CN112465780A - 绝缘层膜厚异常监控方法及装置 - Google Patents

绝缘层膜厚异常监控方法及装置 Download PDF

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CN112465780A CN202011349947.5A CN202011349947A CN112465780A CN 112465780 A CN112465780 A CN 112465780A CN 202011349947 A CN202011349947 A CN 202011349947A CN 112465780 A CN112465780 A CN 112465780A
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Abstract

本申请实施例提供一种绝缘层膜厚异常监控方法及装置,在显示面板的绝缘层镀膜完成后,获取绝缘层的AOI图像,对AOI图像进行色温值计算,并根据色温值计算结果,判断绝缘层的膜厚是否存在异常。如此,考虑到了绝缘层膜厚与AOI图像的色温值之间的高度相关性,将AOI图像作为载体引入,通过图像处理的方式提取AOI图像的色温值,以此监控绝缘层膜厚的异常情况,相较于仅通过膜厚测量仪检测膜厚的方式,可以增加膜厚异常的拦截范围,减少异常产品的流片数量,以降低膜厚异常导致的产品良损率,减少产品的生产周期。

Description

绝缘层膜厚异常监控方法及装置
技术领域
本申请涉及显示面板的制造技术领域,具体而言,涉及一种绝缘层膜厚异常监控方法及装置。
背景技术
在显示面板(如OLED显示面板)的制造过程中,栅极绝缘膜层(Gate Insulator,GI)介于P-SI(Ploy Silicon,多晶硅)层与M1之间,当栅极绝缘膜层的膜厚出现异常时,会引起静电(Electro-Static Discharge,ESD)释放异常,从而导致显示面板产生亮点。因此,如不对绝缘膜层的膜厚异常情况进行监控,将会导致异常产品继续流片,从而增加产品成本。
发明内容
基于现有设计的不足,本申请提供一种绝缘层膜厚异常监控方法及装置,可以增加膜厚异常的拦截范围,减少异常产品的流片数量,以降低膜厚异常导致的产品良损率,减少产品的生产周期。
根据本申请的第二方面,提供一种绝缘层膜厚异常监控方法,应用于监控设备,所述方法包括:
在显示面板的绝缘层镀膜完成后,获取所述绝缘层的AOI图像;
对所述AOI图像进行色温值计算,并根据色温值计算结果,判断所述绝缘层的膜厚是否存在异常。
在第一方面的一种可能的实施方式中,所述对所述AOI图像进行色温值计算,并根据色温值计算结果,判断所述绝缘层的膜厚是否存在异常的步骤,包括:
计算所述AOI图像中的每个像素点的色温值,并根据所述每个像素点的色温值计算所述AOI图像的色温平均值;
判断所述色温平均值是否处于预设色温范围内;
若所述色温平均值未处于所述色温范围内,则判定所述绝缘层的膜厚异常。
在第一方面的一种可能的实施方式中,所述对所述AOI图像进行色温值计算,并根据色温值计算结果,判断所述绝缘层的膜厚是否存在异常的步骤,包括:
计算所述AOI图像中的每个像素点的色温值;
统计色温值未处于预设色温范围内的像素点数量;
若统计的色温值未处于预设色温范围内的像素点数量达到预设数量,则判定所述绝缘层的膜厚异常。
在第一方面的一种可能的实施方式中,所述计算所述AOI图像中的每个像素点的色温值的步骤,包括:
对所述AOI图像进行图像预处理,得到预处理图像,所述预处理图像包括多个像素单元,所述预处理图像的显示数据包括分别与多个像素单元对应的多个RGB值;
将每个像素单元的RGB值转换为预设色谱图中的色坐标;
根据每个像素单元的色坐标计算得到所述AOI图像中的每个像素点的色温值。
在第一方面的一种可能的实施方式中,所述对所述AOI图像进行图像预处理,得到预处理图像的步骤,包括:
载入所述AOI图像的RGB图像后,将所述RGB图像进行灰度变换,得到对应的灰阶图像和灰度直方图;
根据所述灰度直方图对所述灰阶图像进行阈值处理,获得阈值图像;
