CN112461796A - 掩膜板贴合状态检测设备及压合机 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及压合机技术领域,公开了一种掩膜板贴合状态检测设备及压合机,该掩膜板贴合状态检测设备包括底座、支撑板、照明装置、第一驱动机构、光学检测装置和第二驱动机构。通过第一驱动机构驱动照明装置在第一方向以及第二方向上移动，从而令光线照射在掩膜板上的不同开口处以模拟蒸镀的方式对掩膜板的贴合度进行检测；并通过第二驱动装置驱动光学检测装置在第三方向、第四方向以及第五方向上移动，以令光学检测装置能够贴近掩膜板上的各个开口处，以便对检测出掩膜板上的开口处与玻璃之间是否透过光线。若无光线透过，则说明掩膜板与玻璃贴合状态良好；若检测出有光线透过，则说明掩膜板与玻璃之间存在缝隙，贴合状态不合格。
Description
技术领域
本发明涉及压合机的技术领域，尤其是涉及一种掩膜板贴合状态检测设备及压合机。
背景技术
随着社会的进步和科技的发展，越来越多的显示设备中的有机发光显示装置采用自主发光显示器件，这种设置方式具备视野广、反应速度快的优点。这种有机发光显示装置中彼此相对的电极之间设置有包含发光层的中间层；中间层可以通过蒸镀的方法形成，即将精细金属掩膜板与玻璃紧密贴合，然后蒸镀物质通过掩膜板上的开口蒸镀到基板上从而形成图形的薄膜。若掩膜板与玻璃没有紧密贴合，则会造成不同的蒸镀物质交叠导致薄膜质量不良。
现有技术中为了检测掩膜板与玻璃的贴合状态，通常是在掩膜板和玻璃贴合后，通过人眼对贴合状态进行判断。
但是，利用人眼判断贴合状态的方式，会因为判断者的能力不同或者观察方式的不同导致结果的不同，极有可能出现判断错误的情况，导致加工出贴合状态不合格的掩膜板，造成了资源的浪费的同时，降低了工作效率。
发明内容
本发明提供了一种掩膜板贴合状态检测设备，上述掩膜板贴合状态检测设备不会存在现有技术中的由于判断者的能力不同或者观察方式的不同导致判断结果出现偏差，提高了判断贴合状态的准确率，避免了加工出贴合状态不合格的掩膜板从而导致资源浪费的现象，且提高了工作效率。
为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：
一种掩膜板贴合状态检测设备，包括底座；设置在底座上的支撑板；位于支撑板背离底座一侧、且用于向支撑板背离底座一侧发射测试光线的照明装置；安装于支撑板、且动作时可驱动照明装置相对于支撑板沿第一方向以及第二方向移动的第一驱动机构，第一方向和第二方向与支撑板的支撑面平行，且第一方向与第二方向互相垂直；位于支撑板背离底座一侧、且用于检测掩膜板上的开口处与玻璃之间是否透过光线的光学检测装置；安装于支撑板、且动作时可驱动光学检测装置相对于支撑板沿第三方向、第四方向以及第五方向移动的第二驱动机构，第三方向和第四方向与支撑板的支撑面平行，且第三方向与第四方向互相垂直，第五方向与支撑板的支撑面垂直。
本发明提供的掩膜板贴合状态检测设备，使用时，将掩膜板贴合状态检测设备放置在基板下方，操作者将掩膜板与玻璃贴合后，通过第一驱动机构驱动照明装置在第一方向以及第二方向上移动，从而令光线照射在掩膜板上的不同开口处以模拟蒸镀的方式对掩膜板的贴合度进行检测；并通过第二驱动装置驱动光学检测装置在第三方向、第四方向以及第五方向上移动，以令光学检测装置能够贴近掩膜板上的各个开口处，以便对检测出掩膜板上的开口处与玻璃之间是否透过光线。若无光线透过，则说明掩膜板与玻璃贴合状态良好；若检测出有光线透过，则说明掩膜板与玻璃之间存在缝隙，贴合状态不合格。
这种设置方式，通过照明装置发出的光线照射掩膜板，再通过光学检测装置检测掩膜板上的开口处与玻璃之间是否透过光线来判定掩膜板与玻璃的贴合状态，判断依据清晰，不会存在现有技术中的由于判断者的能力不同或者观察方式的不同导致判断结果出现偏差，提高了判断贴合状态的准确率，避免了加工出贴合状态不合格的掩膜板从而导致资源浪费的现象，且提高了工作效率。
优选地，第三方向与第一方向平行，第四方向与第二方向平行。
优选地，第一驱动机构包括：安装于支撑板、且延伸方向为第一方向的第一导轨；设置于第一导轨的第一滑块；用于驱动第一滑块沿第一导轨的延伸方向运动的第一驱动装置；与第一滑块固定连接、且延伸方向为第二方向的第二导轨；设置在第二导轨上的第二滑块，照明装置设置于第二滑块；用于驱动第二滑块沿第二导轨的延伸方向运动的第二驱动装置。
