CN112536572A - 一种用于散热器的冷喷毛细结构均温板制造工艺 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及均温板制造技术领域，具体涉及一种用于散热器的冷喷毛细结构均温板制造工艺，包括金属基板、喷涂成型于金属基板表面的毛细结构、及覆盖于毛细结构的盖板；所述均温板的制造工艺包括如下步骤：S1，将所述金属基板表面清洁；S2，将对清洁后的金属基板表面通过冷喷涂金属毛细结构；S3，将盖板贴合于金属基板一面清洁，后将清洁面贴合于金属毛细结构及金属基板一面；本发明采用了冷喷工艺将毛细结构成型于金属基板，附着性好，对比传统通过铜网或铜粉烧结的结构生产效率高，使用寿命长，一体性更好，均温性更好。

Description

一种用于散热器的冷喷毛细结构均温板制造工艺
技术领域
本发明涉及均温板制造技术领域，特别是涉及一种用于散热器的冷喷毛细结构均温板制造工艺。
背景技术
均温板是依靠自身内部工作流体相变实现导热的导热组件，其具有高导热性、优良等温性等优良特性，导热效果好，应用广泛。近年来电子技术迅速发展，电子器件的高频、高速以及集成电路的密集及微型化，使得单位容积电子器件发热量剧增，均温板技术以其高效、紧凑以及灵活可靠等特点，适合解决目前电子器件因性能提升所衍生的散热问题。
现有的均温板一般由基板、毛细结构及面板，现有的毛细结构一般是由铜粉烧结或采用铜网结构；其中，通过铜粉烧结的结构生产效率低，制造难度较高，导致结构成本高；而采用铜网的结构需要另外增加铜网和雕刻毛细沟槽，生产效率低，工作量大，不适合大批量生产。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供一种采用了冷喷工艺将毛细结构成型于金属基板，附着性好，对比传统通过铜网或铜粉烧结的结构生产效率高，使用寿命长，一体性更好，均温性更好的用于散热器的冷喷毛细结构均温板制造工艺。
本发明所采用的技术方案是：一种用于散热器的冷喷毛细结构均温板制造工艺，包括金属基板、喷涂成型于金属基板表面的毛细结构、及覆盖于毛细结构的盖板；
所述均温板的制造工艺包括如下步骤：
S1，将所述金属基板表面清洁；
S2，将对清洁后的金属基板表面通过冷喷涂金属毛细结构；
S3，对盖板一面加工一空腔；
S4，将盖板开设空腔一面贴合于金属基板一面清洁，并通过空腔将所述毛细结构覆盖。
对上述方案的进一步改进为，所述金属基板为铜板、铝板、不锈钢板或钛合金板。
对上述方案的进一步改进为，所述毛细结构为铜粉成型的毛细结构。
对上述方案的进一步改进为，所述盖板为铜板、铝板、不锈钢板或钛合金板。
对上述方案的进一步改进为，所述盖板与金属基板焊接相连。
对上述方案的进一步改进为，所述步骤S2中，冷喷涂是将铜粉喷涂成型于金属挤出表面形成毛细结构。
对上述方案的进一步改进为，所述铜粉为球状或树枝状。
对上述方案的进一步改进为，所述铜粉颗粒直径为20μm～120μm。
对上述方案的进一步改进为，所述步骤S2中，冷喷的喷射速度大于600m/s。
对上述方案的进一步改进为，所述步骤S3中，将盖板贴合于金属基板边缘一面，并将边缘位置通过铜焊连接。
本发明的有益效果是：
相比传统的均温板，本发明采用了冷喷工艺将毛细结构成型于金属基板，附着性好，对比传统通过铜网或铜粉烧结的结构生产效率高，使用寿命长，一体性更好，均温性更好。具体是，设置了金属基板、喷涂成型于金属基板表面的毛细结构、及覆盖于毛细结构的盖板；还具有盖板将毛细结构封装，采用冷喷成型后再覆盖形成的均温板，结构简单，一体性强。具体生产过程为，将所述金属基板表面清洁；将对清洁后的金属基板表面通过冷喷涂金属毛细结构；将盖板贴合于金属基板一面清洁，对盖板一面加工一空腔；将盖板开设空腔一面贴合于金属基板一面清洁，并通过空腔将所述毛细结构覆盖。对比传统通过激光雕刻或者设置铜网、铜粉烧结生产效率更高。另外，通过空腔作用于均温板的蒸汽通道，进一步提升均温效果。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明的生产流程图。
附图标记说明：金属基板100、毛细结构200、盖板300。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明作进一步的说明。
如图1～图2所示，一种用于散热器的冷喷毛细结构均温板制造工艺，包括金属基板100、喷涂成型于金属基板100表面的毛细结构200、及覆盖于毛细结构200的盖板300；
均温板的制造工艺包括如下步骤：
S1，将所述金属基板100表面清洁；
S2，将对清洁后的金属基板100表面通过冷喷涂金属毛细结构200；
S3，对盖板300一面加工一空腔310；
S4，将盖板300开设空腔310一面贴合于金属基板100一面清洁，并通过空腔310将所述毛细结构310覆盖。
金属基板100为铜板、铝板、不锈钢板或钛合金板，一般为铜板或铝板设置，能够提升均温板整体的性能。
毛细结构200为铜粉成型的毛细结构200，采用铜粉成型，传热效果好，均温效果好。
盖板300为铜板、铝板、不锈钢板或钛合金板，一般为铜板或铝板设置，能够提升均温板整体的性能。
盖板300与金属基板100焊接相连，焊接形成一体的均温板，结构稳定可靠。
步骤S2中，冷喷涂是将铜粉喷涂成型于金属挤出表面形成毛细结构200，进一步改进为，铜粉为球状或树枝状，通过喷涂形成毛细结构200，使得贴合的空间内还具有间隙，可充分利用进行隔热作用，作用为均温和散热。
铜粉颗粒直径为20μm～120μm，铜粉颗粒的直径可根据不同大小的均温板进行选择，可保证在喷涂过程中更好的附着形成毛细结构200。
