CN1124491C - 测量用信号的传输延迟时间测量电路 - Google Patents

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Abstract

本发明提供在IC测试仪的IC器件接口部的多个测量用信号传输系统路中为了简单而高精度地测量各个传输延迟时间的电路结构，在IC测试仪的IC器件接口部的测量用信号传输系统路中，采用使用连接器34使IC器件接口部33的IC插件板A1成为可以拔插的结构，设置从与IC插件板A1同一批中去掉通孔部的导体的IC插件板B31，采用将其插到IC器件接口部33内，直接只测量作为目的的TPDA11后再将IC插件板B31拔出，置换为插入IC插件板A1取代IC插件板B31的结构。

Description

测量用信号的传输延迟时间测量电路
本发明涉及在构成IC(集成电路)测试仪的测试台的IC器件接口部件的多个测量用信号传输系统中用于利用反射法简易而高精度地测量各个传输延迟时间的传输延迟时间测量电路及其测量方法。
图2是利用现有技术在IC器件接口部件的多个系统中利用反射法测量从信号发生部件到IC器件的传输延迟时间的系统的结构的示意图。
如图2(A)所示，构成IC测试仪的测试台的IC件接口部件由多层印刷电路板的IC插件板A1等构成。作为利用IC测试仪进行电气特性测量的对象的IC器件2成为插入到与多层印刷电路板上的配线电路连接的IC插座内进行测试的结构。
另外，在图示的IC插件板A1的结构中，采用用于获得阻抗匹配的电路结构。即，用50Ω的终端电阻、继电器6和带状线4等构成。并且，IC测试仪的信号发生部件21和比较部件22成为通过功能板等利用同轴电缆8与器件接口部件连接的结构。
近来，随着作为被测对象的IC器件2的运行速度的高速化，从信号发生部件21产生的测量用信号到达IC器件2的多个测试端子的各测试端子的时间的与要求的值的偏离的容许范围变窄。作为具体的一个例子，IC测试仪用户实际要求IC器件2的各测试端子间的信号到达时间的与要求的值的偏离小于0.1nsec。
因此，作为IC测试仪的制造商，应根据用户的要求在构成IC测试仪的测试台的IC器件接口部件追求可以极大地减小信号到达时间的与要求的值的偏差的电路结构。
并且，为了捕捉测量用信号到达IC器件2的各测试端子的时间的与要求的值的偏差并确认IC测试仪的测试功能是在满足用户要求的容许范围内，采用通过测量IC测试仪内的信号发生部件21的测量信号经过同轴电缆8到达IC插件板A1后利用比较部件22观测到的信号传输延迟时间即TPD(Time ofPropagation Delay，以后称为TPD)23进行判断的方法。
利用比较部件22测量TPD23时，可以观测到图2(B)所示的波形。这里，TPD23＝2×(TPDA11+TPDB12+TPDC13)，但是，希望高精度地测量的是传输延迟时间TPDA11.也就是说，是到作为同轴电缆8与器件接口部件的IC插座的连接点的各通孔A3为止的信号传输延迟时间TPDA11。为了测量它，将继电器6即KS断开，但是，这时，如图2(A)所示的那样，由于除了从通孔A3加上构成带状线4的配线系统所引起的TPDB12外，继电器6的杂散电容CS7所引起的TPDC13也一起加到TPDA11上进行测量，所以，存在不能提高TPDA11的测量精度的问题。
本发明要解决的课题是在构成IC测试仪的测试台的IC器件接口部件的多个测量用信号传输系统中获得可以简单而高精度地测量各个传输延迟时间的电路结构。
也就是说，本发明的目的旨在通过将测量用信号到达IC器件具有的多个测试端子的各测试端子的时间的与要求的值的偏差减小到极限值而提供可以高精度地进行运行速度高速化的IC器件的功能测量的IC测试仪。
