的大小需要调整时，捕获区域140的尺寸也应做适应性调整)。进一步的，当捕获阵列的宽度增加后，分流区域130中的分流通道131的数量也应该适应性增加，即需要增加与捕获区域140直接连接的分流通道131的数量。优选的，捕获阵列的宽度选择2n，以提高捕获效率。进一步的，如果待施压样品10比较易碎，或者相互之间会有影响，可以减小捕获阵列的密度，增大每个微型捕获结构141之间的距离。这样待施压样品10就不容易碰撞到微型捕获结构141边缘，减少细胞破损概率，同时待施压样品10之间也不会相互影响。
进一步的，由于待施压样品在捕获区域140内的被施加压力，故施压层300中通气槽320的尺寸(长*宽)不能小于捕获区域140的尺寸(长*宽)。优选的，通气槽320的尺寸应略大于捕获区域140的尺寸，这样可以使捕获区域边缘的待施压细胞也能够承受到挤压力，从而保证每一个待施压样品都能够承受相同的挤压力。
细胞球挡板142设于捕获区域140的边缘位置，可以使流动到捕获区域140边缘位置的待施压样品10返回到捕获阵列中，防止待施压样品10从捕获区域140边缘直接流动到出口流道122，从而提高了捕获阵列的细胞捕获率。
进一步的，参考图3，图3为图2中的局部I的放大视图。为了防止待施压样品10在微型捕获结构141内窜动或一个微型捕获结构141捕获2个待施压样品10，那么微型捕获结构141开口的尺寸不能太大，微型捕获结构141开口的尺寸D2可以设为：1.2D＞D2＞D。同一列的相邻两个微型捕获结构141之间还应该留有足够的间隙，使待施压样品10能够通过间隙进入下一列的微型捕获结构141，故相邻两个微型捕获结构141间隙D3可以设为：1.2D＞D3＞D。相邻列的微型捕获结构141之间也需要留有足够大的空隙，以供待施压样品10的流动，故相邻列微型捕获结构141空隙D4可以设为：2D＞D4＞1.8D。微型捕获结构141距离捕获区域140边缘的距离不能太小，因为形变层200在捕获区域140边缘处的形变受到限制(可参考图5)，产生的压力可能达不到预期数值，故微型捕获结构141距离捕获区域140边缘的距离D5可以设为：5D＞D5＞4D，这样可以保证所有微型捕获结构141捕获的待施压样品10受力相同。
进一步的，参考图4和图5，图4示出了形变层在形变前的结构示意图，图5示出了形变层在形变后的结构示意图。为了保证待施压样品10能够在捕获通道110中正常流动，捕获通道110中所有流道以及捕获区域140边缘的高度H应略大于D，也即，第一细胞入口111、入口流道121、分流区域130、出口流道122、第一细胞出口112和捕获区域140边缘的高度均大于待施压样品10的直径。微型捕获结构141和细胞球挡板142的高度h应略大于待施压样品10的半径，且小于待施压样品10的直径，这样即可以捕获待施压样品10，又不会阻碍液体流动。微型捕获结构141的高度h也决定了待施压样品10能够被挤压的距离(待施压样品10直径减去微型捕获结构141的高度h即为被挤压距离)。优选的，h＝0.5H。
形变层200向捕获层100方向产生形变，从而使得微型捕获结构141内的待施压样品10被挤压，如图4和图5所示。微型捕获结构141内的待施压样品10被挤压后的高度几乎与微型捕获结构141的高度一致，因此，与可以通过调整微型捕获结构141的高度来控制待施压样品10所收到的挤压力。被挤压后的细胞球经由出口流道122流动到第一细胞出口，在第一细胞出口处被吸出。
本发明实施例提供的微流控芯片通过捕获层、形变层和施压层实现了对细胞球的挤压，通过控制施压层通入的气体的压力可以控制细胞所受到的挤压力，实现了细胞受力的可控性。同时，本发明实施例提供的微流控芯片可适用于单细胞及细胞球的可控生长、生物力学测量及生物力传导等多方面的应用，扩大了微流控芯片的应用范围。
实施例二
图6为本发明实施例二提供的一种微流控芯片的制作方法的流程示意图，本实施例提供的微流控芯片的制作方法能够制作本发明任意实施例提供的微流控芯片，本实施例中未详尽描述的内容，可参考本发明任意微流控芯片中实施例中的描述。
如图6所示，本发明实施例提供的微流控芯片的制作方法包括：
S610、提供捕获层，所述捕获层包括捕获通道，所述捕获通道用于通入多个待施压样品。
