CN112504313B - 自动化探针测试台 - Google Patents

自动化探针测试台 Download PDF

Info

Publication number
CN112504313B
CN112504313B CN202011487298.5A CN202011487298A CN112504313B CN 112504313 B CN112504313 B CN 112504313B CN 202011487298 A CN202011487298 A CN 202011487298A CN 112504313 B CN112504313 B CN 112504313B
Authority
CN
China
Prior art keywords
fixed
probe
guide rail
bearing table
motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202011487298.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112504313A (zh
Inventor
吴建锋
阮越
许森
尉理哲
叶芳芳
徐振宇
江俊
王金铭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhejiang Shuren University
Original Assignee
Zhejiang Shuren University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhejiang Shuren University filed Critical Zhejiang Shuren University
Priority to CN202011487298.5A priority Critical patent/CN112504313B/zh
Publication of CN112504313A publication Critical patent/CN112504313A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112504313B publication Critical patent/CN112504313B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D11/00—Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/04—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
    • G05B19/042—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers using digital processors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

自动化探针测试台，包括承片台、探针台显微镜、CCD摄像头和PC机，底座上固定有Y向直线导轨，承片台支架插套在Y向直线导轨上，Y向电机固定在底座上，Y向电机的转轴上固定有Y向丝杆，承片台支架上固定有Y向螺母，Y向丝杆与Y向螺母螺接在一起；承片台支架上固定有X向直线导轨，承片台支座插套在X向直线导轨上，X向电机固定在承片台支架上，X向电机的转轴上固定有X向丝杆，X向丝杆与承片台支座螺接在一起；它采用步进电机驱动承片台X向和Y移动，承片台还可以转动让物料自动调节到合适的位置，它的探针装置绝缘性好，调节方便。