对所述阈值图像进行扩张处理,并对扩张处理后的阈值图像进行边缘去除处理,得到目标阈值图像;
将所述目标阈值图像的前景像素点的颜色转换为白色,得到所述预处理图像。
在第一方面的一种可能的实施方式中,所述将每个像素单元的RGB值转换为预设色谱图中的色坐标的步骤,包括:
根据所述像素单元的RGB值及预设的RGB光学值计算公式计算所述像素单元的RGB光学值;
根据所述像素单元的RGB光学值及预设的三刺激值计算公式计算所述像素单元的三刺激值,其中,所述预设的三刺激值计算公式中的三刺激值包括红色刺激值、绿色刺激值以及蓝色刺激值;
根据所述像素单元的三刺激值及预设的色坐标计算公式计算所述像素单元在预设色谱图中的色坐标。
在第一方面的一种可能的实施方式中,所述根据每个像素单元的色坐标计算得到所述AOI图像中的每个像素点的色温值的步骤,包括:
根据所述像素单元的色坐标及预设的色温计算公式计算所述像素单元的色温值。
在第一方面的一种可能的实施方式中,所述方法还包括:
获取不同绝缘层样本的膜厚测量值和AOI图像的色温平均值;
确定膜厚测量值处于正常膜厚值范围的多个目标绝缘层样本;
将多个所述目标绝缘层样本的AOI图像的色温平均值的范围确定为所述预设色温范围。
在第一方面的一种可能的实施方式中,所述方法还包括:
向预设终端发送存在膜厚异常的绝缘层所在显示面板的信息。
根据本申请的第二方面,提供一种绝缘层膜厚异常监控装置,所述装置包括:
获取模块,用于在显示面板的绝缘层镀膜完成后,获取所述绝缘层的AOI图像;
异常判断模块,用于对所述AOI图像进行色温值计算,并根据色温值计算结果,判断所述绝缘层的膜厚是否存在异常。
根据本申请的第三方面,提供一种监控设备,包括机器可读存储介质和处理器,所述机器可读存储介质中存储有计算机程序,所述处理器被设置为运行所述计算机程序以执行第一方面或者第一方面中任意一种可能的实施方式所述的绝缘层膜厚异常监控方法。
根据本申请的第四方面,提供一种计算机可读存储介质,所述计算机可读存储介质中存储有计算机程序,所述计算机程序被监控设备执行时,以实现第一方面或者第一方面中任意一种可能的实施方式所述的绝缘层膜厚异常监控方法。
基于上述任一方面,本申请在显示面板的绝缘层镀膜完成后,获取绝缘层的AOI图像,对AOI图像进行色温值计算,并根据色温值计算结果,判断绝缘层的膜厚是否存在异常。如此,考虑到了绝缘层膜厚与AOI图像的色温值之间的高度相关性,将AOI图像作为载体引入,通过图像处理方式提取AOI图像的色温值,以此监控绝缘层膜厚的异常情况,相较于通过膜厚测量仪检测膜厚的方式,可以增加膜厚异常的拦截范围,减少异常产品的流片数量,以降低膜厚异常导致的产品良损率,减少产品的生产周期。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1示出了本申请一实施例所提供的绝缘层膜厚异常监控方法的流程示意图;
图2示出了图1中所示的步骤S120的一种子步骤流程示意图;
图3示出了图1中所示的步骤S120的另一种子步骤流程示意图;
图4示出了图2中所示的子步骤S121A或图3中所示的子步骤S121B的子步骤流程示意图;
图5示出了本申请另一实施例所提供的绝缘层膜厚异常监控方法的流程示意图;
图6示出了本申请再一实施例所提供的绝缘层膜厚异常监控方法的流程示意图;
图7示出了本申请实施例所提供的绝缘层膜厚异常监控装置的功能模块示意图;
图8示出了本申请实施例所提供的用于执行上述的绝缘层膜厚异常监控方法的监控设备的结构示意框图。
具体实施方式
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,应当理解,本申请中附图仅起到说明和描述的目的,并不用于限定本申请的保护范围。另外,应当理解,示意性的附图并未按实物比例绘制。本申请中使用的流程图示出了根据本申请实施例的一些实施例实现的操作。
应该理解,流程图的操作可以不按顺序实现,没有逻辑的上下文关系的步骤可以反转顺序或者同时实施。此外,本领域技术人员在本申请内容的指引下,可以向流程图添加一个或多个其它操作,也可以从流程图中移除一个或多个操作。