具体的，捕获层中设有捕获通道，捕获通道用于通入多个待施压样品。捕获通道还可以包括第一细胞入口、入口流道、分流区域、捕获区域、出口流道和第一细胞出口。入口流道和出口流道为细胞球提供流动通道，二者具有相同的宽度。分流区域中包括多个分流通道，分流通道将流动的多个待施压样品分散成单个样品。捕获区域包括捕获阵列和细胞球挡板。捕获阵列包括多个微型捕获结构，该微型捕获结构的形状为U型或半圆形，即微型捕获结构具有一开口，以捕获细胞球。在微型捕获结构底端还设有开孔，防止微型捕获结构内部形成涡流。细胞球挡板设于捕获区域的边缘位置，可以使流动到捕获区域边缘位置的待施压样品返回到捕获阵列中。
进一步的，捕获层可以通过软光刻技术和PDMS(Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)倒模技术制得，即先通过软光刻技术制备捕获层模具，然后使用捕获层模具进行PDMS倒模，得到捕获层。由于捕获层结构具备两种不同的高度(捕获通道中所有流道及捕获区域边缘高度H和微型捕获结构及细胞球挡板高度h)，故捕获层模具为两层结构。捕获层的制作步骤具体如下：
首先制作捕获层模具的第一层。如图7所示，首先提供基底硅片710，然后在基底硅片上形成第一光刻胶层720。具体为：将少量SU-8 2035光刻胶倒在基底硅片710上，以3000转每分钟的速度旋涂30秒，形成光刻胶层720。然后轻轻地放到加热板上，在65℃下烘烤1分钟预热，然后在95℃的高温下加热12分钟。经软烤后，等待光刻胶冷却至室温自然凝固，然后将定制好图案的第一掩膜板放入紫外光刻机中，在光刻机中对第一光刻胶层720进行曝光，得到捕获层模具的第一层730，如图8所示。曝光后还需要对光刻胶进行进一步固化，主要步骤为：在65℃下烘烤1分钟，在95℃下烘烤5分钟。其中，捕获层模具的第一层730高度为H，为捕获通道中所有流道及捕获区域边缘高度的高度。
然后制作捕获层模具的第二层。如图9所示，捕获层模具的第一层730上形成第二光刻胶层740，具体为：在1000转每分钟的转速下在捕获层模具的第一层730上旋涂一层SU-8 50光刻胶，持续30秒，形成第二光刻胶层740。然后在65℃下烘烤15分钟，在95℃下烘烤40分钟。等待光刻胶冷却至室温自然凝固，然后将定制好图案的第二掩膜板放入紫外光刻机中，在光刻机中对第二光刻胶层740进行曝光，得到捕获层模具的第二层750，如图10所示。其中，捕获层模具的第二层750高度为h，为微型捕获结构及细胞球挡板高度的高度。曝光后还需要对SU-8光刻胶进行进一步固化，主要步骤为：在65℃下烘烤1分钟，在95℃下烘烤5分钟。最后，用显影液洗去多余的SU-8光刻胶，即在硅片上形成了具备捕获层结构的捕获层模具。两次曝光的对齐是通过一个标记来实现的。
最后，用PDMS化合物对捕获层模具进行倒模，待PDMS化合物固化成膜后，将PDMS膜小心地从模具中剥离，即可得到捕获层200，如图11所示(图11示出的是捕获层200的横切视图，捕获层200的俯视图可参考图1和图2)。
S620、在所述捕获层上键合形变层，所述形变层能够产生形变以对所述捕获层中的多个待施压样品施加机械力。
具体的，形变层为一种PDMS薄膜，其能够产生形变。当将形变层键合到捕获层上后，形变层的形变能够对捕获层中的多个待施压样品施加机械力。进一步的，形变层包括第二细胞入口和第二细胞出口，在键合时，形变层的第二细胞入口应与捕获层的第一细胞入口对齐设置，形变层的第二细胞出口应与捕获层的第一细胞出口对齐设置。
进一步的，形变层的制备过程包括：将预聚体和固化剂的重量比按20:1混合得到PDMS混合液。将PDMS混合液以每分钟7000转的速度旋转涂在硅片表面，持续30秒，使硅片表面形成PDMS膜。为了方便PDMS膜从硅表面脱落，在旋涂之前需要对硅片表面进行硅烷化处理。三甲基氯硅烷作为硅烷化剂，在制作前对硅片进行30分钟的化学蒸汽处理。将形成PDMS膜的硅片放到加热板上，用80℃的高温加热30分钟。在此之后，等待加热板的温度自然降低，以避免残余应力在PDMS膜内产生。自然降温后，PDMS膜从硅表面脱落，得到厚度约为8微米的形变层。
S630、在所述形变层上键合施压层，所述施压层包括通气孔和通气槽，所述通气孔用于通入气体至所述通气槽，所述通气槽内基于通入的气体产生气压以使所述形变层产生形变。
具体的，施压层上设有通气孔和通气槽，通气孔用于通入气体，通入的气体进入通气槽中。在形变层上键合施压层后，通气孔中通入气体进入通气槽后产生气压，使形变层产生形变，从而使捕获层中的多个待施压样品受到挤压。进一步的，施压层还包括第三细胞入口和第三细胞出口，在键合时，施压层的第三细胞入口应与形变层的第二细胞入口对齐设置，施压层的第三细胞出口应与形变层的第二细胞出口对齐设置。