优选地，第二驱动机构包括：安装于支撑板、且延伸方向为第三方向的第三导轨；设置于第三导轨的第三滑块；用于驱动第三滑块沿第三导轨的延伸方向运动的第三驱动装置；与第三滑块固定连接、且延伸方向为第四方向的第四导轨；设置于第四导轨的第四滑块；用于驱动第四滑块沿第四导轨的延伸方向运动的第四驱动装置；设置于第四滑块的电动推杆，电动推杆包括固定杆以及移动杆，移动杆能够相对于固定杆沿第五方向移动，固定杆与第四滑块固定连接，移动杆与光学检测装置固定连接。
优选地，底座与支撑板之间设置有减震装置。
优选地，照明设备包括光源以及用于限制光源出光角度的隔光板。
优选地，光源包括多个LED灯源以及形成于LED灯源出光侧的棱镜。
优选地，隔光板包括可相互配合以形成用于容纳光源的腔体的第一板、第二板以及第三板；第一板通过第一铰链与第三板的一个侧边转动连接，第二板通过第二铰链与第三板的另一个侧边转动连接，第一铰链与第二铰链平行，且第一板的自由端与第二板的自由端配合形成出光口。
优选地，第三板通过第三铰链与第一驱动机构转动连接，第三铰链与第一铰链平行。
本发明还提供了一种压合机，压合机包括掩膜板贴合状态检测设备。
附图说明
图1为本发明实施例提供的掩膜板贴合状态检测设备的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的照明装置的结构示意图。
图标：1-底座；2-支撑板；3-照明装置；4-光学检测装置；5-第三导轨；6-第四导轨；7-电动推杆；8-减震装置；9-第一板；10-第二板；11-第三板；12-第一铰链；13-第二铰链；14-第三铰链；15-LED灯源；16-棱镜。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
图1为本发明实施例提供的掩膜板贴合状态检测设备的结构示意图，如图1所示，本发明实施例提供的掩膜板贴合状态检测设备，包括：底座1；设置在底座1上的支撑板2；位于支撑板2背离底座1一侧、且用于向支撑板2背离底座1一侧发射测试光线的照明装置3；安装于支撑板2、且动作时可驱动照明装置3相对于支撑板2沿第一方向以及第二方向移动的第一驱动机构，第一方向和第二方向与支撑板2的支撑面平行，且第一方向与第二方向互相垂直；位于支撑板2背离底座1一侧、且用于检测掩膜板上的开口处与玻璃之间是否透过光线的光学检测装置4；安装于支撑板2、且动作时可驱动光学检测装置4相对于支撑板2沿第三方向、第四方向以及第五方向移动的第二驱动机构，第三方向和第四方向与支撑板2的支撑面平行，且第三方向与第四方向互相垂直，第五方向与支撑板2的支撑面垂直。
其中，支撑板2可为石板。底座1包括可相互焊接以形成框架的多根钢管，多根钢管形成的框架在保障了底座1支撑强度的同时，减轻了重量，节约了成本。
另外，第一驱动机构能够保证照明装置3发出的光线能够覆盖整个掩膜板，第二驱动装置能够保证光学检测装置4的移动范围能够覆盖整个掩膜板，从而更精准地判断掩膜板上每一个开口处与玻璃之间是否透过光线。
本实施例提供的掩膜板贴合状态检测设备，使用时，将掩膜板贴合状态检测设备放置在基板下方，操作者将掩膜板与玻璃贴合后，通过第一驱动机构驱动照明装置3在第一方向以及第二方向上移动，从而令光线照射在掩膜板上的不同开口处以模拟蒸镀的方式对掩膜板的贴合度进行检测；并通过第二驱动装置驱动光学检测装置4在第三方向、第四方向以及第五方向上移动，以令光学检测装置4能够贴近掩膜板上的各个开口处，以便对检测出掩膜板上的开口处与玻璃之间是否透过光线。若无光线透过，则说明掩膜板与玻璃贴合状态良好；若检测出有光线透过，则说明掩膜板与玻璃之间存在缝隙，贴合状态不合格。
这种设置方式，通过照明装置3发出的光线照射掩膜板，再通过光学检测装置4检测掩膜板上的开口处与玻璃之间是否透过光线来判定掩膜板与玻璃的贴合状态，判断依据清晰，不会存在现有技术中的由于判断者的能力不同或者观察方式的不同导致判断结果出现偏差，提高了判断贴合状态的准确率，避免了加工出贴合状态不合格的掩膜板从而导致资源浪费的现象，且提高了工作效率。
优选地，第三方向与第一方向平行，第四方向与第二方向平行。