Description

自动化探针测试台
技术领域
本发明涉及检测设备技术领域，更具体地说涉及一种具有探针的检测设备。
背景技术
T-103A型手动探针测试台是中国电子科技集团公司第四十五研究所生产的手动探针测试台，它包括探针台显微镜、承片台、X-Y移动平台，其不足之处是：1、它的X-Y移动平台，采用手动调节，调节精度有限。2、它的承片台不能转动，当物料放置在承片台上后，需要手动调节物料到最佳位置，十分麻烦。3、它的探针定位调节不够方便。
发明内容
本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供一种自动化探针测试台，它采用步进电机驱动承片台X向和Y移动，承片台还可以转动让物料自动调节到合适的位置，它的探针装置绝缘性好，调节方便。
本发明的技术解决措施如下：
自动化探针测试台，包括承片台、探针台显微镜、CCD摄像头和PC机，底座上固定有Y向直线导轨，承片台支架插套在Y向直线导轨上，Y向电机固定在底座上，Y向电机的转轴上固定有Y向丝杆，承片台支架上固定有Y向螺母，Y向丝杆与Y向螺母螺接在一起；
承片台支架上固定有X向直线导轨，承片台支座插套在X向直线导轨上，X向电机固定在承片台支架上，X向电机的转轴上固定有X向丝杆，X向丝杆与承片台支座螺接在一起；
旋转电机固定在承片台支座上，旋转电机的转轴上螺接固定有承片台；
立柱支座固定在底座上，立柱固定在立柱支座上，立柱有两根，探针台板插套在立柱上且压在立柱台阶面上，显微镜台板固定在立柱的顶端，探针台显微镜固定在显微镜台板上，探针台显微镜的镜头与承片台相对；
探针台板上弧形导轨，弧形导轨上成型有T型槽，探针装置的结构是：滑架插套在T型槽上，紧固螺钉螺接在滑架上且其前端压在弧形导轨上，平移座置于滑架上，平移座上成型有下弹片和压弹片，压弹片为L型，压紧螺杆螺接在滑架上且其下端压在压弹片上，压弹片压在下弹片上，横向微调螺杆螺接在滑架上同时与平移座螺接在一起，金属探针成型绝缘塑胶块上，导线与金属探针电连接，绝缘塑胶块通过螺钉固定在下弹片上。
所述探针台显微镜的图像信号输送给PC机存储，CCD摄像头固定在摄像头支架上，摄像头支架固定在显微镜台板上，CCD摄像头斜对着承片台，PC机根据CCD摄像头的图像信号发出指令信号给单片机，单片机根据PC机的指令信号控制Y向电机、X向电机和旋转电机工作。
所述Y向直线导轨通过螺钉固定在底座上。
所述承片台支架上通过螺钉固定有X向直线导轨。
所述X向电机通过螺钉固定在承片台支架上。
本发明的有益效果在于：
它采用步进电机驱动承片台X向和Y移动，承片台还可以转动让物料自动调节到合适的位置，它的探针装置绝缘性好，调节方便。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为承片台和旋转电机部分的结构示意图；
图3为探针台板部分的结构示意图；
图4为探针装置部分的结构示意图。
图中：1、承片台；2、探针台显微镜；3、CCD摄像头；4、PC机；5、底座；6、Y向直线导轨；7、Y向电机；8、Y向丝杆；9、承片台支架；10、X向直线导轨；11、承片台支座；12、X向电机；13、X向丝杆；14、旋转电机；15、立柱支座；16、立柱；17、探针台板；18、显微镜台板；19、单片机；20、探针装置；21、弧形导轨。
具体实施方式
实施例：见图1至4所示，自动化探针测试台，包括承片台1、探针台显微镜2、CCD摄像头3和PC机4，底座5上固定有Y向直线导轨6，承片台支架9插套在Y向直线导轨6上，Y向电机7固定在底座5上，Y向电机7的转轴上固定有Y向丝杆8，承片台支架9上固定有Y向螺母91，Y向丝杆8与Y向螺母91螺接在一起；
承片台支架9上固定有X向直线导轨10，承片台支座11插套在X向直线导轨10上，X向电机12固定在承片台支架9上，X向电机12的转轴上固定有X向丝杆13，X向丝杆13与承片台支座11螺接在一起；
旋转电机14固定在承片台支座11上，旋转电机14的转轴上螺接固定有承片台1；
立柱支座15固定在底座5上，立柱16固定在立柱支座15上，立柱16有两根，探针台板17插套在立柱16上且压在立柱台阶面161上，显微镜台板18固定在立柱16的顶端，探针台显微镜2固定在显微镜台板18上，探针台显微镜2的镜头与承片台1相对；
探针台板17上弧形导轨21，弧形导轨21上成型有T型槽211，探针装置20的结构是：滑架201插套在T型槽211上，紧固螺钉202螺接在滑架201上且其前端压在弧形导轨21上，平移座203置于滑架201上，平移座203上成型有下弹片2031和压弹片2032，压弹片2032为L型，压紧螺杆204螺接在滑架201上且其下端压在压弹片2032上，压弹片2032压在下弹片2031上，横向微调螺杆205螺接在滑架201上同时与平移座203螺接在一起，金属探针206成型绝缘塑胶块207上，导线208与金属探针206电连接，绝缘塑胶块207通过螺钉固定在下弹片2031上。
所述探针台显微镜2的图像信号输送给PC机4存储，CCD摄像头3固定在摄像头支架31上，摄像头支架31固定在显微镜台板18上，CCD摄像头3斜对着承片台5，PC机4根据CCD摄像头3的图像信号发出指令信号给单片机19，单片机19根据PC机4的指令信号控制Y向电机7、X向电机12和旋转电机14工作。
所述Y向直线导轨6通过螺钉固定在底座5上。
所述承片台支架9上通过螺钉固定有X向直线导轨10。
所述X向电机12通过螺钉固定在承片台支架9上。
工作原理：物料人工放到承片台1上，然后启动探针台显微镜2、CCD摄像头3和PC机4，物料在承片台1上的位置由PC机4识别，并由PC机4发出指令信号给单片机19，单片机19根据指令信号控制Y向电机7、X向电机12和旋转电机14工作，让物料转到合适位置。然后人工将探针装置20上的金属探针206压到物料上合适的位置，同时这个位置，PC机4也会提示是不是合适位置。
探针装置20采用手动调节，调节起来十分方便。

Claims (3)

1.自动化探针测试台，包括承片台（1）、探针台显微镜（2）、CCD摄像头（3）和PC机（4），其特征在于：底座（5）上固定有Y向直线导轨（6），承片台支架（9）插套在Y向直线导轨（6）上，Y向电机（7）固定在底座（5）上，Y向电机（7）的转轴上固定有Y向丝杆（8），承片台支架（9）上固定有Y向螺母（91），Y向丝杆（8）与Y向螺母（91）螺接在一起；
承片台支架（9）上固定有X向直线导轨（10），承片台支座（11）插套在X向直线导轨（10）上，X向电机（12）固定在承片台支架（9）上，X向电机（12）的转轴上固定有X向丝杆（13），X向丝杆（13）与承片台支座（11）螺接在一起；
旋转电机（14）固定在承片台支座（11）上，旋转电机（14）的转轴上螺接固定有承片台（1）；
立柱支座（15）固定在底座（5）上，立柱（16）固定在立柱支座（15）上，立柱（16）有两根，探针台板（17）插套在立柱（16）上且压在立柱台阶面（161）上，显微镜台板（18）固定在立柱（16）的顶端，探针台显微镜（2）固定在显微镜台板（18）上，探针台显微镜（2）的镜头与承片台（1）相对；
探针台板（17）上设置有弧形导轨（21），弧形导轨（21）上成型有T型槽（211），滑架（201）插套在T型槽（211）上，紧固螺钉（202）螺接在滑架（201）上且其前端压在弧形导轨（21）上，平移座（203）置于滑架（201）上，平移座（203）上成型有下弹片（2031）和压弹片（2032），压弹片（2032）为L型，压紧螺杆（204）螺接在滑架（201）上且其下端压在压弹片（2032）上，压弹片（2032）压在下弹片（2031）上，横向微调螺杆（205）螺接在滑架（201）上同时与平移座（203）螺接在一起，金属探针（206）成型在绝缘塑胶块（207）上，导线（208）与金属探针（206）电连接，绝缘塑胶块（207）通过螺钉固定在下弹片（2031）上；
探针台显微镜（2）的图像信号输送给PC机（4）存储，CCD摄像头（3）固定在摄像头支架（31）上，摄像头支架（31）固定在显微镜台板（18）上，CCD摄像头（3）斜对着承片台（1），PC机（4）根据CCD摄像头（3）的图像信号发出指令信号给单片机（19），单片机（19）根据PC机（4）的指令信号控制Y向电机（7）、X向电机（12）和旋转电机（14）工作；
Y向直线导轨（6）通过螺钉固定在底座（5）上。
2.根据权利要求1所述的自动化探针测试台，其特征在于：承片台支架（9）上通过螺钉固定有X向直线导轨（10）。
3.根据权利要求1所述的自动化探针测试台，其特征在于：X向电机（12）通过螺钉固定在承片台支架（9）上。
CN202011487298.5A 2020-12-16 2020-12-16 自动化探针测试台 Active CN112504313B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011487298.5A CN112504313B (zh) 2020-12-16 2020-12-16 自动化探针测试台