进一步的，施压层也可以通过软光刻技术和PDMS(Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)倒模技术制得，具体包括：首先,将SU-8 3025光刻胶旋涂在硅片上，以2000转每分钟的速度旋涂30秒,形成第三光刻胶层，其厚度大约为35微米。在95℃烘烤12分钟后，将定制好图案的第三掩膜版放入光刻机中，在光刻机中对第三光刻胶层进行紫外线照射，然后用显影液洗掉多余光刻胶，施压层模具就制成了。最后，将PDMS混合液倒在施压层模具上，在室温下固化24小时，使PDMS混合液成膜。从施压层模具上剥离PDMS膜后，对其进行修剪和清洗，得到施压层。
本发明实施例二提供的微流控芯片的制作方法步骤简单，具有很强的产业化可行性。制作的微流控芯片实现了对细胞球的挤压，通过控制施压层通入的气体的压力可以控制细胞所受到的挤压力，实现了细胞受力的可控性。同时，本发明实施例提供的微流控芯片可适用于单细胞及细胞球的可控生长、生物力学测量及生物力传导等多方面的应用，扩大了微流控芯片的应用范围。
注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。
Claims (10)
1.一种微流控芯片，其特征在于，包括：
施压层，包括通气孔和通气槽，所述通气孔用于通入气体至所述通气槽，所述通气槽内基于通入的气体产生气压；
捕获层，包括捕获通道，所述捕获通道用于通入多个待施压样品；
形变层，设于所述施压层和所述捕获层之间，用于根据所述气压产生形变，以对所述捕获层中的多个待施压样品施加机械力。
2.如权利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，所述捕获通道包括第一细胞入口和第一细胞出口，所述形变层包括第二细胞入口和第二细胞出口，所述施压层包括第三细胞入口和第三细胞出口；
所述第一细胞入口、所述第二细胞入口和所述第三细胞入口对齐设置；
所述第一细胞出口、所述第二细胞出口和所述第三细胞出口对齐设置。
3.如权利要求2所述的微流控芯片，其特征在于，所述捕获通道还包括捕获区域，所述捕获区域包括多个微型捕获结构组成的捕获阵列。
4.如权利要求3所述的微流控芯片，其特征在于，一个所述微型捕获结构捕获一个所述待施压样品。
5.如权利要求4所述的微流控芯片，其特征在于，所述微型捕获结构的形状为U型或半圆形，所述微型捕获结构的底端设有开孔。
6.如权利要求3所述的微流控芯片，其特征在于，所述第一细胞入口和所述捕获区域之间还设有分流区域，所述分流区域包括多个分流通道，所述分流通道用于将所述多个待施压样品分散成单个样品。
7.如权利要求6所述的微流控芯片，其特征在于，所述捕获通道还包括多个细胞球挡板，所述多个细胞球挡板设于所述捕获通道的边缘。
8.如权利要求7所述的微流控芯片，其特征在于，所述第一细胞入口、所述分流区域和所述第一细胞出口的高度均大于所述待施压样品的直径；所述微型捕获结构和所述细胞球挡板的高度均大于所述待施压样品的半径，且小于所述待施压样品的直径。
9.一种微流控芯片的制作方法，其特征在于，包括：
提供捕获层，所述捕获层包括捕获通道，所述捕获通道用于通入多个待施压样品；
在所述捕获层上键合形变层，所述形变层能够产生形变以对所述捕获层中的多个待施压样品施加机械力；
在所述形变层上键合施压层，所述施压层包括通气孔和通气槽，所述通气孔用于通入气体至所述通气槽，所述通气槽内基于通入的气体产生气压以使所述形变层产生形变。
10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，提供捕获层包括：
在基底硅片上形成第一光刻胶层；
在所述第一光刻胶层上覆盖第一掩膜版后进行光刻，得到捕获层模具第一层；
在所述捕获层模具第一层上形成第二光刻胶层；
在所述第二光刻胶层上覆盖第二掩膜版后进行光刻，得到捕获层模具第二层；
使用PDMS材料对捕获层模具进行倒模，得到捕获层，其中，所述捕获层模具包括所述捕获层模具第一层和所述捕获层模具第二层。
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