如前述背景技术所获知的技术问题,经本申请发明人仔细研究发现,目前一般通过膜厚测量仪检测绝缘层的膜厚,例如,利用膜厚测量仪通过光干涉原理进行膜厚测量,已知入射光的偏振态,偏振光在产品表面被反射,从而测量得到反射光偏振态(如幅度和相位),计算或拟合出材料的属性,进而检测获得绝缘层的膜厚。
然而,鉴于实际生产线的情况,膜厚测量仪的检测仅为抽检,这样会导致一些膜厚异常的产品继续流片,造成异常产品区间拉长,生产制造的损失扩大。例如,在实际生产线上,未检测到的异常产品通常至少需要7天才可能在AT电学检测中发现。如果AT未检测到亮点不良的情况,继续流片到CT需要15天左右,期间可能造成大量风险产品报废。因此,如何更有效地增加膜厚异常的拦截范围,减少异常产品的流片数量,以降低膜厚异常导致的产品良损率,进一步减少产品的生产周期,显得格外重要。
所应说明的是,以上现有技术中的方案所存在的缺陷,均是发明人在经过实践并仔细研究后得出的结果,因此,上述技术问题的发现过程以及下文中本申请实施例针对上述问题所提出的解决方案,都应该是发明人在发明创造过程中对本申请做出的贡献,而不应当理解为本领域技术人员所公知的技术内容。
基于发明人发现的上述技术问题,发明人经过大量试验数据的测试证明,经过对AOI(Automated Optical Inspection,自动光学检查)设备的AOI图像数据的验证,创造性地发现了绝缘层的膜厚与AOI图像的色温值存在高度相关性,例如,绝缘层的膜厚与AOI图像的色温值成反比规则。
详细地,发明人在研究过程中,考虑到绝缘膜的厚度一般通过膜厚测量仪进行测定,但是由于电容或者时间的限制,难以有效检测到产品的全部区域。发明人研究发现绝缘膜的厚度不同,通常其AOI图像区域的颜色也不同,而AOI图像基本能够覆盖产品的所有异常区域。因此,发明人创造性发现可以依靠AOI图像上呈现的绝缘膜的色温来推测出一定误差范围内的膜厚,在发生厚度变化时可以作为重要的参考依据。
鉴于发明人的上述创造性劳动,本申请实施例提供一种改进的绝缘层膜厚异常监控方法,以解决目前由于膜厚测量仪的检测仅为抽检而导致一些膜厚异常的产品继续流片,造成异常产品区间拉长,进而导致生产制造的损失扩大的问题。
详细地,本申请实施例提供的绝缘层膜厚异常监控方法,在显示面板的绝缘层镀膜完成后,获取绝缘层的AOI图像,对AOI图像进行色温值计算,并根据色温值计算结果,判断绝缘层的膜厚是否存在异常。
如此,考虑到了绝缘层膜厚与AOI图像的色温值之间的高度相关性,将AOI图像作为载体引入,通过图像处理方式提取AOI图像的色温值,以此监控绝缘层膜厚的异常情况,相较于通过膜厚测量仪检测膜厚的方式,可以增加膜厚异常的拦截范围,减少异常产品的流片数量,以降低膜厚异常导致的产品良损率,进而减少产品的生产周期。
下面将结合图1对本申请实施例所提供的绝缘层膜厚异常监控方法进行示例性描述。应当理解,在其它实施例中,本实施例的绝缘层膜厚异常监控方法其中部分步骤的顺序可以根据实际需要相互交换,或者其中的部分步骤也可以省略或删除。
请参照图1,该绝缘层膜厚异常监控方法可以包括以下步骤,详细描述如下。
步骤S110,在显示面板的绝缘层镀膜完成后,获取绝缘层的AOI图像。
本实施例中,绝缘层在镀膜后,会介于P-SI层与M1之间,如果绝缘膜层的膜厚出现异常时,会引起静电释放异常,从而导致显示面板产生亮点。基于此,当镀膜结束后,本实施例可以采用AOI设备获取绝缘层的AOI图像。其中,AOI可以基于光学原理来对绝缘层进行检测,例如可以通过摄像头自动扫描绝缘层,采集AOI图像。
步骤S120,对AOI图像进行色温值计算,并根据色温值计算结果,判断绝缘层的膜厚是否存在异常。
本实施例中,基于发明人研究出的绝缘层膜厚与AOI图像的色温值存在高度相关性的情况,将AOI图像作为载体引入,通过图像处理方式提取AOI图像的色温值,以此监控绝缘层膜厚的异常情况,相较于通过膜厚测量仪检测膜厚的方式,可以增加膜厚异常的拦截范围,减少异常产品的流片数量,以降低膜厚异常导致的产品良损率,减少产品的生产周期。
在一种可能的实施方式中,下面结合一些可替代的示例对步骤S120进行详细说明。
例如,在一种可替代的示例中,请结合参阅图2,步骤S120可以通过以下子步骤S121A-S124A实现,详细描述如下。
子步骤S121A,计算AOI图像中的每个像素点的色温值,并根据每个像素点的色温值计算AOI图像的色温平均值。
例如,可以计算各个像素点的色温值的平均值,作为AOI图像的色温平均值。
子步骤S122A,判断色温平均值是否处于预设色温范围内。
若色温平均值未处于色温范围内,则执行子步骤S123A,判定绝缘层的膜厚异常。若色温平均值处于色温范围内,则执行子步骤S124A,判定绝缘层的膜厚未发生异常。
本实施例中,由于绝缘层膜厚与AOI图像的色温值存在高度相关性,当色温平均值未处于色温范围内,可以表示绝缘层的膜厚平均值存在异常,因此可以判定绝缘层的膜厚异常。反之,则可判定绝缘层膜厚未发生异常。
又例如,在另一种可替代的示例中,请结合参阅图3,步骤S120可以通过以下子步骤S121B-S124B实现,详细描述如下。
子步骤S121B,计算AOI图像中的每个像素点的色温值。
子步骤S122B,统计色温值未处于预设色温范围内的像素点数量,判断统计的色温值未处于预设色温范围内的像素点数量是否达到预设数量;若达到预设数量,则执行子步骤S123B,判定绝缘层的膜厚异常;若未达到预设数量,则执行子步骤S124B,判定绝缘层膜厚未发生异常。
本实施例中,由于绝缘层膜厚与AOI图像的色温值存在高度相关性,因此当统计的色温值未处于预设色温范围内的像素点数量达到预设数量时,可以表示绝缘层的存在膜厚异常的点较多,因此可以判定绝缘层的膜厚异常。反之,则可判定绝缘层膜厚未发生异常。
在一种可能的实施方式中,在上述子步骤S121A和子步骤S121B中,针对计算AOI图像中的每个像素点的色温值的过程,请结合参阅图4,可以通过以下子步骤S1201-子步骤S1203实现,详细描述如下。
子步骤S1201,对AOI图像进行图像预处理,得到预处理图像。
本实施例中,该预处理图像可以包括多个像素单元,并且该预处理图像的显示数据可以包括分别与多个像素单元对应的多个RGB值。RGB值可以包括红(R)、绿(G)、蓝(B)三个颜色通道的数值。其中,红、绿、蓝三个颜色通道中每种颜色各分为256阶亮度,在0时亮度最弱,而在255时亮度最亮。
其中,对AOI图像进行图像预处理,可以便于后续色温值的计算。在一种可能的实施方式中,对AOI图像进行图像预处理,可以通过以下实施方式来实现。
(1)载入AOI图像的RGB图像后,将RGB图像进行灰度变换,得到对应的灰阶图像和灰度直方图(Gray Histogram)。
本实施例中,一般AOI检测成像时只具有一定的亮度响应范围,亮度的最大值与最小值之比称为对比度。由于AOI成像的限制,常出现对比度不足的问题。因此,灰度变换可以根据某种目标条件按一定变换关系逐点改变RGB图像中每一个像素的灰度值,从而改善画质,使RGB图像的显示质量更加清晰。
例如,对于AOI图像的RGB图像,以从白到黑的不同灰度表示,各个像素与某一灰度值相对应。假设AOI图像的RGB图像的像素的灰度值D=f(x,y),处理后的灰阶图像的像素的灰度值D’=g(x,y),则灰度变换可表示为:g(x,y)=T[f(x,y)],其中,函数T(D)可以表示灰度变换函数,主要用于表示输入灰度值和输出灰度值之间的灰度转换关系。
在上述的灰度变换过程中,主要针对独立的像素点进行处理,通过改变原始RGB图像所占据的灰度范围而使RGB图像在视觉上得到良好的改变。其中,选择的灰度变换函数可以根据实际设计需求进行灵活选择,此处不作具体限定。
其中,灰度值可以被分为0到255共256个数值,其中0表示纯黑色的最暗区域,255表示纯白色的最亮区域,而中间的灰度值表示不同亮度的灰色。
本实施例中,灰度直方图是对统计灰阶图像中灰度级分布的统计,其将统计灰阶图像中的所有像素点,按照灰度值的大小,统计其出现的频率,从而可以表示灰阶图像中具有某种灰阶的像素的个数,反映灰阶图像中某种灰阶出现的频率。灰度直方图可以以横轴代表统计区域的灰度范围、纵轴代表统计区域中处于各灰度值的像素的数量,以形成统计区域的灰度直方图。通常横轴从左向右,灰度值从0(全黑)逐渐过渡到255(全白)。