这种设置方式能够令照明装置3和光学检测装置4的在水平方向上的移动方向大体相同，避免了照明装置3和光学检测装置4在水平方向上移动时互相干涉的情况，提高了操控的效率。
优选地，第一驱动机构包括：安装于支撑板2、且延伸方向为第一方向的第一导轨；设置于第一导轨的第一滑块；用于驱动第一滑块沿第一导轨的延伸方向运动的第一驱动装置；与第一滑块固定连接、且延伸方向为第二方向的第二导轨；设置在第二导轨上的第二滑块，照明装置3设置于第二滑块；用于驱动第二滑块沿第二导轨的延伸方向运动的第二驱动装置。
其中，第一驱动装置和第二驱动装置均可为线性马达，线性马达结构简单、能量转化效率高、且机械传动位置精准。
本实施例中，操作者启动第一驱动装置，令第一滑块带动第二导轨沿第一导轨的延伸方向移动，则此时第二滑块以及照明装置3随着第二导轨在第一方向上移动；当需要调节照明装置3在第二方向上的位置时，启动第二驱动装置，令第二滑块带动照明装置3沿第二导轨的延伸方向移动。
这种设置方式结构简单、控制方便，便于操作者操控并选择照明装置3的位置。
如图1所示，优选地，第二驱动机构包括：安装于支撑板2、且延伸方向为第三方向的第三导轨5；设置于第三导轨5的第三滑块；用于驱动第三滑块沿第三导轨5的延伸方向运动的第三驱动装置；与第三滑块固定连接、且延伸方向为第四方向的第四导轨6；设置于第四导轨6的第四滑块；用于驱动第四滑块沿第四导轨6的延伸方向运动的第四驱动装置；设置于第四滑块的电动推杆7，电动推杆7包括固定杆以及移动杆，移动杆能够相对于固定杆沿第五方向移动，固定杆与第四滑块固定连接，移动杆与光学检测装置4固定连接。
其中，第二驱动装置和第三驱动装置也均可为线性马达。
另外，第三导轨5可为两个，两个第三导轨5平行间隔设置，每个第三导轨5上均设置有一个第三滑块，第三驱动装置也为两个，两个第三导轨5与两个第三驱动装置一一对应设置；第四导轨6一端与一个第三滑块固定连接，第四导轨6的另一端与另一个第三滑块固定连接；两个第三导轨5的设置，能够对第四导轨6起到更加稳定的支撑作用，令第四导轨6在第三方向上的移动更加稳定。
本实施例中，操作者启动第三驱动装置，令第三滑块带动第四导轨6沿第三导轨5的延伸方向移动，此时第四滑块、电动推杆7以及光学检测装置4均随着第四导轨6在第三方向上移动；当需要调节光学检测装置4在第四方向上的位置时，启动第四驱动装置，令第四滑块带动电动推杆7从而带动光学检测装置4沿第四导轨6的延伸方向移动；当需要调节光学检测装置4在第五方向上的位置时，启动电动推杆7，令移动杆带动光学检测装置4相对于固定杆沿第五方向移动。
这种设置方式结构简单，且第三滑块以及第四滑块的控制方简单方便，便于操作者在水平方向上操控并选择光学检测装置4的移动位置；另外，电动推杆7便于获取，且移动杆带动光学检测装置4移动的方式快捷方便，进一步便于操作者调节光学检测装置4在第五方向上的位置，从而令光学检测装置4贴近掩膜板以判断掩膜板开口处与玻璃之间是否透过光线，提高了工作的效率。
如图1所示，优选地，底座1与支撑板2之间设置有减震装置8。
本实施例中，减震装置8的设置避免了因外界震动导致支撑板2发生移动，从而导致照明装置3和光学检测装置4的移动位置出现偏差的现象，进一步保证了照明装置3和光学检测装置4的移动位置的准确性。
优选地，照明设备包括光源以及用于限制光源出光角度的隔光板。
图2为本发明实施例提供的照明装置的结构示意图，如图2所示，光源包括多个LED灯源15以及形成于LED灯源15出光侧的棱镜16。
本实施例中，隔光板的设置能够避免光线的照射范围过大从而影响光学检测装置4的检测效果，棱镜16能够将LED灯源15发出的多个点光源汇集为面光源，以令面光源均匀地照射在掩膜板上。
如图2所示，优选地，隔光板包括可相互配合以形成用于容纳光源的腔体的第一板9、第二板10以及第三板11；第一板9通过第一铰链12与第三板11的一个侧边转动连接，第二板10通过第二铰链13与第三板11的另一个侧边转动连接，第一铰链12与第二铰链13平行，且第一板9的自由端与第二板10的自由端配合形成出光口。
第三板11通过第三铰链14与第一驱动机构转动连接，第三铰链14与第一铰链12平行。
