CN213903611U - 自动化探针测试台的探针装置 - Google Patents
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Abstract
自动化探针测试台的探针装置，承片台位于探针台板的中部，探针台板上固定有弧形导轨，弧形导轨上成型有T型槽，探针装置的结构是：滑架插套在T型槽上，紧固螺钉螺接在滑架上且其前端压在弧形导轨上，平移座置于滑架上，平移座上成型有下弹片和压弹片，压弹片为L型，压紧螺杆螺接在滑架上且其下端压在压弹片上，压弹片压在下弹片上，横向微调螺杆螺接在滑架上同时与平移座螺接在一起，金属探针成型在绝缘塑胶块上，导线与金属探针电连接，绝缘塑胶块通过螺钉固定在下弹片上。它的探针装置绝缘性好，调节方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及检测设备技术领域，更具体地说涉及一种自动化探针测试台的探针装置。
背景技术
T-103A型手动探针测试台是中国电子科技集团公司第四十五研究所生产的手动探针测试台，它包括探针台显微镜、承片台、X-Y移动平台，其不足之处是：它的探针定位调节不够方便。
实用新型内容
本实用新型的目的就是针对现有技术之不足，而提供一种自动化探针测试台的探针装置，它的金属探针可以沿弧形导轨移动到任意位置，金属探针与物料电接触良好，金属探针还可以实现前后位置移动调节。
本实用新型的技术解决措施如下：
自动化探针测试台的探针装置，包括承片台和探针台板，承片台位于探针台板的中部，探针台板上固定有弧形导轨，弧形导轨上成型有T型槽，探针装置的结构是：滑架插套在T型槽上，紧固螺钉螺接在滑架上且其前端压在弧形导轨上，平移座置于滑架上，平移座上成型有下弹片和压弹片，压弹片为L型，压紧螺杆螺接在滑架上且其下端压在压弹片上，压弹片压在下弹片上，横向微调螺杆螺接在滑架上同时与平移座螺接在一起，金属探针成型在绝缘塑胶块上，导线与金属探针电连接，绝缘塑胶块通过螺钉固定在下弹片上。
所述探针台板为一具有开口的圆盘板。
所述弧形导轨通过沉头螺钉固定在探针台板上。
所述导线的裸线端焊接固定在电连接片上，金属探针、绝缘塑胶块和电连接片均固定在导电螺栓上，电连接片压在导电螺栓的螺栓螺母下。
所述导电螺栓与有下弹片和压弹片均呈不接触状。
本实用新型的有益效果在于：
它的探针装置绝缘性好，调节方便。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为探针装置部分的结构示意图。
图中：1、承片台；2、探针台板；3、弧形导轨；4、探针装置；5、沉头螺钉；6、导电螺栓。
具体实施方式
实施例：见图1、2所示，自动化探针测试台的探针装置，包括承片台1和探针台板2，承片台1位于探针台板2的中部，探针台板2上固定有弧形导轨3，弧形导轨3上成型有T型槽31，探针装置4的结构是：滑架41插套在T型槽31上，紧固螺钉42螺接在滑架41上且其前端压在弧形导轨3上，平移座43置于滑架41上，平移座43上成型有下弹片431和压弹片432，压弹片432为L型，压紧螺杆44螺接在滑架41上且其下端压在压弹片432上，压弹片432压在下弹片431上，横向微调螺杆45螺接在滑架41上同时与平移座43螺接在一起，金属探针46成型在绝缘塑胶块47上，导线48与金属探针46电连接，绝缘塑胶块47通过螺钉固定在下弹片431上。
所述探针台板2为一具有开口的圆盘板。
所述弧形导轨3通过沉头螺钉5固定在探针台板2上。
所述导线48的裸线端焊接固定在电连接片7上，金属探针46、绝缘塑胶块47和电连接片7均固定在导电螺栓6上，电连接片7压在导电螺栓6的螺栓螺母61下。
所述导电螺栓6与有下弹片431和压弹片432均呈不接触状。
工作原理：金属探针46成型在绝缘塑胶块47上，导电螺栓6与有下弹片431和压弹片432均呈不接触状。金属探针46不会发生漏电现象而影响检测数据。滑架41右插套在T型槽31上任意位置，这样金属探针46可以定位到弧形导轨3的任意位置。
松开压紧螺杆44，转动横向微调螺杆45，可以让平移座43沿横向微调螺杆45轴向微小移动，从而调节金属探针46位置。
Claims (5)
1.自动化探针测试台的探针装置，包括承片台(1)和探针台板(2)，承片台(1)位于探针台板（2）的中部，其特征在于：探针台板(2)上固定有弧形导轨(3)，弧形导轨(3)上成型有T型槽(31)，探针装置(4)的结构是：滑架(41)插套在T型槽(31)上，紧固螺钉(42)螺接在滑架(41)上且其前端压在弧形导轨(3)上，平移座(43)置于滑架(41)上，平移座(43)上成型有下弹片(431)和压弹片(432)，压弹片(432)为L型，压紧螺杆(44)螺接在滑架(41)上且其下端压在压弹片(432)上，压弹片(432)压在下弹片(431)上，横向微调螺杆(45)螺接在滑架(41)上同时与平移座(43)螺接在一起，金属探针(46)成型在绝缘塑胶块(47)上，导线(48)与金属探针(46)电连接，绝缘塑胶块(47)通过螺钉固定在下弹片(431)上。
2.根据权利要求1所述的自动化探针测试台的探针装置，其特征在于：探针台板(2)为一具有开口的圆盘板。
3.根据权利要求1所述的自动化探针测试台的探针装置，其特征在于：弧形导轨(3)通过沉头螺钉(5)固定在探针台板(2)上。
4.根据权利要求1所述的自动化探针测试台的探针装置，其特征在于：导线(48)的裸线端焊接固定在电连接片(7)上，金属探针(46)、绝缘塑胶块(47)和电连接片(7)均固定在导电螺栓(6)上，电连接片(7)压在导电螺栓(6)的螺栓螺母(61)下。
5.根据权利要求4所述的自动化探针测试台的探针装置，其特征在于：导电螺栓(6)与下弹片(431)和压弹片(432)均呈不接触状。
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Cited By (2)
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| US11747394B1 (en) | 2022-03-09 | 2023-09-05 | Nanya Technology Corporation | Probe apparatus with a track |
| TWI825731B (zh) * | 2022-03-09 | 2023-12-11 | 南亞科技股份有限公司 | 探針裝置及晶圓檢測方法 |
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2020
- 2020-12-16 CN CN202023031838.7U patent/CN213903611U/zh not_active Expired - Fee Related
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