步骤S2中，冷喷的喷射速度大于600m/s，通过大于600m/s的喷射速度，可保证铜粉颗粒附着效果更佳。
步骤S3中，将盖板300贴合于金属基板100和毛细结构200一面，并将边缘位置通过铜焊连接，焊接形成一体的均温板，结构稳定可靠。
本发明采用了冷喷工艺将毛细结构200成型于金属基板100，附着性好，对比传统通过铜网或铜粉烧结的结构生产效率高，使用寿命长，一体性更好，均温性更好。具体是，设置了金属基板100、喷涂成型于金属基板100表面的毛细结构200、及覆盖于毛细结构200的盖板300；还具有盖板300将毛细结构200封装，采用冷喷成型后再覆盖形成的均温板，结构简单，一体性强。具体生产过程为，将所述金属基板100表面清洁；将对清洁后的金属基板100表面通过冷喷涂金属毛细结构200；将盖板300贴合于金属基板100一面清洁，对盖板300一面加工一空腔310；将盖板300开设空腔310一面贴合于金属基板100一面清洁，并通过空腔310将所述毛细结构200覆盖。对比传统通过激光雕刻或者设置铜网、铜粉烧结生产效率更高。另外，通过空腔310作用于均温板的蒸汽通道，进一步提升均温效果。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种用于散热器的冷喷毛细结构均温板制造工艺，其特征在于：包括金属基板、喷涂成型于金属基板表面的毛细结构、及覆盖于毛细结构的盖板；
所述均温板的制造工艺包括如下步骤：
S1，将所述金属基板表面清洁；
S2，将对清洁后的金属基板表面通过冷喷涂金属毛细结构；
S3，对盖板一面加工一空腔；
S4，将盖板开设空腔一面贴合于金属基板一面清洁，并通过空腔将所述毛细结构覆盖。
2.根据权利要求1所述的用于散热器的冷喷毛细结构均温板制造工艺，其特征在于：所述金属基板为铜板、铝板、不锈钢板或钛合金板。
3.根据权利要求1所述的用于散热器的冷喷毛细结构均温板制造工艺，其特征在于：所述毛细结构为铜粉成型的毛细结构。
4.根据权利要求1所述的用于散热器的冷喷毛细结构均温板制造工艺，其特征在于：所述盖板为铜板、铝板、不锈钢板或钛合金板。
5.根据权利要求1所述的用于散热器的冷喷毛细结构均温板制造工艺，其特征在于：所述盖板与金属基板焊接相连。
6.根据权利要求1所述的用于散热器的冷喷毛细结构均温板制造工艺，其特征在于：所述步骤S2中，冷喷涂是将铜粉喷涂成型于金属挤出表面形成毛细结构。
7.根据权利要求6所述的用于散热器的冷喷毛细结构均温板制造工艺，其特征在于：所述铜粉为球状或树枝状。
8.根据权利要求6所述的用于散热器的冷喷毛细结构均温板制造工艺，其特征在于：所述铜粉颗粒直径为20μm～120μm。
9.根据权利要求1所述的用于散热器的冷喷毛细结构均温板制造工艺，其特征在于：所述步骤S2中，冷喷的喷射速度大于600m/s。
10.根据权利要求1所述的用于散热器的冷喷毛细结构均温板制造工艺，其特征在于：所述步骤S3中，将盖板贴合于金属基板边缘一面，并将边缘位置通过铜焊连接。
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102019543A (zh) * 2009-09-18 2011-04-20 和硕联合科技股份有限公司 均温板及其制作方法
CN102052864A (zh) * 2009-11-10 2011-05-11 和硕联合科技股份有限公司 均温板及其制造方法
CN107044791A (zh) * 2016-02-05 2017-08-15 业强科技股份有限公司 导热装置及其制造方法
CN109874269A (zh) * 2017-12-13 2019-06-11 奇鋐科技股份有限公司 散热装置制造方法
CN110804735A (zh) * 2019-12-07 2020-02-18 西北有色金属研究院 一种适用于钛合金的导热辐射散热复合涂层
CN111128435A (zh) * 2018-10-31 2020-05-08 广州力及热管理科技有限公司 混合两种不同熔点金属粉末的电子浆料
CN111366021A (zh) * 2018-12-25 2020-07-03 讯凯国际股份有限公司 均温板以及均温板的制作方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102019543A (zh) * 2009-09-18 2011-04-20 和硕联合科技股份有限公司 均温板及其制作方法
CN102052864A (zh) * 2009-11-10 2011-05-11 和硕联合科技股份有限公司 均温板及其制造方法
CN107044791A (zh) * 2016-02-05 2017-08-15 业强科技股份有限公司 导热装置及其制造方法
CN109874269A (zh) * 2017-12-13 2019-06-11 奇鋐科技股份有限公司 散热装置制造方法
CN111128435A (zh) * 2018-10-31 2020-05-08 广州力及热管理科技有限公司 混合两种不同熔点金属粉末的电子浆料
CN111366021A (zh) * 2018-12-25 2020-07-03 讯凯国际股份有限公司 均温板以及均温板的制作方法
CN110804735A (zh) * 2019-12-07 2020-02-18 西北有色金属研究院 一种适用于钛合金的导热辐射散热复合涂层

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