为了达到上述目的，在本发明提供了一种传输延迟时间测量电路，该传输延迟时间测量电路用于测量集成电路测试仪的集成电路器件接口部件中的传输系统的传输延迟时间的测量信号，该传输延迟时间测量电路包括：连接器，该连接器能够在集成电路插件板和同轴电缆之间连接或卸下，同轴电缆将信号发生部件与在集成电路器件接口部件中的集成电路插件板相连接；集成电路插件板B，该集成电路插件板B只使用在去掉在与集成电路插件板A在同一批中所制造的产品的在对应于上述连接器的点的通孔A的导体部分的情况下的传输延迟时间测量；并且其中，在上述信号发生部件分与上述连接器的端部之间的传输延迟时间是在集成电路插件板B的一侧处于非导电状态的条件下用反射法直接测量的，上述连接器与上述同轴电缆相连接。
并且，通过将上述IC插件板B插到IC器件接口部件来测量测量用信号的传输延迟时间，便可直接测量作为被测对象的传输延迟时间TPDA，并且只测量该传输延迟时间TPDA，从而达到预期目的。采用的结构是在测试结束后可以将IC插件板B从IC器件接口部件拔出从而能用IC插件板A取代IC插件板B。
通过采用本发明的测量用信号的传输系统的结构，当测定测量用信号的传输延迟时间时，由于去掉了通孔部分，所以，就把通孔部分的后面存在的TPDB和TPDC去掉了。于是，可以只直接测量TPDA来达到目的，所以，可以提高测量精度。
采用的结构是从与对适合于成为被测对象的IC器件进行测试的IC插件板A同一批制造的产品中抽取并去掉其通孔部分，从而形成测量用信号的传输延迟时间测量电路，便可很容易地与IC插件板的设计变更所引起的改版对应。另外，通过使用同一批制造的插件板，制造品质相同，所以，不会由于制造批量不同引起的与要求的值的偏差使测量精度降低。
由于本发明采用以上说明的结构，所以，具有以下所述的效果。
(1)通过采用本发明的测量用信号的传输延迟时间测量电路的结构，可以纯粹地直接高精度地测量作为本来目的的TPDA11。
(2)这样，由于可以将到达作为被测对象的IC器件的各测试端子的测量信号的传输速度的与要求的值的偏差减小到极限，可以制造出能够正确地测量近来运行速度特别高速化的IC器件的特性性能的IC测试仪。
图1是本发明实施例的测量用信号的传输延迟时间测量电路的结构的示意图。
图2是在利用现有技术的IC器件接口部件的多个系统中成为测定测量用信号的传输延迟时间的对象的系统结构的示意图。
(1)图1是本发明的测量用信号的传输延迟时间测量电路的结构的示意图。
如图1(A)所示，在本发明的IC插件板B31中，在通孔部分进行去孔加工从而去掉了导体的通孔部分B32。这样，便可将带状线4引起的TPDB12和继电器的杂散电容CS7引起的TPDC13与作为测量对象的TPDA11分开。
(2)另外，如图1(B)所示，本发明的IC插件板B31和同一批的A1通过使用连接器34，成为可以从IC器件接口部件33拔插的结构。并且，使用作为测量用信号的传输延迟时间测量电路的IC插件板B31，先进行TPDA11的测量，测量结束后从IC器件接口部件33拔出，然后插上同一批的A1从而取代IC插件板B31。
(3)通过采用本发明的测量用信号的传输延迟时间测量电路的结构，便可从与测试头36连接的功能性板35高精度地测量利用同轴电缆8形成的测量用信号的传输系统的传输延迟时间。

Claims (1)

1.一种传输延迟时间测量电路，该传输延迟时间测量电路用于测量集成电路测试仪的集成电路器件接口部件(33)中的传输系统的传输延迟时间的测量信号，该传输延迟时间测量电路包括：
连接器(34)，该连接器(34)能够在集成电路插件板和同轴电缆(8)之间连接或卸下，同轴电缆(8)将信号发生部件(21)与在集成电路器件接口部件(33)中的集成电路插件板相连接；
集成电路插件板B(31)，该集成电路插件板B(31)只使用在去掉在与集成电路插件板A(1)在同一批中所制造的产品的在对应于上述连接器(34)的点的通孔A(3)的导体部分的情况下的传输延迟时间测量；并且
其中，在上述信号发生部件分(21)与上述连接器(34)的端部之间的传输延迟时间是在集成电路插件板B(31)的一侧处于非导电状态的条件下用反射法直接测量的，上述连接器(34)与上述同轴电缆(8)相连接。
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