(2)根据灰度直方图对灰阶图像进行阈值处理,获得阈值图像。
本实施例中,可以基于灰度直方图的特性确定灰度值阈值,然后对灰阶图像进行阈值处理,获得阈值图像。
(3)对阈值图像进行扩张处理,并对扩张处理后的阈值图像进行边缘去除处理,得到目标阈值图像。
(4)将目标阈值图像的前景像素点的颜色转换为白色,得到预处理图像。
本实施例中,为了减少底色干扰,可以将目标阈值图像的前景像素点的颜色转换为白色。
子步骤S1202,将每个像素单元的RGB值转换为预设色谱图中的色坐标。
本实施例中,预设色谱图可以为CIE1931色谱图,或者CIE1976色谱图,此处不作具体限定。
在一种可能的实施方式中,可以根据像素单元的RGB值及预设的RGB光学值计算公式计算像素单元的RGB光学值。其中,预设的RGB光学值计算公式可以是伽马变换公式,从而将像素单元的RGB值通过伽马变换转换为RGB光学值。
然后,根据像素单元的RGB光学值及预设的三刺激值计算公式计算像素单元的三刺激值。其中,预设的三刺激值计算公式中的三刺激值可以包括红色刺激值、绿色刺激值以及蓝色刺激值。
由此,可以根据像素单元的三刺激值及预设的色坐标计算公式计算像素单元在预设色谱图中的色坐标。
子步骤S1203,根据每个像素单元的色坐标计算得到AOI图像的色温平均值。
例如,可以根据像素单元的色坐标及预设的色温计算公式计算像素单元的色温值。
在一种可能的实施方式中,在步骤S120中,该预设色温范围可以结合实际设计需求进行设置,例如请结合参阅图5,在步骤S120之前,本实施例所提供的绝缘层膜厚异常监控方法还可以包括步骤S101-步骤S103,详细描述如下。
步骤S101,获取不同绝缘层样本的膜厚测量值和AOI图像的色温平均值。
本实施例中,可以预先收集多个不同绝缘层样本,然后分别通过膜厚检测仪和AOI设备检测每个绝缘层样本的膜厚测量值和AOI图像的色温平均值。
步骤S102,确定膜厚测量值处于正常膜厚值范围的多个目标绝缘层样本。
本实施例中,正常膜厚值范围可以基于实际生产测试过程中的数据进行自定义设置。目标绝缘层样本的数量可以根据实际需要进行确定,例如,为了增加后续检测精度,可以将绝缘层样本的数量适当增加。
步骤S103,将多个目标绝缘层样本的AOI图像的色温平均值的范围确定为预设色温范围。
在一种可能的实施方式中,为了及时在绝缘层存在膜厚异常时对相关人员进行提醒,尽早发现膜厚异常情况,从而防止风险产品继续流片,请结合参阅图6,在步骤S120之后,本实施例所提供的绝缘层膜厚异常监控方法还可以包括步骤S140,详细描述如下。
步骤S140,向预设终端发送存在膜厚异常的绝缘层所对应的显示面板的信息。
例如,可以通过邮件等方式向预设终端发送存在膜厚异常的绝缘层所在显示面板的信息。
基于同一发明构思,请参阅图7,示出了本申请实施例提供的绝缘层膜厚异常监控装置110的功能模块示意图,本实施例可以根据上述实施例的绝缘层膜厚异常监控方法的实施例对该绝缘层膜厚异常监控装置110进行功能模块的划分。例如,可以对应各个功能划分各个功能模块,也可以将两个或两个以上的功能集成在一个处理模块中。上述集成的模块既可以采用硬件的形式实现,也可以采用软件功能模块的形式实现。需要说明的是,本申请实施例中对模块的划分是示意性的,仅仅为一种逻辑功能划分,实际实现时可以有另外的划分方式。比如,在采用对应各个功能划分各个功能模块的情况下,图7示出的绝缘层膜厚异常监控装置110只是一种装置示意图。其中,绝缘层膜厚异常监控装置110可以包括获取模块111和异常判断模块112,下面分别对该绝缘层膜厚异常监控装置110的各个功能模块的功能进行详细阐述。
获取模块111,用于在显示面板的绝缘层镀膜完成后,获取绝缘层的AOI图像。可以理解,该获取模块111可以用于执行上述步骤S110,关于该获取模块111的详细实现方式可以参照上述对步骤S110有关的内容。
异常判断模块112,用于对AOI图像进行色温值计算,并根据色温值计算结果,判断绝缘层的膜厚是否存在异常。可以理解,该异常判断模块112可以用于执行上述步骤S120,关于该异常判断模块112的详细实现方式可以参照上述对步骤S120有关的内容。在一种可能的实施方式中,异常判断模块112具体用于:
计算AOI图像中的每个像素点的色温值,并根据每个像素点的色温值计算AOI图像的色温平均值;
判断色温平均值是否处于预设色温范围内;
若色温平均值未处于色温范围内,则判定绝缘层的膜厚异常。
在一种可能的实施方式中,异常判断模块112具体用于:
计算AOI图像中的每个像素点的色温值;
统计色温值未处于预设色温范围内的像素点数量;
判断统计的像素点数量是否达到预设数量,若统计的色温值未处于预设色温范围内的像素点数量达到预设数量,则判定绝缘层的膜厚异常。反之,则判定绝缘层的膜厚未发生异常。
在一种可能的实施方式中,异常判断模块112具体还用于:
对AOI图像进行图像预处理,得到预处理图像,预处理图像包括多个像素单元,预处理图像的显示数据包括分别与多个像素单元对应的多个RGB值;
将每个像素单元的RGB值转换为预设色谱图中的色坐标;
根据每个像素单元的色坐标计算得到AOI图像中的每个像素点的色温值。
在一种可能的实施方式中,异常判断模块112具体还用于:
载入AOI图像的RGB图像后,将RGB图像进行灰度变换,得到对应的灰阶图像和灰度直方图;
根据灰度直方图对灰阶图像进行阈值处理,获得阈值图像;
对阈值图像进行扩张处理,并对扩张处理后的阈值图像进行边缘去除处理,得到目标阈值图像;
将目标阈值图像的前景像素点的颜色转换为白色,得到预处理图像。
在一种可能的实施方式中,异常判断模块112具体还用于:
根据像素单元的RGB值及预设的RGB光学值计算公式计算像素单元的RGB光学值;
根据像素单元的RGB光学值及预设的三刺激值计算公式计算像素单元的三刺激值,其中,预设的三刺激值计算公式中的三刺激值包括红色刺激值、绿色刺激值以及蓝色刺激值;
根据像素单元的三刺激值及预设的色坐标计算公式计算像素单元在预设色谱图中的色坐标。
在一种可能的实施方式中,异常判断模块112具体还用于:
根据像素单元的色坐标及预设的色温计算公式计算像素单元的色温值。
在一种可能的实施方式中,获取模块111具体还用于:
获取不同绝缘层样本的膜厚测量值和AOI图像的色温平均值;
确定膜厚测量值处于正常膜厚值范围的多个目标绝缘层样本;
将多个目标绝缘层样本的AOI图像的色温平均值的范围确定为预设色温范围。
在一种可能的实施方式中,绝缘层膜厚异常监控装置110还可以包括发送模块,具体可以用于向预设终端发送存在膜厚异常的绝缘层所在显示面板的信息。
需要说明的是,应理解以上装置的各个模块的划分仅仅是一种逻辑功能的划分,实际实现时可以全部或部分集成到一个物理实体上,也可以物理上分开。并且,这些模块可以全部以软件通过处理元件调用的形式实现,也可以全部以硬件的形式实现,还可以部分模块通过处理元件调用软件的形式实现,部分模块通过硬件的形式实现。例如,获取模块111和异常判断模块112可以为单独设立的处理元件,也可以集成在上述装置的某一个芯片中实现,此外,也可以以程序代码的形式存储于存储介质中,由某一个处理元件调用并执行以上获取模块111和异常判断模块112的功能。此外,这些模块全部或部分可以集成在一起,也可以独立实现。这里所描述的处理元件可以是一种集成电路,具有信号的处理能力。在实现过程中,上述方法的各步骤或以上各个模块可以通过处理器元件中的硬件的集成逻辑电路或者软件形式的指令完成。
基于同一发明构思,请参阅图8,示出了本申请实施例提供的用于执行上述绝缘层膜厚异常监控方法的监控设备100的结构示意框图,监控设备100可以是,但不限于服务器、计算机设备、工作站等。该监控设备100可以包括绝缘层膜厚异常监控装置110、机器可读存储介质120和处理器130。
本实施例中,机器可读存储介质120与处理器130可以位于监控设备100中且二者分离设置。然而,应当理解的是,机器可读存储介质120也可以是独立于监控设备100之外,且可以由处理器130通过总线接口来访问。可替换地,机器可读存储介质120也可以集成到处理器130中,例如,可以是高速缓存和/或通用寄存器。
绝缘层膜厚异常监控装置110可以包括存储在机器可读存储介质120的软件功能模块(例如图7中所示的获取模块111和异常判断模块112),当处理器130执行绝缘层膜厚异常监控装置110中的软件功能模块时,以实现前述方法实施例提供的绝缘层膜厚异常监控方法。
由于本申请实施例提供的监控设备100是上述绝缘层膜厚异常监控方法的方法实施例的另一种实现形式,且监控设备100可用于执行上述方法实施例提供的绝缘层膜厚异常监控方法,因此其具体描述内容和所能获得的技术效果可参考上述方法实施例,在此不再赘述。
需要说明的是,在本文中,术语"包括"、"包含"或者其任何其它变体意在涵盖非排它性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其它要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句"包括一个……"限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上所描述的实施例仅仅是本申请的一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此,在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制本申请的保护范围,而仅仅是表示本申请的选定实施例。因此,本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。此外,基于本申请的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下可获得的所有其它实施例,都应属于本申请保护的范围。

Claims (10)

1.一种绝缘层膜厚异常监控方法,其特征在于,应用于监控设备,所述方法包括:
在显示面板的绝缘层镀膜完成后,获取所述绝缘层的AOI图像;
对所述AOI图像进行色温值计算,并根据色温值计算结果,判断所述绝缘层的膜厚是否存在异常。
2.根据权利要求1所述的绝缘层膜厚异常监控方法,其特征在于,所述对所述AOI图像进行色温值计算,并根据色温值计算结果,判断所述绝缘层的膜厚是否存在异常的步骤,包括:
计算所述AOI图像中的每个像素点的色温值,并根据所述每个像素点的色温值计算所述AOI图像的色温平均值;
判断所述色温平均值是否处于预设色温范围内;
若所述色温平均值未处于所述色温范围内,则判定所述绝缘层的膜厚异常。
3.根据权利要求1所述的绝缘层膜厚异常监控方法,其特征在于,所述对所述AOI图像进行色温值计算,并根据色温值计算结果,判断所述绝缘层的膜厚是否存在异常的步骤,包括:
计算所述AOI图像中的每个像素点的色温值;
统计色温值未处于预设色温范围内的像素点数量;
若统计的色温值未处于预设色温范围内的像素点数量达到预设数量,则判定所述绝缘层的膜厚异常。
4.根据权利要求2或3所述的绝缘层膜厚异常监控方法,其特征在于,所述计算所述AOI图像中的每个像素点的色温值的步骤,包括:
对所述AOI图像进行图像预处理,得到预处理图像,所述预处理图像包括多个像素单元,所述预处理图像的显示数据包括分别与多个像素单元对应的多个RGB值;
将每个像素单元的RGB值转换为预设色谱图中的色坐标;
根据每个像素单元的色坐标计算得到所述AOI图像中的每个像素点的色温值。
5.根据权利要求4所述的绝缘层膜厚异常监控方法,其特征在于,所述对所述AOI图像进行图像预处理,得到预处理图像的步骤,包括:
载入所述AOI图像的RGB图像后,将所述RGB图像进行灰度变换,得到对应的灰阶图像和灰度直方图;
根据所述灰度直方图对所述灰阶图像进行阈值处理,获得阈值图像;
对所述阈值图像进行扩张处理,并对扩张处理后的阈值图像进行边缘去除处理,得到目标阈值图像;
将所述目标阈值图像的前景像素点的颜色转换为白色,得到所述预处理图像。
6.根据权利要求4所述的绝缘层膜厚异常监控方法,其特征在于,所述将每个像素单元的RGB值转换为预设色谱图中的色坐标的步骤,包括:
根据所述像素单元的RGB值及预设的RGB光学值计算公式计算所述像素单元的RGB光学值;
根据所述像素单元的RGB光学值及预设的三刺激值计算公式计算所述像素单元的三刺激值,其中,所述预设的三刺激值计算公式中的三刺激值包括红色刺激值、绿色刺激值以及蓝色刺激值;
根据所述像素单元的三刺激值及预设的色坐标计算公式计算所述像素单元在预设色谱图中的色坐标。
7.根据权利要求4所述的绝缘层膜厚异常监控方法,其特征在于,所述根据每个像素单元的色坐标计算得到所述AOI图像中的每个像素点的色温值的步骤,包括:
根据所述像素单元的色坐标及预设的色温计算公式计算所述像素单元的色温值。
8.根据权利要求2或3所述的绝缘层膜厚异常监控方法,其特征在于,所述方法还包括:
获取不同绝缘层样本的膜厚测量值和AOI图像的色温平均值;
确定膜厚测量值处于正常膜厚值范围的多个目标绝缘层样本;
将多个所述目标绝缘层样本的AOI图像的色温平均值的范围确定为所述预设色温范围。
9.根据权利要求1所述的绝缘层膜厚异常监控方法,其特征在于,所述方法还包括:
向预设终端发送存在膜厚异常的绝缘层所对应的显示面板的信息。
10.一种绝缘层膜厚异常监控装置,其特征在于,所述装置包括:
获取模块,用于在显示面板的绝缘层镀膜完成后,获取所述绝缘层的AOI图像;
异常判断模块,用于对所述AOI图像进行色温值计算,并根据色温值计算结果,判断所述绝缘层的膜厚是否存在异常。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117483209A (zh) * 2024-01-02 2024-02-02 深圳市深海龙腾科技有限公司 一种基于机器视觉的反射膜生产质控的方法及系统

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106355556A (zh) * 2015-07-21 2017-01-25 杭州海康威视数字技术股份有限公司 图像去雾的方法和设备
CN206096693U (zh) * 2016-11-01 2017-04-12 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种彩膜基板、显示面板和显示装置
CN107402218A (zh) * 2017-09-25 2017-11-28 武汉华星光电技术有限公司 Cf基板的微观缺陷检测方法、装置及设备
CN109493829A (zh) * 2018-11-26 2019-03-19 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 影像色温的获取方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106355556A (zh) * 2015-07-21 2017-01-25 杭州海康威视数字技术股份有限公司 图像去雾的方法和设备
CN206096693U (zh) * 2016-11-01 2017-04-12 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种彩膜基板、显示面板和显示装置
CN107402218A (zh) * 2017-09-25 2017-11-28 武汉华星光电技术有限公司 Cf基板的微观缺陷检测方法、装置及设备
CN109493829A (zh) * 2018-11-26 2019-03-19 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 影像色温的获取方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117483209A (zh) * 2024-01-02 2024-02-02 深圳市深海龙腾科技有限公司 一种基于机器视觉的反射膜生产质控的方法及系统
CN117483209B (zh) * 2024-01-02 2024-04-09 深圳市深海龙腾科技有限公司 一种基于机器视觉的反射膜生产质控的方法及系统

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