本实施例中，操作者可通过调节第一板9和第三板11之间的角度与第二板10和第三板11之间的角度以调节出光口的大小和角度，从而改变光源的出光角度，进一步保证了光线能够照射到掩膜板上每一个开口处；另外，也可通过转动第三板11来调节第三板11与第一驱动机构之间的角度来改变光源的出光角度，进一步保证了光源发出的光线能够覆盖整个掩膜板，提高了检测的准确性。
本发明实施例还提供了一种压合机，压合机包括掩膜板贴合状态检测设备。
本实施例中，掩膜板贴合状态检测设备对掩膜板和玻璃的贴合状态进行检测后，压合机再将掩膜板与玻璃压合，避免了加工出贴合状态不合格的掩膜板从而导致资源浪费的现象。掩膜板贴合状态检测设备的实施方式和有益效果与上述的掩膜板贴合状态检测设备相同，不再赘述。
显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (10)
1.一种掩膜板贴合状态检测设备，用于检测掩膜板与玻璃贴合的紧密程度，其特征在于，包括：
底座；
设置在所述底座上的支撑板；
位于所述支撑板背离所述底座一侧、且用于向所述支撑板背离所述底座一侧发射测试光线的照明装置；
安装于所述支撑板、且动作时可驱动所述照明装置相对于所述支撑板沿第一方向以及第二方向移动的第一驱动机构，所述第一方向和所述第二方向与所述支撑板的支撑面平行，且所述第一方向与所述第二方向互相垂直；
位于所述支撑板背离所述底座一侧、且用于检测掩膜板上的开口处与玻璃之间是否透过光线的光学检测装置；
安装于所述支撑板、且动作时可驱动所述光学检测装置相对于所述支撑板沿第三方向、第四方向以及第五方向移动的第二驱动机构，所述第三方向和所述第四方向与所述支撑板的支撑面平行，且所述第三方向与所述第四方向互相垂直，所述第五方向与所述支撑板的支撑面垂直。
2.根据权利要求1所述的掩膜板贴合状态检测设备，其特征在于，所述第三方向与所述第一方向平行，所述第四方向与所述第二方向平行。
3.根据权利要求1所述的掩膜板贴合状态检测设备，其特征在于，所述第一驱动机构包括：
安装于所述支撑板、且延伸方向为所述第一方向的第一导轨；
设置于所述第一导轨的第一滑块；
用于驱动所述第一滑块沿所述第一导轨的延伸方向运动的第一驱动装置；
与所述第一滑块固定连接、且延伸方向为所述第二方向的第二导轨；
设置在所述第二导轨上的第二滑块，所述照明装置设置于所述第二滑块；
用于驱动所述第二滑块沿所述第二导轨的延伸方向运动的第二驱动装置。
4.根据权利要求1所述的掩膜板贴合状态检测设备，其特征在于，所述第二驱动机构包括：
安装于所述支撑板、且延伸方向为所述第三方向的第三导轨；
设置于所述第三导轨的第三滑块；
用于驱动所述第三滑块沿所述第三导轨的延伸方向运动的第三驱动装置；
与所述第三滑块固定连接、且延伸方向为所述第四方向的第四导轨；
设置于所述第四导轨的第四滑块；
用于驱动所述第四滑块沿所述第四导轨的延伸方向运动的第四驱动装置；
设置于所述第四滑块的电动推杆，所述电动推杆包括固定杆以及移动杆，所述移动杆能够相对于所述固定杆沿所述第五方向移动，所述固定杆与所述第四滑块固定连接，所述移动杆与所述光学检测装置固定连接。
5.根据权利要求1所述的掩膜板贴合状态检测设备，其特征在于，所述底座与所述支撑板之间设置有减震装置。
6.根据权利要求1所述的掩膜板贴合状态检测设备，其特征在于，所述照明设备包括光源以及用于限制所述光源出光角度的隔光板。
7.根据权利要求6所述的掩膜板贴合状态检测设备，其特征在于，所述光源包括多个LED灯源以及形成于所述LED灯源出光侧的棱镜。
8.根据权利要求6所述的掩膜板贴合状态检测设备，其特征在于，所述隔光板包括可相互配合以形成用于容纳所述光源的腔体的第一板、第二板以及第三板；
所述第一板通过第一铰链与所述第三板的一个侧边转动连接，所述第二板通过第二铰链与所述第三板的另一个侧边转动连接，所述第一铰链与所述第二铰链平行，且所述第一板的自由端与第二板的自由端配合形成出光口。
9.根据权利要求8所述的掩膜板贴合状态检测设备，其特征在于，所述第三板通过第三铰链与所述第一驱动机构转动连接，所述第三铰链与所述第一铰链平行。
10.一种压合机，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的掩膜板贴合状态检测设备。
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