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011487298.5A CN112504313B (zh) 2020-12-16 2020-12-16 自动化探针测试台

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112504313A CN112504313A (zh) 2021-03-16
CN112504313B true CN112504313B (zh) 2024-06-04

Family

ID=74972714

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011487298.5A Active CN112504313B (zh) 2020-12-16 2020-12-16 自动化探针测试台

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112504313B (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4228831A (en) * 1978-12-11 1980-10-21 Abbott Laboratories Probe and syringe drive apparatus
CN103983619A (zh) * 2014-05-16 2014-08-13 四川大学 一种空间分辨激光诱导击穿光谱分析系统及其分析方法
EP3351974A1 (en) * 2017-01-18 2018-07-25 Qingdao Institute Of Marine Geology Static cone penetration combined type geochemical microelectrode probe system
CN210727854U (zh) * 2019-07-17 2020-06-12 重庆长城医院有限责任公司 用于穿刺的精准定位调节器
CN213657899U (zh) * 2020-12-16 2021-07-09 浙江树人学院（浙江树人大学） 自动化探针测试台

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4228831A (en) * 1978-12-11 1980-10-21 Abbott Laboratories Probe and syringe drive apparatus
CN103983619A (zh) * 2014-05-16 2014-08-13 四川大学 一种空间分辨激光诱导击穿光谱分析系统及其分析方法
EP3351974A1 (en) * 2017-01-18 2018-07-25 Qingdao Institute Of Marine Geology Static cone penetration combined type geochemical microelectrode probe system
CN210727854U (zh) * 2019-07-17 2020-06-12 重庆长城医院有限责任公司 用于穿刺的精准定位调节器
CN213657899U (zh) * 2020-12-16 2021-07-09 浙江树人学院（浙江树人大学） 自动化探针测试台

Also Published As

Publication number Publication date
CN112504313A (zh) 2021-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN115008007B (zh) 一种针刺式pcb焊接排晶机
CN216696100U (zh) 一种aoi检测装置
CN213657899U (zh) 自动化探针测试台
CN112504313B (zh) 自动化探针测试台
CN214953943U (zh) 一种半导体芯片测试台
CN213903611U (zh) 自动化探针测试台的探针装置
CN212400658U (zh) 一种多功能的激光打标设备
CN117066849A (zh) 一种实现汽车刹车接头自动装配的装置
CN208887878U (zh) 一种基于蜗轮蜗杆机构调节的激振器测试工作台
CN213239716U (zh) 一种便于安装的全自动压力式试验机
CN201490562U (zh) 自动移动切割器
CN211402195U (zh) 一种成像板检测装置
CN114689592A (zh) 一种aoi检测装置
CN114894128A (zh) 一种丝杠滚道表面波纹度检测设备
CN210981698U (zh) 一种多功能测试弹簧探针性能的自动检测设备
CN218398255U (zh) 一种可调整裁切角度的裁切装置
CN215812333U (zh) 碳刷摩擦系数测试平台
CN220795404U (zh) 一种电路板生产用检测设备
CN217981030U (zh) 一种卧式电脑式推力机
CN220019341U (zh) 影像测量仪
CN218947607U (zh) 一种可高精度定位机架
CN117368546B (zh) 一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备
CN220304509U (zh) 一种pin高度检测机构
CN220718583U (zh) 一种可调节的水表加工夹具
CN210603150U (zh) 一种平面度检测仪的检测装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant